JPH0220132B2 - - Google Patents

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JPH0220132B2
JPH0220132B2 JP58019459A JP1945983A JPH0220132B2 JP H0220132 B2 JPH0220132 B2 JP H0220132B2 JP 58019459 A JP58019459 A JP 58019459A JP 1945983 A JP1945983 A JP 1945983A JP H0220132 B2 JPH0220132 B2 JP H0220132B2
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JP
Japan
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baked
ohmic
electrode
semiconductor
reduction
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Harufumi Bandai
Kyoshi Iwai
Yasuyuki Naito
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/1272Semiconductive ceramic capacitors

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野) この発明は磁器コンデンサ、特に小型で大容量
が得られる還元再酸化型半導体磁器コンデンサの
製造方法に関するものである。 (従来の技術および解決しようとする課題) 従来、磁器コンデンサとしては、筒形、板形の
コンデンサなどの形状のものが実用に供されてい
るが、この形状のものでは、1μF前後の大容量の
コンデンサを得ようとすると形状が著しく大きく
なつて実用に供し得ないという問題があつた。 このため、小型で大容量の得られる磁器コンデ
ンサとして、積層型磁器コンデンサや半導体磁器
コンデンサが開発され、実用に供されるようにな
つている。 積層型磁器コンデンサは、小型で大容量のもの
が製造できるが、セラミツクシート上に内部電極
を形成したものを複数積層した後、焼成するとい
う製造上の制約から、内部電極材料としてAu、
Pt、Pdなど高価な高融点の貴金属を使用するこ
とになり、1μF程度の大容量のコンデンサを得よ
うとすると非常に高価なものになり、特定の用途
にしか採用しえないという問題がある。 他方、半導体磁器コンデンサのうち還元再酸化
型半導体磁器コンデンサは、半導体磁器の表面に
再酸化層を形成し、これを誘電体としたもので、
比較的小型でありながら大きな容量が得られ、他
の磁器コンデンサと同様無極性で、耐熱性および
周波数特性が良好で、リーク電流が小さく安価で
あるなどの利点を有している。 しかしながら、それでも面積容量はたかだか
300nF/cm2程度であり、1μF前後の大容量になる
と形状が大きくなるという問題があつた。 還元再酸化型半導体磁器コンデンサにおけるこ
の問題を解決する手段として、第1図に示したよ
うな構造のものが提案されている。 図において、1は板状還元再酸化型半導体磁器
の半導体部分、2は再酸化処理により外部表面に
形成された誘電体層、3は誘電体層2の上に形成
された非オーム性電極、4は半導体部分1が外部
に露出している個所に形成されたオーム性電極で
ある。この構造のコンデンサでは半導体部分1を
露出させ、その表面にオーム性電極4を形成した
ため、表面全体が再酸化処理による誘電体層から
なるものにくらべて、面積容量(Cs)が約2倍
になり、600〜800nF/cm2程度のものが得られる。
しかしながら、半導体部分1を露出するために切
削や研磨の工程が必要になり、工程数が増えるこ
とに伴つてコストアツプの要因になつている。ま
