JPH0220373B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、１個または複数の工具を正確に位置
決めする方法と装置に関し、更に詳しくは、パイ
プ体の端面に直交し、パイプ体自体の軸方向に対
し若干のずれ角をなしている軸を中心に工具を回
転させてパイプ体の端面で作業を実施する必要が
ある場合の工具位置決め方法と装置に関する。

かかる位置決めの必要性は、パイプ体の端面に
おいてかなりの高精度で作業しなければならない
場合に該端面がパイプ体の軸方向に対し必ずしも
直角になつていないときに特に痛感される。この
ような場合に、誤差がたとえ微小であつても実際
の作業において重大な性能低下を伴なうおそれが
ある。大径かつ大厚の２本のパイプを電子ビーム
溶接で接合する作業においては、電子ビーム銃の
口径が非常に小さいため、接合すべき２パイプの
対向端を突き合わせた時の２パイプ間の許容間隔
は１／２mm以下にしなければ溶接条件が満足され
ない。同様に、一方では工具（本願では、電子ビ
ーム銃）が移動する面と、他方では基準断面とな
る結合すべき一方のパイプの断面を形成する面と
の間にも上記と同程度の許容間隔が課される。

以下の説明において、後意のパイプ部材の場合
についてその面が該パイプ部材の軸方向に対し正
確に直交する理論上の面に対し若干のずれ角を生
じる可能性のある直角断面を端面とするパイプ部
材を考慮して説明する。

本発明に係る方法と装置は、パイプ部材の前記
端面で作業する工具を、前記ずれ角が存在するに
もかかわらず、所望精度で位置決めすることを目
的とする。

本発明の１つの特徴は、パイプ体の端面に直交
し、パイプ体自体の軸方向に対し若干のずれ角を
なしている軸を中心に工具を回転させてパイプ体
の実際端面で作業を行なう必要がある場合の工具
位置決め方法において、周方向に相互に等間隔な
３点をベース板に結合されたセンサーで決めるこ
とによつて前記パイプ体の仮想端面を画し、該仮
想端面は初期において支持板と平行で、前記パイ
プ体の実際の端面に対し角度的にずれているが、
次の段階で、パイプ体の軸方向に対しほぼ平行な
方向の移動によつて前記仮想端面をパイプ体の実
際の端面に近づけた後、前記仮想端面を画する前
記３点が共にパイプ体の実際の端面平面内に位置
するまで、仮想端面を所定の揺動軸を中心に順次
揺動させることからなり、前記工具が支持板に結
合されていることを特徴とする工具位置決め方法
にある。

つまり工具を所望位置にするためには、工具の
作業面の位置を前記仮想端面の面の位置に対応さ
せるだけで十分である。特に、本発明によれば、
例えば、仮想端面の平面の前記３点を画するセン
サー（検知アーム）と作業工具とを共に同一ベー
ス板上に設けることによつて、仮想端面の前記平
面の揺動を工具の作業面に追従して自動的に行な
うようにしている。したがつて、最終的に仮想端
面と実際端面の２面が一致したところで、工具を
並行移動させるだけで工具を正しい位置にするこ
とができる。

前記揺動軸が仮想端面の平面を画する前記３点
を２点ごとに結ぶ線に平行であることは、特に簡
単な構成をもたらす。事実この場合において、実
際端面の平面に最も近い点である前記３点の第１
の点と、第２の点とを通る線に平行な第１の揺動
軸を中心に第１の揺動を行なつて、第１の点と第
３の点をパイプ体の実際端面の平面内に位置づ
け、次いで前記第１の点と第３の点を通る線に平
行な第２の揺動軸を中心に第２の揺動を行なつ
て、前記第１と第３の点と第２の点つまり全３点
を同時にパイプ体の実際端面の前記平面内に位置
づけることができる。

実際には、前記３点はベース板上に設けたセン
サーで定めることができ、そのベース板の揺動軸
が、２連結点をそれぞれ、例えばねじジヤツキ軸
や油圧ジヤツキ軸、ラツクその他類似装置で構成
した筒体上の連結手段の端部とを結ぶ線になつて
いる。前記連結手段を玉継手で上記ベース板上に
連結し、例えばすべり路上の間接継手装置で、揺
動時の連結点間の間隔差を補償できるようにすれ
ば利点がある。

