JPH02218146A - ウェハ搬送装置 - Google Patents
ウェハ搬送装置Info
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- JPH02218146A JPH02218146A JP1038751A JP3875189A JPH02218146A JP H02218146 A JPH02218146 A JP H02218146A JP 1038751 A JP1038751 A JP 1038751A JP 3875189 A JP3875189 A JP 3875189A JP H02218146 A JPH02218146 A JP H02218146A
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- Japan
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- wafer
- orientation flat
- sensor
- arm
- rotates
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
ウェハ搬送時にウェハのオリエンテーションフラットの
向きを合わせる機能を有するウェハ搬送装置に関し、 小型で且つ安価な装置を、提供することを目的とし、 ウェハを少なくとも水平直動及び回転させる機能を有す
る搬送手段と、ウェハの回転により該ウェハのオリエン
テーションフラットを検出するセンサと、該センサの検
出信号により該搬送手段の駆動を制御する制御回路とを
備え、該搬送手段が該ウェハを回転させて該センサが該
オリエンテーションフラットを検出し、該センサの検出
信号により該搬送手段が該ウェハを回転させて該オリエ
ンテーションフラットを所定の方向に合わせるように構
成する。
向きを合わせる機能を有するウェハ搬送装置に関し、 小型で且つ安価な装置を、提供することを目的とし、 ウェハを少なくとも水平直動及び回転させる機能を有す
る搬送手段と、ウェハの回転により該ウェハのオリエン
テーションフラットを検出するセンサと、該センサの検
出信号により該搬送手段の駆動を制御する制御回路とを
備え、該搬送手段が該ウェハを回転させて該センサが該
オリエンテーションフラットを検出し、該センサの検出
信号により該搬送手段が該ウェハを回転させて該オリエ
ンテーションフラットを所定の方向に合わせるように構
成する。
本発明は、半導体装置製造工程等ｖ、＝おけるウェハ搬
送装Ｗの・うぢ、ウェハのオリエンテーションフラット
（以下オリフラと記す）の向きを揃えるオリフラ合わ、
ＱＩＪ能を有するものに関する。
送装Ｗの・うぢ、ウェハのオリエンテーションフラット
（以下オリフラと記す）の向きを揃えるオリフラ合わ、
ＱＩＪ能を有するものに関する。
ウェハには通常結晶方位を示すためにオリフラが設けら
れており、ウェハの処理工程の中にはこのオリフラを基
準としてウェハの向きを定めて処理する必要のあるもの
が多い、その場合はウェハ搬送の自動化ムニ際しては、
搬送装置にオリフラ合わせ機能を持た丑・ることがｊ７
ばしば行われる。
れており、ウェハの処理工程の中にはこのオリフラを基
準としてウェハの向きを定めて処理する必要のあるもの
が多い、その場合はウェハ搬送の自動化ムニ際しては、
搬送装置にオリフラ合わせ機能を持た丑・ることがｊ７
ばしば行われる。
一方、近時半導体装置のパターンの微細化が進むに伴い
、製造工程での塵埃の存在が製品の歩留まりに与える影
響がまずまず大きくな、って来たため、クリーンルーム
は仕様が高度化して建設費、運転コスト共に高騰してい
る。従ってクリーンルーム内に設置する装置類の設置面
積が極力小さいことが望まれている。
、製造工程での塵埃の存在が製品の歩留まりに与える影
響がまずまず大きくな、って来たため、クリーンルーム
は仕様が高度化して建設費、運転コスト共に高騰してい
