JPH02201701A - Magnetic recording and reproducing method, magnetic recording medium and floating type magnetic head - Google Patents

Magnetic recording and reproducing method, magnetic recording medium and floating type magnetic head

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JPH02201701A
JPH02201701A JP2181389A JP2181389A JPH02201701A JP H02201701 A JPH02201701 A JP H02201701A JP 2181389 A JP2181389 A JP 2181389A JP 2181389 A JP2181389 A JP 2181389A JP H02201701 A JPH02201701 A JP H02201701A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic head
floating
layer
film
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Application number
JP2181389A
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Japanese (ja)
Inventor
Masaharu Nishimatsu
西松 正治
Jiyouichirou Ezaki
江崎 城一朗
Haruyuki Morita
治幸 森田
Kazumasa Fukuda
一正 福田
Yoshiyori Kobayashi
小林 由縁
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Abstract

PURPOSE:To form a thin and uniform film and to prevent the generation of a stick slip and the attraction of the magnetic head to a magnetic recording medium by using alochol having <30 deg.C m. p. to form a protective lubricating film. CONSTITUTION:The protective lubricating film 11 contg. the alcohol having <30 deg.C m. p. is provided on the magnetic layer of the magnetic recording medium and/or at least the floating surface of the floating type magnetic head 1. The coefft. of friction between the magnetic recording medium and the magnetic head 1 is lowered in this way and the fluctuation of the friction is decreased. The stick slip during the durable travel is hardly generated in this way and the failure of the medium and head and the generation of the attraction of the head to the medium surface at the time of contact of the magnetic head with the medium are prevented.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、潤滑作用および保護作用を有する保護潤滑膜
を有する磁気記録媒体および磁気ヘッドと、これらを用
いる磁気記録再生方法とに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a magnetic recording medium and a magnetic head having a protective lubricating film having lubricating and protective effects, and a magnetic recording and reproducing method using these.

〈従来の技術〉 計算機等に用いられる磁気ディスク駆動装置には、剛性
基板上に磁性層を設層したハードタイプの磁気ディスク
と浮上型磁気ヘッドとが用いられている。
<Prior Art> A hard type magnetic disk in which a magnetic layer is formed on a rigid substrate and a floating magnetic head are used in magnetic disk drives used in computers and the like.

このような磁気ディスク駆動装置においては、従来、塗
布型の磁気ディスクが用いられていたが、磁気ディスク
の大容量化に伴い、磁気特性、記録密度等の点で有利な
ことがら、スパッタ法等の気相成膜法等により設層され
る連続薄膜型の磁性層を有する薄膜型磁気ディスクが用
いられるようになっている。
Conventionally, coated magnetic disks have been used in such magnetic disk drive devices, but as the capacity of magnetic disks increases, sputtering methods, etc. Thin-film magnetic disks having a continuous thin-film magnetic layer formed by a vapor phase deposition method or the like have come to be used.

薄膜型磁気ディスクとしては、Δβ系のディスク状金属
板にN1−P下地層をめっきにより設層するか、あるい
はこの金属板表面を酸化してアルマイトを形成したもの
を基板とし、この基板上にCr層、Go−Ni等の金属
磁性層、さらにC等の保護潤滑膜をスパッタ法により順
次設層して構成されるものが一般的である。
Thin-film magnetic disks are made by plating a N1-P underlayer on a Δβ-based disk-shaped metal plate, or by oxidizing the surface of this metal plate to form alumite. It is generally constructed by sequentially depositing a Cr layer, a metal magnetic layer such as Go-Ni, and a protective lubricant film such as C by sputtering.

しかし、Co−Ni等の金属磁性層は耐食性が低(、さ
らに硬度が低く、信頼性に問題が生じる。 これに対し
、特開昭62−43819号公報に記載されているよう
な酸化鉄を主成分とする磁性薄膜は化学的に安定なため
腐食の心配がなく、また、充分な硬度を有している。
However, metal magnetic layers such as Co-Ni have low corrosion resistance (and even lower hardness, causing reliability problems). The magnetic thin film, which is the main component, is chemically stable, so there is no fear of corrosion, and it also has sufficient hardness.

一方、浮上型磁気ヘッドは浮力を発生するスライダを有
する磁気ヘッドであり、コアがスライダと一体化された
コンポジットタイプのもの、あるいはコアがスライダを
兼ねるモノリシックタイプのものが通常用いられる。
On the other hand, a flying type magnetic head is a magnetic head having a slider that generates buoyancy, and a composite type in which the core is integrated with the slider, or a monolithic type in which the core also serves as a slider is usually used.

さらに、これらの他、高密度記録が可能であることから
、いわゆる薄膜型の浮上型磁気ヘッドが注目されている
。 薄膜型の浮上型磁気ヘッドは、基体上に磁極層、ギ
ャップ層、コイル層などを気相成膜法等により形成した
ものである。 このような薄膜型の浮上型磁気ヘッドで
は、基体がスライダとしてはだら(。
Furthermore, in addition to these, so-called thin-film floating magnetic heads are attracting attention because they are capable of high-density recording. A thin-film floating magnetic head has a magnetic pole layer, a gap layer, a coil layer, etc. formed on a base by a vapor phase deposition method or the like. In such a thin-film type floating magnetic head, the base body is loose as a slider.

これらの浮上型磁気ヘッドにおいて、スライダは、各種
フェライト、Aβx Oz  T i C1ZrO2,
SiC,AIN等の各種セラミックスから構成される。
In these floating magnetic heads, the slider is made of various ferrites, AβxOzT i C1ZrO2,
It is composed of various ceramics such as SiC and AIN.

浮上型磁気ヘッドを用いる磁気ディスク装置では、コン
タクト・スタート・ストップ(C3S)時に浮上型磁気
ヘッドの浮揚面(スライダの磁気ディスク側表面)と磁
気ディスクが接触する。 このとき、磁気ディスクおよ
び浮上型磁気ヘッドにキズの発生、破損などが生じたり
、あるいは磁気ディスクへの浮上型磁気ヘッドの吸着が
生じ易い。 このため、磁気ディスクあるいは磁気ヘッ
ド表面に種々の保護膜あるいは潤滑膜を設ける提案がな
されている。
In a magnetic disk device using a floating magnetic head, the floating surface of the floating magnetic head (the surface of the slider on the magnetic disk side) comes into contact with the magnetic disk during contact start/stop (C3S). At this time, the magnetic disk and the floating magnetic head are likely to be scratched or damaged, or the floating magnetic head is likely to be attracted to the magnetic disk. For this reason, proposals have been made to provide various protective films or lubricant films on the surfaces of magnetic disks or magnetic heads.

特に、酸化鉄はCo−Ni等の金属に比べ硬度が高いた
め、特開昭62−43819号公報に記載されているよ
うな酸化鉄磁性層を有する磁気ディスクでは、例え磁気
ディスク表面に潤滑膜あるいは保護膜を設けてあっても
C8Sの繰り返しによりヘッド浮揚面がキズつき易く、
また、ヘッドとディスクの間の摩擦が増大し易い。 こ
のため、このような組み合わせにおいては、潤滑膜ある
いは保護膜構成材料の選択には注意を要する。
In particular, since iron oxide has higher hardness than metals such as Co-Ni, in a magnetic disk having an iron oxide magnetic layer as described in JP-A No. 62-43819, even if there is a lubricating film on the surface of the magnetic disk. Or even if a protective film is provided, the head floating surface is easily scratched due to repeated C8S.
Furthermore, friction between the head and the disk tends to increase. Therefore, in such a combination, care must be taken in selecting the materials constituting the lubricating film or the protective film.

また、酸化鉄磁性層を有する磁気ディスクとMn−Zn
フェライト製基体を有する浮上型ヘッドとを組み合わせ
て用いる場合、Mn−Znフェライトの硬度が酸化鉄の
硬度よりも低いため、このような問題は一層顕著となる
In addition, magnetic disks with iron oxide magnetic layers and Mn-Zn
When used in combination with a floating head having a ferrite base, such problems become even more pronounced because the hardness of Mn--Zn ferrite is lower than that of iron oxide.