本発明の重要な特徴は、センサーがそれ自体、
センサーを支えるベース板に対し垂直方向に移動
可能になつていると共に、その移動量が各センサ
ーに接続した検出器で測定されることにある。つ
まり、３センサーが実際端面の平面に全て当接し
ているとき、ベース板は正しい位置になつてお
り、３検出器は同一値を測定していることは明ら
かである。したがつて、上記検出器により、ベー
ス板の位置の自動制御が可能であると共に、実際
端面とベース板との間隔を測定して工具を正しく
位置づけることができる。

センサー支持ベース板の自動位置決めは、揺動
軸が、前述したように、仮想端面を画する前記３
点の各２点間を結ぶ線に平行になるようにすれ
ば、非常に単純化される。第１と第３のセンサー
検出器が同一値を示したときに第１の揺動を停止
し、また第１と第３のセンサーの検出器と同一の
値を第２センサーが示したときに第２の揺動を停
止する。

揺動軸が、仮想端面を規定する前記３点の各２
点ごとに結ぶ線と一致していないで、たとえばこ
れらの線と平行にずれている場合は、各揺動を行
なう前に、前記点全体つまり全センサーを、該点
の第１の点の決定を可能にした移動方向と反対方
向に移動させる必要がありうる。

上記２揺動の場合は、第１の揺動の前にすべて
のセンサーを上昇させる。このとき第１のセンサ
ーも実際端面の平面からはなれるが、第１の揺動
により、第３のセンサーが当該面に近づくと同時
に第１のセンサーも再び近づく。同様に第２の揺
動の前に、すべての検出片を上昇させると第１と
第３のセンサーが実際端面の平面から離れるが、
第２の揺動により、第１と第３のセンサーは第２
のセンサーと同時に当該平面に近づく。

次に上述の方法を実施するための本発明に係る
装置について説明する。本装置の構成要素のいく
つかについてはすでに言及したが、本装置は工具
位置決めを連続的に実行する各種手段群からなる
ものである。

本発明の別な特徴は、パイプ体の端面に直角な
平面内で動作するように作業工具を位置決めする
装置で、パイプ体に対して実質上相対的に配置さ
れるケーシングを有するものにおいて：支持板；
支持板に支持され、パイプ体を支持板に取り付け
る結合手段；第１のベース板；第１のベース板に
取り付けられ、仮想平面を決める３点を決める少
なくとも３コのセンサーと、第１のベース板上に
取り付けられた作業工具；及び第１のベース板を
支持板上に支持し、第１のベース板を揺動可能で
あることによつて、前記仮想平面が前記端面の実
際平面と一致せしめられるようになす複数の垂直
方向調整可能部材；を備えて成ることを特徴とす
る工具位置決め装置にある。好ましい実施例にお
いて、結合手段は、たとえば半径方向に摺動する
所定数の締付けアームで構成することができる。
締付けアームはパイプ体の周面に対し等間隔に分
布し、パイプ体の軸方向にほぼ直交する仮想断面
である該パイプ体の同一直角断面を保持する。こ
れらのアーム全体は装置ケーシングを支え、ケー
シングには位置決めの実施に必要な装置ならびに
工具と工具の位置決めと移動と直接制御する装置
が設けられ、工具と位置決め装置はケーシング内
に移動自在に取り付けられている。前記締付けア
ームにより、装置本体ケーシングはパイプ体に対
しほぼ中心位置に保持される。

前記仮想端面の位置決めを行なう装置本体部分
は例えば相互に対し120゜間隔で半径方向に配置さ
れた３個の検知アーム（センサー）で構成し、仮
想端面の平面は、前述のように、パイプ本体の軸
方向に直交する理論的平面ならびにパイプ本体の
実際端面の平面と区別される。

前記検知アームは、検知アームが移動して実際
端面の平面に当接したときのその移動量を測定す
る同数の検出器を協働するように配置されてい
る。他方、この検知アームは、たとえばモータ制
御による調整ねじによりその支板を移動させて移
動することができる。

本発明に係る方法を電子ビーム溶接により同一
特性のパイプ体（水上に浮遊しているプラツトフ
オームから水底に敷設中のパイプ）の端面に追加
のパイプ体を接続する特殊な場合に適用した本実
施例では電子ビーム銃となる工具の作業面を、上
述の手段により正確に位置づけることができ、こ
の場合装置本体ケーシングは箱体状に構成して、
既述の諸装置と工具のほかに、公知の適当な気密
ジヨイント、好ましくは空気膨張性の気密ジヨイ
ントを含めることができる。