る。従ってクリーンルーム内に設置する装置類の設置面
積が極力小さいことが望まれている。
１（’−来のオリフラ合わせ機能付きウェハ搬送装置を
第７図に示す。同図中、１１は搬送ロボットであり、ウ
ェハ１を水平直動及び回転することが出来る。この装置
でのウェハ搬送は次の様に行われる。′Ｒ，入スデステ
ージ１０上入、載置されたウェハ１を搬送ロボット１１
が吸着してセンタリングユニット１２まで移動し、ここ
で位置決めを行った後、キャリアステージジン１３に収
納する。更に搬送ロボット１１はキャリアステ・−ジョ
ン１３よりウェハを取り出ｊ７てオリフラ合わせユニッ
ト１４まで移動し、ここでウェハのオリフラ合わせを行
った後、再び搬送ロボット１１がウェハを搬出ステ・−
ジ１５まで移動する。
第７図に示す。同図中、１１は搬送ロボットであり、ウ
ェハ１を水平直動及び回転することが出来る。この装置
でのウェハ搬送は次の様に行われる。′Ｒ，入スデステ
ージ１０上入、載置されたウェハ１を搬送ロボット１１
が吸着してセンタリングユニット１２まで移動し、ここ
で位置決めを行った後、キャリアステージジン１３に収
納する。更に搬送ロボット１１はキャリアステ・−ジョ
ン１３よりウェハを取り出ｊ７てオリフラ合わせユニッ
ト１４まで移動し、ここでウェハのオリフラ合わせを行
った後、再び搬送ロボット１１がウェハを搬出ステ・−
ジ１５まで移動する。
（発明が解決しようとする問題点）
このように従来のオリフラ合わ（を捗能付きのウェハ搬
送装置では、独立したオリフラ合わせユニットを設けて
いたため装置は大型になり、又該オリフラ合わせユニッ
トには専用のウェハ吸脱着機構及びウェハ回転機構を必
要としたため、高価になると言う欠点があった。
送装置では、独立したオリフラ合わせユニットを設けて
いたため装置は大型になり、又該オリフラ合わせユニッ
トには専用のウェハ吸脱着機構及びウェハ回転機構を必
要としたため、高価になると言う欠点があった。
本発明は、従来より小型で安価なオリフラ合わせ機能付
きウェハ搬送装置を擢供することを目的とするゆ 〔問題を解決するための手段〕 この目的は、本発明によれば、ウェハを少なくとも水平
直動及び回転させる機能を有する搬送手段と、該ウェハ
の回転により該ウェハのオリエンテーションフラットを
検出するセンサと、該センサの検出信号により該１喰送
手段の駆動を制御する制御回路とを少なくとも備え、該
搬送手段がウェハを回転することにより該ウェハのオリ
エンテーションフラットを該センサが検出し、該センサ
検出信号により該搬送手段が該ウェハを回転させて該オ
リエンテーションフラットを所定の方向に合わせるよう
な搬送装置とすることにより、達成される。
きウェハ搬送装置を擢供することを目的とするゆ 〔問題を解決するための手段〕 この目的は、本発明によれば、ウェハを少なくとも水平
直動及び回転させる機能を有する搬送手段と、該ウェハ
の回転により該ウェハのオリエンテーションフラットを
検出するセンサと、該センサの検出信号により該１喰送
手段の駆動を制御する制御回路とを少なくとも備え、該
搬送手段がウェハを回転することにより該ウェハのオリ
エンテーションフラットを該センサが検出し、該センサ
検出信号により該搬送手段が該ウェハを回転させて該オ
リエンテーションフラットを所定の方向に合わせるよう
な搬送装置とすることにより、達成される。
本発明では、オリフラの検出及びオリフラ合わせのため
のウェハ吸脱着及びウェハ回転を搬送ロボットが行うた
め、従来オリフラ合わせユニットが備えていたオリフラ
検出機能を搬送ロボット側（センタリングユニット）に
移すことにより、オリフラ合わせユニットが不要となる
。従って装置は従来より小型且つ安価となる。
のウェハ吸脱着及びウェハ回転を搬送ロボットが行うた
め、従来オリフラ合わせユニットが備えていたオリフラ
検出機能を搬送ロボット側（センタリングユニット）に
移すことにより、オリフラ合わせユニットが不要となる
。従って装置は従来より小型且つ安価となる。
