JPH02205468A - 形状記憶素材を用いた研摩方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［産業上の利用分野］ 本発明は、ワーク表面の凹部を固定砥粒により研摩する
方法及びその装置に関わり、更に詳しくは研摩手段のチ
ップを形状記憶素材で構成することにより、非研摩時に
は上記チップの形状を、上記凹部への挿抜を容易とする
予め記憶された非展開の形状と成し、研摩時には上記凹
部内に於いて上記チップの形状を、上記凹部の形状と合
うよう予め記憶された展開の形状と成して研摩すること
を特徴とする形状記憶素材を用いた研摩方法及びその装
置に関わる。 ［従来の技術］ 周知の通り、ワーク表面を研摩する方法及びその手段に
は、固定砥粒によるものと遊離砥粒によるものがある。 ここで、上記固定砥粒によるものは、駆動源により駆動
されるシャンクに固定されたチップに、バインダー等に
より砥粒を結着固定し、上記砥粒を結着されたチップを
ワーク表面に当てて研摩する、というものである、従っ
て、上記チップには、研摩するためにある程度の硬度が
必要である。なお、上記研摩に際しては、上記ワーク及
びチップに研摩液を供給しながら研摩していることは言
うまでもない。 さて、研削機械等による一次加工で形成されたワーク表
面の凹部内面を研摩することがある。そして特に、上記
凹部内の空間が、外部に向いた穴の大きさより大きく膨
らんでいることがある。このような時には、上記チップ
を上記凹部の穴から挿入し、上記チップを上記凹部内面
に当てて研摩し、そして上記チップを上記凹部の穴から
抜去するようにして、研摩を行なっている。 従って、上記チップを上記凹部に挿入及び抜去する時に
は、上記チップの形状は小さい方がよい、もちろん、上
記チップの形状が、上記凹部の穴より小さいことは必要
である。 一方、上記研摩時には、上記チップは上記凹部内面に大
きな面積で接触する方が望ましい、即ち、上記接触面積
が小さいと、上記凹部内面を研摩するために、上記チッ
プを上記凹部内でより大きな範囲で動かす必要が生じる
。そして、上記チーノブを動かす範囲が大きくなるに従
い、上記研摩の加工精度を向上させることは難しくなり
、また作業工数を削減させることも容易ではなくなるか
らである。 このため、上記接触面積を大きくするためには、上記チ
ップの形状は、上記凹部内面の形状に合った。より大き
なものとされることが望ましい。 ［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術のチップはある程度の硬度を持つため、上
記研摩が可能となる。 しかし、上述したように、上記チップの形状を上記凹部
への挿抜を容易とするために可及的に小さいものとする
と、上記研摩時の加工精度の向上及び作業工数の削減が
困難となる。 また一方、上記研摩時の加工精度及び作業工数の削減の
ために、上記チップの形状を、上記凹部の形状に合う、
大きなものとすると、今度は上記四部への挿抜が不可能
となる恐れも生じる。 ここで、上記チップを、柔軟で変形自在な素材で形成し
た場合、上記チップの形状を大きなものとしながら、上
記凹部への挿入もできるが、上記研摩を可能とすること
はほとんど不可能である。 ［目的］ 従って本発明の目的とするところは、上記ワーク表面の
凹部を研摩するための方法及びその装置であって、上記
チップを形状記憶素材で構成されるものとすることによ
り、上記チップを上記凹部へ挿抜する時等の非研摩時に
は上記チップの温度を上記形状記憶素材の変態参道変態
点の上下のいずれか一方の温度相として、上記凹部への
挿抜を容易に可能とする予め記憶された非展開の形状と
成すことが自由にでき、研摩時には上記変態Φ逆変態点
の上下の他方の温度相として、上記凹部の形状と合うよ
う予め記憶された展開の形状と成し、上記展開の形状を
