JPH02226204A

JPH02226204A - 光学磁性体薄膜を用いた光回路

Info

Publication number: JPH02226204A
Application number: JP4755289A
Authority: JP
Inventors: Tsukasa Nagao; 長尾　司
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1989-02-28
Filing date: 1989-02-28
Publication date: 1990-09-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、光波通信に有用な高能率な光回路に関する
。

〔従来の技術〕

今日、近赤外光波のなかでも、特に１．３ミクロンの波
長範囲に含まれる半導体レーザ光をよく導波するガラス
ファイバ線路を用いる光波通信は、長距離・人容母通信
として、日々その重要性を増大している。しかし、現今
の光波通信には、マイクロ波通信に使用される光波サー
キュレータ、光波アイソレータの如き有用な素子が開発
されていないために、１本の線路を送受信用に共用する
双方向通信が実現されていないのみならず、ガラスファ
イバ線路内や接続端などから生じる反射波を除去するこ
とが出来ない等の回路構成上の技術的困難がある。

今までに提案された光波サーキュレータは、基本的には
、マイクロ波、ミリ波で用いられるフ１ラディ回転形４
ポートサーキュレータを光学的に再構成した原理を応用
したものである。これらの中でＹＩＧ単結晶の７１９１
４回転子と２酸化チタン結晶の偏光プリズムを応用した
ものがあり、その特性は、波長１．３ミクロンでアイソ
レーション２０ｄＢ以上、挿入損失１．５５ｄＢ以下に
なる。しかしながら、ガラスファイバ線路に適合するも
のとして、実用に耐えるものの発表はいまだなされてい
ないようである。

〔発明が解決しようとする課題〕

ガラスファイバ線路に適合する光波サーキュレータとし
ては、マイクロ波における分布定数形のストリップ線路
Ｙサーキュレータのように、接続線路と効率よく結合で
きること、ファイバ線路の光波伝送モードに近い共振モ
ードが利用されること、３ボートや４ポートのものが平
面形に構成されること、散乱波等の空間漏洩波が出ない
ことの他に、電力アイソレーション１０ｄＢＪ！上、挿
入損失０．２５ｄＢＪＸ下の特性が望才れる。しかしな
がら、光波領域において、マイクロ波領域における波動
理論を用いて構成される分布定数形サーキュレータに同
等な特性を実現しようとすると、つぎに述べるような困
難がある。

１）マイクロ波帯においては、強磁性体フェライトが用
いられる。サーキュレータに関係する材料定数の中で、
テンソル透磁率の断面内の成分で表示される非等方性分
離定数に／μ（には非対角要素、μは対角要素、断面は
印加外部磁場に垂直な面をさす）が特に重要で、に７μ
ｍ０〜１．０までの値を外部磁場強度により自由に選択
できる。

この値により円板フェライトを用いた強磁性体共振器内
に醸成される左右回転の電磁波モードの固有値が分離を
する。例えば、円板フェライト共振器を用いた場合に、
最低次数（ｎ−±１）の共振モードの角度方向の磁界成
分の定在波合成パターンは、双極形の８字形であるが、
これを入力端からみて、３０°の角度回転をさせること
がてぎる。

それによって、この共振器とＹ分岐ストリップ線路を組
み合わゼたＹ接合形共振器は容易にサーキュレータ動作
をする。すなわち１２０″毎に結合用分岐を持つＹ分岐
導波路の１ポートを入力用に選ぶと、他の２つのボート
（よ、出力ボートと減結合ボートになる。このマイクロ
波）Ｉライト材お１には、飽和磁化（４πＭｓ）が自由
に選定できる。

したがって共振器の動作周波数を可成り自由に選定する
ことができるので、サーキュレータの設計製作上非常な
便利がある。

これに対して、光学磁性体では、特に光学磁性体薄膜に
限っていえば、ＹＩＧ−ＧＧＧｎ央（イツトリウム・鉄
・ガーネット（Ｙ　ｉｔｒｉｕｍ−１ｒｏｎ−Ｇａｒｎ
ｅｔ　）−トリニウム・ガリウム・ガーネッ１〜（Ｇａ
ｄｏｌｉｎｉｕｍ−ＧａｌｌｉｕｌＩｌ−Ｇａｒｎｅ）
　）が用いられる。

