JPH02219031A - Ｌｂ膜の形成材料 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、均質なＬ８膜を作製することが可能な新規
な材料に関するもので、特に非線形光学素子を構築する
ための極性構勇を有する有機薄膜構造体等を構成するし
Ｂ膜の作製に用いて好適な材料に閉するものである。

（従来の技術） 最近、系外からの入力光に対し、入力光以外の成分の光
を発生する物質がいわゆる非線形光学材料として注目さ
れている。これは、この種の材料が、振動数の異なる２
１Ｍの入射光の和の振動数の光を発生する光混合、入射
光が振動数のＲなる２種の光となる光パラメトリック、
或いは入射光の二次または三次の高調波への変換（ＳＨ
Ｇ、ＴＨＧと称される）など、光信号処理用材料として
重要な役割を演するからである。ざらにまたこの種の材
料が有するこのような性質が、光通信技術や光電子集積
回路（ＯＥＩＣ）技術の進歩に伴い実現されるであろう
光コンピュータの要素技術となると考えられているから
である。

このような非線形光学材料として有機物から成るものと
無機物から成るものとが知られているが、このうちの有
機物から成る非線形光学材料は、それの非線形性が分子
内容局在■電子に起因する電子分極であるために、無機
物から成る非線形光学材料に比し、速い応答や高い光学
破壊しきい値が得られると期待され、研究開発が活発に
進められている。

例えば、下記０式で示されるｐ−ニトロアニリン（以下
、ｐ−ＮＡと略称することもある。）は、■電子共役環
に電子供与性基（−ＮＨ２）及び電子吸引性基（−ＮＯ
□）が付与された構造を有し、分子の分極の大きざを示
す二次の非線形分子分極率βが大きな値を示すことが知
られている。

しかし、ｐ−ＮＡは、結晶状態が反転対称性を有する構
造であるために各分子の分極は打ち消し合うようになり
、このため、マクロな分極の大きざを示す二次の非線形
感受率Ｘ（２）　はＯとなってしまう、従って、ｐ−Ｎ
Ａは、第二次高調波発生（ＳＨＧ）活性ではなかった。

そこで、各分子の分子分極が打ち消されないでマクロな
分極が残っている構造（極性構造）を確保するため、以
下に説明するような方法で分子をある一定の方向に配向
させｐ−ＮＡ分子の持つ分子分極を有効に利用し大きな
Ｘ（２）を実現することが試みられてきた。

その一つの方法は、ｐ−ＮＡ分子の２位にメチル基を導
入しｐ−ＮＡ７ａ２−メチル−４−ニトロアニリン（以
下、ＭＮＡと略称することもある。）とすることである
、このＭＮＡ結晶は、対称中心を欠く構造になるので、
大きなＳＨＧを発するようになる。ＭＮＡについでは、
例えば文献（ジャーナル　才ブ　アプライド　フィジッ
クス（Ｊ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、）　５０　（４）　（
１９７９，４）　ｐｐ、２５２３〜２５２７）に開示さ
れている。

他の方法は、高分子中にＩ）−ＮＡを分散させ配向させ
る方法である。この方法の具体例としでは、例えば文献
（ポリマー　ブリブリンツ、ジャパン（Ｐｏｌｙｍｅｒ
　Ｐｒｅｐｒｉｎｔｓ、Ｊａｐａｎ）　３６　（８）　
（１９８７）ｐｐ、　２５２２〜２５２４　　）に開示
されているものがあった。この文献に開示された方法に
よれば、ポリエチレンオキサイドにｐ−ＮＡ！分散させ
たものが、ＭＮＡのＳＨＧの２．６倍の強度のＳＨＧを
発すると云う。

また、ざらに別の方法は、ｐ−ＮＡに長鎖アルキル基を
導入し分子を両親媒性とすることでＬＢ法による薄膜形
成を可能ならしめ、ｐ−ＮＡの分子分極の配向を制御し
て極性構造を有した有機薄膜を作製しようとするもので
あった。ここでＬＢ法とは、薄膜化したい所望の分子を
水面上に展開し、或いは、この所望の分子と、成膜性を
良好にするための補助の分子とを混合したものを水面上
に展開し、展開された膜を基板に移し取ることで薄膜（
ＬＢ膜）を形成する方法である。

