JPH02210733A - プラズマディスプレイおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、各セルを形成するための隔壁をアノードガ
ラス側にスクリーン印刷方式で印刷形成するようにした
プラズマディスプレイおよびその製造方法に関する。

（従来の技術） プラズマディスプレイは冷陰極ガス放電管の一種で、陰
極（カソード）と陽極（アノード）を、周囲が完全に密
封されたガラス内に封入された希ガス空間中に露出させ
、アノードとカソード間に高電圧を印加することにより
希ガス内の原子が励起され電離することにより発生する
カソード近傍のグロー放・電から光子（放電光）が放射
される。

この発光を利用したものが、いわゆるＣＤ形ブラズマデ
ィスプレイといわれるもので、現在パーソナルコンピュ
ータの表示装置などに使用されている。

プラズマディスプレイの従来の一例を第３図に示す、こ
のプラズマディスプレイは文献「沖電気研究開発Ｖｏｌ
　　５３．　Ｎａ３．　　Ｐ　５〜Ｐ　６Ｊに開示され
るもので、第３図１ａｌは平面図、山）は斜視図、（Ｃ
１は断面図である。このプラズマディスプレイは、向い
合ってシールされた２枚のガラス１，２により構成され
ており、下側のガラス（カソードガラス）１にはカソー
ド電極３と、該カソード電極３を各セルに分割し放電の
ための空間を形成する隔壁４とが設けられており、上側
のガラス（アノードガラス）２には、アノード電極５が
設けられている。アノード電極５は、放電６による光り
をさえぎるのを防ぐため透明電極を使用しており、具体
的にはＩＴＯ膜（インジウムとスズの酸化物）が用いら
れている。カソード１を極３と隔壁４はそれぞれ厚膜印
刷により形成されており、印刷、乾燥、焼成後、２枚の
ガラス１．２を合わせて周囲を高真空にシールし、内部
をＮｅなどの希ガスに置換した構造となっている。

このようなプラズマディスプレイにおいて、隔壁４は従
来前記第３図のようにカソードガラス１側に印刷形成し
ており、このカソードガラス１とアノードガラス２を重
ね合わす時、カソードガラス１側の隔壁４と隔壁４との
間に、アノードガラス２側のアノード電極５を正しく位
置合わせする必要がある。もし、ずれが生じると、隔壁
４上にアノード電極５が重なり放電部分が少なくなり、
輝度が取れなくなる。そこで、注意深く位置合わせを行
っているが、位置合わせに時間がかかる問題点があった
。

この問題点を解決するために、アノードガラス２のアノ
ード電極５相互間に隔壁４を印刷する方法が考えられて
いる。第４図は、このアノードガラス２側に隔壁４を印
刷形成したプラズマディスプレイを示し、図中第３図と
同一部分には同一符号を付しである。

（発明が解決しようとする課題） しかるに、上記のアノードガラス２側に隔壁４を印刷形
成する方法では、該隔壁４を厚膜印刷法、具体的にはス
クリーン印刷方式で印刷形成した時の該隔壁４側縁部の
凸凹が、アノードガラス面（発光表示面）に発光面積の
バラツキ（延いては輝度のバラツキ）として出てくると
いう問題点があったやこの点を以下詳述する。

厚膜印刷には、上述のようにスクリーン印刷方式が用い
られる。スクリーン印刷方式とは、ステンレスの針金を
織った布地（スクリーン）を枠に張って周囲を緊張固定
させ、その上に手工的または光学的（写真的）方法で版
膜を作って必要な画線以外の目を塞ぎ、枠内に印刷ペー
ストを容れ、スキージと称するヘラ状のゴム板でスクリ
ーン内面を加圧宿動すれば、ペーストは版膜のない部分
のスクリーンを通過して版の下に置かれた紙、その他の
被印刷物面に押し出されて印刷が行われるという技術で
ある。

このスクリーン印刷方式で隔壁４を印刷形成する場合の
スクリーンを第５図（ａｔに示し、１１はステンレスの
針金、１２は版膜、１３は隔壁を形成するために版膜が
ない帯状部分である。このスクリーンを使用していま隔
壁を印刷形成した場合、理想的には帯状部分１３からペ
ーストが押し出されて、該帯状部分１３と同様に側縁部
が直線的な隔壁パターンが得られるはずであるが、実際
にはいま帯状部分１３のステンレスの針金１１の編み方
が例えば第５回出）であったとすると、Ｏ印で囲んだ部
分の開口面積が狭いので、どうしても粘度の高い隔壁用
ペーストは○印の部分から押し出されず、結果として側
縁部が凸凹の第５図ｔｃ＋のような隔壁パターン（隔壁
４）が形成されてしまう。