研摩可能な程度の硬度をもって保持して研摩せしめるこ
とを可能とする研摩方法及びその装置を提供するにある
。 ［課題を解決するための手段］ 本発明は上記課題を解決するために次の技術的手段を有
する。即ち、実施例に対応する添付図面に使用した符号
を用いて説明すると、ワーク表面の凹部を、研摩手段の
チップに結着された固定砥粒により、研摩液を供給しな
がら研摩する方法に於いて： 上記チップ１は、ある温度を変態ｅ逆変態点としてその
上下で予め記憶された形状を復元する形状記憶素材で成
るものを用い、非研摩時には上記チップｌの温度を上記
変Ｓ−逆変態点の上下のどちらか一方の温度相とし、こ
の上記非研摩時の温度相では上記チップ１は上記凹部３
に容易に挿抜できるよう予め記憶された非展開の形状と
成され、研摩時には上記チップｌの温度を上記凹部３内
で上記変態・逆変態点の上下の他方の温度相とし、この
上記研摩時の温度相では上記チップ１は上記凹部３内面
の形状に合うよう予め記憶された展開の形状に復元せし
められ、この展開の形状を保持したまま、上記凹部３内
面を研摩することを特徴とする形状記憶素材を用いた研
摩方法である。 更に、上記チップｌを構成する上記形状記憶素材は、形
状記憶合金１ａであることを特徴とする、上記の形状記
憶素材を用いた研摩方法とすることも好ましい。 また、上記チップ１を構成する上記形状記憶素材は、形
状記憶ポリマーｔｂであることを特徴とする、上記の形
状記憶素材を用いた研摩方法とすることも好ましい。 そして、ワーク表面の凹部を、研摩手段のチップに結着
された固定砥粒により、研摩液を供給しながら研摩する
装置に於いて： 上記砥粒が結着されたチップ１は、ある温度を変態・逆
変態点としてその上下で予め記憶された形状を復元する
形状記憶素材より成り、上記変態ｅ逆変態点の上下のど
ちらか一方の温度相に於いては上記凹部３に容易に挿抜
できる形状と成り。 他方の温度相に於いては上記凹部３内面に合う形状と成
るように、上記温度相の各々に於ける形状を予め記憶せ
しめられていることを特徴とする形状記憶素材を用いた
研摩装置とすることもできる。 加えて、上記チップｌを構成する形状記憶素材は、形状
記憶合金１ａであることを特徴とする。上記の形状記憶
素材を用いた研摩ｙｃｆｆｌとすることも望ましい。 その上、上記チップｌを構成する形状記憶素材は、形状
記憶ポリマー１ｂであることを特徴とする、上記の形状
記憶素材を用いた研摩装置とすることも好ましい。 ［作用］ 以上の構成により、まず上記形状記憶素材で成るチップ
１に、形状を記憶させる。この時、上記変態・逆変態点
の上下のどちらか一方の温度相、例えば低温相に於いて
は上記ワーク表面の凹部３に容易に挿抜できる非展開の
形状と成り、他方の温度相１例えば高温相に於いては上
記凹部３内の形状に合う展開の形状となるよう、上記チ
ップ１にその形状を記憶させる０次いで、上記チップ１
を上記凹部２に挿入する時は、上記チップ１の温度を上
記低温相とせしめる。この時、上記チップｌは上記非展
開の形状と成る。役って上記チップ１を上記凹部３へ容
易に挿入できる０次いで、上記チップｌの温度を上記凹
部３内で上記高温和とせしめる。この時、上記チップ１
は上記展開の形状と成るようその形状を復元する。従っ
て、上記展開の形状と成った上記チップｌによっては、
上記凹部３内面に研摩を容易に行なわせしめることがで
きる０次いで、上記研摩を終了した後、上記チップｌの
温度を再び上記低温和とせしめる。この時、上記チップ
ｌの形状は再び上記非展開の形状となる。従って上記チ
ップ１を上記凹部３から抜去することが容易にできる。 以上のように、上記チップ１を上記凹部３へ挿抜せしめ
るような非研摩時には、上記チップ１の形状を上記非展
開とせしめて上記挿抜を容易とし、しかも同時に上記研
摩時には上記チップ１の形状を上記凹部３内で展開せし
めて上記研摩を容易に行なうことができ、更に上記形状