第１図乃至第６図により本発明に基づくオリフラ合わせ
機能付きウェハ搬送装置の−・実施例を説明する。
機能付きウェハ搬送装置の−・実施例を説明する。
第１図は本発明に基づくオリフラ合わせ機能（・１きウ
ェハ搬送装置の全体構成を示す概略斜視図である。同図
中、１１ば搬送ロボットであり、ウェハｌを水平直動及
び回転させることが出来る。この装置でのウェハ搬送は
次の様に行われる。搬入ステージ１０上に搬入、載置さ
れたウェハ１を搬送ロボ・ント１１が吸着してキャリア
ステーションｌ３に収納する。更に搬送ロボット１工は
キャリアステーション１３よりウェハを取り出してセン
タリングユニット１２まで移動し、ここで位置決めを行
った後、ウェハ１のセンタを搬送ロボット１１の旋回中
心に合わせ、ウェハ１を回転してオリフラ合わせを行い
、その後ウェハｌを搬出ステージ１５まで移動する。
ェハ搬送装置の全体構成を示す概略斜視図である。同図
中、１１ば搬送ロボットであり、ウェハｌを水平直動及
び回転させることが出来る。この装置でのウェハ搬送は
次の様に行われる。搬入ステージ１０上に搬入、載置さ
れたウェハ１を搬送ロボ・ント１１が吸着してキャリア
ステーションｌ３に収納する。更に搬送ロボット１工は
キャリアステーション１３よりウェハを取り出してセン
タリングユニット１２まで移動し、ここで位置決めを行
った後、ウェハ１のセンタを搬送ロボット１１の旋回中
心に合わせ、ウェハ１を回転してオリフラ合わせを行い
、その後ウェハｌを搬出ステージ１５まで移動する。
第２図は搬送ロボット１１の構造を示す断面図である。
同図に示す如く搬送ロボット１１は大きくは、ロボット
本体２０と、このロボット本体２０に支持されて回動す
る第１アーム２１と、この第１アーム２１に支持されて
回動する第２アーム２２と、この第２アームに支持され
て回動する第３７−ム２３とより成る。第３アーム２３
の先端にはウェハｌを吸着する吸着口２４が設けられて
いる。吸着口２４は図では示していないが、各アーム及
び軸を経由して真空源に接続されている。
本体２０と、このロボット本体２０に支持されて回動す
る第１アーム２１と、この第１アーム２１に支持されて
回動する第２アーム２２と、この第２アームに支持され
て回動する第３７−ム２３とより成る。第３アーム２３
の先端にはウェハｌを吸着する吸着口２４が設けられて
いる。吸着口２４は図では示していないが、各アーム及
び軸を経由して真空源に接続されている。
２５．２６はステップモータであり、モータ２５は第１
アーム２１を回動させ、モータ２６は第１アーム２１に
支持されたプーリ２７を回転させる。プーリ２７はベル
ト２８により第２アーム２２に固定されたプーリ２９を
駆動する。又ブーＩ７２９と同軸で第１アーム２１に固
定されたプーリ３１はベルト３２で第３アーム２３に固
定されたブー＋７３３を駆動する。プーリ２９．３１の
径は同一で、プーリ２７．３３の径の１／２とされてい
る。
アーム２１を回動させ、モータ２６は第１アーム２１に
支持されたプーリ２７を回転させる。プーリ２７はベル
ト２８により第２アーム２２に固定されたプーリ２９を
駆動する。又ブーＩ７２９と同軸で第１アーム２１に固
定されたプーリ３１はベルト３２で第３アーム２３に固
定されたブー＋７３３を駆動する。プーリ２９．３１の
径は同一で、プーリ２７．３３の径の１／２とされてい
る。
ここでプーリ２７を回転させると第２アーム２２にプー
リ２９が固定されているため第２アーム２２が回動する
。プーリ２７を停止したまま第１アーム２１を回動させ
ると、ベルト２８はプーリ２７に対して相対的に回転し
、アーム２２が回動し、又ベルト３２も同様に回転して
プーリ３３が回転する。これによって結果的に第３アー
ム２３はプーリ２７の回転軸３５に離間・接近する方向
に直線運動を行う。又ブーＩＪ２７と第１アーム２１と
を同方向に同期回転させると、全てが一体となって回転
し、旋回運動を行う。
リ２９が固定されているため第２アーム２２が回動する