ＬＢ法による極性構造を有した薄膜の形成例としては、
下記０式で表されるＮ−ステアリル−ｐニトロアニリン
（以下、５ｔ−ｐＮＡと略称する。）ｔＬＢ膜形成材料
として用いた例かあった（特開昭６２−３９８２７号公
報）。

さらに、Ｎ−ステアリル−２−メチル−４−ニトロアニ
リンｔＬ８膜の形成材料として用もまた例があった（文
献（ジャパニーズ　ジャナル　オブアブライト　フィジ
ックス（Ｊａｐａｎｅｓｅ　Ｊｏｕｒｎａｌｏｆ　Ａｐ
ｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ）　２７　（９）　（１９
８８，９）　ｐｐ、ｌ６３５〜＋６３７）　。

上述した各方法の中で、ＬＢ法により分子分極の配向を
制御して枠牲構造を有した有機薄膜を作製しようとする
方法は、分子単位で膜厚が制御でき然も均質な薄膜が得
られるということ、ざらに光信号処理デバイス等のよう
な微細な光集積回路素子を構築するためには有機非線形
光学材料の薄膜化が必須であることから、最も有望な方
法と云える。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、ｐ−ＮＡ誘導体の薄膜をしＢ法により作
製しようとした場合、従来知られていた５ｔ−ｐＮＡや
Ｎ−ステアリル−２−メチル−４ニトロアニリンという
ＬＢ膜の形成材料では、分子の凝集性が強いため、水面
上にその分子のみが凝集し３次元の微結晶に成長してし
まうという現象が起こっていた。この現象は、Ｎ−ステ
アリル−２−メチル−４−ニトロアニリンに関しては、
上記文献（ジャパニーズ　ジャナル　オブ　アプライド
　フィジックス（Ｊａｐａｎｅｓｅ　Ｊｏｕｒｎａｌ　
ｏｆＡｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ）　２７　（９）
　（１９８８，９）　ｐｐ、ｌ６３５〜＋６３７）に報
告されている。また、Ｓｔ−ｐＮＡに関しでは、この出
願に係る発明者が、確認しでいる。

このような分子の凝集が起こると、この分子を一方向に
配向させることが出来ないばかりでなく均質なＬ８膜を
得ることが出来ない、これがため、非線形光学素子を構
築するための極性構造を有する有８！薄Ｍ構造体を得る
ことが出来ないことになる。

この発明はこのような点に鑑みなされたものであり、従
ってこの発明の目的は、大きな分子分極を有する材料で
あってＬＢ法において分子の凝集が起こり難く均質なＬ
Ｂ膜を形成することが出来るしＢ膜の形成材料を提供す
ること１こある。

（課題を解決するための手段） この目的の達成を図るため、この発明によれば、次の一
般式（１）で表されるＮ−アシル−ｐニトロアニリンを
ＬＢ膜の形成材料として用いたことを特徴とする（但し
、（１）式中のｎは１３〜２９の整数である）。

（作用） この発明のＬ８膜の形成材料であるＮ−アシル゛−ｐ−
ニトロアニリンは、分子の非線形感受率が大きいｐ−ニ
トロアニリン（＋）−ＮＡ）に長鎖アルキル基を導入し
たＮ−アルキル−ｐ−ニトロアニリンにさらにカルボニ
ル基が導入されたものである。このため、ｐ−ＮＡの属
性を利用出来る。

ざらにカルボニル基が導入されたため親木性が５ｔ−ｐ
ＮＡに比べると強いので、ＬＢ膜形成の際に水面上に凝
集しずらい。

（実施例） 以下、この発明のしＢ膜の形成材料の実施例につき説明
する。

Ｌ８の　　合　の 先ず、この発明のＬＢ膜の形成材料である上述の一般式
（１）で示される有機化合物の一例として（１）式中の
ｎが１６である下記（２）式で示されるＮ−ステアロイ
ル−ｐ−ニトロアニリン（以下、５ｔＯ−ｐＮＡと略称
することもある。）の合成方法の一例につき説明する。

しかしながら、以下の合成例中で述べる使用薬品名、数
値的条件、処理方法等は、単なる一例にすぎないことは
理解されたい。

固する。これをエタノール３−００　ｍ　１２に加温溶
解し、熱濾過後故霞冷却し、生成した沈殿を濾取する１
次に、濾取した沈殿物を再び３００ｍβのトルエンに加
温溶解し、放置冷却し、生成した沈殿を濾取する。下記
（３）式は上述の合成方法を示す反応式である。

