JPH022193A - 波長可変レーザ装置 - Google Patents
波長可変レーザ装置Info
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- JPH022193A JPH022193A JP63145141A JP14514188A JPH022193A JP H022193 A JPH022193 A JP H022193A JP 63145141 A JP63145141 A JP 63145141A JP 14514188 A JP14514188 A JP 14514188A JP H022193 A JPH022193 A JP H022193A
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- laser beam
- intensity
- laser
- fringe
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/1062—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using a controlled passive interferometer, e.g. a Fabry-Perot etalon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/136—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/137—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling devices placed within the cavity for stabilising of frequency
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/22—Gases
- H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
- H01S3/225—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms comprising an excimer or exciplex
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は投影露光装置の光源に用いるレーザ装置に関す
るものである。
るものである。
従来の技術
近年、ＬＳＩのパターンの微細化に伴い、パターン露光
用光源が短波長化する傾向にある。このような光源の一
つに高圧水銀ランプがあり、そのｑ線（４３ｓｎｍ）あ
るいはｉ線（３６５ｎｍ）がＬＳＩ製造工程で用いられ
てきた。さらにパターンを微細化したいわゆる超ＬＳＩ
においては、より短波長の光源が要求され、この要求に
応えるものとしてレーザ光源、たとえばエキシマレーザ
が注目されている。エキシマレーザはレーザ媒質として
クリプトン、キセノンなどの希ガスとふっ素、塩素など
のハロゲンガスを組み合わせることにより、３５３ ｎ
ｍから１９３ｎｍの間のいくつかの波長でＬＳＩパター
ンの露光に十分な出力を有する発振線を得ることができ
る。
用光源が短波長化する傾向にある。このような光源の一
つに高圧水銀ランプがあり、そのｑ線（４３ｓｎｍ）あ
るいはｉ線（３６５ｎｍ）がＬＳＩ製造工程で用いられ
てきた。さらにパターンを微細化したいわゆる超ＬＳＩ
においては、より短波長の光源が要求され、この要求に
応えるものとしてレーザ光源、たとえばエキシマレーザ
が注目されている。エキシマレーザはレーザ媒質として
クリプトン、キセノンなどの希ガスとふっ素、塩素など
のハロゲンガスを組み合わせることにより、３５３ ｎ
ｍから１９３ｎｍの間のいくつかの波長でＬＳＩパター
ンの露光に十分な出力を有する発振線を得ることができ
る。
これらエキシマレーザの利得バンド幅は約１ｎｍと広く
、光共振器と組み合わせて発振させた場合、発振線が０
．５ｎｍ程度の線幅（半値全幅）を持つ。