記憶素材で成るチップ１は、上記高温相に於いては上記
展開の形状を研摩可能な程度の硬度をもって保持でき、
上記凹部３内面を研摩することが容易に可能である。 ［実施例］ 次に添付図面に従い、本発明の実施例を詳述する。 第１図から第６図までは第１実施例を示す、この例では
、上記チップｌは駆動源からのシャンク４の先端に固定
されている。そして上記シャンク４内部はパイプ状と成
されており、上記シャンク４の内部を通って研摩液が供
給され、上記シャンク４内の先端付近に設けられた連続
気孔を有する多孔質体５から上記研摩液が流出する。こ
の研摩液は上記チップ１による研摩時には常時供給され
るのである。上記研摩液の供給を第１図の矢示Ｓで示す
。 さてこの例で、上記チップ１はワーク表面に、加工機械
による一次加工で形成された。略球状の空間を持つ四部
３を研摩するためのものである。 そして、上記チップ１は、上記シャンク４の先端に放射
状に設けられた６つの嵌合溝６に嵌め込まれて固定され
、上記シャンク４の先端から径方向に放射状に６本６０
°間隔で伸びている。更に上記シャンク４の先端の向く
方向を下方とすると、上記チップ１は上記シャンク４か
ら外方へ伸びるに従い、上方へ若干湾曲するよう形成さ
れている。このチップ１が形状記憶素材で形成されてい
るのである。そして上記チップｌの上記凹部３内面に当
たるべき面には多数のダイヤモンド砥粒２がバインダー
７により結着されている。ここで、上記ダイヤモンド砥
粒２は非常に小さな微粒子であるが、図面に於いては理
解を容易にするため、若干誇張して大きな粒子として示
しである。 そして、上記６本のチップ１の各々の間には網状体８が
張られており、上記網状体８にも上記ダイヤモンド砥粒
２が上記バインダー７により結着されている。 以上のように、上記チップｌと上記網状体８とで、傘を
開いた時のように形成され、この形状が後述する研摩時
の形状となる。 ここで、上記チップ１を構成する上記形状記憶素材につ
いて述べる。（第３図、第４図参照）この例で、上記形
状記憶素材は、針金状の形状記憶合金１ａで構成されて
いる。そして、上記形状記憶素材としては形状記憶ポリ
マー１ｂを採用することもできる。更に上記形状記憶ポ
リマー１ｂをフィラメント状にし、これを編成して紐状
と成したものをヒ記網状体８に織り込むこともよい。 さて、この例で採用した上記形状記憶合金１ａについて
更に詳述する。この形状記憶合金１ａはメモアロイ（東
北金属工業株式会社の商品名）と呼ばれ、チタニウムと
ニッケルの合金である。そして、形状記憶特性としては
全方位型であり、変態・逆変態点の上下の高温相及び低
温相の各々に於いて、予め記憶された形状を復元するも
のである。なお、上記記憶された形状を復元するための
原理等は周知であるので詳述を省略する。そして上記変
態・逆変態点は上記チタニウムとニッケルの配合比等に
より可変である。なお、上記変態φ逆変態点に関して、
厳密には温度が上昇する時、即ち低温相から高温相に移
行する時の変態開始温度と変態終了温度、更に温度が下
降する時、即ち高温相から低温相へ移行する時の逆変態
開始温度及び逆変態終了温度等が複雑に関係する。第４
図に示した特性グラフに従ってこれを説明する。ここで
、低温相に於ける形状変化量を−１とし、高温相に於け
る形状変化量を１とする。なお上記形状変化量は、上記
メモアロイを針金状に形成し、低温相でこれが略円形と
成り、温度が上昇するに従って直線状と成り、更に高温
相に至っては上記低温相の時と逆向きに湾曲した略円形
と成るようにした時の曲率半径を示したものである。ま
ず、低温相に於いては上記曲率半径は−１である。そし
て温度が上昇してＴ″を越えた付近から上記略円形から
直線状と成り、更に温度が上昇し、Ｔ０＋５０°では上
記低温相の時と逆向きに湾曲した略円形となり、曲率半
