JPH02218185A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH02218185A JPH02218185A JP3823889A JP3823889A JPH02218185A JP H02218185 A JPH02218185 A JP H02218185A JP 3823889 A JP3823889 A JP 3823889A JP 3823889 A JP3823889 A JP 3823889A JP H02218185 A JPH02218185 A JP H02218185A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- gas laser
- discharge path
- small diameter
- laser medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明はガスレーザ発振装置に関する。
（従来の技術）
分子系ガスレーザ、特に炭酸ガスレーザでは放電によっ
てガスレーザ媒質が分解し、利得媒質の減少によって出
力が低下してしまう問題があった。特に封じ切り方式で
はそれが顕著であるため、次のような対策が講じられて
いる。すなわち、（イ）ガスレーザ媒質をレーザ管内に
封じ切らずに、一定量ずつ供給しながら流し捨てる。（
ロ）レーザ放電管外に触媒（白金）を設置して循環路を
形成し、放電で分解してしまったガスレーザ媒質を再生
する。（ハ）放電電極自身に触媒能力を持たせる。
てガスレーザ媒質が分解し、利得媒質の減少によって出
力が低下してしまう問題があった。特に封じ切り方式で
はそれが顕著であるため、次のような対策が講じられて
いる。すなわち、（イ）ガスレーザ媒質をレーザ管内に
封じ切らずに、一定量ずつ供給しながら流し捨てる。（
ロ）レーザ放電管外に触媒（白金）を設置して循環路を
形成し、放電で分解してしまったガスレーザ媒質を再生
する。（ハ）放電電極自身に触媒能力を持たせる。
（発明が解決しようとするＸ！ｌｔ＆ＩＱ）上記（イ）
の方式では、給排気装置を必要とするため、装置の小型
化が難しく、また、十分使用できるガスレーザ媒質を無
駄に捨てることになり、レーザ媒質の消費量を著しく増
大させてしまう問題があった。（ロ）の方式においては
循環手段が必要となり、（イ）と同様に装置自体の小形
化が困難となる。また、（ハ）の方式では、電極にスパ
ッタが発生し易くなり、放電が不安定となる問題があっ
た。本発明は以上のような問題を解決するためになされ
たもので、装置が大型化せずに分解したガスレーザ媒質
を効率的に再生するガスレーザ発振装置を提供すること
を目的とする。
の方式では、給排気装置を必要とするため、装置の小型
化が難しく、また、十分使用できるガスレーザ媒質を無
駄に捨てることになり、レーザ媒質の消費量を著しく増
大させてしまう問題があった。（ロ）の方式においては
循環手段が必要となり、（イ）と同様に装置自体の小形
化が困難となる。また、（ハ）の方式では、電極にスパ
ッタが発生し易くなり、放電が不安定となる問題があっ
た。本発明は以上のような問題を解決するためになされ
たもので、装置が大型化せずに分解したガスレーザ媒質
を効率的に再生するガスレーザ発振装置を提供すること
を目的とする。
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段と作用）
放電路を有する電気絶縁部材からなるレーザ管と、この
レーザ管内設けられ封入されたガスレーザ媒質を上記放
電路内で励起する少なくとも一対の放電電極と、上記励
起によってた光を共振する光共振器とを備えたガスレー
ザ発振装置において、上記放電路は小径部と大径部とが
交互に形成され、上記小径部以外の外面に上記ガスレー
ザ媒質の分解ガスを還元する触媒作用層を形成し、上記
小径部を放電路としたもので、ガスレーザ媒質の分解し
たガスが大径部で再生される。
レーザ管内設けられ封入されたガスレーザ媒質を上記放
電路内で励起する少なくとも一対の放電電極と、上記励
起によってた光を共振する光共振器とを備えたガスレー
ザ発振装置において、上記放電路は小径部と大径部とが
交互に形成され、上記小径部以外の外面に上記ガスレー
ザ媒質の分解ガスを還元する触媒作用層を形成し、上記
小径部を放電路としたもので、ガスレーザ媒質の分解し
たガスが大径部で再生される。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例で、内部ミラー型の装置にな
っている。すなわち、（１０）はレーザ管でアルミナや
窒化珪素等の電気絶縁性、熱伝導性に優れた材質で作ら
れたいる。このレーザ管（１０）の一端には高反射鏡（
１１）、他端には出力鏡（１２）がそれらの光軸をレー
ザ管（ｌＯ）の軸心にほぼ一致させて気密に取り付けら
れ、光共振器を構成している。レーザ管（ｌＯ）の内部
において、高反射鏡（１１）、出力鏡（１２）側にはそ
れぞれビン状の陰極（Ｉ４）、陽極（１５）が設けられ
ている。これら陰極（１４）、陽極（１５）は外部に設
けた電源（１６）に接続している。また、放電管（１０
）の内部は軸心に沿って複数の小径部（１７）と大径部