この気密ジヨイント装置は箱体にした上記ケー
シングと、一方では既設パイプ体との間に、他方
では追加パイプ体との間に設けることもできる。
気密ジヨイント装置は、円形セクター形状のいく
つかのジヨイント（たとえば、３個）を、既設パ
イプ体と追加パイプ体を取り巻くように半径方向
に配置して構成する。これらのセクター・ジヨイ
ントの各々は、前記既設パイプ体または追加パイ
プ体を完全に圧接するまで半径方向に延びるすべ
り路を摺動するため、各面に当接するように配置
した適当なジヨイントで所期の気密を確保するこ
とができる。

本発明のその他の特徴と利点は、例示的に示し
た本発明の実施例を示す添付図面を参照して以下
に記述する説明で明らかにする通りである。

第１図にはパイプ本体の上部１と、装置本体を
構成する主要部が含まれる本発明装置のケーシン
グ３が示してある。説明の便宜上、パイプ体と装
置のうちパイプ体１の軸線―の左側部分のみ
を示してある。パイプ体１は端面２を有し、この
端面２は必ずしも前記軸線―に直交している
とは限らない。装置ケーシング３は、パイプ体１
と同心状に配置され、締付けアーム４群を備えて
いる。締付けアーム４は、パイプ体１の外周面に
当接して、ケーシング３をパイプ本体１に対し一
定位置に維持することを目的とする。スライドセ
クター５は協働して、パイプ体１に対するケーシ
ング３の気密性を維持するためのものである。同
じく、セクター５と同じ円形スライドセクター６
が設けられ、追加パイプ体（図示せず）に対する
装置ケーシングの気密性を確保する。

電子ビーム銃７が円形ベース板８に設けてあ
る。電子ビーム銃７は関連したその他の電子ビー
ム銃と共に、溶接作業中ベース板８の面に直角な
軸を中心に回転する。

第１図には１つだけ示してあり、第２図を参照
して詳しく後述するが検知アーム９が、これも後
述する手段により前記ベース板８上に支えられて
いる。これらの検知アームが、当初軸線―に
直角な平面内にあつて、その後後述するように、
パイプ体１の端面と一致するように移動させる３
点を形成する。ベース板８自体は、ケージ１１内
に設けたベアリングローラ３０を介してベアリン
グリング１２に支持され、このベアリングリング
１２はその周囲に支持板１０に固定した３個のス
クリユージヤツキ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ（１２
ａだけが第１図に示してある）により支持板１０
に保持されている。支持板１０は締付けアーム４
によつてパイプ体１に固定される。密封シール１
３が上記諸要素間に配置され、接合される追加パ
イプ体があればそのパイプ体との間に、前記シー
ル１３で第２の気密室が形成される。第３の気密
室は、中心合わせコア（図示せず）でパイプ本体
と追加パイプの内部に形成される。この中心合わ
せコアは、第３の気密室の形成に必要なシールを
備え、第３の気密室の役割は、電子ビーム溶接作
業の場合に常に、結合ジヨイントの前後の周囲を
必要な真空状態に維持することにある。

第２図と第３図にも検知アーム９が示してあ
り、図に示すように、検知アーム９は、パイプ体
１の実際端面２の最も近い位置に当接している。

第２及び３図の円形ベース板２２は第１図のベ
ース板８を変形したものである。このベース板２
２は、電子ビーム銃７と検知アーム９の両者を支
持している。各検知アームと各電子銃はそれぞれ
スライダー１５（検知アーム）及びスライダー１
６（電子ビーム）上に装着される。スライダー１
６の移動はスライダー１５の移動に伴なうように
されているために検知アーム９がパイプ体端面２
に接触した時に、同時にこれと同一面に電子銃７
が移動することができる。このスライダー１５，
１６は、すべり路１４に沿つて摺動可能であり、
その摺動はそれぞれモータ１７と調整ねじ１８
（検知アームの場合）で制御される。電子ビーム
銃の摺動制御は直流モータ１７ａと調整ねじ１８
ａで行なう。検知アームの摺動は高速段階と超減
速段階の２段階になつている。これは、検知アー
ムがパイプ体１に接近するときに感度をよくする
ためである。

符号２１は、１／100mmの分解能をもつ移動量
検出器（センサー）を示す。この検出器に検知ア
ーム９の上部が当接している。検出器２１は、ス
ライダー１５に対する検知アーム９の移動量を検
出する手段で構成するが、これは公知である。検
知アーム９は公知の球ソケツト（図示せず）上に
取り付ける。球ソケツトは、検知アーム９が常時
スプリング２８で下方にバイアスされている以外
は、アーム９を垂直方向に移動自在にしている。

