JPH02226512A - 浮動磁気ヘッド装置 - Google Patents
浮動磁気ヘッド装置Info
- Publication number
- JPH02226512A JPH02226512A JP4752789A JP4752789A JPH02226512A JP H02226512 A JPH02226512 A JP H02226512A JP 4752789 A JP4752789 A JP 4752789A JP 4752789 A JP4752789 A JP 4752789A JP H02226512 A JPH02226512 A JP H02226512A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- slider
- floating
- magnetic
- magnetic recording
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- Pending
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、磁気ディスク装置の浮動磁気ヘッド装置に
関するものである。
関するものである。
第６図及び第７図は例えば特公昭５８−２１３２９号公
報等に示される従来の浮動磁気ヘッド装置を示す。第６
図はバルク型浮動磁気ヘッド装置の側面図、第７図は薄
膜型浮動磁気ヘッド装置の側面図である。第６図及び＠
７図において、（１）は磁気記録媒体、（２）は磁気記
録媒体表面上に浮上する浮動ヘッドスライダで、第６図
の場合はフェライト等の磁性材料のブロックを、第７図
の具合はＡ Ｉ ２０ｓＴｉＣ等のセラミック材を機械
加工して作成スル。
報等に示される従来の浮動磁気ヘッド装置を示す。第６
図はバルク型浮動磁気ヘッド装置の側面図、第７図は薄
膜型浮動磁気ヘッド装置の側面図である。第６図及び＠
７図において、（１）は磁気記録媒体、（２）は磁気記
録媒体表面上に浮上する浮動ヘッドスライダで、第６図
の場合はフェライト等の磁性材料のブロックを、第７図
の具合はＡ Ｉ ２０ｓＴｉＣ等のセラミック材を機械
加工して作成スル。
（３）は浮動ヘッドスライダ（２）の端面に設けられ、
磁気記録媒体（１）に対向する側にＳｉｎ、や空隙から
成るヘッドギャップ（４）を接つ磁気ヘッド、（５）は
磁気記録媒体（１）ｌこ近接する端部に浮動ヘッドスラ
イダ＋２１と磁気ヘッド（３）を持ち、他端をアーム（
６）に接続されたサスペンションである。
磁気記録媒体（１）に対向する側にＳｉｎ、や空隙から
成るヘッドギャップ（４）を接つ磁気ヘッド、（５）は
磁気記録媒体（１）ｌこ近接する端部に浮動ヘッドスラ
イダ＋２１と磁気ヘッド（３）を持ち、他端をアーム（
６）に接続されたサスペンションである。
次に動作について説明する。
磁気記録媒体（１）が矢印方向（ａ）に一定速度で回転
すると、初め浮動ヘッドスライダ（２）は上記磁気記録
媒体（１３表面に接触して滑り、その時の機械的衝撃か
ら磁気ヘッド（３）を保護する。次に、上記浮動ヘッド
スライダ（２）は空気流（ｂ）による押し上げ力を受け
て、上記押し上げ力とサスペンション（５）による押し
下げ力との釣り合いにより、磁気記録媒体（１）から一
定距離りを保って上記磁気記録媒体＋１）表面上に浮上
する。この時磁気ヘッド（３）のヘッドギャップ（４）
先端に漏れ磁束を発生させて上記磁気記録媒体（１）を
磁化して記録し、また、逆に磁化した磁気記録媒体（１
）の漏れ磁束を上記ヘッドギャップ（４）先端で受けて
再生を行う。
すると、初め浮動ヘッドスライダ（２）は上記磁気記録
媒体（１３表面に接触して滑り、その時の機械的衝撃か
ら磁気ヘッド（３）を保護する。次に、上記浮動ヘッド
スライダ（２）は空気流（ｂ）による押し上げ力を受け
て、上記押し上げ力とサスペンション（５）による押し
下げ力との釣り合いにより、磁気記録媒体（１）から一
定距離りを保って上記磁気記録媒体＋１）表面上に浮上
する。この時磁気ヘッド（３）のヘッドギャップ（４）
先端に漏れ磁束を発生させて上記磁気記録媒体（１）を
磁化して記録し、また、逆に磁化した磁気記録媒体（１