サーキュレータに関係するＹＩＧの材料定数はテンソル
誘電率を用いて表わされる。その平均誘電率は約５．２
９で印加磁界に垂直な断面内のテンソル誘電率の非対角
要素ηと、対角要素εとの比、η／εの値は１０−３以
下である。最近ＹＩＧよりも高性能な特性を示すＢｉや
Ｃｅを添加したＹＩＧ等が利用できるようになってきた
。しかしこれらのη／εの値はＹＩＧのそれよりも大き
いが、マイクロ波のに／μに比して非常に小さい（最近
、Ｃｅ−ＹＩＧのη／εが１０−２に近い値であること
が報告された）。

円板形ＹＩＧ共振器に光波を入射させたとぎに、光波回
転共振モードの最低次の組が作る８字形の電磁界定在波
パターンは、小さなη／εの値に依存するわずかな角度
回転をするだけになる。このことは、共振器の円板に入
射する光波は直径方向に直進して、その反対方向に出射
する。そこで光波の共振電磁界の定在波パターンを大き
く回転させる構造、またはこれに代わる機構が必要であ
る。

２）上記のマイクロ波分布定数形サーキュレータに用い
られる円板フェライトの直径は、波長の数分の１から１
０分の１寸法になっている。光波においてこれと同程度
の構造を工作することは、高度な技術を必要とするのみ
ならず、光波の導波路との結合が、遮断域に入るために
動作が不可能になると思われる。このような理由から考
えて、マイクロ波ストリップ線路形サーキュレータを構
造的にモデル化することが不可能である。それ故に、ガ
ラスファイバ線路を導波路に能率よく結合し、光波エネ
ルギを光学磁性体構造物から漏洩放射をさせないことを
考えると、適当な寸法の構造が求められなければならな
い。

光波サーキュレータを実現する上での上述の困難の他に
、光波サーキュレータの構造上の必要条件を列記すると
、ａ）印加磁場に対して垂直な面内に構成される光導波路
は、３分岐を持つＹ形構造では、１２０゜の回転対称性
、４分岐を持つＸ形構造では、９０°の回転対称性を満
足しなければならない。

ｂ）Ｙ分岐のＹ形構造は、３つの導波路を持ち、入力ボ
ート、出力ボート、減結合ボート（出力電力の出ない）
が順次定まると、面内で回転しても同じ動作の位置関係
を保持すること、また印加磁場を反転すると上記の順序
が逆転することが一般に満足されなければならない。

この発明の目的は光通信においてアイソレータ、サーキ
ュレータとして用いることかできる非常に有用な高能率
な単一板上に構成される（ｍｏｎｏｌｉｔｈＴｉｃ　）
光回路を提供することを目的どする。

〔課題を解決するための手段］この発明によれば、光学磁性体薄膜から形成された結合
部を有するＹ分岐型導波路に外部磁場を加えた回路素子
を少なくとも１つ備えて構成される。

（作用〕Ｙ分岐型導波路の１つのボートに入力された光信号は他
の２つのボートにそれぞれ異なるレベル差を待って出力
される。この性質を利用して前記回路素子を１つまたは
複数組合せれば光サーキュレータまたは光アイソレータ
の光回路として動作する。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を添附図面を参照して詳細に
説明する。

一木のリッジ形の光導波路と２木の出力導波路を光学磁
性体円板で結合したＹ形の対称形分岐路を作成してこれ
に光波を入力させ、その２本の分岐出力から光波の出力
を調べる実験がこの発明の出発点である。この実験装置
は、第１図、第２図に示すようにＧＧＧ基板上に蒸着生
成された約１゜５ミクロン厚のＹＩＧ膜を加工して作成
されている。結合線路は幅Ｗが数ミクロン程度以下にし
たりフジ形導波路で、円板の直径Ｐは３０ミクロン程度
の大きさである。直流機ｊｊＡ　Ｉ−Ｉ　ＤＣはＹＩＧ
ＷＡに垂直にかつ下向きに加えられている。出力光波を
出力端で矢印方向に沿って測定すると、第３図に描かれ
ている出カバターンが得られる。磁場方向を反転させる
と、実線から破線で示す非対称な特性に変化する。それ
らの出力の差αは数ｄＢであった。この円板を持つＹ形
分岐の２木の出力導波路の開き角２φは、ＹＩＧ膜を用
いた場合は、２〜３度以下の小さい角度内に含まれる。

