JPH0220825Y2

JPH0220825Y2 -

Info

Publication number: JPH0220825Y2
Application number: JP1984183095U
Authority: JP
Priority date: 1984-11-30
Filing date: 1984-11-30
Publication date: 1990-06-06
Also published as: JPS6197833U

Description

【考案の詳細な説明】産業上の利用分野この考案は、筐体内に上下複数の発熱体ユニツ
トが水平に配置されている熱処理装置であつて発
熱体ユニツト交換装置を内蔵したものに関する。

従来の技術たとえば半導体製造装置の熱処理装置として、
筐体内に上下複数の管状発熱体ユニツトが水平に
配置されている多段式半導体拡散炉が多く使用さ
れている。従来のこの種の炉とくに小型のものに
おいては、筐体内に固定された受台に発熱体ユニ
ツトがのせられており、最近の多くの炉では、発
熱体ユニツトの交換を容易にするため、筐体に水
平移動自在に取付けられた受台に発熱体ユニツト
がのせられている。

考案が解決しようとする問題点上記のような水平移動受台に発熱体ユニツトが
のせられている炉の場合、受台を筐体から引出し
た状態で発熱体ユニツトの交換ができるが、次に
説明するように、この受台と床との間の発熱体ユ
ニツトの移動は人力で行なう必要があり、大型の
発熱体ユニツトの交換は困難である。すなわち、
最近では、被処理品たとえば半導体用シリコンウ
エハなどの大型化に伴い、発熱体ユニツトが大型
化し、その重量は１つの当り数＋Kgから百Kgに近
くなつており、これを１人で取扱うのは困難であ
る。また、発熱体ユニツトの段数も増して４段の
ものが普通となつており、このため、発熱体ユニ
ツトの取付位置も高くなつている。一方、この種
の炉では、その設置場所などの関係上、発熱体ユ
ニツト交換用の機械類を外部から搬入するのは問
題が多い。したがつて、筐体から引出した状態の
受台と床との間の発熱体ユニツトの移動は人力で
行なう必要があり、とくに高い位置に配置される
大型の発熱体ユニツトの交換が困難で、多くの人
手と時間を要する。

この発明の目的は、大型の発熱体ユニツトの交
換が容易にかつ安全にできる熱処理装置を提供す
ることにある。

問題点を解決するための手段この考案による熱処理装置は、筐体内に上下複
数の発熱体ユニツトが水平に配置されている熱処
理装置であつて、発熱体ユニツト交換用の水平移
動体が筐体に出入自在に取付けられ、水平移動体
に筐体の壁を形成する壁体が設けられ、発熱体ユ
ニツト交換時に発熱体ユニツトを１つずつ支持し
て出入するための発熱体ユニツト支持体が水平移
動体の壁体の内側に昇降自在に取付けられている
発熱体ユニツト交換装置を内蔵したものである。

実施例以下、図面を参照して、この考案の実施例を説
明する。なお、以下の説明において、第１図の左
側を前、同図の右側を後とし、第２図の左右を左
右とする。

図面は、多段式半導体拡散炉１０を使用した半
導体製造装置の熱処理装置の主要部を示す。炉１
０の筐体１２内には、次のように、上下４段の管
状発熱体ユニツト１４が水平に配置されている。
筐体１２内の後側左右両端寄りの部分に１対の支
柱１６が垂直に固定され、前方に水平に突出した
腕１８が各支柱１６の前面に４個ずつ固定されて
いる。各支柱１６の腕１８は個別に高さの調節が
可能なものであり、上下に一定の間隔をおいて配
置されている。各腕１８には受台２０がそれぞれ
固定されており、各発熱体ユニツト１４の左右両
端寄りの部分が対応する左右１対の受台２０にの
せられている。また、図示は省略したが、各発熱
体ユニツト１４には、熱処理装置の中心となる石
英製炉心管が組込まれる。

筐体１２の前面の左右両端部に外側に開く扉２
２，２４がそれぞれ設けられており、左右の扉２
２，２４の間に、次のように、発熱体ユニツト交
換装置２６が設けられている。筐体１２の左右方
向中央部の下部に、前後方向に伸びる左右１対の
スライドレール２８を介して水平移動体３０が出
入自在に取付けられている。なお、この移動体３
０は、人力でレール２８に沿つて前後に移動させ
られる。移動体３０の前部左右両側に上方に垂直
に伸びる１対の支柱３２が固定され、これらの支
柱３２の上端部同志および下端部同志がそれぞれ
水平な梁３４，３６によつて連結されている。そ
して、左右の支柱３２と上下の梁３４，３６の前
面に、筐体１２の前面の左右方向中央部の壁を形
成する壁板３８，４０が固定されている。また、
左右の支柱３２の対向側面に、水平連結部材４２
により連結された左右１対の昇降体４４が垂直な
スライドレール４６を介して昇降自在に取付けら
れ、各昇降体４４には後方に水平に突出したフオ
ーク（発熱体ユニツト支持体）４８がそれぞれ取
付けられている。上下の梁３４，３６の中央部に
垂直なボールねじ５０の上下両端部が回転自在に
支持されており、昇降体４４の連結部材４２に固
定されたナツト５２がボールねじ５０にねじはめ
られている。また、ボールねじ５０の下端部は移
動体３０内に設置された電動機５４にタイミング
ベルト５６によつて連結されており、電動機５４
の回転により左右のフオーク４８が支柱３２に沿
つて昇降する。