）の漏れ磁束を上記ヘッドギャップ（４）先端で受けて
再生を行う。
以上の動作を終了すると、上記磁気記録媒体（１）の回
転が弱まり、上記浮動ヘッドスライダ（２）は上記磁気
記録媒ｆ＋ｔ１）表面に接触して滑り、その時の機械的
衝撃から磁気ヘッド（３）を保護する。
転が弱まり、上記浮動ヘッドスライダ（２）は上記磁気
記録媒ｆ＋ｔ１）表面に接触して滑り、その時の機械的
衝撃から磁気ヘッド（３）を保護する。
磁気ディスク装置において、記録密度をより高めるため
には、ヘッドギャップ（４）と磁気記録媒体（１）の距
離りをできるだけ小さ（して、上記ヘッドギャップ（４
）先端の漏れ磁束密度の高い部分で上記磁気記録媒体（
１）への記録を行うことが必要である。
には、ヘッドギャップ（４）と磁気記録媒体（１）の距
離りをできるだけ小さ（して、上記ヘッドギャップ（４
）先端の漏れ磁束密度の高い部分で上記磁気記録媒体（
１）への記録を行うことが必要である。
しかし、従来の浮動磁気ヘッド装置は以上のように構成
されているので、浮動ヘッドスライダ（２）をフェライ
トやＡ１１０＊ Ｔ＋ Ｃ等のブロックを機械加工して
形成しなければならず、上記浮動ヘッドスライダ（２）
の上記磁気記録媒体＋１１に対向する面の加工精度は限
界に達しており、現在の磁気ディスク装置における０、
２７ｉｍＰｉ！度の距１ｈの大きさを、さらに小さくす
ることは不可能であるという問題点があった。
されているので、浮動ヘッドスライダ（２）をフェライ
トやＡ１１０＊ Ｔ＋ Ｃ等のブロックを機械加工して
形成しなければならず、上記浮動ヘッドスライダ（２）
の上記磁気記録媒体＋１１に対向する面の加工精度は限
界に達しており、現在の磁気ディスク装置における０、
２７ｉｍＰｉ！度の距１ｈの大きさを、さらに小さくす
ることは不可能であるという問題点があった。
また、磁気記録媒体（１）の記録又は再生すべき位置に
磁気ヘッド（３）を移動させ位置決めするのに要するア
クセス時間を短（するためには、浮動ヘッドスライダ（
２）をより小さ（して軽（することが必要である。しか
し、従来の浮動ヘッドスライダ（２）は、フェライト等
のブロックから機械的に切断したものをサスペンション
（５）に取り付けなければならず、現在の浮動ヘッドス
ライダ（２）の大きさ４朋Ｘ ３１１１ Ｘ Ｏ，８５
龍（厚さ）程度を大幅に小さ（することは、機械加工の
難度が非常に高（なり、実用上不可能であるという問題
点があった。
磁気ヘッド（３）を移動させ位置決めするのに要するア
クセス時間を短（するためには、浮動ヘッドスライダ（
２）をより小さ（して軽（することが必要である。しか
し、従来の浮動ヘッドスライダ（２）は、フェライト等
のブロックから機械的に切断したものをサスペンション
（５）に取り付けなければならず、現在の浮動ヘッドス
ライダ（２）の大きさ４朋Ｘ ３１１１ Ｘ Ｏ，８５
龍（厚さ）程度を大幅に小さ（することは、機械加工の
難度が非常に高（なり、実用上不可能であるという問題
点があった。
この発明は上記のような課題を解決するためになされた
もので、浮動ヘッドスライダ（２）を大幅に小さくする
とともに、上記浮動ヘッドスライダ（２）の磁気記録媒
体＋１）に対向する曲の寸法精度を高（した浮動磁気ヘ
ッド装置を得ることを目的とする。
もので、浮動ヘッドスライダ（２）を大幅に小さくする
とともに、上記浮動ヘッドスライダ（２）の磁気記録媒
体＋１）に対向する曲の寸法精度を高（した浮動磁気ヘ
ッド装置を得ることを目的とする。
この発明に係る浮動磁気ヘッド装置は、磁気記録媒体に
対向する端部に記録再生を行うための磁気ヘッドを有し
、上記磁気ヘッドを上記磁気記録媒体の方向に付勢する
サスペンションと、上記サスペンションの上記端部に膜
形成プロセスにヨリ形成され、上記磁気ヘッドを機械的
衝撃から保護する浮動ヘッドスライダとを有するもので
ある。
対向する端部に記録再生を行うための磁気ヘッドを有し
、上記磁気ヘッドを上記磁気記録媒体の方向に付勢する
サスペンションと、上記サスペンションの上記端部に膜
形成プロセスにヨリ形成され、上記磁気ヘッドを機械的
衝撃から保護する浮動ヘッドスライダとを有するもので
ある。
ここで、膜形成プロセスで形成される浮動ヘッドスライ
ダの材料は、アルミナ及び八ｌ、ｏ、、Ｔｉｃ。