径はｌとなる０次いで、温度が下降する時Ｔ０に近づく
に従い上記高温相に於ける略円形から直線状となり、更
に温度が下降してＴ’−５０’を越えた付近で上記低温
相に於ける略円形となる。ここで、上記Ｔ’は温度が上
昇する時に曲率半径がＯとなる温度と、下降する時に曲
率半径が０となる温度のほぼ中間の温度を採ったもので
ある。 以上、この例で採用した形状記憶合金１ｂのメモアロイ
について述べたが、本考案に於いては上記チップ１の上
記凹部３への挿抜、上記チップｌによる上記凹部３内面
の研摩が可能となるための、十分な形状の変化があれば
よい、従って、上記形状の変化のための温度範囲を上記
変態・逆変態点として表現し、その上下の温度を高温相
及び低温相と表現している。 なお、この例で、上記変態・逆変態点は約８０℃と設定
されている。 以上のような形状記憶合金１ｂを、上記チップ１に用い
、この例では上記高温相である時を研摩時として、上述
した傘を開いた時のような形状を復元するよう予め記憶
させておく。 一方、上記低温和である時は、上記チップ１は上記シャ
ンク４に沿って上方に曲がるように、即ち傘が閉じたよ
うな形状となるよう予め記憶させておく。 従って、以上のような構成により、これを用いて上記ワ
ーク表面の凹部３を研摩する時には次のようにして行な
う、まず、上記チップ１を上記低温相、即ち約８０℃以
下としておく、この時、常温が約８０℃以上であること
はまず無いので、上記チップ１を常温に放置するだけで
よい、そしてこの時、上記チップｌは上記中を閉じたよ
うな、非展開の形状である０次いで、上記非展開の形状
であるチップ１を上記凹部３内に挿入する。この時、上
記チップ１は非展開の形状であるので、上記挿入を容易
に行なうことができる。（第５図参照）次いで、上記チ
ップ１を加熱する。この時、上記加熱の方法としては、
上記チップ１に通電して抵抗発熱により加熱したり、上
記シャンク４を加熱して熱伝導により上記チップｌをも
加熱したり、上記チップｌ及び上記ワークの周囲の雰囲
気を加熱する等多種の方法があるが、この例では上記シ
ャンクを加熱して熱伝導により、上記チップｌをも加熱
する方法を採用している。 なお、上記シャンク４の加熱は、上記シャンク４の周囲
に設けられた電熱装置により行なうよう説明しているが
、詳述及び図示を省略する１次いで、加熱された上記チ
ップ１の温度が約ＢＯ℃を越して上昇し、上記高温和と
なるに従い、上記チップｌを構成する形状記憶合金！龜
が変態してその形状を復元し、上記凹部３内で、傘を開
くように展開する６次いで上記展開した形状のチップ１
を上記凹部３の内面に当て、上記シャンク４と共に駆動
せしめて研摩する。この時、上記チップｌは上記凹部３
の内面の形状と合うように、略部分球の形状となるので
、上記凹部３と広い面積で接触させることができる。従
って上記研摩の際の加工精度の向上及び作業工数の削減
が容易となる。（第６図参照）なおこの時、上記研摩に
より、上記チップｌと上記凹部３内面との間に摩擦熱が
生じて上記チップ３が加熱されるので、上記チップ１の
温度が約ＢＯ℃から下降しない程度に、上記シャンク４
の加熱を停止せしめることもできる。更になお、上記網
状体８にも上記ダイヤモンド砥粒２が結着されているの
で、上記形状記憶合金１ａで成るチップｌの部分以外で
も補助的に上記研摩を行なわせしめることができる０次
いで上記研摩が終了したら、上記チップ１を冷却し、そ
の温度を約８０℃以下の低温和とする。この時、上述の
ように常温に放置するだけでも上記チップ１の温度を下
降せしめることができる。もちろん、冷却水等を当てて
強制的に冷却せしめることもできる０次いで、上記チッ
プｌの温度が約８０℃以下の低温相になると、上記チッ
プｌを構成する形状記憶合金１ａが逆変態し、上記チッ
プ１の形状は上記傘を閉じた形状１、即ち非展開の形状
となる。従って上述した挿入時と同様、上記チップ１を