。プーリ２７を停止したまま第１アーム２１を回動させ
ると、ベルト２８はプーリ２７に対して相対的に回転し
、アーム２２が回動し、又ベルト３２も同様に回転して
プーリ３３が回転する。これによって結果的に第３アー
ム２３はプーリ２７の回転軸３５に離間・接近する方向
に直線運動を行う。又ブーＩＪ２７と第１アーム２１と
を同方向に同期回転させると、全てが一体となって回転
し、旋回運動を行う。
第３図は搬送口ボッ）１１の制御回路のブロック図であ
る。ＣＰＵ５０は端子５１からインターフェイス回路５
８を介して入来する信号に応じてモータ駆動回路５２．
５３及び昇降駆動回路５４をそれぞれ制御する。モータ
駆動回路５２．５３はそれぞれモータ２５．２６の駆動
信号を生成して端子５５．５６より出力する。また昇降
駆動回路５４は昇降駆動信号を生成して端子５７より出
力する。但し本実施例における搬送ロボット１１は昇降
機能を持たないため、代わりに後述のウェハステージ４
０（第５図）を昇降させる。
る。ＣＰＵ５０は端子５１からインターフェイス回路５
８を介して入来する信号に応じてモータ駆動回路５２．
５３及び昇降駆動回路５４をそれぞれ制御する。モータ
駆動回路５２．５３はそれぞれモータ２５．２６の駆動
信号を生成して端子５５．５６より出力する。また昇降
駆動回路５４は昇降駆動信号を生成して端子５７より出
力する。但し本実施例における搬送ロボット１１は昇降
機能を持たないため、代わりに後述のウェハステージ４
０（第５図）を昇降させる。
第４図はロボッ）１１の動作を示すもので、アームが伸
び切った状態から縮む過程を（Ａ）〜（Ｅ）に示し、（
Ｅ）の状態からアームを９０″旋回した状態を（Ｆ）に
示している。
び切った状態から縮む過程を（Ａ）〜（Ｅ）に示し、（
Ｅ）の状態からアームを９０″旋回した状態を（Ｆ）に
示している。
次に本発明の装置によるオリフラ合わせを第５図により
説明する。同図の（Ａ）は側面図、−（Ｂ）は平面図で
ある。同図中、１２はセンタリングユニットであり、ロ
ボット本体２０に固着されており、１２Ａ、１２Ｂ、１
２Ｃ，１２Ｄ、１２Ｅの５組のセンサを有している。こ
れらはいずれもフォトトランジスタと発光ダイオードと
からなる透過型光センサである。５個のセンサのうち１
２Ａ〜１２Ｄの４個はウェハ位置決め用であり、間にウ
ェハｌが挿入されて遮光された時’ＯＮ”となる。１２
Ｅがオリフラ合わせ用であり、間にウェハ１が挿入され
て遮光された時“ＯＦＦ’ となる。
説明する。同図の（Ａ）は側面図、−（Ｂ）は平面図で
ある。同図中、１２はセンタリングユニットであり、ロ
ボット本体２０に固着されており、１２Ａ、１２Ｂ、１
２Ｃ，１２Ｄ、１２Ｅの５組のセンサを有している。こ
れらはいずれもフォトトランジスタと発光ダイオードと
からなる透過型光センサである。５個のセンサのうち１
２Ａ〜１２Ｄの４個はウェハ位置決め用であり、間にウ
ェハｌが挿入されて遮光された時’ＯＮ”となる。１２
Ｅがオリフラ合わせ用であり、間にウェハ１が挿入され
て遮光された時“ＯＦＦ’ となる。
ウェハ位置決めはウェハ搬入時の位置ずれを修正するも
のであり、本来はウェハ１のセンタを搬送ロボット１１
の旋回中心Ｐに合わせるものであるが、本実施例では装
置各部の干渉を避けるために仮の中心Ｑでセンタリング
した後、Ｑ→Ｐの移動を行う。センサ１２Ａ〜１２Ｄは
Ｑを中心とし、その半径がウェハ１の半径に等しい円周
上にオリフラ１Ａより大なる中心角毎に配設されており
、搬送ロボット１１によりウェハｌを移動させて少なく
とも３個のセンサが同時にウェハ１を検出した時、位置
決めを行うようになっている。尚この位置決め装置に関
しては既に特許を出願している（特願昭６２−２６２７
３６号）ため、詳細説明を省略する。
のであり、本来はウェハ１のセンタを搬送ロボット１１
の旋回中心Ｐに合わせるものであるが、本実施例では装
置各部の干渉を避けるために仮の中心Ｑでセンタリング
した後、Ｑ→Ｐの移動を行う。センサ１２Ａ〜１２Ｄは