、光共振器と組み合わせて発振させた場合、発振線が０
．５ｎｍ程度の線幅（半値全幅）を持つ。
このように比較的広い線幅を持つレーザ光を露光用光源
として用いた場合、ランプ光源の場合と同様、露光光学
系に色収差を補正した結像光学系を採用する必要がある
。ところが、波長が３５０ｎｍ以下の紫外域では、結像
光学系に用いるレンズの光学材料の選択の幅が限られ、
色収差補正が困難となる。したがって、波長３５０ ｎ
ｍ以下のレーザ光源を露光装置に用いる場合、レーザ発
振線の線幅を０．Ｏ０５ｎｍ程度にまで単色化し、かつ
その中心波長を±０．００１ ｎｍ （１ｐｍ）以下の
精度で露光装置の要求する値に設定することにより、色
収差補正しない結像光学系が利用可能となり、露光装置
の光学系の簡略化、ひいては露光装置全体の小型化１価
格の低減を実現できる。
として用いた場合、ランプ光源の場合と同様、露光光学
系に色収差を補正した結像光学系を採用する必要がある
。ところが、波長が３５０ｎｍ以下の紫外域では、結像
光学系に用いるレンズの光学材料の選択の幅が限られ、
色収差補正が困難となる。したがって、波長３５０ ｎ
ｍ以下のレーザ光源を露光装置に用いる場合、レーザ発
振線の線幅を０．Ｏ０５ｎｍ程度にまで単色化し、かつ
その中心波長を±０．００１ ｎｍ （１ｐｍ）以下の
精度で露光装置の要求する値に設定することにより、色
収差補正しない結像光学系が利用可能となり、露光装置
の光学系の簡略化、ひいては露光装置全体の小型化１価
格の低減を実現できる。
本発明者らはすでに、上記目的を達成するレーザ装置の
一構成を提案した。すなわち、本体内部にレーザ光の中
心波長を検出する手段を組み込んで、発振波長を任意の
値に設定し、かつその波長を維持できる波長可変レーザ
装置である。このようなレーザ装置を実現するためには
、レーザの発振波長を精密に検出し制御する方法が必要
になる。
一構成を提案した。すなわち、本体内部にレーザ光の中
心波長を検出する手段を組み込んで、発振波長を任意の
値に設定し、かつその波長を維持できる波長可変レーザ
装置である。このようなレーザ装置を実現するためには
、レーザの発振波長を精密に検出し制御する方法が必要
になる。
レーザの発振波長を検出するため、波長分散素子トシで
はファブリ・ベローエタロンやグレーティングが使用で
き、これら波長分散素子によって空間的に展開されたレ
ーザ光の波長を検出する光電変換素子としてはたとえば
リニアイメージセンサが利用できる。
はファブリ・ベローエタロンやグレーティングが使用で
き、これら波長分散素子によって空間的に展開されたレ
ーザ光の波長を検出する光電変換素子としてはたとえば
リニアイメージセンサが利用できる。
リニアイメージセンサは、波長分散素子によって空間展
開されたレーザ光のヌベクトルパターンのピーク位置を
瞬時に検出できるだめ、波長検出器および信号処理回路
をきわめて小形にできる。
開されたレーザ光のヌベクトルパターンのピーク位置を
瞬時に検出できるだめ、波長検出器および信号処理回路
をきわめて小形にできる。
したがって本発明者らが提案している、中心波長を制御
する機構を内蔵したレーザ装置に最適の光電変換素子の
一つである。
する機構を内蔵したレーザ装置に最適の光電変換素子の
一つである。
発明が解決しようとする課題
しかし、このような従来の波長可変レーザ装置では、波
長検出器に用いるリニアイメージセンサの分解能に限界
があるため、レーザ光の中心波長の設定精度が制限され
るという問題点があった。
長検出器に用いるリニアイメージセンサの分解能に限界
があるため、レーザ光の中心波長の設定精度が制限され
るという問題点があった。
本発明はこのような問題点を解決するためなされたもの
で、波長の設定精度が±１ ｐｍ以下の波長可変レーザ
装置を提供するものである。
で、波長の設定精度が±１ ｐｍ以下の波長可変レーザ
装置を提供するものである。
課題を解決するだめの手段
この課題を解決するため本発明は、レーザ媒質と、全反
射鏡および出力鏡とからなる光共振器を具備し、単一ま
たは複数の波長選択素子を光共振器中に設置してレーザ
媒質の利得バンド幅内で発振波長の中心値を可変にした
