JPH0221273A - Optical apparatus - Google Patents
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- JPH0221273A JPH0221273A JP63171324A JP17132488A JPH0221273A JP H0221273 A JPH0221273 A JP H0221273A JP 63171324 A JP63171324 A JP 63171324A JP 17132488 A JP17132488 A JP 17132488A JP H0221273 A JPH0221273 A JP H0221273A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野)
本発明は、電気乃至は磁気光学効果を有する光学素子を
備えた光学装置に係り、特に温度変化による測定誤差が
有利に低減され得る、光学装置の改良された構造に関す
るものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Technical Field) The present invention relates to an optical device equipped with an optical element having an electric or magneto-optical effect, and in particular to an improvement of the optical device in which measurement errors due to temperature changes can be advantageously reduced. It is related to the structure that was created.
(従来技術)
従来から、リチウム・ナイオベート(LiNb0z )
の如き結晶の有する電気乃至は磁気光学効果を利用した
、光変調器、光電圧センサ等の光学装置が知られている
。そして、これらの電気乃至は磁気光学効果を利用した
光学装置は、光を信号の媒体としているところから、信
号を電気的に絶縁することが出来、しかも光信号伝送線
においては、静電誘導や電磁誘導の影響を受は難いとい
う特徴を有していることが、認められている。なお、こ
の電気乃至は磁気光学効果とは、加えられた電界乃至は
磁界の強さに応じて素子の屈折率が変化し、透過光を変
調する現象であって、上記の装置は、この現象を利用し
て、光を変調したり、電圧を測定したりしているのであ
る。(Prior art) Traditionally, lithium niobate (LiNb0z)
Optical devices such as optical modulators and optical voltage sensors that utilize the electrical or magneto-optical effects of crystals such as these are known. Since these optical devices that utilize electricity or magneto-optical effects use light as a signal medium, they can electrically isolate signals, and optical signal transmission lines are free from electrostatic induction and It is recognized that it has the characteristic that it is hardly affected by electromagnetic induction. The electric or magneto-optical effect is a phenomenon in which the refractive index of the element changes depending on the strength of the applied electric or magnetic field, modulating the transmitted light. It is used to modulate light and measure voltage.
因みに、かかる電気光学効果を利用した装置として、例
えば、第1図に示される如き光電圧センサが知られてい
るのである。なお、この第1図において、1は光源、2
は光ファイバー、3はし1NbO3等の電気光学結晶、
4aは偏光子、4bは検光子、5はλ/4板、6はファ
イバーコリメータ、7は受光器、8は電気光学結晶3の
対向面にそれぞれ設けられた電極であり、それらの光学
部品3〜6によって、測定部位たるセンサヘッドが構成
されている。Incidentally, an optical voltage sensor as shown in FIG. 1, for example, is known as a device that utilizes such an electro-optic effect. In addition, in this FIG. 1, 1 is a light source, 2
is an optical fiber, 3 is an electro-optic crystal such as 1NbO3,
4a is a polarizer, 4b is an analyzer, 5 is a λ/4 plate, 6 is a fiber collimator, 7 is a light receiver, 8 is an electrode provided on the opposing surface of the electro-optic crystal 3, and these optical components 3 ~6 constitute a sensor head which is a measurement site.
そして、電気光学結晶3としてし1Nb03等のポッケ
ルス素子を用いた場合において、光源1から放射された
光は、偏光子4aを通過して直線偏光となり、更に電気
光学結晶3を通過して楕円偏光となる。また、この楕円
偏光となった光は、λ/4板5及び検光子4bを通過し
、その楕円率に応じて光量が変化せしめられるのである
。そして、この光量は、電気光学結晶3に設けた電極8
に印加される電圧に対応しており、この光量を測定する
ことによって、被測定電圧を図ることが出来るのである
。When a Pockels element such as 1Nb03 is used as the electro-optic crystal 3, the light emitted from the light source 1 passes through the polarizer 4a to become linearly polarized light, and further passes through the electro-optic crystal 3 to become elliptically polarized light. becomes. Further, this elliptically polarized light passes through the λ/4 plate 5 and the analyzer 4b, and the amount of light is changed according to its ellipticity. The amount of light is determined by the electrode 8 provided on the electro-optic crystal 3.