先ず、ｐ−ニトロアニリン６、９９（０，０５ｍｏｌ）
をテトラヒドロフラン（１旺）１５０ｍｌに溶解し、こ
の溶液を攪拌しながらこれに塩化ステアロイル１８　、
２９　（０，０６ｍｏｌ）　’ｉＡ下する０次いでこれ
にトリエチルアミン（ＴＥＡ　）　３　、９　ＣＩ　（
０，０６ｍｏｆ）８滴下した後、さらに３０分間攪拌す
る。生成した沈殿（ＴＥＡ−ＨＣＩ）を濾別し、濾液を
濃縮乾上述のように合成した有機化合物を元素分析及び
赤外線吸収スペクトルによってそれぞれ同定した。

元素分析の結果は、以下に示す通りであった。

Ｃニア０．７８％ Ｈ：　　９．９０％ Ｎ：　　６．９５％ なお、計算値は、Ｃニア１．２５、Ｈ：９．９７、Ｎ：
６．９２％である。

また、赤外線吸収スペクトルの測定の結果は、第１図に
示す通りであり、波数２９００ｃｒｒｒ’付近にメチレ
ン基の吸収、波数３３４０ｃｍ−’１６８０ｃｍ−’及
び１５４０ｃｍ−’に第ニアミド基の吸収、波数１６０
０ｃｍ−’付近に芳香環の吸収がそれぞれ認められた。

しＢ 次に上述の如く合成したＮ−ステアロイル−ｐニトロア
ニリン（ｓ　ｔｏ−ｐＮＡ）の特性につき、５ｔＯ−ｐ
ＮＡを含む単分子膜の特性と、この単分子膜をＬＢ法に
より複数層累積した累積膜の特性とにより説明する。

なお、ＬＢ法は公知技術であるが、その概要は以下に説
明するようなものである。

同一分子内に親木基と細長い疎水基とを持つ分子を水面
に浮べ（以下、展開するという言葉を用いる）、横方向
から適当な圧力を加えると、この分子は親木基が水面に
接触しで規則正しく配列し単分子膜を形成する。また、
この単分子膜中に固体基板（例えばガラス基板）を浸漬
しこの基板を引き上げるとこのガラス基板上にこの単分
子膜が付着する。この操作を繰返し行なうことによって
単分子累積膜が得られる。この方法は垂直浸漬法と称さ
れている。また、水面上の単分子膜平面に平行にガラス
基板を近づけ接しさせることによりこのガラス基板に単
分子膜を付着させるいわゆる水平付着法を緑つ返し行う
ことによっても単分子累積膜が得られる。

く単分子膜での特性評価〉 先ず、この発明のＬ８膜の形成材料の単分子膜での特性
評価を行なうため、上記５ｔＯ−１）ＮＡの展開膜の表
面圧−面積曲線を、５ｔＯ−ｐＮＡとアラキン酸［ＣＨ
３（ＣＨ２）　＋　ａｃＯＯＨ］との混合比をパラメー
タとし、測定した。その測定条件は、以下に説明する通
りとした。サブフェイズ水溶液は、塩化カドミウム（Ｃ
ｄＣ１ｚ　）をモル濃度で４　Ｘ　１０−’及び炭酸水
素カリウム（にＨＣＯ３）をモル濃度で５×１０−５含
み、ｐＨを６．８とし水温を２０”Ｃとしたものとして
いる。また試料は、５ｔｏｐＮＡとアラキン酸との混合
比を変えたものをそれぞれり［］［］ホルムに溶解した
ものとした。そして、この試料をサブフェイズに展開し
た。第２図は、横軸に展開膜の面積（ｎｍ−’／分子）
、縦軸に展開膜の表面圧（ｍＮｍ−’）　＠それぞれと
って示した表面圧−面積曲線であり、図中Ｉはｓ　ｔ　
ｏ−ｐＮＡ単独の展開膜のもの、１１は５ｔｏ−ｐＮＡ
とアラキン酸との混合比が１＝１（モル比、以下同様）
の展開膜のもの、ｍは同混合比が】：４の展開膜のもの
である。また、第３図は、比較例としてのＮ−ステアリ
ル−ｐ−ニトロアニリン（ｓ　ｔ−ｐＮＡ）の展開膜の
表面圧−面積曲線であり、第３図中Ｉ（、ｔｓｔ−ｐＮ
Ａ単独の展開膜のもの、ＩＩは５ｔ−ｐＮＡとアラキン
酸との混合比が１：１の展開膜のもの、■は同混合比が
１＝４の展開膜のもの、■はアラキン酸単独の展開膜の
ものである。

第２図及び第３図からも理解出来るように、５ｔｏ−ｐ
ＮＡ及びＳ　ｔ−ｐＮＡ共に、単独の展開膜は不安定で
あることが分る。つまり展開膜を圧縮しでゆくに従い表
面圧が上昇してゆくが、５ｔｏ−ｐＮＡ単独の展開膜で
はその面積が０．３０付近で、５ｔ−１）ＮＡ単独の展
開膜ではその面積が０．４０付近で、表面圧の減少が起
きている。

また、実際、５ｔｏ−ｐＮＡ単独の展開膜を基板へ、ま
た、５ｔ−ｐＮＡ単独の展開膜を基板へそれぞれ累積さ
せようと試みたが、うまく累積出来なかった。これに対
し、５ｔＯ−ｐＮＡ及び５ｔ−ＩＮＡ共に、これに分子
の配向性が良く安定な単分子膜が得られることで知られ
ているアラキン酸を混合した場合の展開膜の特性は、単
独の場合とは異なったものになっている。ここで、ｓｔ
。

−ｐＮＡ、５ｔ−ｐＮＡ共、分子が水面に垂直に配列し
たとしたときの１分子当たりの展開膜中に占める面積は
アラキン酸のそれとほぼ同じであるので、アラキン酸と
の混合が均質に行なわれているならば、展開膜中におけ
る５ｔｏ−ｐＮＡ分子或いはＳｔ−りＮＡ分子の凝集状
態での占有面積（表面圧−面積曲線で分子が凝集した時
、展開膜の表面圧と面積との間には直線関係があり、こ
の直線を表面圧＝Ｏに補飾した分子面積を占有面積と云
う、）は、アラキン酸の混合比によってはほとんど変化
しないはずである。このような観点に立ち第２図及び第
３図を見比べでみると、比較例である５ｔ−ｐＮＡは、
占有面積が第３図の！■、■及び■の曲線で示されるよ
うにアラキン酸の混合比によって変化しており、また表
面圧−面積曲線においても屈曲が見られることから、ア
ラキン酸との混合が均質に行なわれず、展開膜の構造変
化が起こっていることが分る。これに対し、実施例であ
る５ｔｏ−ｐＮＡは、占有面積が第２図の１１及び■の
曲線で示されるようにアラキン酸の混合比によってはほ
とんど変化せず、また表面圧面積曲線においても屈曲が
見られないことから、アラキン酸との混合が均質に行な
われ、均質で安く累積膜での特性評価〉 次に、実施例のＬＢ膜形成材料の水面上単分子膜をガラ
ス基板に累積し累積膜を作製し、この累積膜の特性を以
下に説明するように評価する。

■・・・評価１ 先ず、水面上単分子膜をガラス基板上に順次に累積した
累積膜の評価を行なう。

累積は、水面上に展開した単分子膜の表面圧を３０ｍＮ
ｍ−’に一定に保っで行なった。ガラス基板は、大きざ
が３８ｘ１３ｍｍで厚さが０．５ｍｍのもので、その表
面を臭化セチルトリメチルアンモニラ・ムで疎水処理し
たものを用いた。試料は、実施例として５ｔＯ−１）Ｎ
Ａ：アラキン酸が］：１と、１：４としたもの、比較例
としで５ｔ−ｐＮＡ：アラキン酸が１＝１と１：４とし
たもの、４種類を用意した。各試料毎にクロロホルムに
溶解させ、水面（上述のサブフェイズ）上に展開し、約
１０分間放言して溶媒（クロロホルム）を蒸発させ、そ
の後、水面をゆっくりと圧縮し展開膜が３０ｍＮｍ−・
で一定に圧縮されるように保った。

次に、ガラス基板を２ｃｍ毎分の速度で水面を横切るよ
うに上下に繰り返し移動させ展開膜をガラス基板に移し
取った。

なお、累積がうまく行なわれているか否かは、基板が水
面を横切った面積と、これにより減少した水面上の展開
膜の面積との比率（以下、累積比と称する。）で評価し
た。展開膜の表面圧（よ常に一定（この例では３０ｍＮ
ｒｒｒ’）になるように制御されているので、累積がう
まく行なわれているとすれば、累積比は】になる、実施
例及び比較例合わせて４種類の試料共に、累積は累積比
がほぼ１の状態で行なえた。

次に、上述の如く累積した各試料の累積膜の吸光度の累
積数依存性を、累積数を異ならせた各累積膜を用いで測
定した。その結果、実施例である５ｔｏ−ｐＮＡ、比較
例である５ｔ−ｐＮＡいずれの累積膜も、その吸光度と
累積数との関係は直線関係を示した。なお、５ｔｏ−ｐ
ＮＡの吸収ど一つは３１０ｎｍであり、５ｔ−ｐＮＡの
吸収ピークは４２０ｎｍであるので、吸光度の測定はそ
れぞれそのピーク波長の光を用いて行なった。

アラキン酸はこれら波長での吸収はない。

次に、各試料の累積膜の表面形態を走査型電子顕微鏡（
ＳＥＭ）を用いそれぞれ観察したところ、比較例である
５ｔ−ｐＮＡを用いた各累積膜ではサブミクロンサイズ
の３次元の凝集体が多数見られたが、実施例である５ｔ
ｏ−ｐＮＡ％用いた各累積膜ではそのような凝集体は見
られず均質なしＢ膜が得られていることが分った。

■・・・評価２ 次に、実施例のＬＢ膜形成材料である５ｔｏ−ｐＮＡを
用い、これを基板に対して常に一定の方向にそろわせ全
体として極性構造を有する薄膜構造体を得るため１こ、
基板上に５ｔｏ−ｐＮＡを含む単分子膜と、アラキン酸
の単分子膜とを交互に累積し交互累積膜を作製した。具
体的には、基板を水中（サブフェイズ水溶液中）に浸漬
するときは水面上には５ｔｏ−ｐＮＡ１ｆ！：含む単分
子膜を展開しておき、基板を水中から引き上げるときは
水面上にはアラキン酸の単分子膜を展開しでおくように
しＬＢ法により基板上にこれら展開膜を順次に移し取る
。またはその逆でも良い、このようにすることによって
、５ｔＯ−１）ＮＡを含む単分子膜は、常に基板に対し
一定の方向に累積される。

このような交互累積膜は、実際には、以下に説明するよ
うな交互累積膜作製装置を用いて作製した。

第４図は、この交互累積膜作製装置の構造を概略的に示
した図である。

この装置は、水槽１１を有しであり、この水槽１１中に
サブフェーズ水溶液が入れである。この水槽１１中の水
溶液は固定バリア１２によってＡ及びＢで示す２つの水
面に仕切られている。また固定バリア１２の中央部は切
れでいで、この切れた部分では、この両側の固定バリア
部分それぞれに設けたテフロンフィルム１３が向かい合
って接触する構造としてあり水面Ａ及び水面Ｂ上に展開
したそれぞれの膜が混合しないようにしである。ざらに
この装置は、基板ホルダ１４を有しでおり、この基板ホ
ルダ１４は、テフロンフィルム１３の接触部をすりぬけ
て水槽１１の八で示す水面を有する領域と８で示す水面
を有する領域との間を移動出来るようになっている。

ざらにこの装置は、固定バリア１２で仕切られる２つの
領域（水面Ａ及び水面Ｂを有する２つの領域）それぞれ
の水面に浮かせである可動バリア２１（又は３１）を有
している。これら可動バリア２１゜３１は、それぞれが
固定バリア１２側に引かれるように、糸２２．３２によ
って滑車２３．３３を介して錘に２４、３４につながれ
でいる。この構成によれば、可動バリア２１及び３１を
水槽１１の締部まで寄せた状態で水面Ａ及び水面已に試
料をそれぞれ展開し計算量の錘を乗せることにより、水
面上の展開膜をそれぞれ一定の表面圧で圧縮することが
出来る。さらに基板ホルダ１４にガラス基板４１ヲ取付
けこのガラス基板４１を先ず水面Ａを横切って水槽中に
下降させると、このガラス基板４１に水面Ａに在る展開
膜を付着させることが出来る６次いでガラス基板４１か
水面下にある状態で基板ホルダ１４をテフロンフィルム
１３の接触部をすり抜けさせ水槽１１の水面Ｂを有する
領域に移動させ、ざらにガラス基板４１を水面Ｂ％横切
って上昇させると、このガラス基板４１には今度は水面
Ｂに在る展開１漠を付着させることが出来る。その後ま
た、ガラス基板４１を水面Ａの領域に移動し水槽中に下
降させ上述した一連の操作を繰り返すと、水面Ａに展開
させた膜と、水面Ｂに展開させた膜とを交互に累積させ
た膜がガラス基板上に形成出来る。

この実施例では水面Ａにアラキン酸を展開し３０ｍＮｒ
ｒｒ’の表面圧に保った。一方水面ＢにはＳｔ、−ｐＮ
Ａとアラキン酸とを１：１（モル比）の割合で混合した
ものを展開し３０ｍＮｍ−’の表面圧に保った。サブフ
ェイ、ズの条件及びガラス基板の大きさや疎水化処理条
件は、上述の評価１の場合と同様にした。そして、上述
した手順に従い５０回の累積操作を行い水面Ａの展開膜
と水面Ｂの展開膜それぞれが５０層づつ交互に累積され
た試料薄膜構造体を得た。

なお、累積状態は、上述の評価］の項で説明した累積比
により評１価した。累積は、累積比がほぼ１の状態で行
なえた。また、この交互累積膜の吸光度を波長３１０ｎ
ｍの光を用い上述の評価１の方法と同様な方法で測定し
たところ、１層当たりの吸光度は、上述の評価１のとき
のちょうど半分の値であることが分った０以上のことか
ら、累積は、良好に行なわれでいると判断出来る。

また、ＳＥＭによりこの交互累積膜の表面形態を観察し
たところ、凝集体は見られず、均質なＬＢ膜であること
が分った。

以上実施例によりこの発明に説明を行なった。

しかしこの発明は、上述の実施例１こ限定されるもので
はない。

上述の実施例では一般式（１）中のｎを１６とした例で
説明している。しかし、ＬＢ膜の形成が可能であるｎが
１３〜１５及び１７〜２９の化合物についても実施例と
同様な効果を得ることが出来る。

（発明の効果） 上述した説明からも明らかなように、この発明のＬ８膜
の形成材料であるＮ−アシル−ｐ−ニド０アニリンは、
ｐ−ニトロアニリンに長鎖アル午ル基を導入したＮ−ア
ルキル−ｐ−ニトロアニリンにさらにカルボニル基を導
入したものであるので、親水性が強くなりその分しＢ膜
形成の際に水面上で凝集しずらくなる。これがため、大
きな分子分極を有する材料であってＬＢ法において分子
の凝集が起こり難く均質なＬＢ膜を形成することが出来
るＬＢ膜の形成材料を提供することが出来る。

従って、極性を有する所望の薄膜構造体を得ることが出
来るようになるので、高性能な光−光変換素子、光変調
素子、光スィッチ等の光学素子の実現が可能になる。さ
らに、これら光学素子を用いた光コンピュータの実現が
期待出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、寅施例のＬＢ膜の形成材料の赤外線吸収スペ
クトルを示す図、 第２図は、寅施例のしＢ膜の形成材料の展開膜の特性を
評価するための表面圧−面積曲線を示す図、 第３図は、比較例のＬＢ膜の形成材料の展開膜の特性を
評価するための表面圧−面積曲線を示す図、 第４図は、この発明の１日膜の形成材料を用いて交互累
積膜を作製するために用いた装冨の説明に供する図であ
る。 １１・・・水槽、 ＋　３−・・テフロンフィルム、 ２１．３１・・・可動バリア、 ２３．３３・・・滑車、 ４１・・・ガラス基板。 １２・・・固定バリア １４・・・基板ホルダ ２２、３２・・・糸 ２４．３４−・・錘

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）下記の（１）式で表されることを特徴とするラン
   グミュア・ブロジェット法による薄膜（ＬＢ膜）の形成
   材料（但し、（１）式中のｎは１３〜２９の整数である
   ）。 ▲数式、化学式、表等があります▼…（１）