電子ビーム２４を放出する時期になつたらモー
タの軸２０を回転させれば、検知アーム９を電子
ビームの軸線から後退させ得る。

電子ビーム銃７に戻つて、その位置決めについ
て以下説明する。この操作は２段階に分けて行な
われる。第１段階では、〓インデツクス送り装置〓
と呼ばれる特設の装置の一部であり、インデツク
ス・モータ１７と同期するインデツクス・モータ
２５によつて、従動スライダー２６を、モータ１
７でスライダー１５が移動した方向に同一変化量
だけ移動させる。検出器２１と同タイプの変位検
出器２７は、第２段階において、スライダー１６
に設けた突部２８のストツパーとなる。つまり、
検知アーム９で検出された実際端面２に電子ビー
ム２４が完全に一致され、位置決めが完了した移
動位置にスライダー１６を停止させる働きをす
る。なお、これについては第２及び３図を参照し
て後述する。

次に、電子ビーム銃スライダー１６について説
明すれば、スライダー１６は最下位置から出発す
る。直流モータ１７ａの駆動を受けて、スライダ
ーは調整ねじ１８ａによつてすべり路１４に沿つ
てその突部２８が検出器２７に当接するまで上昇
して行く。

以下、第２図と第３図を参照して本発明に係る
位置決めの全工程について説明する。相互に120゜
間隔で配置した３個の検出アームに対応する３個
のスライダー１５は上昇位置にあり、この位置は
例えば電気的に作動する３個のストツパー２９，
２９ａで決められる。この３個のストツパー２９
はベアリングローラ３０とリング１２で規定され
る面に完全に平行な面に位置するように調整され
る。前記面は、電子ビーム銃が溶接線を中心とし
た移動工程を移動するときの面である。

相互に同期化した３台のインデツクス・モータ
１７を同時に始動する。これにより３個の検知ア
ーム９が同時に下降する。所定工程を下降したの
ち、この下降速度は減速され、減速状態で下降し
て行き、３個の検出アームの１個（例えば９ａ）
が最近接の端面２位置に当接する。この当接によ
り３つの検出アームスライダー１５の下降速度は
即時に停止する。

移動量検出器２１がスライダー１５と対応の検
知アーム９との相対位置の数値を検出する。その
後他の２個（例えば９ｂ，９ｃ）の検出アームも
上記と同じようにパイプ体の端面２と当接させる
必要がある。そのために、３個のねじジヤツキ１
２ａ，１２ｂ，１２ｃ（第３図）使用する場合に
ついて検討する。各ジヤツキの円筒部は固定板１
０内に埋め込まれ、ロツドがそれぞれ３個の検知
アーム９ａ，９ｂ，９ｃに対応している球ジヨイ
ント３１ａ，３１ｂ，３１ｃで円板１２に関節動
自在に取り付けられている。先ず、ジヤツキ１２
ｃを作動して円板１２ひいてはベース板２２をそ
れぞれジヤツキ１２ａと１２ｂと垂直になつてい
る球ジヨイント３１ａと３１ｂを結ぶ軸線を中心
に傾斜させながら検知アーム９ｃを前記端面２に
接触させる。

以上が終わつたら、再び円板１２を傾斜させる
が今度はジヤツキ１２ｂを作動して傾斜を球ジヨ
イント３１ａと３１ｃを結ぶ軸線を中心にして行
ない、検知アーム９ｂを端面２に接触させる。

前述したように、球ジヨイント３１ａ，３１
ｂ，３１ｃはすべり路上に設けてもよい。また、
すべり路に固定ジヨイントを設け、該ジヨイント
および関節接合を使用して簡単に円板１２を支持
するようにすれば、どの方向にも移動可能にする
こともできる。関節接合間の間隔が揺動時に変え
られる他の装置を使用できることは言うまでもな
い。

しかしながら、装置構成要素が種々の揺動運動
するときに損傷しないようにする配慮が必要であ
る。揺動時に可動部分が相互に時期尚早の接触を
生じないようにすることが望ましい。このため
に、揺動運動を行なう前に３個のスライダーを共
に十分な距離だけ上昇させておくことができる。
つまり、このように上昇させておけば、第１の揺
動時には第１と第３の点、第２の揺動時には３点
について、移動量検出器２１が検知アーム９とス
ライダー１５の相対位置の同一値を検出したとき
にはじめて揺動が停止することから、円板２２を
所望通り傾斜させることができる。