レーザ装置において、波長選択素子の選択波長を制御す
る手段、およびレーザ光の発振波長を検出する手段をレ
ーザ装置内に内蔵したものであって、前記波長検出手段
が、波長分散素子によって空間展開されたレーザ光のス
ペクトルパターンの、基準位置より短波長側の強度の積
分値と基準位置より長波長側の強度の積分値を比較する
ように構成されたものである。
射鏡および出力鏡とからなる光共振器を具備し、単一ま
たは複数の波長選択素子を光共振器中に設置してレーザ
媒質の利得バンド幅内で発振波長の中心値を可変にした
レーザ装置において、波長選択素子の選択波長を制御す
る手段、およびレーザ光の発振波長を検出する手段をレ
ーザ装置内に内蔵したものであって、前記波長検出手段
が、波長分散素子によって空間展開されたレーザ光のス
ペクトルパターンの、基準位置より短波長側の強度の積
分値と基準位置より長波長側の強度の積分値を比較する
ように構成されたものである。
作 用
この構成により、レーザ光の中心波長の設定精度を向上
できることとなる。
できることとなる。
実施例
第１図は本発明の一実施例であるエキシマレーザの構成
図である。第１図において本発明の実施例のレーザ装置
は希ガスとハロゲンガスの混合気体をレーザ媒質とする
放電管１と、全反射鏡２および出力鏡３からなる光共振
器により、紫外域でレーザ発振する。光共振器内にはエ
アスペースエタロン４，４′が置かれている。エアスペ
ースエタロン４，４１は、レーザ波長において適当な反
射率を持つ２枚の平行平面石英板を微小なギャップを保
って向き合わせたファブリ・ベローエタロンの一種であ
り、ギャップ間の距離およびギャップ間の気体の屈折率
で決まる特定の波長のみを透過する、波長選択素子の一
種である。エアスペースエタロン４，４′は気密容器ε
中に設置されている。
図である。第１図において本発明の実施例のレーザ装置
は希ガスとハロゲンガスの混合気体をレーザ媒質とする
放電管１と、全反射鏡２および出力鏡３からなる光共振
器により、紫外域でレーザ発振する。光共振器内にはエ
アスペースエタロン４，４′が置かれている。エアスペ
ースエタロン４，４１は、レーザ波長において適当な反
射率を持つ２枚の平行平面石英板を微小なギャップを保
って向き合わせたファブリ・ベローエタロンの一種であ
り、ギャップ間の距離およびギャップ間の気体の屈折率
で決まる特定の波長のみを透過する、波長選択素子の一
種である。エアスペースエタロン４，４′は気密容器ε
中に設置されている。
気密容器５には高圧空気源６および低圧空気源７がそれ
ぞれパルプ８，９を介して接続されており、エアスペー
スエタロン４． ４’（７）キャン７’ 間（Ｄ 気圧
を変化させることができる。また半透過鏡１ｏによって
取り出されたサンプルビームは、波長検出器１１に導か
れる。波長検出器１１はサンプルビームの波長に応じて
電気信号を信号処理回路１２に出力する。信号処理回路
１２は波長検出器１１から送られた信号に応じてバルブ
８またはバルプ９を開閉する信号を出力する。
ぞれパルプ８，９を介して接続されており、エアスペー
スエタロン４． ４’（７）キャン７’ 間（Ｄ 気圧
を変化させることができる。また半透過鏡１ｏによって
取り出されたサンプルビームは、波長検出器１１に導か
れる。波長検出器１１はサンプルビームの波長に応じて
電気信号を信号処理回路１２に出力する。信号処理回路
１２は波長検出器１１から送られた信号に応じてバルブ
８またはバルプ９を開閉する信号を出力する。
次に以上のような構成による、本発明の波長可変レーザ
装置の動作を説明する。一般にエキシマレーザのスペク
トル線幅は第４図（、）に示すように約０．５ｎｍに及
ぶ。この線幅を第４図０））に示すように０．００５ｎ
ｍ程度にまで単色化する場合、透過帯域幅がそれと同程
度の波長選択素子を用いる必要がある。このような波長
選択素子は、たとえば実施例に示したように２個のエア
スペースエタロンを組み合わせて実現できる。
装置の動作を説明する。一般にエキシマレーザのスペク
トル線幅は第４図（、）に示すように約０．５ｎｍに及
ぶ。この線幅を第４図０））に示すように０．００５ｎ
ｍ程度にまで単色化する場合、透過帯域幅がそれと同程