そして、その隔壁の凸凹になっている部分例えば第５図
（ｅｌのＯ印のような部分は他の部分より凹んでいるの
で、アノードガラス（発光表示面）の発光面積としては
それを広げることになり、他の部分より明るく見えるこ
とになる。このような隔壁の側縁部の凸凹による輝度の
バラツキは、前記隔壁をカソードガラスに印刷形成した
場合には目立たないが、発光表示面であるアノードガラ
スに印刷形成した場合は大きく目立つ。

この発明は、以上述べた隔壁の側縁部の凸凹による輝度
のバラツキを除去し、均一な輝度を得ることのできるプ
ラズマディスプレイを提供することを目的とする。また
、この発明は、上記のように均一な輝度を得ることので
きるプラズマディスプレイを製造する方法を提供するこ
とを目的とする。

（課題を解決するための手段） この発明は、アノード電極を有するアノードガラス側に
、各セルを形成するための隔壁を印刷形成するプラズマ
ディスプレイおよびその製造方法において、側縁部に直
線性を有する不透明なマスク膜を前記アノードガラスに
、前記アノード電極の相互間にて形成し、このマスク膜
に重なって、このマスク膜より幅狭に隔壁を印刷形成す
るものである。

（作　用） 側縁部に直線性を有する不透明なマスク膜は、例えば隔
壁と同一のペースト（例えば鉛ガラス）を使用して、フ
ォトリソとエツチング工程で容易に形成できる。このマ
スク膜をアノードガラスに形成し、これに重なって、こ
れより幅狭にスクリーン印刷方式で隔壁を形成すれば、
隔壁の側縁部の凸凹は前記マスク膜の面内にか（れるよ
うになり、かつアノードガラス面での発光面積は前記マ
スク膜の側縁部で決められることになる。このマスク膜
の側縁部は前述のように直線性がよく、したがって、ア
ノードガラス面での発光面積は均一となり、延いては、
輝度が均一となる。

（実施例） 以下この発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図はこの発明のプラズマディスプレイの一実施例を
示す断面図である。この図において、２１はカソードガ
ラスで、内面上にはストライプ状のカソード電極２２が
複数本波べて形成されている。

このカソードガラス２１と所定間隔に対向してアノ−ト
ガ・ラス２３が設けられており、周囲の相互間はシール
されている。このアノードガラス２３の内面には、例え
ばＩＴＯ膜からなるストライプ状のアノード電極２４が
複数本所定間隔に、前記カソード電極２２と直交する方
向に設けられている。また、アノードガラス２３の内面
には、側縁部の直線状が良好なストライプ状の不透明な
マスク膜２５が、前記アノード電極２４の各相互間に位
置してこれと平行に形成されている。さらに、アノード
ガラス２３の内面には、前記カソード電極２２を各セル
に分割し放電のための空間を形成するためのストライプ
状の隔壁２６が前記各マスク膜２５に重なる形で形成さ
れている。この隔壁２６は、前記マスク膜２５より幅狭
に形成される。

また、アノードガラス２３とカソードガラス２１相互間
の密閉空間部には、Ｎｏなどの希ガスが封入される。

このように構成されたプラズマディスプレイにおいては
、不透明なマスク膜２５に重なって、これより幅狭に隔
壁２６°が形成されるので、隔壁２６の側縁部に凸凹が
凌・っても、この凸凹はマスク膜２５の面内にかくれる
ようになる。また、アノードガラス２３面での発光面積
は前記マスク膜２５の側縁部で決められることとなる。

このマスク膜２５の側縁部は直線性がよく、したがって
、アノードガラス２３面での発光面積は均一となり、延
いては、輝度が均一になる。なお、第１図において、２
７は放電、Ｌは放電光を表わす。

上記のようなプラズマディスプレイは、カソード電極２
２を形成したカソードガラス２１と、アノード電極２４
．マスク膜２５および隔壁２６を形成したアノードガラ
ス２３を準備し、それを第１図のように対向させ、周囲
をシールし、内部をＭｅなどの希ガスに置換することに
より製造されるが、各部の詳細な製法は、本発明の特徴
部分であるマスク膜部を除いて従来と同様である。そこ
で、以下の製造方法の説明では、マスク膜２５の製造工
程についてのみ詳細に述べることとする。