（１８）とが交互に形成されている。小径部（１７）の
各面はレーザ管（１０）自体の材質がそのまま露出して
いる。一方、大径部（１８）および小径部（１７）に続
く両側面部（１９ａ）、（１９ｂ）の表層部は第２図に
示すように触媒作用層（２ｏ）が形成されている。この
触媒作用層（２ｏ）は蒸着、スパッタリング、メタライ
ズなどの加工によって白金層を形成したものになってい
る。高反射鏡（１１）、出力鏡（１２）で封じられたレ
ーザ管（１０）の内部には、内部ガス置換後ガスレーザ
媒質が所定の圧力で封入されている。一方、レーザ管（
１０）の外側面には冷却手段として、例えば同図に示す
ように、水冷ジャケット（２１）が水密に取り付けられ
ている。冷却水は水冷ジャケット（２１）の一端部に接
続された導入管（２２）から導かれてレーザ管（１０）
を冷却し、他端部に接続された排出管（２３）より排出
されるようになっている。排出された冷却水は冷却され
た後、図示せぬ循環装置により導入管（２２）側へ循環
される。なお、上記構成では光共振器をレーザ管に直接
取り付けた内部ミラー型にしたが、レーザ管の両端を透
過窓にし、高反射鏡（１１）、出力鏡（１２）をレーザ
管（ｌＯ）の外部に設けたいわゆる外部ミラー型に構成
してもよい。さらに、小径部（１７）、大径部（Ｉ８）
は一体に形成しても、あるいは複数のブロックに分けて
形成してもよい。
っている。すなわち、（１０）はレーザ管でアルミナや
窒化珪素等の電気絶縁性、熱伝導性に優れた材質で作ら
れたいる。このレーザ管（１０）の一端には高反射鏡（
１１）、他端には出力鏡（１２）がそれらの光軸をレー
ザ管（ｌＯ）の軸心にほぼ一致させて気密に取り付けら
れ、光共振器を構成している。レーザ管（ｌＯ）の内部
において、高反射鏡（１１）、出力鏡（１２）側にはそ
れぞれビン状の陰極（Ｉ４）、陽極（１５）が設けられ
ている。これら陰極（１４）、陽極（１５）は外部に設
けた電源（１６）に接続している。また、放電管（１０
）の内部は軸心に沿って複数の小径部（１７）と大径部
（１８）とが交互に形成されている。小径部（１７）の
各面はレーザ管（１０）自体の材質がそのまま露出して
いる。一方、大径部（１８）および小径部（１７）に続
く両側面部（１９ａ）、（１９ｂ）の表層部は第２図に
示すように触媒作用層（２ｏ）が形成されている。この
触媒作用層（２ｏ）は蒸着、スパッタリング、メタライ
ズなどの加工によって白金層を形成したものになってい
る。高反射鏡（１１）、出力鏡（１２）で封じられたレ
ーザ管（１０）の内部には、内部ガス置換後ガスレーザ
媒質が所定の圧力で封入されている。一方、レーザ管（
１０）の外側面には冷却手段として、例えば同図に示す
ように、水冷ジャケット（２１）が水密に取り付けられ
ている。冷却水は水冷ジャケット（２１）の一端部に接
続された導入管（２２）から導かれてレーザ管（１０）
を冷却し、他端部に接続された排出管（２３）より排出
されるようになっている。排出された冷却水は冷却され
た後、図示せぬ循環装置により導入管（２２）側へ循環
される。なお、上記構成では光共振器をレーザ管に直接
取り付けた内部ミラー型にしたが、レーザ管の両端を透
過窓にし、高反射鏡（１１）、出力鏡（１２）をレーザ
管（ｌＯ）の外部に設けたいわゆる外部ミラー型に構成
してもよい。さらに、小径部（１７）、大径部（Ｉ８）
は一体に形成しても、あるいは複数のブロックに分けて
形成してもよい。
次に、上記構成の作用について説明する。
電源（１Ｂ）から供給された電気的エネルギにより陽極
（１５）、陰極（１４）間にグロー放電が発生する。
（１５）、陰極（１４）間にグロー放電が発生する。
このとき、各小径部（１７）はプラズマ径を規制する放
電路（２５）となり、大径部（１８）、両側部（１９ａ
）（１９ｂ）すなわち触媒層（２０）は上記プラズマに
さらされない。上記グロー放電で励起された分子からの
放出光は高反射鏡（１１）、出力鏡（Ｉ２）により正帰
還がかかり、レーザ発振が達成される。このレーザ発振
において、上記放電路内のプラズマ中で分解された分子
、例えばＣＯ２では分解してｃｏと０となり、これらは
触媒作用層（２ｏ）に触れ、層を形成している白金の触
媒作用によって還元される。
電路（２５）となり、大径部（１８）、両側部（１９ａ
）（１９ｂ）すなわち触媒層（２０）は上記プラズマに
さらされない。上記グロー放電で励起された分子からの
放出光は高反射鏡（１１）、出力鏡（Ｉ２）により正帰
還がかかり、レーザ発振が達成される。このレーザ発振
において、上記放電路内のプラズマ中で分解された分子
、例えばＣＯ２では分解してｃｏと０となり、これらは
触媒作用層（２ｏ）に触れ、層を形成している白金の触
媒作用によって還元される。
［発明の効果］
ガスレーザ媒質はレーザ発振中、その分解したガスがレ
ーザ管内に形成された触媒作用層によって還元され再生
されるので、レーザ装置装置自体を大形化すること無く
、ガス封じ切り寿命を著しく延ばすことができた。
ーザ管内に形成された触媒作用層によって還元され再生
されるので、レーザ装置装置自体を大形化すること無く