この出力の非対称特性は、Ｙ分岐と円板構造の寸法を適
切に選ぶことにより向上させることが可能である。

第４図には、第１図に示したＹ分岐を縦続した構成を示
す。

円板１１で結合されている籾殻のＹ分岐は、２本の出力
導波路８，８′を通して、円板１２に接続される。入力
導波路７からの光波は円板１１内を矢印方向に進行して
、非対称な出力を導波路８゜８′にもたらす。導波路８
，８′の間には、間隙部１４を設置して、各導波路を独
立した線路にする。各円板内の光波の伝播には横磁界効
果の作用があるがこれについては第６図以下の実施例の
説明で明らかにする。この作用のために、導波路８’　
、９’を通る間に徐々に光波電力は導波路８゜９に漏洩
してゆき、円板１３の後では導波路１０′よりも１０の
方に光波電力は集中して非対称特性をえる。間隙部１４
．１５は、第２図のＹＩＧ膜の基膜６の厚さｌｒと別な
厚さＴｒ　Ｊをとす、結合部Ｗと共に最適な漏洩結合が
できるようにする。出力導波路の開角ψは１個のＹ分岐
の開角２φよりも大きくなる。これは３縦続形Ｙ分岐で
ある。なお、第４図の構成において、導波路８゜８′お
よび９，９′はそれぞれ伝送路７に関して対称に形成さ
れ、それぞれ同一の幅に構成したが、導波路８，８′お
よび９，９をそれぞれ非対称に形成し、それぞれの幅を
異ならせてもよい。また、結合部である円盤１１．１２
．１３の代わり多角形からの結合部を用いても同様に構
成することができる。

つぎに２縦続形Ｙ分岐を応用したアイソレータの実施例
を第５図に示す。入力導波路７より実線矢印の示すよう
に光波は進行して出力導波路１６に出る。逆行する光波
は導波路１６より破線矢印の方向に進み、接続導波路１
０と１８の間に設けられている光波の吸収体２１により
吸収されて導波路７には出力しない。こうして単向性を
持つアイソレータが実現される。

Ｙ分岐に結合し１こ円板は、椙造的に入射光波の波長よ
りも非常に大きいので共振器としての役割を演じるより
も、入射光波のビーム波をＹｔＧ膜内で拡散伝播させる
とみられる。そこで、この役割を利用する方法がある。

印加ｖＡ揚場下、このＹＩＧ膜はテンソル誘電率の非対
角成分が作用し、横磁界効果を動く。この現象を第６図
の上で説明する。

第６図の実施例は、３つの導波路２２，２３゜２４を持
つＹ分岐で、Ｙ分岐の結合部は長さしのテーパ形の拡散
伝播路２５とこれに間隙部２７を仲介して導波路２４の
テーパ部２６が連続して構成されている。拡散伝播路２
５は導波路２３に逆テーパ形の連結部をもって接続され
ている。外部磁界ＨＤＣは上向きに与えられているとす
る。導波路２２から入射する光波はＹ軸方向に電界成分
Ｅｖを持つことが仮定される。横磁界効果はこの電解成
分Ｅｙに作用してＥｘ−−ｊ（η／ε）Ｅｙで表わされるＸ軸方向の電界成分を誘起する。こ結果Ｘ
Ｙ面内の合成電界Ｅｔはほぼη／εだけ回転される。し
たがって、光波はＸ軸方向から点線方向に光波のボイン
ティング電力ベクトルＰが曲げられることになる。導波
路２２からの光波ビームは拡散伝播路２５で最小巾Ｗか
ら最大中Ｗｅに長さＬの距離を拡がって伝播する。この
間に光波ビームは緩やかに導波路２３の方向に曲げられ
て進行してゆく。使方、この拡散伝播路２５に連接され
ている導波路２４のテーパ部２６は線路中がＷよりも狭
く遮断領域にあるために、光波はテーパ部２６を通って
導波路２４に出力することは殆んどない。このようにし
て、導波路２２からの入力光波は導波路２３に出力する
ことになる。このＹ分岐の拡散伝播路２５とテーパ部２
６の結合連結部２７は、第４図の実施例で説明した間隙
部１４．１５に類似な構造になっていて、光波は容易に
この部分を通過して相互に漏洩して伝播できるようにな
っている。