第２図（ａ）に示すようにアノード電極２４を形成した
アノードガラス２３を準備する。そのアノードガラス２
３面上にマスク膜形成材料２５ａ例えば隔壁と同一の鉛
ガラスを均一に塗布し乾燥させる（第２図（ｂｌ）、そ
のマスク膜形成材料２５ａ上に第２図（ｃｌに示すよう
にレジスト３１を塗布する。

そのレジスト３１を第２図ｆｄｌに示すように露光マス
ク３２を通して露光し、現像することにより、第２図（
ε）に示すように、アノード電極２４相互間のマスク膜
形成部分にのみレジスト３１を残ス。

その後、残存レジスト３１をマスクとしてマスク膜形成
材料２５ａをエツチングし、第２図（ｆ）に示すように
、アノード電極２４相互間にマスク膜２５を形成する。

この時、マスク膜２５は、前記のようにフォトリソ・エ
ツチング法で形成することにより、側縁部の直線性は良
好となる。その後、マスク１１１２５上のレジスト３１
を第２図（梢に示すように除去した後、マスク膜２５上
にスクリーン印刷方式で、マスク膜２５より幅狭に第１
図で示される隔壁２６が印刷形成されることになる。

なお、前記のように隔壁２６と同一の鉛ガラスでマスク
膜２５が形成されるのであれば、隔壁部分まで含めてフ
ォトリソ・エツチング法で一度に形成してしまったらよ
いのではないかとの考えが出ると思うが、フォトリソ・
エツチング法による側縁部の直線性の良好な膜は厚く得
られないのであり、そこで、マスク膜２５形成後、隔壁
２６をスクリーン印刷方式で重ね形成する必要がある。

また、マスク膜２５を形成する材料は何も隔壁２６と同
一材料である必要はなく、不透明で、かつ放電されても
影響を受けない物質ならば何でも良い。

さらに、マスク膜２５の形成法はフォトリソ・エツチン
グ法に限らず、側縁部の直線性が得られる方法ならば他
を使用することもできる。

さらに、マスク膜２５は、アノードガラス２３の外側面
（アノード電極２４と反対面）に形成してもよく、また
アノード電極２４の形成前にマスク膜２５を形成するこ
ともできる。

（発明の効果） 以上詳述したように、この発明によれば、アノードガラ
スのアノード電極相互間に、側縁部の直線性が良好な不
透明なマスク膜を形成し、このマスク膜に重なって、こ
のマスク膜より幅狭に隔壁を印刷形成するようにしたの
で、アノードガラス面での発光面積、延いては輝度を均
一とすることができ、発光表示特性の良好なプラズマデ
ィスプレイを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のプラズマディスプレイの一実施例を
示す構造断面図、第２図はこの発明のプラズマディスプ
レイの製造方法の一実施例を示す工程断面図、第３図は
従来のプラズマディスプレイの一例を示す平面図、斜視
図および断面図、第４図は隔壁をアノードガラス側に形
成した従来のプラズマディスプレイの断面図、第５図は
スクリーン印刷方式におけるスクリーンと得られた隔壁
を示す平面図である。 ２３・・・アノードガラス、２４・・・アノードガラス
、２５・・・マスク膜、２６・・・隔壁、２５ａ・・・
マスク膜形成材料、３１・・・レジスト、３２・・・露
光マスク。 本発明一実施例の構造 第１図 第２図 隔壁をアノードガラスＩＩＩ：形成したプラズマディス
゛ブしイ第４図 スクリーン印刷方式ＩＪけるスクリーンと偏られた隔壁
第５図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）アノード電極を有するアノードガラス側に、各セ
   ルを形成するための隔壁を印刷形成するようにしたプラ
   ズマディスプレイにおいて、 側縁部に直線性を有する不透明なマスク膜を前記アノー
   ドガラスに、前記アノード電極の相互間にて設け、 このマスク膜に重なって、このマスク膜より幅狭に隔壁
   を設けたことを特徴とするプラズマディスプレイ。
2. （２）アノード電極を有するアノードガラス側に、各セ
   ルを形成するための隔壁をスクリーン印刷方式で印刷形
   成するようにしたプラズマディスプレイの製造方法にお
   いて、 アノード電極形成工程の前後に、側縁部に直線性を有す
   る不透明なマスク膜をアノードガラスに、アノード電極
   の相互間に位置するごとく形成する工程と、 そのマスク膜に重なって、このマスク膜より幅狭に隔壁
   をスクリーン印刷方式で印刷形成する工程とを具備する
   ことを特徴とするプラズマディスプレイの製造方法。