JPH02213983A - ワイヤボンデイング装置の認識方法 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置の認識方法Info
- Publication number
- JPH02213983A JPH02213983A JP1035401A JP3540189A JPH02213983A JP H02213983 A JPH02213983 A JP H02213983A JP 1035401 A JP1035401 A JP 1035401A JP 3540189 A JP3540189 A JP 3540189A JP H02213983 A JPH02213983 A JP H02213983A
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- Japan
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明はワイヤポンディング装置の認識方法に関するも
のである。
のである。
第２図は、相関により入力画像の中から基準画像と類似
したパターンの座標を抽出する認識方法の従来例を説明
するための認識システムを示すブロック系統図である。
したパターンの座標を抽出する認識方法の従来例を説明
するための認識システムを示すブロック系統図である。
同図において、１はリードフレームまたはＩＣチップ等
の認識対象の認識点からカメラによって入力される入力
画像を取り込む入力画像取込手段、２は基準画像２ａ〜
２ｄで示すように認識点毎に設定・記憶される位置ずれ
量検出のだめの特徴あるパターンをもつ基準画像記憶手
段、３はスイフチ３３〜３ｄにより認識点に対応する基
準画像を選択する基準画像選択手段、４は入力画像取込
手段ｌの入力画像ａと選択された基準画像との相関演算
を行ない、結果として基準画像との類偵度（以下「相関
度」という）を出力する相関器、５は入力画像ａの中の
相関演算対象画像が選択された基準画像と類似している
ことを相関度との比較により判定するための相関値限界
値入力手段、６は相関度が相関値限界値入力手段５より
出力される相関値限界値Ｃより大きいときにその画像が
類似していると判定し、その座標（以下「候補点」とい
う）を取り出すための比較器、７は候補点と相関度を記
憶する候補点記憶手段、８は候補点記憶手段７の候補点
７１〜７ｎから相関度が最大である候補点を抽出する最
大相関度抽出手段である。
の認識対象の認識点からカメラによって入力される入力
画像を取り込む入力画像取込手段、２は基準画像２ａ〜
２ｄで示すように認識点毎に設定・記憶される位置ずれ
量検出のだめの特徴あるパターンをもつ基準画像記憶手
段、３はスイフチ３３〜３ｄにより認識点に対応する基
準画像を選択する基準画像選択手段、４は入力画像取込
手段ｌの入力画像ａと選択された基準画像との相関演算
を行ない、結果として基準画像との類偵度（以下「相関
度」という）を出力する相関器、５は入力画像ａの中の
相関演算対象画像が選択された基準画像と類似している
ことを相関度との比較により判定するための相関値限界
値入力手段、６は相関度が相関値限界値入力手段５より
出力される相関値限界値Ｃより大きいときにその画像が
類似していると判定し、その座標（以下「候補点」とい
う）を取り出すための比較器、７は候補点と相関度を記
憶する候補点記憶手段、８は候補点記憶手段７の候補点
７１〜７ｎから相関度が最大である候補点を抽出する最
大相関度抽出手段である。
次に動作について説明する。リードフレームまたはＩＣ
チップ等の認識対象物により認識点が決定すると、基準
画像選択手段３のスイッチ３ａ〜３ｄによりそれに対応
する基準画像２ａ〜２ｄのどれかが選択される。この選
択された基準画像と入力画像ａの一部を相関器４に入力
して相関演算を行ない、相関度すを求める。相関度すと
相関限界値Ｃとを比較器６で比較し、相関度すが相関値
限界値Ｃより大きければ、このときの相関度と入力画像
ａ中の座標を候補点記憶手段７へ登録する。
チップ等の認識対象物により認識点が決定すると、基準
画像選択手段３のスイッチ３ａ〜３ｄによりそれに対応
する基準画像２ａ〜２ｄのどれかが選択される。この選
択された基準画像と入力画像ａの一部を相関器４に入力
して相関演算を行ない、相関度すを求める。相関度すと
相関限界値Ｃとを比較器６で比較し、相関度すが相関値
限界値Ｃより大きければ、このときの相関度と入力画像
ａ中の座標を候補点記憶手段７へ登録する。
相関度すが相関値限界値Ｃ１より小さければ登録は行な
わない。この動作を入力画像ａの全部分に対して行ない
、全ての候補点を順次候補点記憶手段７へ登録していく
。上記動作が終了したら、最大相関度候補点抽出手段８
により全候補点の中で相関度が最大である候補点を抽出
する。図示はしていないが、このときの候補点における
座標と基準座標との差が認識対象物の位置ずれ量となる
。
わない。この動作を入力画像ａの全部分に対して行ない
、全ての候補点を順次候補点記憶手段７へ登録していく
。上記動作が終了したら、最大相関度候補点抽出手段８
により全候補点の中で相関度が最大である候補点を抽出
する。図示はしていないが、このときの候補点における
座標と基準座標との差が認識対象物の位置ずれ量となる
。
上記のような従来の認識方法では、認識点全てを一定の
固定された相関値限界値により認識しているので、認識
点毎の人力画像の状態（画素の濃度や輪郭形状）が異な
ったり、入力画像の状態が光の具合等で変化した場合に
