JPH02209677A - 空気作動式複合弁装置 - Google Patents
空気作動式複合弁装置Info
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- JPH02209677A JPH02209677A JP3051389A JP3051389A JPH02209677A JP H02209677 A JPH02209677 A JP H02209677A JP 3051389 A JP3051389 A JP 3051389A JP 3051389 A JP3051389 A JP 3051389A JP H02209677 A JPH02209677 A JP H02209677A
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- JP
- Japan
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- valve
- air
- gas
- passage
- valve device
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- Pending
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Lift Valve (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は各種の液体やガスの流れをＭｔｘＪする弁装置
に関し、特に空気作動により動作する弁装置に関する。
に関し、特に空気作動により動作する弁装置に関する。
従来、この種の空気作動式弁装置では第３図に示すよう
に、バルブ６は空気入口３より導入される空気圧により
ａ方向に全開するようになっている。又、空気人口３よ
り導入される空気が停止すると、スプリング９により押
されバルブ６が閉じる。５はエアオペレーションボディ
、ｌはＯリング、７はピストンである。
に、バルブ６は空気入口３より導入される空気圧により
ａ方向に全開するようになっている。又、空気人口３よ
り導入される空気が停止すると、スプリング９により押
されバルブ６が閉じる。５はエアオペレーションボディ
、ｌはＯリング、７はピストンである。
上述した従来の弁装置はバルブ５の開閉によりガスの流
れを制御しているが、シール材とシール面が１つしかな
いため、バルブ５が閉じる際に少しのゴミでもシール面
に付着すれば、ガスの流れを完全に停止することができ
ず、ガスにより処理すべき半導体基板に大きな損害を与
えるという欠点がある。
れを制御しているが、シール材とシール面が１つしかな
いため、バルブ５が閉じる際に少しのゴミでもシール面
に付着すれば、ガスの流れを完全に停止することができ
ず、ガスにより処理すべき半導体基板に大きな損害を与
えるという欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決した空気作動式複合弁装
置を提供することにある。
置を提供することにある。
上述した従来の空気作動式弁装置に対し、本発明はガス
の流れを確実に制御するという相違点を有する。
の流れを確実に制御するという相違点を有する。
前記目的を達成するため、本発明に係る空気作動式複合
弁装置は空気によりバルブを作動する弁装置において、
流体の開閉を行うためのシール面を複数有するものであ
る。
弁装置は空気によりバルブを作動する弁装置において、
流体の開閉を行うためのシール面を複数有するものであ
る。
以下、本発明の一実施例について説明する。
（実施例１）
第１図（ａ） 、 （ｂ）において、バルブボディ５の
流路４の途中に設けた弁座にバルブ６を開閉可能に着座
させ、バルブ６に結合したピストン７をエアオペレーシ
ョンボディ８に向は上方に延長し、ピストン７に取付け
な０リング１にてエアーオペレーションボディ８内に外
部と遮断する空気室２を形成する。又、ピストン７をス
プリング９で下方に付勢し、ピストン７のバルブ６を弁
座にｔ座させる。一方、空気室２には空気取入口３を設
ける。さらに、第１図（ｂ）に示すようにバルブ６の外
周には第２の筒状バルブ６ａが取付けられており、バル
ブ６．６ａを着座させる弁座の異径のシール面１０ａ
、 １０ｂを内外２重に備えている。
流路４の途中に設けた弁座にバルブ６を開閉可能に着座
させ、バルブ６に結合したピストン７をエアオペレーシ
ョンボディ８に向は上方に延長し、ピストン７に取付け
な０リング１にてエアーオペレーションボディ８内に外
部と遮断する空気室２を形成する。又、ピストン７をス
プリング９で下方に付勢し、ピストン７のバルブ６を弁
座にｔ座させる。一方、空気室２には空気取入口３を設
ける。さらに、第１図（ｂ）に示すようにバルブ６の外
周には第２の筒状バルブ６ａが取付けられており、バル
ブ６．６ａを着座させる弁座の異径のシール面１０ａ
、 １０ｂを内外２重に備えている。
実施例において、空気取入口３より空気導入する。空気
は空気室２に入りピストン７に連結されているバルブ６
が矢印ａ方向に動作し、流路４が全開となる。又、空気
導入が停止すると、空気導入時とは逆に全閉となる。こ
の状態において、バルブはバルブ６とその外周のバルブ
６ａとからなり、一方バルブ６，６ａを着座させる弁座
のシール面１０ａ、 １０ｂが内外２重構造となってお