上述した拡散伝播路２５の光波ビームの伝播の模様を第
７Ａ図、第７Ｂ図で具体的に説明する。

外部磁場ＨＤＣが加わらない場合には、入力光波は拡散
伝播路２５に広く拡散して伝播し、連結部２７を通して
一部の光波は導波路２４に、他の大部分は導波路２３に
、それぞれ出力する。外部磁場が加えられると、横磁界
効果により、光波の拡散進行方向が抑制されて、導波路
２４のテーパ部２６への漏洩伝播がなくなる。こうして
、光波伝播方向が導波路２２から２３の単一方向に定ま
る。

入力光波を導波路２４から逆方向に導く場合には、テー
パ部２６から連結部２７を通って導波路２２に導波され
る。この際、導波路２３には、出力は全く現われず、半
型向性を持つＹ分岐を用いて、第８図に示ずようにアイ
ソレータを構成することができる。これは、２つのＹ分
岐を第５図において示したアイソレータの構造と同時に
、連結用線路２８．２９を通じて接合する方法である。

一方の連結用線路２９には光波吸収体２１を入れる。

こうすることにより導波路２２から導波路２５に向かう
光波は無紛失に通過するが、逆方向には通過できない。

こうしてアイソレータが構成される。

光波ザーキュレータを上述したような半型向性を持つＹ
分岐を用いて構成することかできる。光波サーキュレー
タを、例えば第４図に示した円板装荷Ｙ分岐を、１個ま
たは複数個用いて、光波サーキュレータを実現するため
には、（ｉ）　Ｙ分岐の出力が１０ｄＢ以上の非対称特性を持
つことと（ｉｉ）２つの出力導波路の聞き角２φを何らかの方法
で１２０°の開角になるように接続し、これが回転対称
配置を満足することの２条件が具備されなければならない。現実には、上記
のサーキュレータ動作の２条件を同時に満足させること
は、容易でない。そこで、・光波サーキュレータを実現
する具体策として、［ａ）円板装荷Ｙ分岐に非対称特性
（１）を満足するようにさせた後に、この特性を持つ３
ｆｆｉのＹ分岐を組合わゼで、（ｉｉ）の回転対称配置
になるように組合せて構成する方法（ｂ）円板装荷Ｙ分岐に、ｆｉ）の非対称特性ｆｉ　ｉ
）の回転対称配置を同時に満足させる方法が挙げられる。

以下には、これらに関する実施例について述べる。

光波サーキュレータは、第９図に示すように、３つのＹ
分岐の２本の出力導波路を交互に接続して回転対称配置
になるように、複合Ｙ分岐導波路を構成する。この複合
Ｙ分岐導波路は、第２図に示したと同じ加工方法により
、ＹＩＧＷＡを加工して、単一板上（ｎｏｎｏｌ　１ｔ
ｈｉｃ）に作りあげる。

第９図に示した複合Ｙ分岐導波路にいま＃１ボートより
入射する光波は、実線矢印で示すように導波路３０，３
１．３０’を経由して＃２ボートに出力する。＃２ボー
トに入力する光波は、破線矢印の如く進行して＃３ボー
トに、＃３ボートに人力する光波は、鎖線矢印の如くに
進行して＃１ボートに順次に出力する。このようにして
、＃１ボートから＃２ポート、＃２ボートから＃３ボー
ト、＃３ボートから＃１ボートへと循環的に動作が行な
われて、サーキュレータが実現される。このサーキュレ
ータの動作を示す動作特性の例を第１０図に示す。横軸
は周波数よりも、便利な光波波長で示し、縦軸に電力損
失（ｄＢ）をとり、挿入損失（順方向の損失）とアイソ
レーション（逆方向の損失）を描いた。光波サーキュレ
ータの動作の周波数帯域は、アイソレーション１０ｄＢ
レベルを切る波長λ１．λ２で表示できて、比帯域（％
）は（λ２−λ１　）／λｏＸ１００で定義される。ただしλ０は（λ２＋２１）／２で、帯
域の中心波長である。第９図で示した複合形Ｙ分岐導波
路形の光波サーキュレータには、第６図に示した手車向
性のＹ分岐を用いて、同様のサーキュレータ特性を実現
することができる。

複合Ｙ分岐導波路に応用する手車向性Ｙ分岐は、構造的
に複雑なものよりも単純な構造のＹ分岐素子が望ましい
。そのために、第１図の円板４の中心部に深さｔの円形
凹部３５を持つ円輪３４を装荷したＹ分岐素子を、第１
１図に斜視図を示した。