度の波長選択素子を用いる必要がある。このような波長
選択素子は、たとえば実施例に示したように２個のエア
スペースエタロンを組み合わせて実現できる。
このようにして単色化したレーザ光の中心波長は、波長
選択素子の透過中心波長を制御することによって、レー
ザ媒質の利得バンド幅内で自由に変化させることができ
る。本発明によるレーザ装置では波長検出器１１を設け
、波長選択素子の選択波長を制御し、レーザ光の中心波
長を目的の値に一致させている。波長選択素子の選択波
長を制御するためには、たとえば第１図の実施例に示し
たよウニ、エアスペースエタロン４，４′を気密室５内
に設置し、信号処理回路１２からの偏差信号に応じて、
高圧空気源６との間のパルプ８または低圧空気源７との
間のパルプ９を開閉して、気密室Ｓ内の気圧を変えるこ
とによってエアスペースエタロン４，４′のギャップ間
の屈折率を調節すればよい。
選択素子の透過中心波長を制御することによって、レー
ザ媒質の利得バンド幅内で自由に変化させることができ
る。本発明によるレーザ装置では波長検出器１１を設け
、波長選択素子の選択波長を制御し、レーザ光の中心波
長を目的の値に一致させている。波長選択素子の選択波
長を制御するためには、たとえば第１図の実施例に示し
たよウニ、エアスペースエタロン４，４′を気密室５内
に設置し、信号処理回路１２からの偏差信号に応じて、
高圧空気源６との間のパルプ８または低圧空気源７との
間のパルプ９を開閉して、気密室Ｓ内の気圧を変えるこ
とによってエアスペースエタロン４，４′のギャップ間
の屈折率を調節すればよい。
波長検出器１１を実現方法とするには、従来は第５図に
示すようにエアスペースエタロン１３により、レーザ発
振のスペクトルを同心円上のフリンジパターンに展開し
て結像し、特定のフリンジ１４の位置をリニアイメージ
センサ１６などで読み取っていた。フリンジ１４の径は
エアスペースエタロン１３に入射されるレーザ光の波長
に応じて変化する。まだその径方向の強度は第５図中に
示したように山形に分布しているので、リニアイメージ
センサ１６の受光チャンネルの内、信号強度が最大にな
るチャンネルｎがレーザ光の中心波長に相当することに
なる。したがって、チャンネル番号ｎが基準とするチャ
ンネル番号と一致するようにレーザ光の中心波長を設定
すればよい。ところがこのような波長検出方式では、第
６図においてフリンジ１４ａもフリンジ１４ｂも同じ波
長を持つものと判定してしまう。したがって、このよう
な波長検出器方式を採用した場合、波長の設定精度に限
界が生じることは明らかである。
示すようにエアスペースエタロン１３により、レーザ発
振のスペクトルを同心円上のフリンジパターンに展開し
て結像し、特定のフリンジ１４の位置をリニアイメージ
センサ１６などで読み取っていた。フリンジ１４の径は
エアスペースエタロン１３に入射されるレーザ光の波長
に応じて変化する。まだその径方向の強度は第５図中に
示したように山形に分布しているので、リニアイメージ
センサ１６の受光チャンネルの内、信号強度が最大にな
るチャンネルｎがレーザ光の中心波長に相当することに
なる。したがって、チャンネル番号ｎが基準とするチャ
ンネル番号と一致するようにレーザ光の中心波長を設定
すればよい。ところがこのような波長検出方式では、第
６図においてフリンジ１４ａもフリンジ１４ｂも同じ波
長を持つものと判定してしまう。したがって、このよう
な波長検出器方式を採用した場合、波長の設定精度に限
界が生じることは明らかである。
第２図は本発明による波長検出方法の原理を説明するも
のである。本発明による波長検出器の構成は従来例であ
る第６図と同様であり、リニアイメージセンサ１５が、
フリンジ１４が投影された面内に置かれている。一方、
信号処理回路１２は基準となるリニアイメージセンサの
チャンネルより内側にあるフリンジの強度の積分値１１
と、外側にあるフリンジの強度の積分値工。を測定
し、減算回路１９によってその差Δを作る。パルプ制御
回路２ｏは差Δが一定値Ｖアになるよう、パルプ８，９
を操作してレーザ光の中心波長を制御する。■、は連続
量で与えることができるので、フリンジ４の強度のピー
ク位置はリニアイメージセンサのチャンネル間隔に制限