上記凹部３から容易に抜去できる。 そして、上記研摩に際し、上記形状記憶合金１ａで成る
上記チップｌは上記高温相に於いて上記展開の形状を保
持するので、上記チップｌを上記凹部３内面にしっかり
と当てて研摩せしめることができる。 なおこの例で、上記形状記憶合金１ａのチップｌと併用
して、上記形状記憶ポリマー１ｂのフィラメントで成る
紐状体を上記網状体８に織り込むこともできる。 次に第７図及び第８図並びに第９図に従い、第２実施例
を詳述する。この第２実施例では、上述した第１実施例
との差異のみを詳述する。 この第２実施例は、パイプ１１をワークとし、その内面
の凹部３、即ちパイプ１１内の膨らんだ空間の内面を研
摩するために用いられる研摩手段に、本発明を実施した
ものである。 ここで上記パイプ１１について説明する。このパイプ１
１は、パイプ小径部１０の先端にパイプ大径部９を有す
る材料パイプ１２が２本、互いのパイプ大径部９の端面
を同心的に接合されて成るものである。従って、上記パ
イプ小径部１０の内面に対し、上記パイプ大径部９の内
面が凹部３となる。 この種のパイプ１１の上記凹部３を研摩するために、従
来のチップによっては困難であり、一般には上記２つの
材料パイプ１２を接合する前に１両方の材料パイプ１２
の上記パイプ大径部９内面を予め研摩しておき、しかる
のち上記２つの材料パイプ１２を接合していた。従って
、上記２つの材料パイプ１２を溶接等により一旦接合し
た後、保工管理等のために上記パイプ大径ｓ９内面を研
摩することは困難であった。 このため、この第２実施例は上記したパイプ１１の上記
パイプ大径部９内面、即ち上記パイプ小径部１０に対す
る凹部３を研摩するためのものである。 この例では、上記チップｌは上記シャンク４の先端部の
周面に、形状記憶合金１ａで成るバネ状体１３を介して
取り付けられている。 この上記チップｌは、上記パイプ小径部９内を容易に通
過することのできる径の管体を９０’づつ４つに分割さ
れた形状となっている。ここで、上記パイプ小径部ｌＯ
を容易に通過することのできる形状は、上記低温相に於
ける形状として記憶されるものである。そして、上記チ
ップｌは、上記高温相に於ける形状として、上記バイブ
大径部９内面に過不足なく接する径の管体の一部となる
形状が記憶される。そして上記チップｌの、上記パイプ
大径部９内面に接する面に、上記ダイヤモンド砥粒が結
着されている。 一方、上記バネ状体１３は上記シャンク４と上記チップ
ｌとの間で、上記低温相に於いては縮小し、上記高温相
に於いては伸長するようにその形状を記憶されている。 なお、上記チップｌと上記バネ状体１３、及び上記シャ
ンク４と上記バネ状体１３の固定はいずれもカシメによ
り成されているものとして説明するが、図示及び詳述は
省略する。 第２実施例は以上のような構成であるので、これを用い
て上記パイプ１１の内面の凹部３．即ち上記パイプ大径
部９の内面を研摩する時は次のようにして行なう、なお
、この例に於いても上記第１実施例で用いた形状記憶合
金１ｂと同様の形状記憶合金１ｂを用いることとする。 まず、上記チップ１を上記低温相、即ち約８０℃以下と
しておく、この時、上記バネ状体１３は縮小し、同時に
上記チップｌは上記パイプ小径部１０内を容易に通過で
きる径の管体が４つに分割されて成る形状であるので、
４つの上記チップ１は上記バネ状体１３により上記シャ
ンク４の方へ引き付けられ、上記パイプ小径部１０内を
容易に通過できる管体の形状、即ち非展開の形状となる
０次いで上記チップｌを上記パイプ小径部１０を通して
上記パイプ大径部９の位置に挿入する。この時、上記チ
ー２ブ１は上記非展開の形状であるので、上記挿入を容
易に行なうことができる。（第８図参照）次いで上記チ
ップｌを加熱する。この加熱のための方法も上記第１実
施例で述べたので、詳述を省略す０次いで、加熱された
上記チップ１の温度が約８０’を越して上昇し、上記高