さらに、酸化鉄磁性層を有する薄膜型磁気ディスクに対
し、M n −Z nフェライトより硬度の高いAli
 0s−TiC,ZrO2、SiC,AρNなどの基体
を有する浮上型磁気ヘッドを用いる場合、前記のような
問題はある程度解消するが、このような磁気ディスクお
よび浮上型磁気ヘッドの組み合わせにおいては、磁性層
およびスライダのいずれもが高い硬度を有するため、よ
り高い潤滑および保護効果が必要となる。  特に、高
密度記録を行なうために薄膜型の浮上型磁気ヘッドを用
いる場合、上記問題はより顕著となる。
Furthermore, for thin-film magnetic disks having an iron oxide magnetic layer, Al, which has higher hardness than Mn-Zn ferrite,
When using a floating magnetic head having a substrate of 0s-TiC, ZrO2, SiC, AρN, etc., the above-mentioned problems are solved to some extent, but in the combination of such a magnetic disk and floating magnetic head, the magnetic layer and the slider both have high hardness, which requires higher lubrication and protection effects. In particular, when a thin-film floating magnetic head is used for high-density recording, the above problem becomes more pronounced.

すなわち、薄膜型の浮上型磁気ヘッドを用いる磁気ディ
スク駆動装置では、高密度記録を行なうために磁気ディ
スクと磁気ヘッドとの間隔(フライングバイト)を極め
て小さ(設定できるので、磁気ディスクの振動あるいは
駆動装置外部からの衝撃などにより磁気ディスクと浮上
型磁気ヘッドとの接触事故が生じたり、また、フライン
グハイドが小さい場合、C8S時に磁気ヘッドおよび磁
気ディスクが受ける被害がより大きくなるからである。
In other words, in a magnetic disk drive device that uses a thin-film floating magnetic head, the distance between the magnetic disk and the magnetic head (flying bite) can be set extremely small in order to perform high-density recording. This is because contact accidents between the magnetic disk and the flying magnetic head may occur due to impacts from outside the device, and if the flying hide is small, the damage to the magnetic head and magnetic disk during C8S will be greater.

特に、特開昭62−43819号公報に記載されている
ような酸化鉄を主成分とする磁性薄膜を有する磁気ディ
スクは、表面が鏡面化されたガラス基板を使用しており
、磁性層の表面粗さが非常に小さなものとなっている。
In particular, a magnetic disk having a magnetic thin film mainly composed of iron oxide, as described in JP-A No. 62-43819, uses a glass substrate with a mirrored surface, and the surface of the magnetic layer is The roughness is extremely small.

 このため、好適な保護膜を選定しないと磁気ディスク
と磁気ヘッドとの間の摩擦が太き(なり、C8S等の際
に磁気ヘッドがスティックスリップしたり、吸着したり
するという問題を生じる。 このため、このような組み
合わせにおいても、潤滑膜あるいは保護膜構成材料の選
択には注意を要する。
Therefore, if a suitable protective film is not selected, the friction between the magnetic disk and the magnetic head will be large (this will cause problems such as stick-slip or adsorption of the magnetic head during C8S etc.). Therefore, even in such a combination, care must be taken in selecting the materials constituting the lubricating film or protective film.

以上に挙げたような浮上型磁気ヘッドおよび磁気記録媒
体に設けられる保護潤滑膜には、種々の潤滑剤が用いら
れている。
Various lubricants are used in protective lubricant films provided on the above-mentioned flying magnetic heads and magnetic recording media.

気記録媒体と磁気ヘッドとの間の摩擦が大幅に変動し、
スティックスリップが発生しやすい状態となり好ましく
ない。
The friction between the recording medium and the magnetic head fluctuates significantly,
This is undesirable because stick-slip is likely to occur.

本発明の目的は、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間の摩
擦が小さく、かつ、耐久走行中でのその変動が少なく、
つまりスティックスリップが発生しにくく、磁気記録媒
体への磁気ヘッドの吸着が発生しにくく、しかも磁気ヘ
ッドおよび磁気記録媒体にキズあるいは破損が生じにく
い磁気記録媒体および磁気ヘッドと、これらを用いる磁
気記録再生方法とを提供することにある。
An object of the present invention is to reduce the friction between the magnetic recording medium and the magnetic head, and to minimize its fluctuation during endurance running.
In other words, magnetic recording media and magnetic heads that are less likely to cause stick-slip, less likely to cause the magnetic head to be attracted to the magnetic recording medium, and less likely to cause scratches or damage to the magnetic head and the magnetic recording medium, and magnetic recording and reproduction using these. The purpose is to provide a method.

〈発明が解決しようとする課題〉 しかし、従来のフッ素系の高分子量タイプの保護潤滑膜
では十分な保護潤滑効果は得られない。
<Problems to be Solved by the Invention> However, a sufficient protective lubricating effect cannot be obtained with the conventional fluorine-based high molecular weight type protective lubricating film.

また、従来の保護潤滑膜では、磁気記録媒体あるいは磁
気ヘッドに薄くしかも均一に成膜することは困難である
。 このため、走行中に磁く課題を解決するための手段
〉 このような目的は、下記(1)〜(10)の本発明によ
り達成される。
Further, with conventional protective lubricant films, it is difficult to form a thin and uniform film on a magnetic recording medium or a magnetic head. Means for Solving the Problem of Magnetism During Travel> Such objects are achieved by the present invention as described in (1) to (10) below.

(1)剛性基板上に磁性層を有する磁気記録媒体に、浮
上型磁気ヘッドを用いて記録および再生を行う方法であ
って、 前記磁性層上および/または前記浮上型磁気ヘッドの少
なくとも浮揚面上に、融点30℃未満のアルコールを含
有する保護潤滑膜を有することを特徴とする磁気記録再
生方法。
(1) A method for recording and reproducing information on a magnetic recording medium having a magnetic layer on a rigid substrate using a floating magnetic head, the method comprising: on the magnetic layer and/or at least on the floating surface of the floating magnetic head; A magnetic recording and reproducing method characterized by comprising a protective lubricant film containing alcohol having a melting point of less than 30°C.

(2)前記浮上型磁気ヘッドが、薄膜型の浮上型磁気ヘ
ッドである上記(1)に記載の磁気記録再生方法。
(2) The magnetic recording and reproducing method according to (1) above, wherein the floating magnetic head is a thin film floating magnetic head.

(3)前記磁性層が酸化鉄を主成分とする磁性薄膜であ
り、前記浮上型磁気ヘッドの少なくとも浮揚面がビッカ
ース硬度1000以上のセラミックス材料から構成され
ているものである上記(1)または(2)に記載の磁気
記録再生方法。
(3) The magnetic layer is a magnetic thin film containing iron oxide as a main component, and at least the floating surface of the floating magnetic head is made of a ceramic material having a Vickers hardness of 1000 or more. 2) The magnetic recording and reproducing method described in 2).

(4)前記磁性層表面と前記浮上型磁気ヘッドの浮揚面
との距離が0.ll1I11以下である上記(1)ない
しく3)のいずれかに記載の磁気記録再生方法。
(4) The distance between the surface of the magnetic layer and the floating surface of the floating magnetic head is 0. The magnetic recording and reproducing method according to any one of (1) to 3) above, wherein ll1I11 or less.

(5)剛性基板上に磁性層を有する磁気記録媒体であっ
て、 前記磁性層が酸化鉄を主成分とする磁性薄膜であり、前
記磁性層上に、融点30℃未満のアルコールを含有する
保護潤滑膜を有することを特徴とする磁気記録媒体。
(5) A magnetic recording medium having a magnetic layer on a rigid substrate, wherein the magnetic layer is a magnetic thin film containing iron oxide as a main component, and a protective layer containing alcohol with a melting point of less than 30° C. on the magnetic layer. A magnetic recording medium characterized by having a lubricating film.

(6)前記剛性基板がガラスから構成されるものである
上記(5)に記載の磁気記録媒体。
(6) The magnetic recording medium according to (5) above, wherein the rigid substrate is made of glass.