相関度が異なり、候補点が多数抽出されたり、また候補
点が抽出されなかったりして、認識精度・認識率が悪い
という問題があった。
固定された相関値限界値により認識しているので、認識
点毎の人力画像の状態（画素の濃度や輪郭形状）が異な
ったり、入力画像の状態が光の具合等で変化した場合に
相関度が異なり、候補点が多数抽出されたり、また候補
点が抽出されなかったりして、認識精度・認識率が悪い
という問題があった。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、相関度が異なる画像であっても
認識精度および認識率の高いワイヤボンディング装置の
認識方法を得ることにある。
の目的とするところは、相関度が異なる画像であっても
認識精度および認識率の高いワイヤボンディング装置の
認識方法を得ることにある。
このような課題を解決するために本発明は、基準画像に
応じてこの基準画像と人力画像との相関値限界値を設定
し、相関度が相関値限界値以上となる座標を抽出して、
抽出される座標の数により相関値限界（直を変化させる
よ・うにしたものである。
応じてこの基準画像と人力画像との相関値限界値を設定
し、相関度が相関値限界値以上となる座標を抽出して、
抽出される座標の数により相関値限界（直を変化させる
よ・うにしたものである。
本発明によるワイヤボンディング装置の認識方法におい
ては、認識点毎の画像の濃度や画像の物体の輪郭形状に
よって異なる相関度に対し、また入力画像の状態の変化
によって変わる相関度に対し、適切な候補点を得る相関
値限界値が設定される。
ては、認識点毎の画像の濃度や画像の物体の輪郭形状に
よって異なる相関度に対し、また入力画像の状態の変化
によって変わる相関度に対し、適切な候補点を得る相関
値限界値が設定される。
第１図は本発明によるワイヤボンディング装置の認識方
法の一実施例を説明するための認識システムを示すブロ
ック系統図である。同図において第２図と同一部分又は
相当部分には同一符号が付してあり、５ ａ ｙ ５
ｄは基準画像毎に設定された相関値限界値、９は基準画
像に対応する相関値限界値を選択するための相関値限界
値選択手段、１０は候補点の登録結果により相関値限界
値を変更するための相関値限界値変更量人力手段である
。
法の一実施例を説明するための認識システムを示すブロ
ック系統図である。同図において第２図と同一部分又は
相当部分には同一符号が付してあり、５ ａ ｙ ５
ｄは基準画像毎に設定された相関値限界値、９は基準画
像に対応する相関値限界値を選択するための相関値限界
値選択手段、１０は候補点の登録結果により相関値限界
値を変更するための相関値限界値変更量人力手段である
。
リードフレームまたはＩＣチップ等の認識対象物により
認識点を決定すると、基準画像選択手段３のスイッチ３
３〜３ ｄによりそれに対応する基準画像２ａ〜２ｄの
どれかが選択されると同時に相関値限界値選択手段９の
スイッチ９ａ〜９ｄにより上記選択された基準画像に対
応する相関（ａ限界値５ａ〜５ｄのどれかが選択される
。従来技術と同様に、上記選択された基準画像と入力画
像ａの一部を相関器３に入力して相関演算を行ない相関
度すを求める。相関度すと相関値限界値Ｃとを比較器６
で比較し、相関度すか相関値限界値Ｃより大きければ、
このときの相関度すと人力画像ａ中の座標を候補点記憶
手段７へ登録する。この動作を入力画像ａの全部分に対
して行ない、全ての候補点を順次候補点記憶手段７へ登
録していく。
認識点を決定すると、基準画像選択手段３のスイッチ３
３〜３ ｄによりそれに対応する基準画像２ａ〜２ｄの
どれかが選択されると同時に相関値限界値選択手段９の
スイッチ９ａ〜９ｄにより上記選択された基準画像に対
応する相関（ａ限界値５ａ〜５ｄのどれかが選択される
。従来技術と同様に、上記選択された基準画像と入力画
像ａの一部を相関器３に入力して相関演算を行ない相関
度すを求める。相関度すと相関値限界値Ｃとを比較器６
で比較し、相関度すか相関値限界値Ｃより大きければ、
このときの相関度すと人力画像ａ中の座標を候補点記憶
手段７へ登録する。この動作を入力画像ａの全部分に対
して行ない、全ての候補点を順次候補点記憶手段７へ登
録していく。
このとき相関値限界値Ｃは選択された基準画像に応じて
適切な値に設定されており、適度の数の候補点が抽出さ
れる。もし、入力画像ａの状態が変化して、設定してあ
った相関値限界値では適度の数の候補点が得られなかっ
た場合は、次のように相関値限界値変更量人力手段１０
により相関値限界値を変更する。
適切な値に設定されており、適度の数の候補点が抽出さ
れる。もし、入力画像ａの状態が変化して、設定してあ
った相関値限界値では適度の数の候補点が得られなかっ
た場合は、次のように相関値限界値変更量人力手段１０
により相関値限界値を変更する。
候補点が多数抽出されるのは相関値限界値が低いためで
、正の変更量を加えて相関イ直限界値を高くする。また
、候補点が無いのは相関値限界値が高いためで、負の変
更量を加えて相関値限界値を低くする。
、正の変更量を加えて相関イ直限界値を高くする。また
、候補点が無いのは相関値限界値が高いためで、負の変
更量を加えて相関値限界値を低くする。
この再設定された相関値限界値により再度上記の動作を
適度の数の候補点が得られるまで行なう。
適度の数の候補点が得られるまで行なう。
上記動作が終了したら、最大相関度候補点抽出手段８に
より全候補の中で相関度が最大である候補点を抽出する
。従来技術の説明におけると同様に図示はしていないが
、上記相関度が最大である候補点における座標と基準座