By measuring the amount of light, the voltage to be measured can be determined.
また、かかる光電圧センサにあっては、水分や塵、ごみ
等が光路上に介在することによる測定誤差の発生を防ぎ
、信顛性を確保する上において、一般に、そのセンサヘ
ッドが、気密及び液密に密閉された容器10内に、収容
されてなる構造とされている。In addition, in order to prevent measurement errors caused by moisture, dust, dirt, etc. on the optical path and to ensure reliability, the sensor head of such a photovoltaic sensor is generally airtight and It has a structure in which it is housed in a liquid-tightly sealed container 10.
ところが、このような電気(磁気)光学効果を有する光
学素子、例えばLiNb0zやLiTaO3等の結晶を
備えたセンサヘッドが、密閉容器内に収容されてなる構
造の光学装置においては、該センサヘッドが配される環
境温度の変化により、出力特性が著しく不安定となり、
大きな測定誤差が生ぜしめられるといった欠点を有して
いたのであり、特に、このような光学装置は、耐絶縁性
及び耐ノイズ特性が優れていることから、電力分野にお
いて好適に用いられ、−20〜80°C程度の広い温度
範囲に亘って使用されるものであることから、かかる環
境温度の変化による出力特性変化が大きな問題となって
いたのである。However, in an optical device having a structure in which a sensor head including an optical element having such an electric (magneto) optical effect, for example a crystal such as LiNb0z or LiTaO3, is housed in a closed container, the sensor head is Due to changes in the environmental temperature, the output characteristics become extremely unstable.
In particular, such optical devices have excellent insulation resistance and noise resistance characteristics, and are therefore suitable for use in the power field. Since the device is used over a wide temperature range of about 80° C., changes in output characteristics due to changes in the environmental temperature have been a major problem.
(解決課題)
ここにおいて、本発明は、上述の如き事情を背景として
為されたものであって、その解決課題とするところは、
電気乃至は磁気光学効果を有する光学素子を備えた光学
装置において、周囲の温度変化による測定誤差が有利に
低減され得る、改良された光学装置を提供することにあ
る。(Problem to be solved) Here, the present invention has been made against the background of the above-mentioned circumstances, and the problem to be solved is:
An object of the present invention is to provide an improved optical device in which measurement errors due to changes in ambient temperature can be advantageously reduced in an optical device equipped with an optical element having an electric or magneto-optical effect.
(解決手段)
そして、かかる課題を解決すべく、本発明にあっては、
外部から加えられた電磁界の強さに応じて透過光を変調
する光学素子を備えた光学装置において、該光学素子を
少なくとも含む測定部位を、密閉された容器内に収容配
置すると共に、かかる容器内の容積変化を許容すること
により、該容器内の圧力変化を吸収する圧力吸収機構を
設けたことを、その特徴とするものである。(Solution Means) In order to solve this problem, the present invention includes:
In an optical device including an optical element that modulates transmitted light according to the strength of an electromagnetic field applied from the outside, a measurement site including at least the optical element is housed in a sealed container, and the container A feature of the container is that it is provided with a pressure absorption mechanism that absorbs changes in pressure within the container by allowing changes in volume within the container.
(発明の具体的構成・効果)
すなわち、本発明は、前述の如き、光学素子を含む測定
部位が密閉容器内に収容されてなるセンサヘッドを有す
る光学装置について、本発明者が、実験を行ない、検討
を加えたところ、かかる装置の出力特性、即ち光学素子
の特性変化は、単に温度因子だけの影響によるものでは
ないことが、明らかとなったのである。(Specific structure and effects of the invention) That is, the present invention is based on the inventor's experiments on an optical device having a sensor head in which a measurement part including an optical element is housed in a sealed container as described above. After further investigation, it became clear that the output characteristics of such a device, that is, the changes in the characteristics of the optical element, were not simply due to the influence of temperature factors.