(7)少なくとも浮揚面がビッカース硬度1000以上
のセラミックス材料から構成されており、少なくとも前
記浮揚面上に、融点30℃未満のアルコールを含有する
保護潤滑膜を有することを特徴とする薄膜型の浮上型磁
気ヘッド。
(7) At least the levitation surface is made of a ceramic material having a Vickers hardness of 1000 or more, and at least the levitation surface has a protective lubricant film containing alcohol with a melting point of less than 30°C. type magnetic head.

(8)前記セラミックス材料がAl2O3TiCを主成
分とするセラミックス、Z r O2を主成分とするセ
ラミックス、SiCを主成分とするセラミックスまたは
Aj2Nを主成分とするセラミックスである上記(7)
に記載の磁気ヘッド。
(8) The above (7), wherein the ceramic material is a ceramic whose main component is Al2O3TiC, a ceramic whose main component is Z r O2, a ceramic whose main component is SiC, or a ceramic whose main component is Aj2N.
The magnetic head described in .

(9)前記セラミックス材料がAβ203−TiCを主
成分とするセラミックス、SiCを主成分とするセラミ
ックスまたはAlNを主成分とするセラミックスである
上記(7)または(8)に記載の磁気ヘッド。
(9) The magnetic head according to (7) or (8) above, wherein the ceramic material is a ceramic whose main component is Aβ203-TiC, a ceramic whose main component is SiC, or a ceramic whose main component is AlN.

(10)前記セラミックス材料が八β203TiCを主
成分とするセラミックスである上記(7)ないしく9)
のいずれかに記載の磁気ヘッド。
(10) The above (7) or 9), wherein the ceramic material is a ceramic whose main component is 8β203TiC.
A magnetic head according to any of the above.

く作用〉 本発明では、磁気記録媒体の磁性層上および/または浮
上型磁気ヘッドの少なくとも浮揚面上に、融点30℃未
満のアルコールを含有する保護潤滑膜を有する。 この
ため、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間の摩擦係数が低
く、しかも摩擦変動が少ないため、耐久走行中でのステ
ィックスリップが発生しにくく、磁気ヘッドの媒体への
接触時に媒体およびヘッドの破損、媒体表面へのヘッド
の吸着が生じにくい。
Effect> In the present invention, a protective lubricant film containing alcohol having a melting point of less than 30° C. is provided on the magnetic layer of the magnetic recording medium and/or on at least the floating surface of the floating magnetic head. For this reason, the coefficient of friction between the magnetic recording medium and the magnetic head is low, and there is little variation in friction, so stick-slip is less likely to occur during endurance running, and damage to the medium and head occurs when the magnetic head contacts the medium. , the head is less likely to stick to the media surface.

特に、磁気記録媒体の磁性層が酸化鉄を主成分とするも
のであり、しかも、磁気ヘッドの基体がビッカース硬度
1000以上のセラミックス材料から構成されている場
合は、磁性層と磁気ヘッドとの硬度差が少く、摩擦力が
絶えず安定しているため、耐久走行中にスティックスリ
ップが発生しに<<、磁性層および磁気ヘッドのいずれ
もが破損しにくい。
In particular, when the magnetic layer of the magnetic recording medium is mainly composed of iron oxide and the base of the magnetic head is made of a ceramic material with a Vickers hardness of 1000 or more, the hardness of the magnetic layer and the magnetic head is Since the difference is small and the frictional force is constantly stable, stick-slip does not occur during endurance running, and both the magnetic layer and the magnetic head are less likely to be damaged.

さらに、本発明に用いる保護潤滑膜には、融点30℃未
満のアルコールが用いられているため、薄くしかも均一
な成膜を行なうことができる。 このため、走行中ある
いは耐久走行後の摩擦変動が少なくなり、良好な記録再
生を行うことができる。
Furthermore, since alcohol with a melting point of less than 30° C. is used in the protective lubricant film used in the present invention, a thin and uniform film can be formed. Therefore, frictional fluctuations during running or after endurance running are reduced, and good recording and reproducing can be performed.

く具体的構成〉 本発明では、磁気記録媒体の磁性層上および/または浮
上型磁気ヘッドの少なくとも浮揚面上に保護潤滑膜を有
する。
Specific Structure> In the present invention, a protective lubricant film is provided on the magnetic layer of the magnetic recording medium and/or at least on the floating surface of the floating magnetic head.

この保護潤滑膜には、融点30℃未満のアルコールを用
いる。 このようなアルコールとしては例えば以下のよ
うなものが挙げられる。
Alcohol having a melting point of less than 30° C. is used for this protective lubricating film. Examples of such alcohols include the following.

1価の飽和アルコールとして、 CHa  (CH,)、、0H CH3(CH2)90H 等。As a monohydric saturated alcohol, CHa (CH,),,0H CH3 (CH2)90H etc.

1価の不飽和アルコールとして、 C、、H、r、OH(オレイルアルコール)C、、H、
mOH C,8H3,OH C,2H2,OH C、、H2So H 等。
As a monovalent unsaturated alcohol, C,, H, r, OH (oleyl alcohol) C,, H,
mOH C, 8H3, OH C, 2H2, OH C,, H2So H, etc.

多価の天然アルコール。Polyhydric natural alcohol.

合成アルコールとして、 ドハノール23 ドハノール25 ドハノール45 オキソコール1213 オキソコール1215 オキソコール1415 アルホール1214 等。As a synthetic alcohol, Dohanor 23 dohanol 25 Dohanol 45 Oxocol 1213 Oxocol 1215 Oxocol 1415 alhol 1214 etc.

このうち、好ましくは1価の飽和ないし不飽和アルコー
ル、より好ましくは直鎖の1価の飽和ないし不飽和アル
コールである。
Among these, monovalent saturated or unsaturated alcohols are preferred, and linear monovalent saturated or unsaturated alcohols are more preferred.

そして、保護潤滑膜には、1種あるいは2種以上の前記
アルコールを用いる。 このため、均一な薄膜を形成す
ることができる。
One or more of the above alcohols are used for the protective lubricant film. Therefore, a uniform thin film can be formed.

本発明において保護潤滑膜の厚さは4〜300人程度で
あることが好ましい。 4人未満では十分な本発明の効
果が得られず特に耐久性が劣り、300人をこえると吸
着が発生し、磁気ヘッドのクラッシュを起こす場合があ
る。 なお、より好ましい膜厚は4〜100人であり、
さらに好ましい膜厚は4〜80人であり、さらに好まし
い膜厚は5〜40人であり、さらに好ましい膜厚は10
〜30人である。 そして、特に単分子層からなるもの
が好ましい。
In the present invention, the thickness of the protective lubricating film is preferably about 4 to 300 layers. If there are fewer than 4 people, sufficient effects of the present invention cannot be obtained and the durability is especially poor, and if more than 300 people are involved, adhesion may occur and the magnetic head may crash. In addition, the more preferable film thickness is 4 to 100 people,
A more preferable film thickness is 4 to 80 people, an even more preferable film thickness is 5 to 40 people, and an even more preferable film thickness is 10 people.
~30 people. In particular, those consisting of a monomolecular layer are preferred.

融点30℃未満のアルコールの保護潤滑膜の形成方法に
特に制限はなく、例えば塗布法等を用いればよい。
There is no particular restriction on the method of forming the protective lubricating film of alcohol having a melting point of less than 30° C., and for example, a coating method may be used.

塗布法を用いる場合、塗布溶液としては、炭化水素系(
キシレン、ベンゼン等)、ハロゲン化炭化水素系(クロ
ロホルム等の塩素化物溶剤、フロン等のフッ素化物溶剤
等)、ニトロ化炭化水素系にトロベンゼン等)、アルコ
ール類系(エチルアルコール、メチルアルコール、プロ
ピルアルコール等)、ケトン類系(アセトン等)、複素
環化合物系(キノリン等)、アミン類系、エーテル類系
、エステル類系、酸類系などが挙げられる。
When using the coating method, the coating solution is hydrocarbon-based (
xylene, benzene, etc.), halogenated hydrocarbons (chlorinated solvents such as chloroform, fluorinated solvents such as CFCs, etc.), nitrated hydrocarbons (trobenzene, etc.), alcohols (ethyl alcohol, methyl alcohol, propyl (alcohols, etc.), ketones (acetone, etc.), heterocyclic compounds (quinoline, etc.), amines, ethers, esters, acids, etc.