標との差が認識対象物の位置ずれ量となる。
より全候補の中で相関度が最大である候補点を抽出する
。従来技術の説明におけると同様に図示はしていないが
、上記相関度が最大である候補点における座標と基準座
標との差が認識対象物の位置ずれ量となる。
なお、第１図に示した認識システムはハードウェアで構
成した例であるが、このシステムの動作をソフトウェア
で行なわせても同様の効果がある。
成した例であるが、このシステムの動作をソフトウェア
で行なわせても同様の効果がある。
以上説明したように本発明によるワイヤボンディング装
置の認識方法は、基準画像に応じて相関値限界値を設定
し、候補点数に応じて相関値限界値を変更するようにし
たことにより、相関度が異なる画像であっても、また相
関度が変化する画像であっても、その画像に適切な相関
値限界値を設定できるので、認識精度および認識率が高
くなるという効果がある。
置の認識方法は、基準画像に応じて相関値限界値を設定
し、候補点数に応じて相関値限界値を変更するようにし
たことにより、相関度が異なる画像であっても、また相
関度が変化する画像であっても、その画像に適切な相関
値限界値を設定できるので、認識精度および認識率が高
くなるという効果がある。
第１図は本発明によるワイヤボンディング装置の認識方
法の一実施例を説明するための認識システムを示すブロ
ック系統図、第２図は従来方法を説明するための認識シ
ステムを示すブロック系統図である。
法の一実施例を説明するための認識システムを示すブロ
ック系統図、第２図は従来方法を説明するための認識シ
ステムを示すブロック系統図である。
Claims (1)
- 基準画像と入力画像の相関を用いて基準画像と類似した
パターンを探索し、物体の位置ずれ量を認識してボンデ
ィング位置を補正するワイヤボンディング装置の認識方
法において、基準画像に応じてこの基準画像と入力画像
との相関値限界値を設定し、相関度が相関値限界値以上
となる座標を抽出して、抽出される座標の数により相関
値限界値を変化させることを特徴とするワイヤボンディ
ング装置の認識方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1035401A JPH02213983A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | ワイヤボンデイング装置の認識方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1035401A JPH02213983A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | ワイヤボンデイング装置の認識方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02213983A true JPH02213983A (ja) | 1990-08-27 |
Family
ID=12440892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1035401A Pending JPH02213983A (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 | ワイヤボンデイング装置の認識方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02213983A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6928611B2 (en) | 2000-09-25 | 2005-08-09 | Adobe Systems Incorporated | Setting text composition spacing amount |
| US6993709B1 (en) | 2000-02-12 | 2006-01-31 | Adobe Systems Incorporated | Smart corner move snapping |
| US7039862B2 (en) | 2002-05-10 | 2006-05-02 | Adobe Systems Incorporated | Text spacing adjustment |
| US7071941B2 (en) | 2000-02-12 | 2006-07-04 | Adobe Systems Incorporated | Method for calculating CJK emboxes in fonts |
| US7123261B2 (en) | 2002-12-26 | 2006-10-17 | Adobe Systems Incorporated | Coordinating grid tracking and mojikumi spacing of Japanese text |
| US7168037B2 (en) | 2000-09-25 | 2007-01-23 | Adobe Systems Incorporated | Text composition spacing amount setting device with icon indicators |
| US7167274B2 (en) | 2001-09-28 | 2007-01-23 | Adobe Systems Incorporated | Line leading from an arbitrary point |
| US7296227B2 (en) | 2001-02-12 | 2007-11-13 | Adobe Systems Incorporated | Determining line leading in accordance with traditional Japanese practices |
| US7305617B2 (en) | 2000-02-12 | 2007-12-04 | Adobe Systems Incorporated | Method for aligning text to baseline grids and to CJK character grids |
| US7320104B2 (en) | 2000-02-12 | 2008-01-15 | Adobe Systems Incorporated | Text grid creation tools |
| US7594171B2 (en) | 2004-10-01 | 2009-09-22 | Adobe Systems Incorporated | Rule-based text layout |
| JPWO2018235186A1 (ja) * | 2017-06-21 | 2020-02-27 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 対基板作業装置 |
-
1989
- 1989-02-15 JP JP1035401A patent/JPH02213983A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7320104B2 (en) | 2000-02-12 | 2008-01-15 | Adobe Systems Incorporated | Text grid creation tools |
| US7071941B2 (en) | 2000-02-12 | 2006-07-04 | Adobe Systems Incorporated | Method for calculating CJK emboxes in fonts |
| US7305617B2 (en) | 2000-02-12 | 2007-12-04 | Adobe Systems Incorporated | Method for aligning text to baseline grids and to CJK character grids |
| US6993709B1 (en) | 2000-02-12 | 2006-01-31 | Adobe Systems Incorporated | Smart corner move snapping |
| US7168037B2 (en) | 2000-09-25 | 2007-01-23 | Adobe Systems Incorporated | Text composition spacing amount setting device with icon indicators |
| US6928611B2 (en) | 2000-09-25 | 2005-08-09 | Adobe Systems Incorporated | Setting text composition spacing amount |
| US7296227B2 (en) | 2001-02-12 | 2007-11-13 | Adobe Systems Incorporated | Determining line leading in accordance with traditional Japanese practices |
| US7167274B2 (en) | 2001-09-28 | 2007-01-23 | Adobe Systems Incorporated | Line leading from an arbitrary point |
| US7039862B2 (en) | 2002-05-10 | 2006-05-02 | Adobe Systems Incorporated | Text spacing adjustment |
| US7123261B2 (en) | 2002-12-26 | 2006-10-17 | Adobe Systems Incorporated | Coordinating grid tracking and mojikumi spacing of Japanese text |
| US7594171B2 (en) | 2004-10-01 | 2009-09-22 | Adobe Systems Incorporated | Rule-based text layout |
| US7783969B1 (en) | 2004-10-01 | 2010-08-24 | Adobe Systems Incorporated | Rule-based text layout |
| JPWO2018235186A1 (ja) * | 2017-06-21 | 2020-02-27 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 対基板作業装置 |
| US11210764B2 (en) | 2017-06-21 | 2021-12-28 | Fuji Corporation | Apparatus for performing work on substrate |
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