た板状であるため切削や研磨の階段でワレが発生
したり、あるいは厚みにバラツキがあると、多数
個の半導体磁器を同時処理したとき、厚みの薄い
ものは表面の誘導体層が除去されないといつた問
題があり、工程管理が難しいといつた点が見られ
る。 したがつて、この発明は上述した従来の欠点を
除去し、小型で大容量の得られる還元再酸化型半
導体磁器コンデンサの製造方法を提供することを
目的とする。 (課題を解決するための手段) すなわち、この発明の要旨とするところは、還
元再酸化型半導体磁器の一面に銀ペーストを付与
し、他面にアルミニウムを主体とするペーストを
付与し、これらペーストの焼付けと同時に再酸化
処理することを特徴とする還元再酸化型半導体磁
器コンデンサの製造方法である。 (実施例) 以下、この発明を実施例に従つて詳細に説明す
る。 還元再酸化型半導体磁器材料、たとえば
BaTiO384.8モル%、BaZrO315モル%、Y2O30.2
モル%の組成比率からなる原料をバインダととも
に湿式混合粉砕し、その後脱水、整粒した。整粒
原料を1000Kg/cm2の圧力で直径12mm、肉厚0.5mm
の円板に成形した。次いで、空気中1350℃1時間
の条件で焼成を行い、さらに水素15容量%、窒素
85容量%からなる還元性雰囲気中、1150℃、1時
間の条件で還元処理を行い、半導体磁器を得た。 さらに、半導体磁器の一面に非オーム性電極で
ある銀ペーストをスクリーン印刷で付与し、半導
体磁器の他面にオーム性電極であるアルミニウム
ペーストをスクリーン印刷で付与した。このとき
各ペーストの印刷面積は9mmφとした。そのの
ち、空気中800℃、30分間の条件で電極の焼付け
と同時に再酸化処理を行つた。 このようにして得られた容量(C)を測定した
ところ、960nFであり、また誘電損失(tanδ)は
4.3%であつた。 第2図〜第3図はこの発明にかかる還元再酸化
型半導体磁器コンデンサの製造方法の例を示した
ものである。 第2図は還元処理によつて得られた半導体磁器
11を示し、第3図はこの半導体磁器11の一面
に非オーム性電極となる銀ペースト12をスクリ
ーン印刷し、他面にオーム性電極となるアルミニ
ウムを主体とするペースト13をスクリーン印刷
した状態を示す。第4図はペースト12,13を
焼付けると同時に再酸化処理を行い、非オーム性
の銀の焼付け電極12とオーム性のアルミニウム
を主体とする焼付け電極13を形成した状態を示
し、この段階で銀の焼付け電極12に接触する半
導体磁器11の領域および側面には誘電体層14
が形成され、一方アルミニウムを主体とする焼付
け電極13に対応する半導体磁器11の領域には
誘電体層が形成されず、焼付け電極13は半導体
磁器11と接触する状態となる。 したがつて、アルミニウムを主体とするペース
トを半導体磁器の表面に付与し、これを焼き付け
ることによつて、誘電体層を形成することなく半
導体磁器とオーム性接触する電極を形成すること
ができ、従来のように誘電体層を切削、研磨など
の手段で除去するという作業が不必要になり、し
かも大きな容量を得ることができるという利点を
有する。 アルミニウムを主体とするペーストとしては、
たとえば、アルミニウム粉末、ホウケイ酸鉛系の
ガラスフリツトの固形成分にワニス、有機質ビヒ
クルを加えて混合したものがある。 ホウケイ酸鉛系のガラスフリツトの具体的組成
としては、たとえば、PbO23〜95重量%、B2O35
〜40重量%、SiO20〜40重量%からなる第1の成
分75〜99.8重量%と、アルミナ0.2〜25重量%か
らなるものである。 オーム性のアルミニウムを主体とする焼付け電
極と接触する半導体磁器の領域に誘電体層が形成
されないのは、焼付け段階でガラスフリツトが酸
素を取り込むことによるものと推定される。 比較例として、上記した実施例で得られた半導
体磁器を用い、電極形成手段をそれぞれ異ならせ
て還元再酸化型半導体磁器コンデンサを製造し
た。下表に容量(C)と誘電損失(tanδ)を示し
た。なお、参考データとして上記実施例のコンデ