炉１０の他の部分の構成は従来のものと同様で
あるから、説明を省略する。

炉１０の稼動中、移動体３０は、第１図に鎖線
で示すように、後方に移動して筐体１２内の最下
段の発熱体ユニツト１４の下方の空間に入つてお
り、適宜なストツパ（図示略）により筐体１２に
固定されている。このとき、フオーク４８は支柱
３２の下部まで降下して、最下段の発熱体ユニツ
ト１４のすぐ下に進入している。また、壁板３
８，４０は筐体１２の前面の左右の扉２２，２４
の間の空間を塞いでおり、壁板３８，４０と扉２
２，２４の前面は面一となつている。

次に、発熱体ユニツト１４を筐体１２から取出
す場合の操作の１例を示す。

まず、筐体１２の前面の左右の扉２２，２４を
開き、ストツパを解除したのち、移動体３０を第
１図に示す前端位置まで移動させて、これとフオ
ーク４８を筐体１２の前方に引出す。次に、引出
す発熱体ユニツト１４のすぐ下の高さにフオーク
４８を固定する。たとえば、最上段の発熱体ユニ
ツト１４を引出す場合は、フオーク４８を第１図
に示す位置まで上昇させる。次に、移動体３０を
後端位置まで移動させて筐体１２に引入れ、引出
す発熱体ユニツト１４の左右方向中央部寄りの部
分のすぐ下にフオーク４８を挿入する。次に、フ
オーク４８を少し上昇させ、発熱体ユニツト１４
をフオーク４８にのせて受台２０より少し上に持
上げる。次に、再び移動体３０を前端位置まで移
動させ、第１図に示すように発熱体ユニツト１４
を筐体１２の前方に引出す。このとき、移動体３
０およびその上の発熱体ユニツト１４の重量は、
レール２８によつて支持される。なお、フオーク
４８を挿入する前に、筐体１２内の受台２０と同
様の受台５８を発熱体ユニツト１４の下部にベル
トなどの適宜な手段によつて取付けておき、この
受台５８の部分をフオーク４８で持上げるように
する。このようにすれば、フオーク４８上で発熱
体ユニツト１４が転がるおそれがない、しかしな
がら、受台５８以外の適宜な手段によつて発熱体
ユニツト１４の転がりを防止するようにしてもよ
い。このようにして発熱体ユニツト１４を引出し
たならば、フオーク４８を下端位置まで下降さ
せ、あとは人力で発熱体ユニツト１４をフオーク
４８から下す。

上記のように最上段の発熱体ユニツト１４を取
出す場合でも、発熱体ユニツト１４をフオーク４
８にのせたまま床６０の近くまで下すことができ
るから、取出し作業がきわめて容易である。

発熱体ユニツト１４を筐体１２に取付ける場合
は、上記と逆の操作を行なえばよい。この場合
も、下端位置まで下降させたフオーク４８に人力
で発熱体ユニツト１４をのせたのち、これをフオ
ーク４８で必要な高さまで持上げればよいから、
取付作業がきわめて容易である。

上記実施例では、電動機５４によりボールねじ
５０を回転させてフオーク４８を昇降させている
が、手動ハンドルなどでボールねじ５０を回転さ
せるようにしてもよい。また、フオーク４８の昇
降手段も、ボールねじに限らず、チエーンなどで
もよい。

考案の効果この考案によれば、発熱体ユニツト交換用の水
平移動体３０が筐体１２に出入自在に取付けら
れ、発熱体ユニツト交換時に発熱体ユニツト１４
を１つずつ支持して出入するための発熱体ユニツ
ト支持体４８が水平移動体３０に昇降自在に取付
けられているから、高い位置に配置される発熱体
ユニツトを交換する場合でも、人力でこれを高い
位置まで持上げたり高い位置から下したりする必
要がない。したがつて、大型の発熱体ユニツトで
あつても交換作業がきわめて容易であり、小人数
で安全にかつ確実に交換作業を行なうことができ
る。また、支持体によつて発熱体ユニツトを昇降
させることにより、発熱体ユニツト取付時の心出
しを短時間で容易にかつ正確に行なうことができ
る。また、水平移動体３０に筐体１２の壁を形成
する壁体３８，４０が設けられ、発熱体ユニツト
支持体４８が水平移動体３０の壁体３８，４０の
内側に取付けられているので、熱処理装置の稼動
中など発熱体ユニツトの交換作業を行なつていな
いときには、水平移動体および発熱体ユニツト支
持体を筐体内に引入れて、壁体によつて筐体の壁
を形成することができ、これらを格納するための
余分なスペースが不要であり、かつ他の作業に支
障をきたすこともない。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の実施例を示し、第１図は熱処
理装置の主要部と発熱体ユニツト交換装置を示す
部分切欠き側面図、第２図は同部分切欠き正面図
である。１０……多段式半導体拡散炉、１２……筐体、
１４……発熱体ユニツト、２６……発熱体ユニツ
ト交換装置、３０……水平移動体、３８，４０…
…壁体、４８……フオーク（発熱体ユニツト支持
体）。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】筐体１２内に上下複数の発熱体ユニツト１４が
水平に配置されている熱処理装置であつて、発熱体ユニツト交換用の水平移動体３０が筐体
１２に出入自在に取付けられ、水平移動体３０に
筐体１２の壁を形成する壁体３８，４０が設けら
れ、発熱体ユニツト交換時に発熱体ユニツト１４
を１つずつ支持して出入するための発熱体ユニツ
ト支持体４８が水平移動体３０の壁体３８，４０
の内側に昇降自在に取付けられている発熱体ユニ
ツト交換装置２６を内蔵した熱処理装置。