また、塗布方法は、スピンコード、ディッピング、スプ
レーコート等を適宜選択すればよい。
Further, as the coating method, spin cord, dipping, spray coating, etc. may be selected as appropriate.

また、本発明の保護潤滑膜には、上記のアルコールに加
え、他の化合物を含有していてもよい。
Further, the protective lubricant film of the present invention may contain other compounds in addition to the above-mentioned alcohol.

この場合も保護潤滑膜の形成方法に特に制限はなく、ラ
ングミュア・プロジェット(LB)法、塗布法等から適
当に選択すればよい。
In this case as well, the method for forming the protective lubricant film is not particularly limited, and may be appropriately selected from the Langmuir-Prodgett (LB) method, the coating method, and the like.

例えば、LB法を用いる場合、被着体基板(磁気記録媒
体または浮上型磁気ヘッド)を水相中に浸漬する。 次
いで、所定のアルコールや化合物を含有する展開溶液を
所定量水相に均一に落とし、単分子膜を展開する。
For example, when using the LB method, the adherend substrate (magnetic recording medium or floating magnetic head) is immersed in an aqueous phase. Next, a predetermined amount of a developing solution containing a predetermined alcohol or compound is uniformly dropped onto the aqueous phase to develop a monomolecular film.

次に、表面圧が所定の張力となるまで気液界面を圧縮し
た後、一定圧を保つように界面を圧縮しなから被着体基
板を所定の速度で水相中からほぼ垂直に上昇させて、被
着体基板上に単分子膜を移し取る。 次いで、付着した
水を必要に応じ乾燥させる。 さらに、必要に応じ、同
じ操作を繰り返すことによって累積膜を得る。
Next, after compressing the gas-liquid interface until the surface pressure reaches a predetermined tension, the adherend substrate is lifted almost vertically out of the aqueous phase at a predetermined speed without compressing the interface to maintain a constant pressure. Then, transfer the monomolecular film onto the adherend substrate. Next, the attached water is dried as necessary. Furthermore, if necessary, a cumulative film is obtained by repeating the same operation.

累積数は1〜20層程度、より好ましくは1〜5層程度
、特に好ましくは1層、すなわち単分子層であることが
好ましい。
The cumulative number is preferably about 1 to 20 layers, more preferably about 1 to 5 layers, particularly preferably one layer, that is, a monomolecular layer.

なお、被着体基板表面に疎水性、あるいは親水性の処理
を行い、この上にLB法により有機膜を形成してもよい
Note that the surface of the adherend substrate may be treated to make it hydrophobic or hydrophilic, and an organic film may be formed thereon by the LB method.

疎水処理はLB法や気相法等により行なうことができ、
この場合、脂肪酸、エステル、アルコール等の1種以上
を用いることが好ましい。 また、基板の親木処理を行
う場合は、プラズマ法、スパッタ法、溶剤、イオンボン
バード、逆スパツタリング等により行なえばよい。
Hydrophobic treatment can be carried out by the LB method, gas phase method, etc.
In this case, it is preferable to use one or more of fatty acids, esters, alcohols, etc. Further, when performing parent wood treatment on the substrate, it may be performed by a plasma method, a sputtering method, a solvent, ion bombardment, reverse sputtering, or the like.

LB法において展開する溶液の溶媒としては、上記塗布
法における溶媒を用いることができる。
As the solvent for the solution developed in the LB method, the solvent used in the coating method described above can be used.

本発明に用いる磁気記録媒体は、剛性基板上に薄膜磁性
層を有する。 そして、その磁性層に特に制限はな(、
公知の塗布型磁性層、連続薄膜型の磁性層のいずれに対
しても本発明は効果を発揮するが、特に、酸化鉄を主成
分とする連続薄膜型の磁性層の場合、本発明は高い効果
を示す。
The magnetic recording medium used in the present invention has a thin magnetic layer on a rigid substrate. There are no particular restrictions on the magnetic layer (,
Although the present invention is effective for both known coated magnetic layers and continuous thin film magnetic layers, the present invention is particularly effective for continuous thin film magnetic layers containing iron oxide as the main component. Show effectiveness.

以下、酸化鉄を主成分とする連続薄膜型の磁性層を有す
る磁気記録媒体について説明する。
A magnetic recording medium having a continuous thin film type magnetic layer containing iron oxide as a main component will be described below.

剛性基板の材質に特に制限はないが、下地層などを設層
する必要がな(製造工程が簡素になること、また、研磨
が容易で表面粗さの制御が簡単であることから、本発明
ではガラスを用いることが好ましい。
There is no particular restriction on the material of the rigid substrate, but the present invention eliminates the need to provide a base layer (the manufacturing process is simple, polishing is easy, and the surface roughness can be easily controlled). It is preferable to use glass.

ガラスとしては、強化ガラスを用いることが好ましい。As the glass, it is preferable to use tempered glass.

 このようなガラスとしては、特開昭62−43819
号公報に記載されているような表面強化ガラスが挙げら
れる。
As such glass, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-43819
Examples include surface-strengthened glass as described in Japanese Patent Publication No.

剛性基板の表面粗さ(Rmax)は、100Å以下であ
ることが好ましい。 このような表面粗さは、例えば、
特開昭62−43819号公報に記載されているような
メカノケミカルポリッシングなどにより得ることができ
る。 なお、Rmaxは50Å以下であることがさらに
好ましい。 本発明では薄膜磁性層をこの基板上に直接
設層するため、磁性層の表面粗さは、基板の表面粗さと
ほぼ等しくなる。 基板の表面粗さを上記範囲内とすれ
ば、磁性層表面と浮上型磁気ヘッドの浮揚面との距離を
0.1μm以下に保って記録および再生を行なうことが
でき、高密度記録が可能となる。 そして、本発明では
磁性層上および/または磁気ヘッドの浮揚面に前述した
保護潤滑膜を有するため、媒体と磁気ヘッドとが接触し
た場合でも磁気ヘッドの吸着や媒体および磁気ヘッド表
面のキズが生じない。
The surface roughness (Rmax) of the rigid substrate is preferably 100 Å or less. Such surface roughness is, for example,
It can be obtained by mechanochemical polishing as described in JP-A-62-43819. Note that Rmax is more preferably 50 Å or less. In the present invention, since the thin film magnetic layer is directly formed on this substrate, the surface roughness of the magnetic layer is approximately equal to the surface roughness of the substrate. If the surface roughness of the substrate is within the above range, recording and reproduction can be performed while maintaining the distance between the magnetic layer surface and the floating surface of the floating magnetic head at 0.1 μm or less, making high-density recording possible. Become. In addition, since the present invention has the aforementioned protective lubricant film on the magnetic layer and/or the floating surface of the magnetic head, even if the medium and the magnetic head come into contact, the magnetic head will not be attracted or the surface of the medium and the magnetic head will be scratched. do not have.

ガラス基板の材質に特に制限はなく、ホウケイ酸ガラス
、アルミノケイ酸ガラス、石英ガラス、チタンケイ酸ガ
ラス等のガラスから適当に選択することができる。 た
だし、特開昭62−43819号公報に記載されている
ようなメカノケミカルポリッシングにより表面平滑化を
行なう場合、結晶質を含まないガラスを用いることが好
ましい。 これは、メカノケミカルポリッシングにより
結晶粒界が比較的率(研磨されてしまい、上記のような
Rmaxが達成できないからである。
The material of the glass substrate is not particularly limited and can be appropriately selected from glasses such as borosilicate glass, aluminosilicate glass, quartz glass, and titanium silicate glass. However, when smoothing the surface by mechanochemical polishing as described in JP-A-62-43819, it is preferable to use glass that does not contain crystalline materials. This is because the grain boundaries are relatively polished by mechanochemical polishing, making it impossible to achieve the above-mentioned Rmax.

剛性基板の形状および寸法に特に制限はないが、通常、
ディスク状とされ、厚さは0.5〜5mm程度、直径は
25〜300mm程度である。
There are no particular restrictions on the shape and dimensions of the rigid substrate, but typically
It is disk-shaped, and has a thickness of about 0.5 to 5 mm and a diameter of about 25 to 300 mm.