ンサの特性も併せて示した。
【表】 ここで、比較例1は半導体磁器の両面に銀ペー
ストをスクリーン印刷し、800℃、30分間の条件
で焼付け処理したものである。 比較例2は半導体磁器の一面に銀ペーストをス
クリーン印刷し、800℃、30分間の条件で焼付け
処理し、他面にアルミニウムを溶射したものであ
る。 比較例3は半導体磁器の一面に銀ペーストをス
クリーン印刷し、800℃、30分間の条件で焼付け
処理し、他面にIn−Ga電極をこすり付けて形成
したものである。 比較例4は半導体磁器の一面に銀ペーストをス
クリーン印刷し、800℃、30分間の条件で焼付け
処理し、他面をサンドペーパーで約0.1mm研磨し
て誘電体層を除去し、さらにIn−Ga電極をこす
り付けて形成したものである。 比較例5は半導体磁器の一面に銀ペーストをス
クリーン印刷し、800℃、30分間の条件で焼付け
処理し、他面にAg−Zn−Sbからなるオーム性電
極ペーストをスクリーン印刷し、400℃、30分間
の条件で焼付け処理したものである。 上表から明らかなように、この発明にかかる還
元再酸化型半導体磁器コンデンサは比較例1〜5
のものにくらべて大きな容量が得られており、小
型で大容量のコンデンサが得られることがわか
る。 第5図〜第6図はこの発明の製造方法により得
られた還元再酸化型半導体磁器コンデンサの他の
実施例を示したものである。 図において、21は角板形の還元再酸化型半導
体磁器、22は非オーム性の銀の焼付け電極、2
3はオーム性のアルミニウムを主体とする焼付け
電極、24,25はリード線である。半導体磁器
21は半導体部分21aと誘電体層21bからな
り、誘電体層21bは半導体磁器21の表裏面2
7a,27bおよび貫通孔26の壁面部分に形成
されている。半導体磁器21の表裏面27a,2
7bには、表裏面に開口する貫通孔26を包囲し
て半導体磁器21の表裏面寸法より若干小さな寸
法の非オーム性電極22が形成され、両者は貫通
孔26の壁面に形成された非オーム性の導電部2
8により連結されている。オーム性のアルミニウ
ムを主体とする焼付け電極23は半導体磁器21
の相対する端面に形成され、リード線24により
連結されている。 上記した構成は、厚み方向に形成された貫通孔
を有する角板形還元再酸化型半導体磁器と、該角
板形半導体磁器の表裏面および該表裏面に開口す
る前記貫通孔の壁面に形成され、かつ相互に導通
してなる非オーム性の銀の焼付け電極と、前記角
板形半導体磁器の少なくとも一端面に形成され、
かつ前記非オーム性の銀の焼付け電極と絶縁され
たオーム性のアルミニウムを主体とする焼付け電
極とからなることを特徴とするものであり、この
種のコンデンサも上記した実施例と同様大容量の
ものが得られ、小型化が図れる。 第7図〜第8図はこの発明の製造方法により得
られた還元再酸化型半導体磁器コンデンサのさら
に他の実施例を示したものである。 図において、31は角板形の還元再酸化型半導
体磁器、32,33,34は非オーム性の銀の焼
付け電極、35,37,38はオーム性のアルミ
ニウムを主体とする焼付け電極、39,40,4
1は貫通孔である。還元再酸化型半導体磁器31
は、第8図に示すように、半導体部分31aと誘
電体層31bとからなり、誘電体層31bは半導
体磁器31の表裏面および貫通孔39,40,4
1の壁面部分に形成されている。銀の焼付け電極
32,33,34は、相互にある間隔をおいて誘
電体層31b上にそれぞれ形成され、表裏面上の
相対する銀の焼付け電極32aと32b、33a
と33b、34aと34bはそれぞれ貫通孔3
9,40,41の壁面上に形成された導電部4
3,44,45により電気的に連結されている。
なお、導電部43,44,45は必ずしも形成す
る必要はなく、金属ピンを各貫通孔に挿入し、ろ
う付け、ハンダ付けなどにより固定して相対する
銀の焼付け電極を接続するようにしてもよい。貫
通孔40,41,42は相互にある間隔をおいて
半導体磁器31をその厚み方向に貫通して形成さ
