JPH0220338U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す一部破断斜視
図、第２図は従来の一例を示す一部破断斜視図で
ある。 １……基盤、２……固定部、３……ガイド軸、
４……ステージ、４ａ……支柱、５……駆動部、
５ａ……支柱、６……可動部、７……ラツク、８
……ピニオン、９，９′……位置決めプレート、
９ａ……ウエハ対向面、９′ａ……ウエハ把持面
、１０……把持部材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基盤と前記基盤に互に間隔を置いて固定された
   一対の固定部と前記固定部に固定され互に平行に
   設けられた少くとも２本のガイド軸とからなる基
   盤部材と、前記基盤に固着する支柱を有し前記支
   柱と連接し上面にウエハを載置するステージとか
   らなるウエハ載置部材と、前記固定部に装着され
   る駆動部と駆動部により駆動され往復運動をする
   駆動軸とを含む駆動部材と、前記駆動軸が一方に
   結合し前記ガイド軸に摺動自在に設けられた一対
   の可動部と前記可動部に固定されギヤ面が対向し
   た一対のラツクと前記ラツクと噛合するピニオン
   を有するラツクピニオン機構とからなる可動部材
   と、前記可動部に対応してそれぞれ設けられ前記
   ステージに対向してウエハ対向面が設けられた導
   電材からなる位置決めプレートと前記ウエハの外
   周部に接する内周面を形成し前記ウエハ対向面に
   取付けられる導電ゴムで形成された把持部材とか
   らなる位置決め部材とを含むことを特徴とするウ
   エハ位置決め機構。