温和となるに従い、上記チップｌを構成する形状記憶合
金１ａが変態してその形状を復元し、上記パイプ大径部
９内即ち上記凹部３内で上記高温相に於ける形状を復元
する。この時の形状は、上記バネ状体１３が伸長し、同
時に上記チップ１が上記パイプ大径部９内面即ち上記凹
部３に過不足なく接する径の管体の一部のような形状を
復元することにより、上記４つのチップ１はいずれも上
記凹部３に過不足なく接する形状に展開し、上記チップ
１は上記凹部３に押し付けられる。（第９図参照）次い
で、上記シャンク４を上記チップ１と共に駆動せしめて
研摩する。この時の利点、及び上記摩擦熱による上記チ
ップｌの加熱に関しても上記第１実施例で述べたので、
詳述を省略する０次いで上記研摩が終了したら上記チッ
プｌを冷却する。この時の冷却に関しても上記第１実施
例で述べたので、詳述を省略する０次いで、上記チップ
１の温度が約８０℃以下の低温和となると、上記チップ
１を構成する形状記憶合金１ａが逆変態し、上記チップ
ｌの形状は上記非展開の形状となる。従って、上述した
挿入時と同様、上記チップｌを上記凹部３となる上記パ
イプ大径部９から上記パイプ小径部１０を通して容易に
抜去できる。 そして、上記研摩に際し、上記チップ１は上記展開の形
状を保持し、更に上記バネ状体１３により上記パイプ大
径部９内面即ち上記凹部３に押し付けられるので、上記
チップを上記凹部にしっかりと当てて研摩せしめること
ができる。 なお、この例で上記チップ１及び上記バネ状体１３は共
に上記形状記憶合金１ａとしたが、これを上記形状記憶
ポリマーｔｂとすることができることは言うまでもない
。 ここで、上記第１実施例及び第２実施例に於いて、上記
非展開の形状となる非研摩時を上記低温相とし、上記展
開の形状となる研摩時を上記高温相としたが、上記ワー
クの種類や研摩の状態等に応じ、上記非展開の形状は上
記高温和で、上記展開の形状は上記低温相でそれぞれ現
れるものとすることもできる。 なお、第３図及び第４図は第１図に示した上記チップｌ
の一部のみを拡大して示したものである。

【効果】

以上詳述した通り１本発明によると次の効果がある。 請求項第１項の発明によると、上記ワーク表面の凹部を
研摩するための方法であって、上記チップに上記形状記
憶素材で構成されるものを用いることにより、上記チッ
プを上記凹部へ挿抜する時等の非研摩時には上記チップ
の温度を上記形状記憶素材の変態・逆変態点の上下のい
ずれか一方の温度相として、上記凹部への挿抜を容易に
可能とする予め記憶された非展開の形状と成すことが自
由にでき、しかも研摩時には上記変態・逆変態点の上下
の他方の温度相として、上記凹部の形状と合うよう予め
記憶された展開の形状と成し、上記展開の形状を研摩可
能な程度の硬度をもって保持して研摩せしめることを可
能とする形状記憶素材を用いた研摩方法が提供できる。 更に、請求項第２項の発明によれば、上記チップに形状
記憶合金で成るものを用いることにより、上記チップを
上記凹部に、より高い硬度で当てて研摩せしめることが
できる。 また、請求項第３項の発明によれば、上記チップに形状
記憶ポリマーで成るものを用いることにより、上記チッ
プに様々な形状に形成されたものを使用することが可能
になり、上記チップの形状が上記凹部の形状とより過不
足なく合ったものを使用することができる。 そして、請求項第４項の発明によれば、上記請求項第１
項の発明を実現できる形状記憶素材を用いた研摩装置を
提供できる。 加えて、請求項第５項の発明によれば、上記請求項第２
項の発明を実現できる形状記憶素材を用いた研摩装置を
提供できる。 その上、請求項第６項の発明によれば、上記請求項第３
項の発明を実現できる形状記憶素材を用いた研摩装置を
提供できる。

【図面の簡単な説明】

添付図面第１図から第６図までは本発明の第１実施例を
