JPH02206116A - 化学エッチング用試料固定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、化学エツチング用試料固定装置に関するもの
である。

従来の技術 半導体デバイスの製造や、素子の解析において、化学エ
ツチング液によるエツチングは必要不可欠なものである
。半導体デバイスの製造においては、同一形状のウェハ
ーを用いて行うために、第４図に示したような、ウェハ
ーエツチング用カセットを用いてエツチングを行ってい
る。しかし、素子の解析においては、ウェハーをダイヤ
モンドカッター等により切断し、チップの状態にしたも
のをエツチングすることが多い。現状では、金属や、テ
フロンのピンセットを用いて、１個ずつエツチングする
か、第５図に示したような、網目状のケースで複数の部
屋に区切ったものの中にチップを入れてエツチングを行
っている。

発明が解決しようとする課題 従来の方法のビンセットによるエツチングでは、チップ
を１個ずつエツチングを行うために、個々のチップによ
ってエツチングの状態が変化するうえ、時間もかかるた
めに、多量のチップをエツチングを行うことができない
。また、現状のチップエツチング治具では、エツチング
治具を作っているケースの網目よりも小さなチップが入
れられなかったり、チップが裏返しになったりしてエツ
チングむらが生じる。

課題を解決するための手段 この問題を解決するために本発明は、表面にＶ字型の試
料挿入溝を持った、７字型形状の試料固定部を有し、こ
れら試料固定部を複数個、並列に並べて長方形又は楕円
形の試料固定部台に固定する。さらに、７字型形状の試
料固定部に、自在に移動できる試料固定用のおさえ板を
さし込める形状とする。

作用 ７字型形状の試料固定部を用いることにより、試料を立
てた状態でエツチングできると同時に、おさえ板を試料
固定部にさし込むことによって、不定形の試料を同時に
エツチングすることができる。さらに、試料固定部を長
方形の試料固定台に固定するこ七によって、コ字形のハ
ンガーを装着することができ、エツチング液、洗浄槽間
等の移動を容易に行うことができる。

実施例 本発明の化学エツチング用試料固定装置を第１図（ａ）
〜（Ｃ）の各図を用いて説明する。テフロンを用いて、
７字型の試料挿入溝を持ち、７字型形状の試料固定部１
と、長方形の試料固定部台２を作製した。第１図（ａ）
は化学エツチング用試料固定装置の外観図である。また
、第１図（ｂ）　、　（Ｃ）は断面図。

上面図を示す。第２図は、テフロン製のコ字形のハンガ
ー３を装着した時の化学エツチング用試料固定装置の側
面図である。第３図（ａ）　、　（ｂ）　、　（Ｃ）は
、試料固定部１にさし込む試料固定用のテフロン製おさ
え板４の外観図、上面図、側面図である。また、試料固
定部台は、だ円形であってもかまわない。

発明の効果 以上のように、本発明による試料固定部、試料固定部台
、おさえ板、ハンガーからなる化学エツチング用試料固
定装置を用いることにより、不定形のチップを多数に均
一にエツチングすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の化学エツチング用試料
固定装置の外観図、断面図、上面図、第２図はハンガー
を装着した時の側面図、第３図（ａ）〜（Ｃ）はおさえ
板の外観図、上面図、側面図、第４図はウェハーエツチ
ング用カセットの外観図、第５図は現状のチップエツチ
ング治具の外観図である。 １・・・・・・試料固定部、２・・・・・・試料固定部
台、３・・・・・・ハンガー、４・・・・・・試料おさ
え板。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　ほか１名脩 図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 表面に溝を持ったＶ字型の試料固定部を有し、このＶ字
   型の試料固定部を、複数個、並べて環状の台に固定し、
   さらに、前記試料固定部上の試料を固持するための試料
   おさえ板を前記試料固定部に移動自在に装着したことを
   特徴とする化学エッチング用試料固定装置。