より具体的には、このような光学装置にあっては、密閉
容器内に収容されたセンサヘッドに対して、温度変化に
伴う容器内空気の膨張/収縮に基づいて、圧力変化が及
ぼされることとなり、その値は、−20〜80°Cの温
度変化に対して、0.8〜1.2atm程度の変化にま
で達することが認められた。また一方、例えば、第2図
に示されているように、前記第1図に示されている如き
光学装置におけるセンサヘッドの密閉容器10に連通孔
を設け、該連通孔を通じて、シリンダ式ピストンから成
る加圧装置12にて、空気を容器10内に注入、或いは
容器10内から吸出することにより、該容器lO内の圧
力を変化せしめたところ、その出力特性が、第3図に示
されている如(変化すること、即ち電気光学結晶(3)
の特性が、圧力因子による影響を受けて大きく変化する
ことが見い出され得たのである。なお、第2図中、14
.14は、それぞれ、電極(8,8)間に、被測定電圧
を印加せしめるリード線である。More specifically, in such an optical device, a pressure change is applied to a sensor head housed in a closed container based on expansion/contraction of the air inside the container due to temperature change. It was observed that the value reached a change of about 0.8 to 1.2 atm with respect to a temperature change of -20 to 80°C. On the other hand, for example, as shown in FIG. 2, a communication hole is provided in the sealed container 10 of the sensor head in the optical device as shown in FIG. When the pressure inside the container 10 was changed by injecting air into the container 10 or sucking air out from the container 10 using the pressurizing device 12, the output characteristics were as shown in FIG. As if (to change, that is, electro-optic crystal (3)
It has been found that the properties of the material change significantly under the influence of pressure factors. In addition, in Figure 2, 14
.. 14 are lead wires for applying a voltage to be measured between the electrodes (8, 8), respectively.
そして、本発明は、このような知見に基づいて為された
ものであって、かかる本発明に従う光学装置においては
、容器内の容積変化を許容し得る圧力吸収機構を備えて
おり、該圧力吸収機構にて容器内の圧力変動が吸収され
得て、該容器内の圧力が略一定に保たれ得ることとなる
のである。The present invention has been made based on such knowledge, and the optical device according to the present invention is equipped with a pressure absorption mechanism that can allow a change in volume within the container, and the pressure absorption mechanism is The mechanism can absorb pressure fluctuations within the container and maintain the pressure within the container approximately constant.
従って、かかる本発明に係る光学装置にあっては、温度
変化による空気の膨張及び収縮に伴う容器内の圧力変化
が解消され得るところから、温度変化に起因するセンサ
の出力特性の変化のうち、圧力因子によるものが略完全
に回避され得るのであり、その測定精度及び信鎖性が有
利に向上され得ることとなるのである。Therefore, in the optical device according to the present invention, pressure changes inside the container due to expansion and contraction of air due to temperature changes can be eliminated, and therefore, among changes in the output characteristics of the sensor due to temperature changes, Pressure factors can be almost completely avoided, and the measurement accuracy and reliability can be advantageously improved.
(実施例)
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発
明の実施例について、図面を参照しつつ、詳細に説明す
ることとする。(Examples) Hereinafter, in order to clarify the present invention more specifically, examples of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
先ず、第4図には、本発明に係る光学装置の一具体例と
しての光電圧センサが示されている。なお、この第4図
に示される光電圧センサにおいて、測定系を構成する部
品は、前記第1図に示された光電圧センサのものと同様
であるので、同様な部品に対して、それぞれ同一の符号
を付することにより、その詳細な説明は省略することと
する。First, FIG. 4 shows an optical voltage sensor as a specific example of the optical device according to the present invention. In the photovoltage sensor shown in FIG. 4, the parts constituting the measurement system are the same as those of the photovoltage sensor shown in FIG. By assigning the reference numeral , a detailed explanation thereof will be omitted.
すなわち、本実施例における光電圧センサにあっては、
光学部品3〜6によって構成された、測定部位としての
センサヘッドが内部に収容された、密閉容器IOに対し
て、連通孔22が、その壁部を内外に貫通して設けられ
ている。そして、かかる貫通孔22の外側開口部位にお
いて、ベローズ24が取り付けられて、容器10の内部
空間が、該ベローズ24内に連通されており、それによ
ってかかる容器10の内部空間が、ベローズ24内空間
をも含んで構成せしめられている。That is, in the optical voltage sensor in this example,
A communication hole 22 is provided to penetrate the wall of the closed container IO, which is constituted by the optical components 3 to 6 and houses a sensor head as a measurement site, inside and outside. A bellows 24 is attached to the outer opening of the through hole 22, and the internal space of the container 10 is communicated with the bellows 24, so that the internal space of the container 10 is connected to the internal space of the bellows 24. It is also configured to include.
ここにおいて、かかるベローズ24は、フッ素樹脂等の
耐熱性に優れた弾性乃至は可撓性材料にて形成されてお
り、容易に伸縮変形可能とされている。そして、このベ
ローズ24が、連通孔22の外側開口部位に取り付けら
れていることにより、該ベローズ24の伸縮変形に基づ
いて、センサヘッドが収容された容器10の内部空間の
容積変化が許容され得るようになっているのであり、換
言すれば、容器10内の圧力変化に応じて、外部空間と
の圧力差に基づき、ベローズ24が伸縮変形せしめられ
ることにより、かかる容器lo内の圧力が外部圧力と路
間−に保たれ、その変化が吸収され得ることとなるので
ある。Here, the bellows 24 is made of an elastic or flexible material with excellent heat resistance, such as fluororesin, and is easily expandable and deformable. Since the bellows 24 is attached to the outer opening of the communication hole 22, a change in the volume of the internal space of the container 10 in which the sensor head is housed can be allowed based on the expansion and contraction of the bellows 24. In other words, in response to changes in the pressure inside the container 10, the bellows 24 is expanded and contracted based on the pressure difference with the outside space, so that the pressure inside the container 10 is changed to the outside pressure. This means that the change can be absorbed.
また、本実施例における光電圧センサにあっては、容器
10に対して、ベローズ24の回りを覆うカバ一部26
が一体的に設けられており、該カバ一部26にてベロー
ズ24が保護されている。In addition, in the optical voltage sensor in this embodiment, a cover part 26 that covers the bellows 24 is attached to the container 10.
is integrally provided, and the bellows 24 is protected by the cover portion 26.
尤も、かかるカバ一部26には、外部空間と連通ずる通
孔27が設けられており、かかるベローズ24の外周面
に対して、外部空間の圧力が及ぼされ得るようになって
いる。Of course, the cover portion 26 is provided with a through hole 27 that communicates with the external space, so that the pressure of the external space can be applied to the outer peripheral surface of the bellows 24.
そして、このような構造とされた光電圧センサを用い、
第5図に示されているように、そのセンサヘッド(容器
10)を、恒温槽28内に収容せしめて、該恒温槽28
内の温度を一20〜80°Cまで変化させたときの光電
圧センサ出力を測定した。なお、かかる光電圧センサ出
力は、良く知られているように、受光器7から出力され
る電気信号を、交流成分検出器30及び直流成分検出器
32にそれぞれ導き、そこで目的とする信号成分を取り
出した後、割算回路34にて行なわれる演算にて、光伝
送路における光量変動を補償した結果の出力信号として
得られるものである。Then, using a photovoltage sensor with such a structure,
As shown in FIG. 5, the sensor head (container 10) is housed in a constant temperature bath 28.
The photovoltage sensor output was measured when the temperature inside was changed from -20 to 80°C. Note that, as is well known, such a photovoltage sensor output is performed by guiding the electrical signal output from the photoreceiver 7 to an AC component detector 30 and a DC component detector 32, respectively, and detecting the desired signal component there. After the signal is taken out, the division circuit 34 performs calculations to obtain an output signal as a result of compensating for variations in the amount of light in the optical transmission path.
また、かかる測定に際しては、電気光学結晶3としてポ
ッケルス素子(LiNb0z結晶)を、光源1としてL
EDを、また受光器7としてPINフォトダイオードを
、それぞれ用い、電極8.8間に対して、交流安定化電
源36にて、60V(501(z)の電圧を印加せしめ
た場合について測定した。In addition, in such measurements, a Pockels element (LiNb0z crystal) is used as the electro-optic crystal 3, and L is used as the light source 1.
Measurements were made using an ED and a PIN photodiode as the light receiver 7, respectively, and applying a voltage of 60V (501(z)) between the electrodes 8 and 8 from the AC stabilized power supply 36.
さらに、かかる測定に際しては、比較例として、第1図
に示されている如き構造の、容積不変の容器10を備え
た光電圧センサについても、同様な出力測定を行なった
。なお、かかる従来構造の光電圧センサにあっては、前
述の如き測定に際して、容器10が配される恒温槽28
内の−20〜8゜°Cまでの温度変化に伴い、かかる容
器10内において、0.8〜1.2atmまでの圧力変
動が認められた。Further, in making such measurements, as a comparative example, similar output measurements were also made for a photovoltage sensor equipped with a container 10 with a constant volume as shown in FIG. 1. In addition, in the optical voltage sensor having such a conventional structure, during the above-mentioned measurement, the thermostatic chamber 28 in which the container 10 is placed is used.
Pressure fluctuations from 0.8 to 1.2 atm were observed within the container 10 as the temperature changed from -20 to 8 degrees Celsius.
そして、それら本実施例及び従来例についての測定結果
が、第6図に併せ示されている。なお、かかる第6図に
おいては、光電圧センサの出力値を、本実施例装置では
25°Cの温度下での出力値を、また比較例装置では2
5°Cの温度下での出力値を、それぞれ基準とする出力
変動率として表した。The measurement results for this example and the conventional example are also shown in FIG. In addition, in FIG. 6, the output value of the photovoltage sensor is shown as the output value at a temperature of 25°C in the device of this embodiment, and the output value at a temperature of 25°C in the device of the comparative example.
The output values at a temperature of 5°C were each expressed as a reference output fluctuation rate.
かかる第6図からも、本実施例装置における光電圧セン
サにあっては、温度変化に伴う出力変動が改善され、測
定誤差が有効に低減され得ることが、明らかなところで
ある。It is clear from FIG. 6 that in the optical voltage sensor of the device of this embodiment, output fluctuations due to temperature changes can be improved and measurement errors can be effectively reduced.
従って、このような構造とされた光電圧センサにあって
は、容器10の密閉性を確保しつつ、その内圧変動を回
避し得るようにしたことから、センサヘッド部における
水分や塵、ごみ等による悪影響の防止効果を充分に確保
しつつ、環境温度変化に伴って生ぜしめられる測定誤差
が有効に低減され得るのであり、以て装置の使用性及び
信頼性が有利に向上され得ることとなるのである。Therefore, in the optical voltage sensor having such a structure, since the internal pressure fluctuation can be avoided while ensuring the airtightness of the container 10, moisture, dust, dirt, etc. in the sensor head can be prevented. Measurement errors caused by environmental temperature changes can be effectively reduced while ensuring sufficient prevention of adverse effects caused by environmental temperature changes, thereby advantageously improving the usability and reliability of the device. It is.
以上、本発明の一実施例について詳述してきたが、これ
は文字通りの例示であって、本発明は、かかる具体例に
のみ限定して解釈されるものではない。Although one embodiment of the present invention has been described in detail above, this is a literal illustration, and the present invention is not to be construed as being limited only to this specific example.
例えば、ベローズ24を保護するカバ一部26は、必ず
しも必要なものではない。For example, the cover portion 26 protecting the bellows 24 is not absolutely necessary.
また、圧力吸収機構としては、容器lO内の圧力変動を
吸収し得るものであれば良く、例えば平膜状や袋状等の
ダイヤフラム(弾性薄膜)にて構成することも可能であ
り、また弾性変形によるものではなく、ピストン構造等
によって構成することも可能である。In addition, the pressure absorption mechanism may be any mechanism as long as it can absorb pressure fluctuations within the container 1O, and may be configured with a diaphragm (elastic thin film) in the form of a flat membrane or bag, for example. It is also possible to construct it not by deformation but by a piston structure or the like.
さらに、前記実施例においては、本発明を、電気光学素
子たるポッケルス素子を用いた光電圧センサに対して適
用したものの一例を示したが、その他の各種の電気乃至
は磁気光学効果を有する素子、例えばファラデー素子等
においても、圧力変動に伴う光学特性の変化が生ぜしめ
られることが、本発明者によって確認されており、従っ
て、そのような電気乃至は磁気光学効果を有する素子を
備えた、光変調器や電圧センサ、磁気センサ等の各種の
光学装置に対しても、本発明が有利に適用され得るもの
である。Further, in the above embodiment, an example was shown in which the present invention was applied to a photovoltage sensor using a Pockels element, which is an electro-optical element, but various other elements having an electric or magneto-optical effect, For example, the present inventor has confirmed that even in Faraday elements, changes in optical characteristics occur due to pressure fluctuations, and therefore, optical The present invention can also be advantageously applied to various optical devices such as modulators, voltage sensors, and magnetic sensors.
その他、−々列挙はしないが、本発明は当業者の知識に
基づいて、種々なる変更、修正、改良等を加えた態様に
おいて実施され得るものであり、またそのような実施態
様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも本発明の
範囲内に含まれるものであることは、言うまでもないと
ころである。In addition, although not listed, the present invention can be implemented in embodiments with various changes, modifications, improvements, etc., based on the knowledge of those skilled in the art, and such embodiments are not limited to the present invention. It goes without saying that any of these are included within the scope of the present invention as long as they do not depart from the spirit of the invention.
第1図は、従来の光電圧センサの一例の構造を示す説明
図である。第2図は、容器内圧力の変化に伴うセンサの
出力変動を測定すべく行った実験手法を説明するための
斜視図であり、第3図は、かかる実験にて得られた測定
結果を示すグラフである。また、第4図は、本発明の実
施例たる光電圧センサの構造を示す説明図であり、第5
図は、かかる光電圧センサの温度変化に伴う出力変動を
測定すべく行なった実験手法を説明するための説明図で
あり、第6図は、かかる実験にて得られた測定結果を示
すグラフである。
3:電気光学結晶 4a:偏光子
4b二検光子 5:λ/4板6:フアイバー
コリメータ
7:受光器 8:電極
lO:容器 22:連通孔
24:ベローズFIG. 1 is an explanatory diagram showing the structure of an example of a conventional optical voltage sensor. Fig. 2 is a perspective view for explaining an experimental method conducted to measure sensor output fluctuations due to changes in pressure inside the container, and Fig. 3 shows measurement results obtained in such an experiment. It is a graph. FIG. 4 is an explanatory diagram showing the structure of a photovoltage sensor according to an embodiment of the present invention.
The figure is an explanatory diagram for explaining an experimental method conducted to measure output fluctuations due to temperature changes of such an optical voltage sensor, and FIG. 6 is a graph showing measurement results obtained in such an experiment. be. 3: Electro-optic crystal 4a: Polarizer 4b Two analyzers 5: λ/4 plate 6: Fiber collimator 7: Light receiver 8: Electrode IO: Container 22: Communication hole 24: Bellows
Claims (1)
する光学素子を備えた光学装置において、該光学素子を
少なくとも含む測定部位を、密閉された容器内に収容配
置すると共に、かかる容器内の容積変化を許容すること
により、該容器内の圧力変化を吸収する圧力吸収機構を
設けたことを特徴とする光学装置。In an optical device including an optical element that modulates transmitted light according to the strength of an electromagnetic field applied from the outside, a measurement site including at least the optical element is housed in a sealed container, and the container 1. An optical device comprising a pressure absorption mechanism that absorbs pressure changes within the container by allowing volume changes within the container.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63171324A JPH0670652B2 (en) | 1988-07-09 | 1988-07-09 | Optical device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63171324A JPH0670652B2 (en) | 1988-07-09 | 1988-07-09 | Optical device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221273A true JPH0221273A (en) | 1990-01-24 |
| JPH0670652B2 JPH0670652B2 (en) | 1994-09-07 |
Family
ID=15921132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63171324A Expired - Lifetime JPH0670652B2 (en) | 1988-07-09 | 1988-07-09 | Optical device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0670652B2 (en) |
-
1988
- 1988-07-09 JP JP63171324A patent/JPH0670652B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0670652B2 (en) | 1994-09-07 |
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