示し、 第１図は側面から見た断面図。 第２図は実施例で採用した形状記憶合金１ａの。 温度に対する形状変化量を示す特性グラフ、第３図は形
状記憶合金１ａで成るチップｌの、拡大した断面図、 第４図は形状記憶ポリマー１ｂで成るチップｌの、拡大
した側面図、 第５図はチップ１を凹部３に挿入する時の、チップｌが
非展開の形状である状態を示すための、ワークの断面を
含む側面図、 第６図は研摩時の、チップｌが展開の形状である状態を
示すための、ワークの断面を含む側面図、 第７図及び第８図並びに第９図は第２実施例を示し。 第７図はチップｌをパイプ１１に挿入した状態を示すた
めの、パイプ１１の断面を含む側面図。 第８図はチップ１をパイプ１１に挿入する時の、チップ
が非展開の形状である状態を示すための、第７図に於け
るＡ−Ａ’断面図、 第９図は研摩時の、チップ１が展開の形状である状態を
示すための、第７図に於けるＡ−Ａ’断面図。 １・・・・チップ、　　２・・・・ダイヤモンド砥粒、
３・・・・凹部、　　　　４・・・・シャンク、５・・
・・多孔質体、　　６・・・・嵌合溝、７・・・・バイ
ンダー、　８・・・・網状体、９・・・・パイプ大径部
、　　１０・・・・パイプ小径部、１１・・・・パイプ
、　　　　　１２・・・・材料パイプ、１３・・・・バ
ネ状体。 矢示Ｓ・・・・研摩液の供給を示す矢示。 第３回 １ａ 第４図 ｂ 第６図 熟８０ ．１１ 菟９０

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）ワーク表面の凹部を、研摩手段のチップに結着さ
   れた固定砥粒により、研摩液を供給しながら研摩する方
   法に於いて； 上記チップ１は、ある温度を変態・逆変態点としてその
   上下で予め記憶された形状を復元する形状記憶素材で成
   るものを用い、非研摩時には上記チップ１の温度を上記
   変態・逆変態点の上下のどちらか一方の温度相とし、こ
   の上記非研摩時の温度相では上記チップ１は上記凹部３
   に容易に挿抜できるよう予め記憶された非展開の形状と
   成され、研摩時には上記チップ１の温度を上記凹部３内
   で上記変態・逆変態点の上下の他方の温度相とし、この
   上記研摩時の温度相では上記チップ１は上記凹部３内面
   の形状に合うよう予め記憶された展開の形状に復元せし
   められ、この展開の形状を保持したまま、上記凹部３内
   面を研摩することを特徴とする形状記憶素材を用いた研
   摩方法。
2. （２）上記チップ１を構成する上記形状記憶素材は、形
   状記憶合金１ｎであることを特徴とする、請求項第１項
   記載の形状記憶素材を用いた研摩方法。
3. （３）上記チップ１を構成する上記形状記憶素材は、形
   状記憶ポリマー１ｂであることを特徴とする、請求項第
   １項記載の形状記憶素材を用いた研摩方法。
4. （４）ワーク表面の凹部を、研摩手段のチップに結着さ
   れた固定砥粒により、研摩液を供給しながら研摩する装
   置に於いて； 上記砥粒２が結着されたチップ１は、ある温度を変態・
   逆変態点としてその上下で予め記憶された形状を復元す
   る形状記憶素材より成り、上記変態、逆変態点の上下の
   どちらか一方の温度相に於いては上記凹部３に容易に挿
   抜できる形状と成り、他方の温度相に於いては上記凹部
   ３内面に合う形状と成るように、上記温度相の各々に於
   ける形状を予め記憶せしめられていることを特徴とする
   形状記憶素材を用いた研摩装置。
5. （５）上記チップ１を構成する形状記憶素材は、形状記
   憶合金１ａであることを特徴とする、請求項第４項記載
   の形状記憶素材を用いた研摩装置。
6. （６）上記チップ１を構成する形状記憶素材は、形状記
   憶ポリマー１ｂであることを特徴とする、請求項第４項
   記載の形状記憶素材を用いた研摩装置。