Ｑを中心とし、その半径がウェハ１の半径に等しい円周
上にオリフラ１Ａより大なる中心角毎に配設されており
、搬送ロボット１１によりウェハｌを移動させて少なく
とも３個のセンサが同時にウェハ１を検出した時、位置
決めを行うようになっている。尚この位置決め装置に関
しては既に特許を出願している（特願昭６２−２６２７
３６号）ため、詳細説明を省略する。
オリフラ合ね一１用（！ンザ１２Ｅはロボッ１１１の旋
回中心Ｐからの距離がウェハ１の半径より小さく且つつ
、エバ１のオリフラＩへに内接する円の半径より大きい
位置ＵＸ配設、トれている。４０はウェハステージであ
り、前述のウェハ位置決めの際にも使用され、ウェハ１
を載置［７て上下仙することが出来る。このウェハステ
ージ４０ば図示はないがロボット本体２０に取りつ＆−
Ｊられたステップモータにより駆動される。
回中心Ｐからの距離がウェハ１の半径より小さく且つつ
、エバ１のオリフラＩへに内接する円の半径より大きい
位置ＵＸ配設、トれている。４０はウェハステージであ
り、前述のウェハ位置決めの際にも使用され、ウェハ１
を載置［７て上下仙することが出来る。このウェハステ
ージ４０ば図示はないがロボット本体２０に取りつ＆−
Ｊられたステップモータにより駆動される。
オリフラ合わせば次のよ・うに行われる。第６図はオリ
フラ合わ（ｔのフローチャー１・であり、同図により説
明する。前述のウェハ位置決め（ステップ６０）を終え
たウェハ１を前記ウェハステ・−ジ４０上から搬送ロボ
ット１１がア・−ム２１〜２３を縮めてロボット本体２
０４二に移動し、ウェハ１のセンタをアーム２１＝２３
の旋回中心Ｐに一敗させる（ステップ６１）、この時ア
ーム２１−２３は原点の位置にある（第５図（Ｅ）の状
態）。
フラ合わ（ｔのフローチャー１・であり、同図により説
明する。前述のウェハ位置決め（ステップ６０）を終え
たウェハ１を前記ウェハステ・−ジ４０上から搬送ロボ
ット１１がア・−ム２１〜２３を縮めてロボット本体２
０４二に移動し、ウェハ１のセンタをアーム２１＝２３
の旋回中心Ｐに一敗させる（ステップ６１）、この時ア
ーム２１−２３は原点の位置にある（第５図（Ｅ）の状
態）。
次にアーム２１〜２３を旋回させる（ステップ６２）と
ウェハ１が回転する。回転中（ステップ６３）にセンサ
１２Ｅがウェハ１のメ゛リフラ１Ａ部分で光が透過する
ことによりオリフラ１Ａを検出した場合はステップ６４
に進み、オリフラ１Ａを検出しない場合は１回転に達す
るまで旋回を続ｃ−ｔた後ステップ７４に進む。
ウェハ１が回転する。回転中（ステップ６３）にセンサ
１２Ｅがウェハ１のメ゛リフラ１Ａ部分で光が透過する
ことによりオリフラ１Ａを検出した場合はステップ６４
に進み、オリフラ１Ａを検出しない場合は１回転に達す
るまで旋回を続ｃ−ｔた後ステップ７４に進む。
ステップ６４でモ・−タバルスのカウントを開始し、セ
ンサ１２Ｆ、がＯＦＦ’ となると（ステップ６５）、
アーム２ｌ−＝−２３の旋回とモータパルスのカウント
をそれぞれストップする（ステップ６Ｇ）。次にカウン
トしたモータパルス数が規定通りか否かを判定しくステ
ップ６７）、規定通りであればステップ６８へ、規定数
に達していなければステップ７４へ進む。
ンサ１２Ｆ、がＯＦＦ’ となると（ステップ６５）、
アーム２ｌ−＝−２３の旋回とモータパルスのカウント
をそれぞれストップする（ステップ６Ｇ）。次にカウン
トしたモータパルス数が規定通りか否かを判定しくステ
ップ６７）、規定通りであればステップ６８へ、規定数
に達していなければステップ７４へ進む。
ステップ６８ではアーム２１〜２３を前記規定モータパ
ルス数の１／２に相当するパルス数だけ逆旋回さ（士る
。これによりオリフラ１Ａの中央がセンサ１２Ｅの方向
に合う。他の方向に合わ（・る場合はアーム逆旋回のパ
ルス数を適宜増減すればよい。次にウェハステージ４０
を」移動させる（ステップ６９）と共にウェハ吸着を解
除しくステップ７０）、ウェハ１をウェハステージ４０
」二に載置した状態でアーム２１〜２３を原点位置まで