れている。オーム性のアルミニウムを主体とする
焼付け電極35は半導体磁器の端面の半導体部分
31a上に形成されている。半導体磁器1の一方
の表面には、非オーム性の銀の焼付け電極32と
33、33と34の間の半導体部分31a上にオ
ーム性のアルミニウムを主体とする焼付け電極3
7,38が形成されている。なお、この焼付け電
極37,38は必ずしも形成する必要はない。 この種のコンデンサ42は、3個のコンデンサ
が一体的に形成された構造になつている。各コン
デンサは還元再酸化型半導体磁器の表裏面に対向
電極を形成したものにくらべ、4倍以上の容量を
有し、非オーム性電極32,33,34を接続し
た場合にはその3倍の容量を得ることができる。 上記した構成は、厚み方向に形成された複数の
貫通孔を有する角板状の還元再酸化型半導体磁器
と、該半導体磁器の表裏面に、該表裏面に開口す
る前記貫通孔の各開口部を包囲して相互に所定間
隔をおいて形成された複数の非オーム性の銀の焼
付け電極と、前記半導体磁器の端面の少なくとも
一部、または前記半導体磁器の端面の少なくとも
一部および表裏面の一部に、前記非オーム性の銀
の焼付け電極から絶縁して形成されたオーム性の
アルミニウムを主体とする焼付け電極とからなる
ユニツトを含む還元再酸化型半導体磁器コンデン
サであり、第2図〜第4図に示した実施例にもと
づくコンデンサと同様大容量化が図れるものであ
る。 第9図はこの発明の製造方法により得られた還
元再酸化型半導体磁器コンデンサのさらにまた他
の実施例を示したものである。 図において、51は一面が平面状で他面が凹凸
状の還元再酸化型半導体磁器であり、52は半導
体磁器51の一面に形成された誘電体層、53は
誘電体層52の上に形成された非オーム性の銀の
焼付け電極、54は半導体磁器51の他面の凹凸
状面に形成されたオーム性のアルミニウムを主体
とする焼付け電極である。 この種のコンデンサについても、上記した各実
施例のコンデンサと同様大容量化が図れる。 なお、上記各実施例において、オーム性のアル
ミニウムを主体とする焼付け電極の上にハンダに
よりリード線を取り付けるなどの目的で銀電極を
形成してもよい。 (効果) 以上の説明から明らかなように、この発明によ
れば、還元再酸化型半導体磁器の一面に銀ペース
トを付与し、他面にアルミニウムを主体とするペ
ーストを付与し、これらペーストの焼付けと同時
に再酸化処理することを特徴としたものであり、
従来のこの種コンデンサにくらべて大容量化が図
れ、同じ容量のコンデンサを得る場合小型化が図
れる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来例を示す断面図、第2図〜第4図
はこの発明にかかる還元再酸化型半導体磁器コン
デンサの製造方法を説明するための断面図であ
り、特に第4図は完成した状態を示したものであ
る。第5図〜第6図はこの発明の他の実施例を示
し、第5図は斜視図、第6図は第5図の−線
断面図、第7図〜第8図はこの発明のさらに他の
実施例を示し、第7図は斜視図、第8図は第7図
の−線断面図、第9図はこの発明のさらにま
た他の実施例の斜視図である。 11は還元再酸化型半導体磁器、12は非オー
ム性の銀の焼付け電極、13はオーム性のアルミ
ニウムを主体とする焼付け電極、14は誘電体
層。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 還元再酸化型半導体磁器の一面に銀ペースト
    を付与し、他面にアルミニウムを主体とするペー
    ストを付与し、これらペーストの焼付けと同時に
    再酸化処理することを特徴とする還元再酸化型半
    導体磁器コンデンサの製造方法。
JP58019459A 1983-02-07 1983-02-07 還元再酸化型半導体磁器コンデンサの製造方法 Granted JPS59144116A (ja)

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