これらは、基板材ＧＧＧ５の上に生成された光学磁性体
膜に描画し、エツチング加工によって形成される。円輪
３４の直径比Ｄｉ／Ｄ、凹部のｔ／Ｔｃが重要なパラメ
ータである。凹部３５を深くすると、入力導波路１から
入る光波は直進することが妨げられて、出力導波路２，
３に結合する光波には、円輪部を通る左右回転電磁波成
分を含む。

したがって、第１図の円板４を用いたＹ分岐素子よりも
、非対称出力差βを増し、分岐の開角２φを広げるのに
有効である。円輪を縦続したものをＹ分岐に結合したＹ
分岐素子が、第４図の実施例の代りに用いることができ
る。

光波サーキュレータに第６図の手車向性のＹ分岐を用い
た複合Ｙ分岐導波路の＠造を簡単化した構成を第１２図
に示す。この構成は、光波サーキュレータの持つべき具
備条件を満呈していて有用である。３つの導波路３６．
３６’　、３６″が共通の中心結合部３７に接続されて
いる。この結合部３７には３つの結合部３８．３８’　
、３８″が設けられていて、それらによって区画される
三角部３９には光波の漏洩を妨害するために、ＹＩＧ膜
の基膜を取除くように加工するか、そこに光波を通さな
い遮断材を充填する。こうしてＹ形光波サーキュレータ
が形成される。＃１ボー１−の入力光波は、導波路３６
から導波路３６′を通って＃２ボートに、同様にして＃
３ボートに、＃３ボートから＃１ボートに、それぞれ出
力する。こうしてサーキュレータ動作が実現される。た
だし直流磁界は一方向に与えられる。

第１３図には、中心結合部４１に結合連結部を加工しな
い構成を持つ光波サーキュレータの実施例を示す。光学
磁性体薄膜に、ＹＩＧよりも横磁界効果の大きい［３ｉ
−ＹＩＧあるいはＣｅ−Ｙ　ＩＧなどの薄膜を利用する
場合には、第１２図に示した中心結合部に加工される結
合連結部や三角部を施さない構成で単向性を実現できる
。勿論、サーキュレータの動作を確実なものにするため
には、これらの結合連結部や三角部を単独に用いること
も有効である。

この実施例は、結合導波路の中心線が結合部４１の中心
点に集まらず、交叉する三角形をなすように３本の結合
導波路とそれに接続されている拡散伝播路を備心して結
合部に合体した構成にする。そこで、拡散伝播路の側壁
の導波路の曲線が重要である。第７Ｂ図に示したＹ分岐
の光波の伝播模様から知られるように、光波は導波路２
２から導波路２３に至る導波壁２１２３によって導波さ
れており、他の導波壁２２−２４（導波路２２から２４
に至る導波路側壁）の効果は弱いとみられる。したがっ
て、第１３図の実施例では、導波路４０の入力光波は導
波壁４０−４０’によって導かれ、導波路４０′と４０
″の入力光波には、それぞれ導波壁４０’−４０″、４
０”４０が有効な導波機能を果たす。結合導波路の中心
のなす交叉三角形を大きくすることにより、非相反性を
増大することができて、サーキュレータ動作を実現でき
る。

上述した各種のＹ分岐素子は、ＧＧＧ基根上に蒸着生成
された光学磁性体膜を加工して単一板上（１ｏｎｏｌ　
１ｔｈｉｃ）に一体化してできている。結合用のファイ
バ線路は、例えば、第９図の実施例では、導波路３０．
３０’　、３０″の端面に直接接続して結合する。同様
の結合方法が、第５図、第８図、第９図、第１２図、第
１３図の実施例についても応用できる。

Ｙ分岐素子を用いて、アイソレータ、３ボートのサーキ
ュレータのみならず４ボートのサーキュレータを実現す
ることができる。

ここに明らかにした光波サーキュレータは、光学磁性体
の薄膜を用いて、単一板上（ｍｏｎｏｌｉｔｈｉｃ）に
、作成された導波路形の構成をとる結合形Ｙ分岐の非対
称出力特性を応用したものである。導波路回路の構成上
から円板結合形Ｙ分岐と、拡散導波路結合形Ｙ分岐から
なるもの及びそれらから誘導されたものとに分けられる
。