この時点で、仮想端面と実際の端面の各面は一
致しているはずである。その調整を完全にするに
は、調整の終りに、各検出器２１での検出値と同
一値を突部２８に対して検出する各検出器２７が
示す所望レベルに、電子ビーム銃７のスライダー
１６を案内するだけで十分である。

第４と５図は、作業工具を電子ビーム銃とした
場合の、第１図に概略的に示した気密装置の詳細
を示している。第４図はパイプ体を相互に接続す
る場合の装置本体上部の気密装置の平面図、第５
図は第４図の気密装置が作業位置にある状態を示
すための第４図―線に沿つた断面図である。

第４図で符号５は、パイプ体１あるいは場合に
よつては追加パイプ体の周囲に相互に120゜の間隔
をおいて半径方向に配置した気密装置の円形セク
ター形の３個の気密ジヨイントである。これは、
第１図の参照符号６についても当てはまる。これ
らのセクター気密ジヨイントは、例えば球体３４
とプラグ３５の集合体により装置ケーシング３に
対し浮動状態になつた板３３で支持された半径方
向すべり路３２（第５図）に沿つて移動可能に構
成配置している。締付けは、端面２と同心状の仮
想円に対し接線方向のジヤツキ３６により行なわ
れる。

シールジヨイント３７をパイプ対１側と装置ケ
ーシング３側とに設ける。他方平シールジヨイン
ト３８をセクター・ジヨイントの対向面上に設け
る。このジヨイントは、たとえば接着によりジヨ
イント３７に対しはめ込まれている。

各ジヨイント３７間の空間の管路３９を介して
脱気装置を設けることも可能である。この脱気装
置は電子ビーム溶接作業に必要な真空状態を維持
するために使用される。

符号４０は鉛詰めキーで、Ｘ線の遮蔽板とな
る。同じく鉛詰めのジヨイント４１もＸ線遮蔽の
働きをする。

非動作位置（第４図に示す）において、セクタ
ー気密ジヨイント５，６はパイプ体１の外形より
ほぼ２倍の直径のものが軸方向に通過可能とすべ
きである。真空状態は大体１ミリバールである。

本発明は上述した各種実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の技術的範囲を逸脱しない枠内
において種々変更が可能であることは言うまでも
ない。

したがつて、装置ケーシング３に設けたセクタ
ー気密ジヨイント５，６で形成した２種類の気密
装置は、リツプ気密ジヨイント、膨張性気密ジヨ
イントその他などの類似装置で置き換えることも
可能である。