を受けず連続的に調整、設定できる。その結果、レーザ
光の中心波長の設定波長精度は飛躍的に向上することに
なる。
のである。本発明による波長検出器の構成は従来例であ
る第６図と同様であり、リニアイメージセンサ１５が、
フリンジ１４が投影された面内に置かれている。一方、
信号処理回路１２は基準となるリニアイメージセンサの
チャンネルより内側にあるフリンジの強度の積分値１１
と、外側にあるフリンジの強度の積分値工。を測定
し、減算回路１９によってその差Δを作る。パルプ制御
回路２ｏは差Δが一定値Ｖアになるよう、パルプ８，９
を操作してレーザ光の中心波長を制御する。■、は連続
量で与えることができるので、フリンジ４の強度のピー
ク位置はリニアイメージセンサのチャンネル間隔に制限
を受けず連続的に調整、設定できる。その結果、レーザ
光の中心波長の設定波長精度は飛躍的に向上することに
なる。
次に本発明による波長検出方法の具体的実施例を第３図
に従って説明する。第３図の実施例では、リニアイメー
ジセンサ１５として走査形のものを用いており、クロッ
ク発生器２３からの３相クロツクパルスにより、各チャ
ンネルの受光信号強度が順次読み出され、アンプ２１で
増幅される。
に従って説明する。第３図の実施例では、リニアイメー
ジセンサ１５として走査形のものを用いており、クロッ
ク発生器２３からの３相クロツクパルスにより、各チャ
ンネルの受光信号強度が順次読み出され、アンプ２１で
増幅される。
方、カウンタ回路２４はクロックパルスをカウントし、
第ｘ−ｍチャンネルから第Ｘチャンネルの信号をローパ
スフィルタ２５ａへ、第ｘ＋１チャンネルから第ｘ＋ｍ
＋１チャンネルの信号をローパスフィルタ２６ｂへ振シ
分けるよう、スイッチング回路２２を操作する。ここで
第１チヤンネルはフリンジ１４近傍の基準とするチャン
ネルであり、測定幅ｍはフリンジ１４のバンド幅程度に
とる。減算回路１９．はローパスフィルタ２６で積分・
平滑化された強度信号１１．Ｉ。から差信号Δを作シ、
差動増幅器２６へ送る。差動増幅器２６は差信号Δを設
定値ｖｒと比較し、差があればパルプ駆動回路２７を介
して、パルプ８または９を開閉する。この結果、レーザ
光の中心波長はフリンジ１４が常に同じ位置にできるよ
うに保たれる。
第ｘ−ｍチャンネルから第Ｘチャンネルの信号をローパ
スフィルタ２５ａへ、第ｘ＋１チャンネルから第ｘ＋ｍ
＋１チャンネルの信号をローパスフィルタ２６ｂへ振シ
分けるよう、スイッチング回路２２を操作する。ここで
第１チヤンネルはフリンジ１４近傍の基準とするチャン
ネルであり、測定幅ｍはフリンジ１４のバンド幅程度に
とる。減算回路１９．はローパスフィルタ２６で積分・
平滑化された強度信号１１．Ｉ。から差信号Δを作シ、
差動増幅器２６へ送る。差動増幅器２６は差信号Δを設
定値ｖｒと比較し、差があればパルプ駆動回路２７を介
して、パルプ８または９を開閉する。この結果、レーザ
光の中心波長はフリンジ１４が常に同じ位置にできるよ
うに保たれる。
レーザ光の中心波長を微小変化させる場合は、設定値Ｖ
を変えてやれば連続的に掃引できる。
を変えてやれば連続的に掃引できる。
実験によれば０．５ｐｍ以下の設定精度が得られた。
従来の波長検出方法においても、フリンジ投影用のレン
ズ１６の焦点距離を増したシ、リニアイメージセンサ−
６のチャンネルあたりの受光面積を狭めたりして、波長
設定精度を高めることは可能である。しかし、信号強度
が弱くなり、本発明による波長検出方法を越える波長の
設定精度は得られなかった。なお、波長の荒い設定は基
準チャンネルの番号Ｘを変えることによって実現できる
。
ズ１６の焦点距離を増したシ、リニアイメージセンサ−
６のチャンネルあたりの受光面積を狭めたりして、波長
設定精度を高めることは可能である。しかし、信号強度
が弱くなり、本発明による波長検出方法を越える波長の
設定精度は得られなかった。なお、波長の荒い設定は基
準チャンネルの番号Ｘを変えることによって実現できる
。
以上のような構成を有するので、本発明実施例の波長可
変レーザは非常に精密な波長の設定を実現することがで
きる。
変レーザは非常に精密な波長の設定を実現することがで