旋回させる（ステップ７１）。再びアーム２１〜２３が
ウェハ１を吸着する（ステップ７２）と共にウェハステ
ージ４０を下動させる（ステップ７３）、これでオリフ
ラ合わせが終了（−１次の工程である搬出ステージ１５
（第１図）への搬送が始まることになる。
ルス数の１／２に相当するパルス数だけ逆旋回さ（士る
。これによりオリフラ１Ａの中央がセンサ１２Ｅの方向
に合う。他の方向に合わ（・る場合はアーム逆旋回のパ
ルス数を適宜増減すればよい。次にウェハステージ４０
を」移動させる（ステップ６９）と共にウェハ吸着を解
除しくステップ７０）、ウェハ１をウェハステージ４０
」二に載置した状態でアーム２１〜２３を原点位置まで
旋回させる（ステップ７１）。再びアーム２１〜２３が
ウェハ１を吸着する（ステップ７２）と共にウェハステ
ージ４０を下動させる（ステップ７３）、これでオリフ
ラ合わせが終了（−１次の工程である搬出ステージ１５
（第１図）への搬送が始まることになる。
ステップ６３でセンサ１２Ｅがオ・リフ９１Ａを検出し
ないケース、及び検出してもカウントシたモータパルス
数がステップ６７で規定値に達していないと判定される
ケースでは、共にステップ７４へと進むことになる。こ
れらのケースが発生する理由は、ウェハ１が搬入ステー
ジ１０（第１図）に載置された時点ではオリフラ１Ａの
方向が不定であるためオリフラ合わせ開始時のオリフラ
Ｉへとアーム２１〜２３との位置関係も不定となり、オ
リフラ１Ａとアーム２ｌ−＝−２３とが重なる場合があ
り、その場合にセンサ１２Ｅによるオリフラ検出に支障
を来すことによる。同一径のウェハのオリフラ長さは一
定であるから、このような干渉がなければセンサ１２Ｅ
がオリフラを検出１〜でいる時間は一定である。従って
、もし計測したモータパルス数が規定より少ないか又は
全くなければ干渉があることを意味する。
ないケース、及び検出してもカウントシたモータパルス
数がステップ６７で規定値に達していないと判定される
ケースでは、共にステップ７４へと進むことになる。こ
れらのケースが発生する理由は、ウェハ１が搬入ステー
ジ１０（第１図）に載置された時点ではオリフラ１Ａの
方向が不定であるためオリフラ合わせ開始時のオリフラ
Ｉへとアーム２１〜２３との位置関係も不定となり、オ
リフラ１Ａとアーム２ｌ−＝−２３とが重なる場合があ
り、その場合にセンサ１２Ｅによるオリフラ検出に支障
を来すことによる。同一径のウェハのオリフラ長さは一
定であるから、このような干渉がなければセンサ１２Ｅ
がオリフラを検出１〜でいる時間は一定である。従って
、もし計測したモータパルス数が規定より少ないか又は
全くなければ干渉があることを意味する。
この場合はウェハ１を吸着したままアーム２１〜・２３
を一旦原点位置まで旋回しくステップ７４）、次にウェ
ハステージ４０を上動させる（ステップ７５）と共にウ
ェハ吸着を解除しくステップ７６）、ウェハ１をウェハ
ステージ４０上＆、′、載”ｆｌｌ−た後、アーム２１
〜２３を正逆いずれかの方向に約９０８旋回した（ステ
ップ７７）後、再度ウェハ１を吸着しくステップ７８．
７９）、ステップ６２に戻ればよい。オリフラの成す中
心角は４５＝５０°程度であるから二度目には干渉する
ことはない。
を一旦原点位置まで旋回しくステップ７４）、次にウェ
ハステージ４０を上動させる（ステップ７５）と共にウ
ェハ吸着を解除しくステップ７６）、ウェハ１をウェハ
ステージ４０上＆、′、載”ｆｌｌ−た後、アーム２１
〜２３を正逆いずれかの方向に約９０８旋回した（ステ
ップ７７）後、再度ウェハ１を吸着しくステップ７８．
７９）、ステップ６２に戻ればよい。オリフラの成す中
心角は４５＝５０°程度であるから二度目には干渉する
ことはない。
以上説明した様に、本発明によるオリフラ合わせ機能付
きウェハ搬送装置は搬送ロボットがウエハを搬送するた
めに有しているウェハ回転機能をオリフラの検出及びオ
リフラ合わせに利用するため、独立したオリフラ合わせ