図示実施例では、ジヤツキ１２ａ，１２ｂ，１
２ｃや類似装置の数は検知アームと同数、すなわ
ち８個にしており、これらのジヤツキの幾何学的
配置は、揺動軸を検知アームの位置に一致させる
ようにして、機能を簡略化している。この場合、
ジヤツキの数を例えば３個以上にし、またその配
置を任意にして、仮想端面と実際断面とを３個の
検出器２１が同一値を検出したときに一致させる
ようにしても、本発明の技術的範囲を逸脱するも
のでないことは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、２個のパイプ体の端面を突き合わせ
て、電子ビーム溶接により接合する場合の本発明
の実施装置の縦断概略図、第２図は、検知アーム
と、電子ビーム銃などの工具と、これらの対応の
制御装置とで構成した装置の縦断断面図、第３図
は、第１図図示の装置の変形装置の概略斜視図、
第４図は、工具を電子ビームとし、２パイプ体相
互を電子ビーム溶接で接合する場合の装置本体に
設けた気密装置の平面図、第５図は、第４図図示
の気密装置が作業位置にある状態の―線断面
図である。 １：パイプ体の上部、２：パイプ体の断面（端
面）、３：装置本体ケーシング、４：締付けアー
ム（結合手段）、５：気密ジヨイント、６：円形
気密ジヨイント、７：電子ビーム銃、８：（第１
の）円形ベース板、９（９ａ〜９ｂ）：検知アー
ム（センサー）、１０：支持板、１１：ケージ、
１２：円板（第２のベース板）、１２ａ，１２ｂ，
１２ｃ：ねじジヤツキ（調整可能部材）、１３：
気密ジヨイント、１４：すべり路、１５，１６：
スライダー、１７：モータ、１７ａ：直流モー
タ、１８，１８ａ：調整ねじ、１９：モータ、２
０：モータ軸、２１：移動量検出器、２２：円形
ベース板、２３：スプリング、２４：電子ビー
ム、２５：インデツクス・モータ、２６：従動ス
ライダー、２７：変位検出器、２８：突部、２
９：ストツパー、３０：球ローラ、３１ａ，３１
ｂ，３１ｃ：球ジヨイント、３２：半径方向すべ
り路、３３：板、３４：球ジヨイント、３５：プ
ラグ、３６：ジヤツキ、３７：ジヨイント、３
８：平ジヨイント、３９：管路、４０：キー、４
１：ジヨイント。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ パイプ体の端面に直交し、パイプ体自体の軸
   方向に対し若干のずれ角をなしている軸を中心に
   工具を回転させてパイプ体の実際端面で作業を行
   なう必要がある場合の工具位置決め方法におい
   て、周方向に相互に等間隔な３点をベース板に結
   合されたセンサーで決めることによつて前記パイ
   プ体の仮想端面を画し、該仮想端面は初期におい
   て支持板と平行で、前記パイプ体の実際の端面に
   対し角度的にずれているが、次の段階で、パイプ
   体の軸方向に対しほぼ平行な方向の移動によつて
   前記仮想端面をパイプ体の実際の端面に近づけた
   後、前記仮想端面を画する前記３点が共にパイプ
   体の実際の端面平面内に位置するまで、仮想端面
   を所定の揺動軸を中心に順次揺動させることから
   なり、前記工具が支持板に結合されていることを
   特徴とする工具位置決め方法。 ２ 前記仮想面の揺動が実際の端面に最も近接し
   た前記３点内の第１の点と第２の点を通る線に平
   行な第１の揺動軸を中心に第１の揺動を行なつ
   て、第１の点と第３の点を前記実際の端面平面位
   置にし、さらに、前記第１の点と第３の点を通る
   線に平行な第２の揺動軸を中心に第２の揺動を行
   ない、仮想端面を実際端面と一致させることによ
   つてなされることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の工具位置決め方法。 ３ 工具の作業面は前記の仮想端面の揺動に追従
   し、次いで前記仮想端面と実際端面に対する並行
   移動によつて前記作業面を調整することを特徴と
   する特許請求の範囲第１項または第２項記載の工
   具位置決め方法。 ４ パイプ体の端面に直角な平面内で動作するよ
   うに作業工具を位置決めする装置で、パイプ体に
   対して実質上相対的に配置されるケーシングを有
   するものにおいて：支持板；支持板に支持され、
   パイプ体を支持板に取り付ける結合手段；第１の
   ベース板；第１のベース板に取り付けられ、仮想
   平面を決める３点を決める少なくとも３コのセン
   サーと、第１のベース板上に取り付けられた作業
   工具；及び第１のベース板を支持板上に支持し、
   第１のベース板を揺動可能であることによつて、
   前記仮想平面が前記端面の実際平面と一致せしめ
   られるようになす複数の垂直方向調整可能部材；
   を備えて成ることを特徴とする工具位置決め装
   置。 ５ 前記調整可能部材は、相対回転を可能にする
   連結手段によつて第１のベース板に連結した第２
   のベース板を介して第１のベース板へ間接的に作
   用することを特徴とする特許請求の範囲第４項記
   載の工具位置決め装置。 ６ 各センサーは第１のベース板に支持されたス
   ライダに取り付けられ、スライダがセンサーを第
   １のベース板の面に対し垂直方向に移動可能であ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の
   工具位置決め装置。 ７ センサーの各スライダと同期して移動する従
   動スライダを設けると共に、工具の作業時に前記
   従動スライダの位置によつてその位置が定められ
   る他のスライダ上に工具が取り付けられることを
   特徴とする特許請求の範囲第６項記載の工具位置
   決め装置。 ８ センサーとその支持スライダとの相対移動量
   を測定する第１の検出器を含むことを特徴とする
   特許請求の範囲第６項記載の工具位置決め装置。 ９ 従動スライダに、前記第１の検出器２１に従
   つて移動する第２の検出器を設け、該第２の検出
   器が第１のベース板の位置調整終了時に第１の検
   出器と同一の移動値を検出指示することで、工具
   を支持するスライダの突部と当接されその位置を
   決めるようにしたことを特徴とする特許請求の範
   囲第８項記載の工具位置決め装置。 １０ センサーを支持する各スライダはステツプ
   モータによつてねじ送り制御されることを特徴と
   する特許請求の範囲第６項記載の工具位置決め装
   置。 １１ 前記ケーシングと、第１のベース板と、支
   持板１０との間に気密手段を設けると共に、ケー
   シングとパイプ体との間にセクター形状の気密要
   素を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第４
   項記載の工具位置決め装置。