剛性基板上には、酸化鉄を主成分とする磁性薄膜が成膜
され、磁性層とされる。
A magnetic thin film containing iron oxide as a main component is formed on the rigid substrate to form a magnetic layer.

磁性層の層厚は、生産性、磁気特性等を考慮して、50
0〜3000人程度とすることが好ましい。
The thickness of the magnetic layer is set at 50 mm in consideration of productivity, magnetic properties, etc.
It is preferable to set the number to about 0 to 3000 people.

磁性層の成膜は公知の気相成膜法等により行なえばよい
が、スパッタ法、特に反応性スパッタ法を用いることが
好ましい。
Although the magnetic layer may be formed by a known vapor phase deposition method, it is preferable to use a sputtering method, particularly a reactive sputtering method.

なお、磁性層中には、成膜雰囲気中に含まれるAr等が
含有されていてもよい。
Note that the magnetic layer may contain Ar or the like contained in the film-forming atmosphere.

このようにして得られる磁性層の表面粗さは、剛性基板
の表面粗さとほぼ等しいものである。
The surface roughness of the magnetic layer thus obtained is approximately equal to that of the rigid substrate.

なお、このようにして設層される磁性層は、特開昭62
−43819号公報に記載されている。
The magnetic layer formed in this way is described in Japanese Patent Application Laid-open No. 62
It is described in the publication No.-43819.

このような方法の他、本発明では、蒸着法、めっき法に
より酸化鉄を主成分とする薄膜を形成する方法、あるい
は薄膜形成後に熱処理な施す方法等によって磁性層を設
層してもよい。
In addition to such a method, in the present invention, the magnetic layer may be formed by a method of forming a thin film mainly composed of iron oxide by vapor deposition or plating, or by a method of performing heat treatment after forming the thin film.

このような磁性層上に、前述した保護潤滑膜が成膜され
る。
The aforementioned protective lubricant film is formed on such a magnetic layer.

なお、磁性層上に保護潤滑膜を成膜した後、保護潤滑膜
上を研磨してもよい。
Note that after forming a protective lubricant film on the magnetic layer, the protective lubricant film may be polished.

本発明では、酸化鉄を主成分とするこのような連続薄膜
型の磁気記録媒体の他、Co−Ni等の金属気相成長膜
磁性層や金属めっき脱磁性層を有する連続薄膜型の磁気
記録媒体、あるいは酸化鉄を用いた公知の塗布型磁気記
録媒体なども好適である。
In the present invention, in addition to such a continuous thin-film magnetic recording medium containing iron oxide as a main component, a continuous thin-film magnetic recording medium having a metal vapor-phase grown film magnetic layer such as Co-Ni or a metal plating demagnetizing layer can be used. Media or known coated magnetic recording media using iron oxide are also suitable.

次に、本発明の磁気ヘッドについて説明する。Next, the magnetic head of the present invention will be explained.

本発明の磁気ヘッドは、そのフロント面(浮揚面)に前
述した保護潤滑膜を有する。
The magnetic head of the present invention has the aforementioned protective lubricant film on its front surface (floating surface).

本発明の磁気ヘッドは、ハードタイプの磁気記録媒体と
組み合わされて使用される浮上型磁気ヘッドに適用され
た場合、高い効果を発揮する。
The magnetic head of the present invention exhibits high effects when applied to a floating magnetic head used in combination with a hard type magnetic recording medium.

本発明は、公知のコンポジット型の浮上型磁気ヘッド、
モノリシック型の浮上型磁気ヘッド等に適用された場合
でも高い効果を発揮するが、特に、薄膜型の浮上型磁気
ヘッドに適用された場合に、極めて高い効果を示す。
The present invention provides a known composite type floating magnetic head,
Although it is highly effective even when applied to a monolithic floating magnetic head, it is particularly effective when applied to a thin film floating magnetic head.

以下、薄膜型の浮上型磁気ヘッドについて説明する。The thin film type floating magnetic head will be explained below.

第1図に、本発明の磁気ヘッドの好適実施例である薄膜
型の浮上型磁気ヘッドを示す。
FIG. 1 shows a thin film floating type magnetic head which is a preferred embodiment of the magnetic head of the present invention.

第1図に示される浮上型磁気ヘッド1は、基体2上に、
絶縁層31、下部磁極層41、ギャップ層5、絶縁層3
3、コイル層6、絶縁層35、上部磁極層45および保
護層7を順次有する。
The floating magnetic head 1 shown in FIG.
Insulating layer 31, bottom pole layer 41, gap layer 5, insulating layer 3
3. It has a coil layer 6, an insulating layer 35, an upper magnetic pole layer 45, and a protective layer 7 in this order.

本発明では、このような浮上型磁気ヘッド1の少なくと
もフロント面、すなわち浮揚面に、前述した保護潤滑膜
11を有する。
In the present invention, the above-mentioned protective lubricant film 11 is provided on at least the front surface, that is, the floating surface, of such a floating magnetic head 1.

コイル層6の材質には特に制限はなく、通常用いられる
Af2、Cu等の金属を用いればよい。
There are no particular restrictions on the material of the coil layer 6, and commonly used metals such as Af2 and Cu may be used.

コイルの巻回パターンや巻回密度についても制限はなく
、公知のものを適宜選択使用すればよい。 例えば巻回
パターンについては、図示のスパイラル型の他、積層型
、ジグザグ型等いずれであってもよい。
There are no restrictions on the winding pattern or winding density of the coil, and known patterns may be appropriately selected and used. For example, the winding pattern may be a spiral type as shown in the figure, a laminated type, a zigzag type, or the like.

また、コイル層6の形成にはスパッタ法、めっき法等の
各種気相被着法な用いればよい。
Moreover, various vapor phase deposition methods such as sputtering and plating may be used to form the coil layer 6.

基体2はMn−Znフェライト等の公知の材料から構成
される。
The base body 2 is made of a known material such as Mn-Zn ferrite.

本発明の磁気ヘッドを、酸化鉄を主成分とする連続薄膜
型の磁性層を有する磁気記録媒体に対して用いる場合、
基体2はビッカース硬度1000以上のセラミック材料
から構成されることが好ましい。 このように構成する
ことにより、本発明の磁気ヘッドの効果はさらに顕著と
なる。
When the magnetic head of the present invention is used for a magnetic recording medium having a continuous thin film type magnetic layer mainly composed of iron oxide,
The base body 2 is preferably made of a ceramic material having a Vickers hardness of 1000 or more. With this configuration, the effect of the magnetic head of the present invention becomes even more remarkable.

ビッカース硬度1000以上のセラミックス材料として
は、Aβ20aTicを主成分とするセラミックス、Z
 r Oxを主成分とするセラミックス、SiCを主成
分とするセラミックスまたはAl2Nを主成分とするセ
ラミックスが好適である。 また、これらには、添加物
としてMg、Y、ZrO2,TiO2等が含有されてい
てもよい。
Ceramic materials with a Vickers hardness of 1000 or more include ceramics containing Aβ20aTic as a main component, Z
Ceramics containing rOx as a main component, ceramics containing SiC as a main component, or ceramics containing Al2N as a main component are suitable. Moreover, these may contain Mg, Y, ZrO2, TiO2, etc. as additives.

これらのうち、本発明に特に好適なものは、A I22
0 a  T i Cを主成分とするセラミックス、S
iCを主成分とするセラミックスまたはA42Nを主成
分とするセラミックスであり、これらのうち最も好適な
ものは、酸化鉄を主成分とする薄膜磁性層の硬度との関
係が最適であることから、Aβ*O*TiCを主成分と
するセラミックスである。
Among these, those particularly suitable for the present invention are A I22
Ceramics whose main component is 0 a T i C, S
Ceramics containing iC as a main component or ceramics containing A42N as a main component are the most preferred among these, since they have the best relationship with the hardness of the thin film magnetic layer containing iron oxide as a main component. It is a ceramic whose main component is *O*TiC.

下部および上部磁極層41.45の材料としては、従来
公知のものはいずれも使用可能であり、例えばパーマロ
イ、センダスト、Co系非晶質磁性合金等を用いること
ができる。
As the material for the lower and upper magnetic pole layers 41, 45, any conventionally known material can be used, such as permalloy, sendust, Co-based amorphous magnetic alloy, etc.

磁極は通常、図示のように下部磁極層41および上部磁
極層45として設けられ、下部磁極層41および上部磁
極層45の間にはギャップ層5が形成される。
The magnetic poles are usually provided as a lower magnetic pole layer 41 and an upper magnetic pole layer 45 as shown in the figure, and a gap layer 5 is formed between the lower magnetic pole layer 41 and the upper magnetic pole layer 45.

ギャップ層5は、Al2203 、SiO□等公知の種
々の材料であってよい。
The gap layer 5 may be made of various known materials such as Al2203 and SiO□.

これら磁極層41.45およびギャップ層5のパターン
、膜厚等は公知のいずれのものであってもよい。
The patterns, film thicknesses, etc. of the pole layers 41, 45 and the gap layer 5 may be any known ones.

さらに、図示例ではコイル層6はいわゆるスパイラル型
としてスパイラル状に上部および下部磁極層41.45
間に配設されており、コイル層6と上部および下部磁極
層41.45間には絶縁層33.35が設層されている
Furthermore, in the illustrated example, the coil layer 6 is of a so-called spiral type, with upper and lower magnetic pole layers 41 and 45 spirally arranged.
An insulating layer 33.35 is provided between the coil layer 6 and the upper and lower magnetic pole layers 41.45.

また下部磁極層41と基体2間には絶縁層31が設層さ
れている。
Further, an insulating layer 31 is provided between the lower magnetic pole layer 41 and the base body 2.

絶縁層の材料としては従来公知のものはいずれも使用可
能であり、例えば、薄膜作製をスパッタ法により行なう
ときには、5in2.ガラス、AI2.03等を用いる
ことができる。
As the material for the insulating layer, any conventionally known material can be used. For example, when producing a thin film by sputtering, 5in2. Glass, AI2.03, etc. can be used.

また、上部磁極45上には保護層7が設層されている。Further, a protective layer 7 is provided on the upper magnetic pole 45 .

 保護層の材料としては従来公知のものはいずれも使用
可能であり、例えばA℃20S等を用いることができる
。 また、これらに各種樹脂コート層等を積層してもよ
い。
As the material for the protective layer, any conventionally known material can be used, such as A.degree. C. 20S. Further, various resin coat layers or the like may be laminated thereon.

このような浮上型磁気ヘッドの製造工程は、通常、薄膜
作成とパターン形成とによって行なわれる。
The manufacturing process of such a floating magnetic head is usually performed by forming a thin film and forming a pattern.

各層の薄膜作成には、上記したように、従来公知の技術
である気相被着法、例えば真空蒸着法、スパッタ法、あ
るいはメツキ法等を用いればよい。
As described above, the thin film of each layer may be formed by using a conventionally known technique such as a vapor deposition method such as a vacuum evaporation method, a sputtering method, or a plating method.

浮上型磁気ヘッドの各層のパターン形成は、従来公知の
技術である選択エツチングあるいは選択デポジションに
より行なうことができる。
Pattern formation of each layer of the floating magnetic head can be performed by selective etching or selective deposition, which are conventionally known techniques.

エツチングとしてはウェットエツチングやドライエツチ
ングにより行なうことができる。
Etching can be performed by wet etching or dry etching.

また、保護潤滑膜11は、前述した方法により成膜すれ
ばよい。
Further, the protective lubricant film 11 may be formed by the method described above.

保護潤滑膜が成膜された浮上型磁気ヘッドは、アーム等
の従来公知のアセンブリーと組み合わせて使用される。
A floating magnetic head on which a protective lubricant film is formed is used in combination with a conventionally known assembly such as an arm.

〈実施例〉 以下、本発明を実施例によって具体的に説明する。<Example> Hereinafter, the present invention will be specifically explained with reference to Examples.

[実施例1] 〈磁気ヘッドの形成〉 スパッタ法によりAl2203−TiC基体上に薄膜を
形成し、ドライエツチングによってパターンを形成した
後、スライダ構造として磁気ヘッドを得た。 このAl
2O3−TiC基体のビッカース硬度は2200であっ
た。
[Example 1] <Formation of magnetic head> A thin film was formed on an Al2203-TiC substrate by sputtering, and a pattern was formed by dry etching to obtain a magnetic head as a slider structure. This Al
The Vickers hardness of the 2O3-TiC substrate was 2200.

く磁気ヘッドへの保護潤滑膜形成〉 上記磁気ヘッドに保護潤滑膜を形成するに際しては、融
点が30℃未満の直鎖のアルコールを用い、以下の通り
とした。
Formation of a protective lubricant film on the magnetic head When forming a protective lubricant film on the magnetic head, a linear alcohol having a melting point of less than 30° C. was used as follows.

ドライエツチングによるパターン形成後に、少なくとも
浮揚面(フロント面)に保護潤滑膜を成膜した。
After pattern formation by dry etching, a protective lubricant film was formed at least on the floating surface (front surface).

保護潤滑膜を構成するアルコールや他の化合物の組成な
らびに保護潤滑膜の成膜方法および膜厚な、表1に示す
。 なお、保護潤滑膜をLB法により成膜した場合は、
LB膜の累積数を併記した。 また、膜厚の測定は、E
SCAにより行なった。
Table 1 shows the composition of alcohol and other compounds constituting the protective lubricant film, as well as the method and thickness of the protective lubricant film. In addition, when the protective lubricant film is formed by the LB method,
The cumulative number of LB films is also listed. In addition, the film thickness is measured by E
This was done by SCA.

また、表1に示す保護潤滑膜成膜方法の詳細は、下記の
通りである。
Further, details of the protective lubricant film forming method shown in Table 1 are as follows.

(LB法) 表1に示す化合物の10−4モル/I2クロロホルム溶
液を調製し、展開溶液とした。
(LB method) A 10-4 mol/I2 chloroform solution of the compound shown in Table 1 was prepared and used as a developing solution.

まず、水相中に被処理基板(磁気ヘッ ド)を浸漬した後、展開溶液な水相表面に均一に落し、
単分子膜を展開した。
First, the substrate to be processed (magnetic head) is immersed in the aqueous phase, and then uniformly dropped onto the surface of the aqueous phase, which is a developing solution.
A monolayer was developed.

次に、表面圧が所定圧となるまで界面を圧縮し、被処理
基板を一定の速度でほぼ垂直に上昇させて被処理基板上
に単分子膜を移し取り、さらに被処理基板の下降および
上昇を繰り返して単分子膜を累積し、保護潤滑膜とした
Next, the interface is compressed until the surface pressure reaches a predetermined pressure, and the substrate to be processed is raised almost vertically at a constant speed to transfer the monomolecular film onto the substrate to be processed, and then the substrate to be processed is lowered and raised. This process was repeated to accumulate a monomolecular film, forming a protective lubricant film.

(塗布法) 表1に示す化合物のクロロホルム溶液を塗布溶液とした
。 濃度は、ディッピングの場合0.1wt%とし、ス
ピンコードの場合0.2wt%とした。
(Coating method) A chloroform solution of the compound shown in Table 1 was used as a coating solution. The concentration was 0.1 wt% for dipping and 0.2 wt% for spin code.

このようにして作製された磁気ヘッドをアームと組合わ
せて、空気ベアリング型の浮上型磁気ヘッドを作製した
The thus produced magnetic head was combined with an arm to produce an air bearing type floating magnetic head.

〈磁気ディスクの形成〉 外径130mm、内径40mm、厚さ1.9mmのアル
ミノケイ酸ガラス板に化学強化処理を施した。 化学強
化処理は、450℃の溶融硝酸カリウムに10時間浸漬
することにより行なった。
<Formation of magnetic disk> An aluminosilicate glass plate having an outer diameter of 130 mm, an inner diameter of 40 mm, and a thickness of 1.9 mm was chemically strengthened. The chemical strengthening treatment was performed by immersing it in molten potassium nitrate at 450°C for 10 hours.

次いで、このガラス板表面をメカノケミカルポリッシン
グにより平滑化し、磁気ディスク基板とした。 メカノ
ケミカルポリッシングには、コロイダルシリカを含む研
磨液を用いた。 磁気ディスク基板の表面粗さ(Rma
x)は90人であった。
Next, the surface of this glass plate was smoothed by mechanochemical polishing to obtain a magnetic disk substrate. A polishing liquid containing colloidal silica was used for mechanochemical polishing. Surface roughness of magnetic disk substrate (Rma
x) was 90 people.

次いで、Feをターゲットとし、Ar:0、=50 :
 50で10−”Torrの雰囲気中で反応性スパッタ
を行ない、2000人のα−Fe2eg膜を成膜した。
Next, with Fe as the target, Ar: 0, = 50:
Reactive sputtering was performed in an atmosphere of 10-'' Torr at 50° C. to form a 2000 .alpha.-Fe2eg film.

 次に、水素気流中で360℃にて2時間還元処理を行
なってFe5O4膜とした後、空気中で310℃にて1
時間酸化を行ない、γ−Fe*Osの磁性層とした。 
この磁性層のRmaxは100人であった。
Next, reduction treatment was performed at 360°C for 2 hours in a hydrogen stream to form a Fe5O4 film, and then 1 hour was performed at 310°C in air.
Time oxidation was performed to obtain a γ-Fe*Os magnetic layer.
The Rmax of this magnetic layer was 100 people.

〈磁気ディスクへの保護潤滑膜形成〉 上記磁気ディスクの磁性層上に保護潤滑膜を成膜した磁
気ディスクを作製した。
<Formation of a protective lubricant film on a magnetic disk> A magnetic disk was prepared by forming a protective lubricant film on the magnetic layer of the magnetic disk.

保護潤滑膜を構成する化合物ならびに保護潤滑膜の成膜
方法および膜厚な、表1に示す。
Table 1 shows the compounds constituting the protective lubricant film, the method of forming the protective lubricant film, and the film thickness.

表1に示す成膜方法は、上記磁気ヘッドの場合と同様で
ある。
The film forming method shown in Table 1 is the same as that for the magnetic head described above.

以上のようにして得られた浮上型磁気ヘッドと磁気ディ
スクとを表1に示すように組み合わせて、浮上型磁気ヘ
ッドと磁気ディスク間の初期および耐久走行後の摩擦な
らびに吸着を測定した。 耐久走行は20℃、60%R
Hの条件下で、1100rpにて30分間接接触性させ
ることにより行ない、摩擦はlrpm回転時の動摩擦係
数で表わした。
The floating magnetic heads and magnetic disks obtained as described above were combined as shown in Table 1, and the friction and adhesion between the floating magnetic heads and the magnetic disks at the initial stage and after running for a long time were measured. Endurance running at 20℃, 60%R
The test was carried out under the conditions of 1100 rpm for 30 minutes under indirect contact conditions, and the friction was expressed as the coefficient of kinetic friction when rotating at 1 rpm.

結果を表1に示す。The results are shown in Table 1.

[比較例1] 下記式(I)で表わされる化合物から構成される保護潤
滑膜を有する磁気ディスクと、保護潤滑膜を有していな
い浮上型磁気ヘッドとを、実施例1に準じて作製した。
[Comparative Example 1] A magnetic disk having a protective lubricant film composed of a compound represented by the following formula (I) and a floating magnetic head without a protective lubricant film were manufactured according to Example 1. .

式(I) これらについて、実施例1と同様な測定を行なった。Formula (I) Regarding these, measurements similar to those in Example 1 were performed.

結果を表1に示す。The results are shown in Table 1.

なお、耐久走行後の磁気ディスク表面および浮上型磁気
ヘッド浮揚面のキズを100倍の光学顕微鏡を用いて観
察したところ、実施例1の組み合わせにおいてはどちら
にもキズが認められなかったのに対し、比較例では両方
ともキズの発生が認められた。
In addition, when we observed scratches on the magnetic disk surface and floating surface of the floating magnetic head after endurance running using an optical microscope with a magnification of 100 times, no scratches were observed on either of the combinations in Example 1. In both comparative examples, scratches were observed.

[実施例2] 実施例1で作製したγ−Fe20に磁性層上に保護潤滑
膜を有する磁気ディスクおよびAc103T i C基
体上に保護潤滑膜を有する浮上型磁気ヘッドを用い、フ
ライングバイト0.1μm以下で3600rpmにて5
分間高速摺動試験を行なった。
[Example 2] Using a magnetic disk having a protective lubricant film on the magnetic layer on the γ-Fe20 fabricated in Example 1 and a floating magnetic head having a protective lubricant film on the Ac103T i C substrate, a flying bite of 0.1 μm was applied. 5 at 3600 rpm below
A minute-long high-speed sliding test was conducted.

高速摺動試験後の磁気ディスク表面および浮上型磁気ヘ
ッド浮揚面のキズを、100倍の光学顕微鏡を用いて観
察した。
After the high-speed sliding test, scratches on the magnetic disk surface and floating surface of the floating magnetic head were observed using a 100x optical microscope.

結果を表2に示す。The results are shown in Table 2.

[実施例3コ ディスク状のAj2板上にN1−P下地層をめっきによ
り設層し、この下地層上にCr層、Co−Cr磁性層、
Cからなる保護膜および上記実施例1で用いた保護潤滑
膜を順次成膜してハードタイプの磁気ディスクを作製し
た。
[Example 3] A N1-P underlayer was formed by plating on a codisc-shaped Aj2 plate, and on this underlayer, a Cr layer, a Co-Cr magnetic layer,
A hard type magnetic disk was manufactured by sequentially depositing a protective film made of carbon and the protective lubricant film used in Example 1 above.

また、実施例1で用いたビッカース硬度2200のAc
20.l−”ric基体に換え、ビッカース硬度700
のM n −Z nフェライト製基体を用い、この上に
実施例1で用いた保護潤滑膜を成膜して薄膜型の浮上型
磁気ヘッドを作製した。
In addition, Ac with a Vickers hardness of 2200 used in Example 1
20. Replaced with l-"ric substrate, Vickers hardness 700
The protective lubricant film used in Example 1 was formed on the Mn-Zn ferrite substrate to produce a thin-film floating magnetic head.

このようにして得られた磁気ディスクおよび浮上型磁気
ヘッドを組み合わせ、実施例2と同様な観察を行なった
。 また、この磁気ディスクおよび浮上型磁気ヘッドを
、それぞれ実施例2に記載の浮上型磁気ヘッドおよび磁
気ディスクと組み合わせ、同様な観察を行なった。
The thus obtained magnetic disk and flying magnetic head were combined and the same observations as in Example 2 were performed. Further, similar observations were made by combining this magnetic disk and floating magnetic head with the floating magnetic head and magnetic disk described in Example 2, respectively.

結果を表2に示す。The results are shown in Table 2.

表 組合せ No。table combination No.

浮上型磁気ヘッド 基体       キズ 磁気ディスク 磁性層    キズ 1   Aj2aO3TiC無  y  FezO++
   無2   AL (h −Tic   無  C
o−Cr    有3Mn−Znフェライト 有  y
  Fe20s   無4Mn−Znフェライト 有 
 Co−Cr    有なお、これらの組み合わせの他
、ビッカース硬度2200以上のAρN製基体および同
様な硬度を有するSiC製基体を有する浮上型磁気ヘッ
ドを用いて実施例2と同様な高速摺動試験を行なったと
ころ、キズの発生は認められなかった。 また、ビッカ
ース硬度1300のZ r O2製基体を有する浮上型
磁気ヘッドを用いて同様な測定を行なったところ、磁気
ヘッド浮揚面にわずかにキズの発生が認められたが、実
用上は問題とならない程度であった。
Floating magnetic head substrate Scratch Magnetic disk magnetic layer Scratch 1 No Aj2aO3TiC y FezO++
No 2 AL (h -Tic No C
o-Cr Yes 3Mn-Zn ferrite Yes y
Fe20s No 4Mn-Zn ferrite Yes
Co-Cr Yes In addition to these combinations, high-speed sliding tests similar to those in Example 2 were conducted using a floating magnetic head having an AρN base with a Vickers hardness of 2200 or more and a SiC base with a similar hardness. However, no scratches were observed. In addition, when similar measurements were performed using a floating magnetic head with a ZrO2 substrate with a Vickers hardness of 1300, slight scratches were observed on the floating surface of the magnetic head, but this was not a problem in practice. It was about.

また、結果は表2のとおりであるが、 No、4のMn−Znフェライト、Co−Crの組合わ
せで、ヘッド浮上量を0.2−としたところ、磁気ヘッ
ド、磁気ディスクの両者ともキズは発生せず、本発明の
効果のあることがわかった。
The results are shown in Table 2. When the head flying height was set to 0.2- with the combination of No. 4 Mn-Zn ferrite and Co-Cr, there were no scratches on both the magnetic head and the magnetic disk. It was found that the present invention was effective.

[実施例4] 上記実施例1で作製した浮上型磁気ヘッドおよび磁気デ
ィスクを用いてC8S試験を行なったところ、摩擦変動
、吸着などに関して極めて良好な結果が得られた。
[Example 4] A C8S test was conducted using the floating magnetic head and magnetic disk produced in Example 1, and very good results were obtained regarding friction fluctuations, adsorption, etc.

以上の実施例の結果から、本発明の効果が明らかである
From the results of the above examples, the effects of the present invention are clear.

〈発明の効果〉 本発明では、保護潤滑膜に、融点が30℃未満のアルコ
ールを用いているため、薄く、しかも均一な膜を形成す
ることができる。
<Effects of the Invention> In the present invention, since alcohol having a melting point of less than 30° C. is used for the protective lubricating film, a thin and uniform film can be formed.

従って、本発明によれば、磁気記録媒体と、磁気ヘッド
との間の摩擦が小さく、しかも、その変動が小さ(、こ
のためスティックスリップや磁気記録媒体への磁気ヘッ
ドの吸着が発生しにくい。
Therefore, according to the present invention, the friction between the magnetic recording medium and the magnetic head is small, and its fluctuation is small (therefore, stick-slip and adsorption of the magnetic head to the magnetic recording medium are less likely to occur).

このため耐久走行を行った場合、安定した走行が得られ
、磁気記録媒体および磁気ヘッドの双方のキズの発生や
、スティックスリップを有効に防止できる。
Therefore, when running for a long time, stable running can be obtained, and it is possible to effectively prevent scratches and stick-slip on both the magnetic recording medium and the magnetic head.

そして、酸化鉄を主成分とする磁性層を有する磁気記録
媒体と、ビッカース硬度1000以上のセラミックス材
料から構成される基体を有する薄膜型の浮上型磁気ヘッ
ドとを組合わせて用いる場合は、特に前記の効果は顕著
となる。
In particular, when a magnetic recording medium having a magnetic layer containing iron oxide as a main component and a thin-film floating magnetic head having a base made of a ceramic material having a Vickers hardness of 1000 or more are used in combination, The effect is significant.

符号の説明 1・・・浮上型磁気ヘッド 2・・・基体 31.33.35・・・絶縁層 41・・・下部磁極層 45・・・上部磁極層 5・・・ギャップ層 6・・・コイル層 7・・・保護層 11・・・保護潤滑膜Explanation of symbols 1...Floating magnetic head 2...Base 31.33.35...Insulating layer 41...Lower magnetic pole layer 45...Top pole layer 5...Gap layer 6...Coil layer 7...Protective layer 11...Protective lubricant film

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の磁気ヘッドの好適実施例である薄膜
型の浮上型磁気ヘッドを示す部分断面図である。
FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a thin film floating type magnetic head which is a preferred embodiment of the magnetic head of the present invention.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)剛性基板上に磁性層を有する磁気記録媒体に、浮
上型磁気ヘッドを用いて記録および再生を行う方法であ
って、 前記磁性層上および/または前記浮上型磁気ヘッドの少
なくとも浮揚面上に、融点30℃未満のアルコールを含
有する保護潤滑膜を有することを特徴とする磁気記録再
生方法。
(1) A method for recording and reproducing information on a magnetic recording medium having a magnetic layer on a rigid substrate using a floating magnetic head, the method comprising: on the magnetic layer and/or at least on the floating surface of the floating magnetic head; A magnetic recording and reproducing method characterized by comprising a protective lubricant film containing alcohol having a melting point of less than 30°C.
(2)前記浮上型磁気ヘッドが、薄膜型の浮上型磁気ヘ
ッドである請求項1に記載の磁気記録再生方法。
(2) The magnetic recording and reproducing method according to claim 1, wherein the floating magnetic head is a thin film floating magnetic head.
(3)前記磁性層が酸化鉄を主成分とする磁性薄膜であ
り、前記浮上型磁気ヘッドの少なくとも浮揚面がビッカ
ース硬度1000以上のセラミックス材料から構成され
ているものである請求項1または2に記載の磁気記録再
生方法。
(3) The magnetic layer is a magnetic thin film containing iron oxide as a main component, and at least the floating surface of the floating magnetic head is made of a ceramic material having a Vickers hardness of 1000 or more. The described magnetic recording and reproducing method.
(4)前記磁性層表面と前記浮上型磁気ヘッドの浮揚面
との距離が0.1μm以下である請求項1ないし3のい
ずれかに記載の磁気記録再生方法。
(4) The magnetic recording and reproducing method according to any one of claims 1 to 3, wherein the distance between the surface of the magnetic layer and the floating surface of the floating magnetic head is 0.1 μm or less.
(5)剛性基板上に磁性層を有する磁気記録媒体であっ
て、 前記磁性層が酸化鉄を主成分とする磁性薄膜であり、前
記磁性層上に、融点30℃未満のアルコールを含有する
保護潤滑膜を有することを特徴とする磁気記録媒体。
(5) A magnetic recording medium having a magnetic layer on a rigid substrate, wherein the magnetic layer is a magnetic thin film containing iron oxide as a main component, and a protective layer containing alcohol with a melting point of less than 30° C. on the magnetic layer. A magnetic recording medium characterized by having a lubricating film.
(6)前記剛性基板がガラスから構成されるものである
請求項5に記載の磁気記録媒体。
(6) The magnetic recording medium according to claim 5, wherein the rigid substrate is made of glass.
(7)少なくとも浮揚面がビッカース硬度 1000以上のセラミックス材料から構成されており、
少なくとも前記浮揚面上に、融点30℃未満のアルコー
ルを含有する保護潤滑膜を有することを特徴とする薄膜
型の浮上型磁気ヘッド。
(7) At least the floating surface is made of a ceramic material with a Vickers hardness of 1000 or more,
A thin-film floating magnetic head, comprising a protective lubricant film containing alcohol having a melting point of less than 30° C. on at least the floating surface.
(8)前記セラミックス材料がAl_2O_3−TiC
を主成分とするセラミックス、ZrO_2を主成分とす
るセラミックス、SiCを主成分とするセラミックスま
たはAlNを主成分とするセラミックスである請求項7
に記載の磁気ヘッド。
(8) The ceramic material is Al_2O_3-TiC
Claim 7: A ceramic whose main component is ZrO_2, a ceramic whose main component is SiC, or a ceramic whose main component is AlN.
The magnetic head described in .
(9)前記セラミックス材料がAl_2O_3−TiC
を主成分とするセラミックス、SiCを主成分とするセ
ラミックスまたはAlNを主成分とするセラミックスで
ある請求項7または8に記載の磁気ヘッド。
(9) The ceramic material is Al_2O_3-TiC
9. The magnetic head according to claim 7, wherein the magnetic head is a ceramic whose main component is SiC, a ceramic whose main component is AlN, or a ceramic whose main component is AlN.
(10)前記セラミックス材料がAl_2O_3−Ti
Cを主成分とするセラミックスである請求項7ないし9
のいずれかに記載の磁気ヘッド。
(10) The ceramic material is Al_2O_3-Ti
Claims 7 to 9 are ceramics containing C as a main component.
A magnetic head according to any of the above.
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