きる。
なお、実施例においては波長分散素子としてエアスペー
スエタロンを用いた例を示しだが、グレーティングなど
でも同様の効果が得られる。また、レーザ装置としてエ
キシマレーザを例にとって説明したが、本発明があらゆ
る波長可変レーザ装置に適用できることは言うまでもな
い。
スエタロンを用いた例を示しだが、グレーティングなど
でも同様の効果が得られる。また、レーザ装置としてエ
キシマレーザを例にとって説明したが、本発明があらゆ
る波長可変レーザ装置に適用できることは言うまでもな
い。
発明の詳細
な説明したように、本発明は波長分散素子によって空間
展開されたレーザ光のスペクトルパタンの、長波長側の
強度と短波長側の強度を比較することによシ、波長設定
精度を向上した波長可変レーザ装置を提供できるもので
ある。
展開されたレーザ光のスペクトルパタンの、長波長側の
強度と短波長側の強度を比較することによシ、波長設定
精度を向上した波長可変レーザ装置を提供できるもので
ある。
第１図は本発明の一実施例である波長可変レーザ装置の
構成図、第２図は本発明による波長検出方法の原理を示
す図、第３図は本発明による波長検出器の一実施例を示
す図、第４図はレーザ光の単色化を説明する図、第５図
は波長検出器の従来例を示す図である。 １・・・・・・放電管、２・・・・・・全反射鏡、３・
・・・・・出力鏡、４．４′ ・・・・・・エアスペー
スエタロン、６・・・・・・気密容器、６・・・・・・
高圧空気源、７・・・・・・低圧空気源、８゜９・・・
・・・パルプ、１０・・・・・・半透過鏡、１１・・・
・・・波長検出器、１２・・・・・・信号処理回路、１
３・・・・・・エアスペースエタロン、１４，１４ａ、
１４ｂ・・・・・・フリンジ、１６・・・・・・リ
ニアイメージセンサ、１６・・・・・・レンズ、１７・
・・内拡散板、１８・・・・・・反射鏡、１９・・・・
・・減算装置、２０・・・・・・バルブ制御回路、２１
・・・・・・アンプ、２２・川・・スイッチング回路、
２３・−ｍ・クロック発生器、２４・・川・カウンタ回
路、２６ａ。 ２６ｂ・・・・・・ローパスフィルタ、２６・・曲差動
増幅器、２７・・・・・・パルプ駆動回路。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名菓 図 ／−ｍ−放電管 ５・−気在思巻 ｎ−−一液蚤挟肥五 １２− 信号Ｍ、理呂発 １３− エアスペースエタロン ／４−−フリンジ １５ ゛−゛ンニアイメーシセンブ 第 第 図 図 ＩＱ−漁算回路 ２０−−−ハ゛ルフー別イ８ＷＪ詰シ 第 図 ２３− クロック地生息 一一−九−１ 穴 何すｌ
構成図、第２図は本発明による波長検出方法の原理を示
す図、第３図は本発明による波長検出器の一実施例を示
す図、第４図はレーザ光の単色化を説明する図、第５図
は波長検出器の従来例を示す図である。 １・・・・・・放電管、２・・・・・・全反射鏡、３・
・・・・・出力鏡、４．４′ ・・・・・・エアスペー
スエタロン、６・・・・・・気密容器、６・・・・・・
高圧空気源、７・・・・・・低圧空気源、８゜９・・・
・・・パルプ、１０・・・・・・半透過鏡、１１・・・
・・・波長検出器、１２・・・・・・信号処理回路、１
３・・・・・・エアスペースエタロン、１４，１４ａ、
１４ｂ・・・・・・フリンジ、１６・・・・・・リ
ニアイメージセンサ、１６・・・・・・レンズ、１７・
・・内拡散板、１８・・・・・・反射鏡、１９・・・・
・・減算装置、２０・・・・・・バルブ制御回路、２１
・・・・・・アンプ、２２・川・・スイッチング回路、
２３・−ｍ・クロック発生器、２４・・川・カウンタ回
路、２６ａ。 ２６ｂ・・・・・・ローパスフィルタ、２６・・曲差動
増幅器、２７・・・・・・パルプ駆動回路。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名菓 図 ／−ｍ−放電管 ５・−気在思巻 ｎ−−一液蚤挟肥五 １２− 信号Ｍ、理呂発 １３− エアスペースエタロン ／４−−フリンジ １５ ゛−゛ンニアイメーシセンブ 第 第 図 図 ＩＱ−漁算回路 ２０−−−ハ゛ルフー別イ８ＷＪ詰シ 第 図 ２３− クロック地生息 一一−九−１ 穴 何すｌ