、ガス封じ切り寿命を著しく延ばすことができた。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図のＡ部の拡大断面図である。 （ｌＯ）・・・レーザ管 （１１）・・・高反射鏡 （１２）・・・出力鏡 （１４）・・・陰極 （１５）・ （１７）・ （１８）・ （２０）・ （２５）・ ・陽極 ・小径部 ・大径部 ・触媒作用層 ・放電路
１図のＡ部の拡大断面図である。 （ｌＯ）・・・レーザ管 （１１）・・・高反射鏡 （１２）・・・出力鏡 （１４）・・・陰極 （１５）・ （１７）・ （１８）・ （２０）・ （２５）・ ・陽極 ・小径部 ・大径部 ・触媒作用層 ・放電路
Claims (1)
- 放電路を有する電気絶縁部材からなるレーザ管と、この
レーザ管内設けられ封入されたガスレーザ媒質を上記放
電路内で励起する少なくとも一対の放電電極と、上記励
起によってた光を共振する光共振器とを備えたガスレー
ザ発振装置において、上記放電路は小径部と大径部とが
交互に形成され、上記小径部以外の外面に上記ガスレー
ザ媒質の分解ガスを還元する触媒作用層を形成し、上記
小径部を放電路としたことを特徴とするガスレーザ発振
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3823889A JPH02218185A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3823889A JPH02218185A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02218185A true JPH02218185A (ja) | 1990-08-30 |
Family
ID=12519724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3823889A Pending JPH02218185A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02218185A (ja) |
-
1989
- 1989-02-20 JP JP3823889A patent/JPH02218185A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3753144A (en) | Gas laser structure | |
| CN120377039A (zh) | 一种大功率电晕预电离准分子激光器 | |
| GB2083687A (en) | Circulating gas laser | |
| JPH02218185A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| Warner et al. | 1 W operation of singly ionized silver and copper lasers | |
| US3811095A (en) | Electric-discharge excited gaseous laser | |
| US4905248A (en) | Metal vapor laser apparatus | |
| US3452295A (en) | Gas laser discharge tube having insulator shields | |
| CN224204577U (zh) | 一种电晕预电离大功率准分子激光器 | |
| JP3064588B2 (ja) | レ−ザ−管 | |
| JPS6348881A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JP2009099902A (ja) | 放電励起ガスレーザ装置の冷却機構 | |
| JPS63211690A (ja) | 金属蒸気レ−ザ装置 | |
| JP2584949Y2 (ja) | 炭酸ガスレーザ発振器 | |
| JPH01228184A (ja) | 金属蒸気レーザ発振装置 | |
| JP2001274493A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JP2002261357A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPH10209530A (ja) | 炭酸ガスレーザ発振器 | |
| JPH01214182A (ja) | 金属蒸気レーザ装置 | |
| JPH03255679A (ja) | 炭酸ガスレーザ装置 | |
| Kocik et al. | Generation of the infrared laser oscillations in the He-Cu sputtered systems excited by RF discharge | |
| JPH05343777A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JPS61176179A (ja) | 放電型エキシマレ−ザ−チヤンバ− | |
| JPH02168682A (ja) | イオンレーザ管 | |
| JPH01194482A (ja) | ガスレーザ発振装置 |