り、−方のシール面１０ａ又は１０ｂにごみ等が付着し
たとしても、他方のシール面１０ｂ又は１０ａとバルブ
６ａ又は６との組合せにより、気密（又は液密）に保持
されてガスの流れが完全に停止し、流路４からのガスの
漏出を防ぎ、製品への悪影響を防止する。
は空気室２に入りピストン７に連結されているバルブ６
が矢印ａ方向に動作し、流路４が全開となる。又、空気
導入が停止すると、空気導入時とは逆に全閉となる。こ
の状態において、バルブはバルブ６とその外周のバルブ
６ａとからなり、一方バルブ６，６ａを着座させる弁座
のシール面１０ａ、 １０ｂが内外２重構造となってお
り、−方のシール面１０ａ又は１０ｂにごみ等が付着し
たとしても、他方のシール面１０ｂ又は１０ａとバルブ
６ａ又は６との組合せにより、気密（又は液密）に保持
されてガスの流れが完全に停止し、流路４からのガスの
漏出を防ぎ、製品への悪影響を防止する。
（実施例２）
第２図は本発明の実施例２を示す断面図である。
第２図に示すように本実施例の空気作動式複合弁装置は
弁座のシール面１０ａ、 １０ｂを別個独立させて並列
に設け、それぞれのシール面１０ａ、１０ｂにバルブ６
を着座させるものである。
弁座のシール面１０ａ、 １０ｂを別個独立させて並列
に設け、それぞれのシール面１０ａ、１０ｂにバルブ６
を着座させるものである。
実施例において、空気人口３より空気を導入すると、空
気室２に入りピストン７に連結されているバルブ６が矢
印ａ方向に動作する。又、空気の導入が停止すると、今
まで空気に押されていたスプリング９がもとに戻り全閉
状態となる。この状態では２つのバルブ６はそれぞれシ
ール面１０ａ。
気室２に入りピストン７に連結されているバルブ６が矢
印ａ方向に動作する。又、空気の導入が停止すると、今
まで空気に押されていたスプリング９がもとに戻り全閉
状態となる。この状態では２つのバルブ６はそれぞれシ
ール面１０ａ。
１０ｂに着座し、ガスの流れを停止させる０本実施例は
実施例１と同様にバルブ６．６ａに対するシール面１０
ａ 、 １０ｂの構造が２重になっているためガスの漏
出が起きに＜＜、かつバルブボディが２つ直列になって
いることから、高圧ガスにも強くなるという利点がある
。
実施例１と同様にバルブ６．６ａに対するシール面１０
ａ 、 １０ｂの構造が２重になっているためガスの漏
出が起きに＜＜、かつバルブボディが２つ直列になって
いることから、高圧ガスにも強くなるという利点がある
。
以上説明したようＬこ本発明は流体の開閉を行うための
シール面を複数有することにより、流体の流れを完全に
停止でき、必要以外のガスによる半導体基板の損害を防
ぐことができる効果を有する。
シール面を複数有することにより、流体の流れを完全に
停止でき、必要以外のガスによる半導体基板の損害を防
ぐことができる効果を有する。
第１図（ａ）は本発明の実施例１を示す断面図、第１図
（ｂ）は第１図（ａ）の要部拡大断面図、第２図は本発
明の実施例２を示す断面図、第３図は従来の空気作動式
バルブを示す断面図である。 １・・・０リング ２・・・空気室３・・・空
気取入口 ４・・・流路５・・・バルブボディ ６．６ａ・・・バルブ ７・・・ピストン８・・・
エアオペレーションボディ
（ｂ）は第１図（ａ）の要部拡大断面図、第２図は本発
明の実施例２を示す断面図、第３図は従来の空気作動式
バルブを示す断面図である。 １・・・０リング ２・・・空気室３・・・空
気取入口 ４・・・流路５・・・バルブボディ ６．６ａ・・・バルブ ７・・・ピストン８・・・
エアオペレーションボディ
Claims (1)
- （１）空気によりバルブを作動する弁装置において、流
体の開閉を行うためのシール面を複数有することを特徴
とする空気作動式複合弁装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3051389A JPH02209677A (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | 空気作動式複合弁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3051389A JPH02209677A (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | 空気作動式複合弁装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02209677A true JPH02209677A (ja) | 1990-08-21 |
Family
ID=12305893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3051389A Pending JPH02209677A (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | 空気作動式複合弁装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02209677A (ja) |
-
1989
- 1989-02-09 JP JP3051389A patent/JPH02209677A/ja active Pending
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