ユニットが不要となり、装置の小型化、低廉化を実現す
ることが出来る。
きウェハ搬送装置は搬送ロボットがウエハを搬送するた
めに有しているウェハ回転機能をオリフラの検出及びオ
リフラ合わせに利用するため、独立したオリフラ合わせ
ユニットが不要となり、装置の小型化、低廉化を実現す
ることが出来る。
第１図は本発明に基づくウェハ搬送装置の全体構成示す
概略斜視図、 第２図は搬送ロボットの構造を示す概略断面図、第３図
は搬送ロボットの制御回路のブロック図、第４図は搬送
ロボットの動作を説明するための図、 第５図は本発明の装置によるオリフラ合わせを説明する
ための図で、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図、 第６図（その１）、（その２）は本発明の装置によるオ
リフラ合わせのブロック図である。 第７図は従来装置の全体構成を示す概略斜視図、図中、
１ ： ウェハ、 １Ａ： １０ ： １１ ： １２ ： １２Ｅ： １３ ： １４ ： ｌ ５ ： ２０ ： ２１〜２３ ２４ ： ４０ ： ５０ ： ５２ ： ５３ ： ５４ ： ６０〜７９ オリエンテーションフラッ 搬入ステージ、 搬送ロボット、 センタリングユニット、 センサ、 キャリアステーション、 オリフラ合わせユニット、 搬出ステージ、 ロボット本体、 ：アーム、 吸着口、 ウェハステージ、 ＣＰＵ。 モータ駆動回路、 モータ駆動回路、 昇降駆動回路、 ニステップ。 鞘費鳶−〇に−１）ｑＡ舅ｙζ乞片、１却尤毘夕毬印廷
す嘔〕嘉 ２ 必 寥１図 拳１ｎシＥ濱４譚フ゛ロッ７図 宕３０ 膚４ざロボ、７トク動４１２耳Ｉ３月Ｔ３７てδの溺遁
４ 面 ４４も哨ζ；Ｊクオυフラ（護ねレフローづ−ｗ−ト′
墳５乙 ｂコ （そりメラ 本線日月〇茗ゴ’ｆｌＨ＋；ｇオ書）フラベ≦シト、わ
せ伝□ミラε眉≧、Ｈ乃１うｉＪ５どン□［５？）茎 切 木府印月のメ鵠１［Ｊ５イ！ノフラ会ゎｐｎフローイー
ｖ−１ｚｂ齢（その２）
概略斜視図、 第２図は搬送ロボットの構造を示す概略断面図、第３図
は搬送ロボットの制御回路のブロック図、第４図は搬送
ロボットの動作を説明するための図、 第５図は本発明の装置によるオリフラ合わせを説明する
ための図で、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図、 第６図（その１）、（その２）は本発明の装置によるオ
リフラ合わせのブロック図である。 第７図は従来装置の全体構成を示す概略斜視図、図中、
１ ： ウェハ、 １Ａ： １０ ： １１ ： １２ ： １２Ｅ： １３ ： １４ ： ｌ ５ ： ２０ ： ２１〜２３ ２４ ： ４０ ： ５０ ： ５２ ： ５３ ： ５４ ： ６０〜７９ オリエンテーションフラッ 搬入ステージ、 搬送ロボット、 センタリングユニット、 センサ、 キャリアステーション、 オリフラ合わせユニット、 搬出ステージ、 ロボット本体、 ：アーム、 吸着口、 ウェハステージ、 ＣＰＵ。 モータ駆動回路、 モータ駆動回路、 昇降駆動回路、 ニステップ。 鞘費鳶−〇に−１）ｑＡ舅ｙζ乞片、１却尤毘夕毬印廷
す嘔〕嘉 ２ 必 寥１図 拳１ｎシＥ濱４譚フ゛ロッ７図 宕３０ 膚４ざロボ、７トク動４１２耳Ｉ３月Ｔ３７てδの溺遁
４ 面 ４４も哨ζ；Ｊクオυフラ（護ねレフローづ−ｗ−ト′
墳５乙 ｂコ （そりメラ 本線日月〇茗ゴ’ｆｌＨ＋；ｇオ書）フラベ≦シト、わ
せ伝□ミラε眉≧、Ｈ乃１うｉＪ５どン□［５？）茎 切 木府印月のメ鵠１［Ｊ５イ！ノフラ会ゎｐｎフローイー
ｖ−１ｚｂ齢（その２）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ウェハ（１）を少なくとも水平直動及び回転させる機能
を有する搬送手段（１１）と、 該ウェハ（１）の回転により該ウェハ（１）のオリエン
テーションフラット（１Ａ）を検出するセンサ（１２Ｅ
）と、 該センサ（１２Ｅ）の検出信号により該搬送手段（１１
）の駆動を制御する制御回路（５０〜５４）とを少なく