この光波サーキュレータは、光通信に用いているガラス
ファイバ線路を直接に結合することができる構造になっ
ており、ファイバ線路を用いて行うあらゆる光波伝送関
連の測定や装置に使用Ｊ゛ることができる。この光波サ
ーキュレータを１本のファイバ線路の通信路の両端に接
続して、送信と受信とを同時に行うことができる。第９
図の実施例についていえば、＃１ポートの入力端に送信
用光源を、＃３ボートの出力端に受信装置を、それぞれ
、ファイバ線路を介して接続する。＃２ボートの出力端
には、通信路用のファイバ線路の近端を接続する。同様
の接続法をファイバ通信路の遠端に行うことにより、双
方向通信路が出来上がる。

単一のファイバ線路を共用するので、効率的な通信が行
なえる。

光波サーキュレータをアイソレータに使用する場合には
、第９図の実施例でいえば、＃３ボートに光波吸収体を
接続して、＃２ポートから入力する反射光波や逆方向進
行光波を除去するものである。すなわち＃１ボートから
の入力光波は＃２ボートに出力する単向性を持つことに
なる。

以上の光波サーキュレータの応用は、第１２図、第１３
図の実施例についても当然いえることである。さらに、
この発明の実施例は３ボートを持つＹ形す−キュレータ
に便宜的に限って説明をしたが、４ボートを持つＸ形状
−キュレータを構成する方法も基本的には同様の原則を
応用して行えば実現される。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によれば、描込上小形で、
ガラスファイバ線路に結合が容易ｃ′、光波エネルギの
損失を軽減し、構造が比較的簡単で製作行程が単純にな
る光波サーキュレータと光波アイソレータ等の光回路を
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は円板結合形Ｙ分岐導波路の平面図、第２図は第
１図に示した円板結合形Ｙ分岐導波路をＧＧＧの基板上
に蒸着したＹＩＧ膜から加工したリッジ形導波路形の円
板結合形Ｙ分岐の全体の構造を示す射視図、第３図は第
２図の出力導波路２．３の側における矢印方向の出力変
化を示すグラフ、第４図は円板結合形Ｙ分岐の非対称出
力特性を増すために、円板を３ケに形成した例を示す図
、第５図は２Ｕ続形Ｙ分岐を２個用いた光波アイソレー
タを示す図、第６図は拡散伝播路結合形Ｙ分岐の構造を
示す上視図、第７Ａ図及び第７Ｂ図は、第６図のＹ分岐
の結合部における光波の拡散伝播の模様を示す図、第８
図は第６図に示したＹ分岐を用いた光波アイソレータの
構成部、第９図は２縦続形Ｙ分岐を３個用いて単一板上
に構成した複合Ｙ分岐形導波路形サーキュレータの構成
図、第１０図は光波サーキュレータの動作特性と帯域１
］の関係を示す図、第１１図は円輪結合形Ｙ分岐の斜視
図、第１２図は拡散伝播路を結合部に持つ光波サーキュ
レータの構成図、第１３図は高能率な光波サーキュレー
タの構成図である。１．２，３．７，８．８’　、９．９’　、１０゜１０
’、１６．１７．１７’１８．１８’　　　２０゜２２
．２３．２４，２・８．２９．３０．３０’３０″、３
１．３１’　、３１″、３６．３６’３６″、４０．４
０’　、４０″・・・結合形部波路、４．１１，１．２
’、１３．１９，２０，３２゜３２’　、３２″、３３
．３３’　、３３″・・・円板、５・・・基板、６・・
・基膜、１４，１５，２７．３８゜３８’、３Ｂ”・・
・結合連結部、２１・・・吸収体、２５・・・拡散伝播
路、２６・・・テーパ部、３４・・・円輪、３５・・・
円輪の中心四部、３７．４１・・・結合部、３９・・・
三角部、４２・・・交叉三角形、Ｗ・・・導波路の幅、
Ｄ・・・円板の直径、２φ・・・出ノＪ導波路の開角、
Ｔ（］・・・導波路の厚さ、Ｔｃ・・・円板の厚さ、−
ｒｓ・・・基板の厚さ、］−ｒ・・・基膜の厚さ、ＨＤ
Ｃ・・・外部磁場、Ｄｌ・・・凹部の深さ。＝３２−

Claims

【特許請求の範囲】

光学磁性体薄膜から形成された結合部を有するＹ分岐型
導波路に外部磁場を加えた回路素子を少なくとも１つ具
える光学磁性体薄膜を用いた光回路。