Claims (1)
- レーザ媒質と、全反射鏡および出力鏡とからなる光共振
器を具備し、単一または複数の波長選択素子を前記光共
振器中に設置してレーザ媒質の利得バンド幅内で発振波
長の中心値を可変にしたレーザ装置において、前記波長
選択素子の選択波長を制御する手段、およびレーザ光の
発振波長を検出する手段をレーザ装置内に内蔵したもの
であって、前記波長検出手段が、波長分散素子によって
空間展開されたレーザ光のスペクトルパターンの基準位
置より短波長側の強度の積分値と基準位置より長波長側
の強度の積分値を比較することを特徴とする波長可変レ
ーザ装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63145141A JP2506944B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 波長可変レ―ザ装置 |
| CA000578540A CA1302548C (en) | 1987-09-28 | 1988-09-27 | Laser apparatus |
| EP88115902A EP0310000B1 (en) | 1987-09-28 | 1988-09-27 | Laser apparatus |
| DE3889831T DE3889831T2 (de) | 1987-09-28 | 1988-09-27 | Laser-Apparat. |
| US07/499,206 US4991178A (en) | 1987-09-28 | 1990-03-19 | Laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63145141A JP2506944B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 波長可変レ―ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH022193A true JPH022193A (ja) | 1990-01-08 |
| JP2506944B2 JP2506944B2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=15378364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63145141A Expired - Fee Related JP2506944B2 (ja) | 1987-09-28 | 1988-06-13 | 波長可変レ―ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2506944B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991009875A1 (en) | 1989-12-28 | 1991-07-11 | Takeda Chemical Industries, Ltd. | Monoclonal antibody, hybridomas, their production and use |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP63145141A patent/JP2506944B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991009875A1 (en) | 1989-12-28 | 1991-07-11 | Takeda Chemical Industries, Ltd. | Monoclonal antibody, hybridomas, their production and use |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2506944B2 (ja) | 1996-06-12 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |