JPH0221652U - - Google Patents

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JPH0221652U
JPH0221652U JP10072288U JP10072288U JPH0221652U JP H0221652 U JPH0221652 U JP H0221652U JP 10072288 U JP10072288 U JP 10072288U JP 10072288 U JP10072288 U JP 10072288U JP H0221652 U JPH0221652 U JP H0221652U
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frame
suction hole
bed
elastic member
disposed above
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す密着露光装置
の断面図、第2図は第1図の装置に用いられる透
明フイルムの背面図、第3図は第2図の部分拡大
断面図、第4図は第1図の露光装置による密着露
光工程を示す断面図、第5図は従来の密着露光装
置を示す断面図、第6図は第5図に用いられる枠
状フレームを示す上面図、第7図は第5図の露光
装置による密着露光工程を示す断面図である。 1……ベツト、8……真空ポンプ、9……枠状
フレーム、11……吸引孔、12……分岐吸引孔
、13……主吸引孔、15……吸引ホース、17
……枠状弾性部材、19……マスク、20……ガ
ラス板、21……原版フイルム、23……被露光
フイルム、24′……空間、25……透明フイル
ム、26……溝。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被露光フイルムを保持、固定するためのベツト
    と、このベツトの上方に上下動自在に配置された
    枠状フレームと、このフレーム内に形成され、一
    部が分岐して該フレーム下面に開口した分岐吸引
    孔及び該枠体上面に開口した主吸引孔を有する吸
    引孔と、前記主吸引孔に連通された吸引管と、こ
    の吸引管の他端に連結された真空ポンプと、前記
    フレームの外側面に該フレーム下面より下方に延
    出するように設けられた枠状弾性部材と、前記フ
    レームに上方側から順次取付けられたマスク及び
    透明板と、この透明板下面に被覆され、前記ベツ
    トと対向する面に切込まれた複数の溝を有する透
    明被覆と、前記フレームの上方に配置された光源
    とを具備したことを特徴とする密着露光装置。
JP10072288U 1988-07-29 1988-07-29 Pending JPH0221652U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190066584A (ko) * 2017-12-05 2019-06-13 가부시키가이샤 아도텟쿠 엔지니아린구 마스크 유닛 및 노광 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190066584A (ko) * 2017-12-05 2019-06-13 가부시키가이샤 아도텟쿠 엔지니아린구 마스크 유닛 및 노광 장치
JP2019101306A (ja) * 2017-12-05 2019-06-24 株式会社アドテックエンジニアリング マスクユニット及び露光装置
TWI782139B (zh) * 2017-12-05 2022-11-01 日商亞多特克工程股份有限公司 光罩單元及曝光裝置

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