JPH0220322U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0220322U JPH0220322U JP9728488U JP9728488U JPH0220322U JP H0220322 U JPH0220322 U JP H0220322U JP 9728488 U JP9728488 U JP 9728488U JP 9728488 U JP9728488 U JP 9728488U JP H0220322 U JPH0220322 U JP H0220322U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- setting section
- mask setting
- light source
- optical system
- wafer chuck
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の実施例を示す図、第２図は従
来の露光装置を示す図である。 図において、１０は基台、１１，２０は支柱、
１２はマスクセツト部、１３は回転駆動部、１４
は回転テーブル、１５は光源、１６は光学的系、
１７はウエハーチヤツク、１９はマスク、２４は
ウエハーを示す。
来の露光装置を示す図である。 図において、１０は基台、１１，２０は支柱、
１２はマスクセツト部、１３は回転駆動部、１４
は回転テーブル、１５は光源、１６は光学的系、
１７はウエハーチヤツク、１９はマスク、２４は
ウエハーを示す。
Claims (1)
- 複数枚のマスク１９を円周方向に並べてセツト
可能なマスクセツト部１２と、該マスクセツト部
１２の上方に配置された光源１５と、マスクセツ
ト部１２の下方に配置された転写用の光学系１６
及びウエハーチヤツク１７とを具備し、上記光源
１５と光学系１６とウエハーチヤツク１７とが一
体となつてマスクセツト部１２に対して回転可能
に設けられて成ることを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9728488U JPH0220322U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9728488U JPH0220322U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220322U true JPH0220322U (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=31322613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9728488U Pending JPH0220322U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0220322U (ja) |
-
1988
- 1988-07-25 JP JP9728488U patent/JPH0220322U/ja active Pending