とも備え、 該搬送手段（１１）が該ウェハ（１）を回転することに
より該ウェハ（１）のオリエンテーションフラット（１
Ａ）を該センサ（１２Ｅ）が検出し、 該センサ（１２Ｅ）の検出信号により該搬送手段（１１
）が該ウェハ（１）を回転させて該オリエンテーション
フラット（１Ａ）を所定の方向に合わせることを特徴と
するウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1038751A JPH02218146A (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | ウェハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1038751A JPH02218146A (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | ウェハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02218146A true JPH02218146A (ja) | 1990-08-30 |
Family
ID=12534003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1038751A Pending JPH02218146A (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | ウェハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02218146A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1021781A4 (en) * | 1997-09-30 | 2007-07-25 | Brooks Automation Inc | Substrate transport apparatus |
| US20190164799A1 (en) * | 2017-11-29 | 2019-05-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for wafer pod alignment |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61184841A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-18 | Canon Inc | ウエハの位置決め方法および装置 |
-
1989
- 1989-02-17 JP JP1038751A patent/JPH02218146A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61184841A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-18 | Canon Inc | ウエハの位置決め方法および装置 |
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| US10741433B2 (en) * | 2017-11-29 | 2020-08-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for wafer pod alignment |
| US11978653B2 (en) | 2017-11-29 | 2024-05-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for wafer pod alignment |
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