ダの材料は、アルミナ及び八ｌ、ｏ、、Ｔｉｃ。
Ａ １２０．、 Ｔ’ｉ０２等アルミナの化合物、カー
ボンやダイヤモンド状カーボン等カーボン材料、Ｓｉ及
び５ｉＣ１Ｓｉ０２、Ｓｉ、、Ｎ、等シリコンの化合物
等しゅう動性のある無機材料及びテフロン等の弗素化合
物やボリイ主ド等しゅう動性のある有機材料が用いられ
る。
ボンやダイヤモンド状カーボン等カーボン材料、Ｓｉ及
び５ｉＣ１Ｓｉ０２、Ｓｉ、、Ｎ、等シリコンの化合物
等しゅう動性のある無機材料及びテフロン等の弗素化合
物やボリイ主ド等しゅう動性のある有機材料が用いられ
る。
またここで用いられ名膜形成プロセスとして、スパッタ
リング、真空蒸着、ＣＶＩ）（Ｃｈｅｍｉｃａ Ｉ Ｖ
ａｐｏｕｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＩＣＢ （ｔｏ
ｎ Ｃ１ｕｓｔｅｒ Ｂｅａｍ ）法、ＰＶＤ（Ｐｈｙ
ｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｕｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ
）法等の気相プロセスやスピンコード法、スクリーン印
刷法等のコーティングプロセスが用いられる。
リング、真空蒸着、ＣＶＩ）（Ｃｈｅｍｉｃａ Ｉ Ｖ
ａｐｏｕｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＩＣＢ （ｔｏ
ｎ Ｃ１ｕｓｔｅｒ Ｂｅａｍ ）法、ＰＶＤ（Ｐｈｙ
ｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｕｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ
）法等の気相プロセスやスピンコード法、スクリーン印
刷法等のコーティングプロセスが用いられる。
この発明における浮動磁気ヘッド装置は、浮動ヘッドス
ライダの磁気記録媒体に対向する面の寸法精度を高くし
、また上記浮動ヘッドスライダを大幅に小さくして軽く
し、磁気ディスク装置における上記浮動ヘッドスライダ
の上記磁気記録媒体表面上の浮上距離を小さ（するとと
もに、磁気ヘッドの移動速度を早くする。
ライダの磁気記録媒体に対向する面の寸法精度を高くし
、また上記浮動ヘッドスライダを大幅に小さくして軽く
し、磁気ディスク装置における上記浮動ヘッドスライダ
の上記磁気記録媒体表面上の浮上距離を小さ（するとと
もに、磁気ヘッドの移動速度を早くする。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明による浮動磁気ヘッド装置を示す側面図、
第２図はこの発明による浮動磁気ヘッド装置の磁気記録
媒体側から見た平面図である。
図はこの発明による浮動磁気ヘッド装置を示す側面図、
第２図はこの発明による浮動磁気ヘッド装置の磁気記録
媒体側から見た平面図である。
第１図及び第２図において、（２）はサスペンション（
５）の磁気記録媒体（１）に対向する端部にスパッタリ
ングで形成されたアルミナから成る一対の浮動ヘッドス
ライダで磁気記録媒体（１）の回転方向に延びた長方形
に形成されている。（３）は上記サスペンジョン（５）
の上記端部の上記浮動ヘッドスライダのない場所に形成
された磁気ヘッドである。他の構成部分は第６図及び第
７図の従来装置と同じである。
５）の磁気記録媒体（１）に対向する端部にスパッタリ
ングで形成されたアルミナから成る一対の浮動ヘッドス
ライダで磁気記録媒体（１）の回転方向に延びた長方形
に形成されている。（３）は上記サスペンジョン（５）
の上記端部の上記浮動ヘッドスライダのない場所に形成
された磁気ヘッドである。他の構成部分は第６図及び第
７図の従来装置と同じである。
次に浮動ヘッドスライダ（２）の形成について説明する
。
。
浮動ヘッドスライダ（２）はサスペンション（５）の磁
気記録媒体（１）に対向する端部にアルミナのスパッタ
リングで直接形成される。この時、アルミナは原子或い
は分子の粒子となって基板であるサスペンション（５目
ζ付着し堆積して浮動ヘッドスライダ（２）の層を形成
するので、任意の非常に小さな部分にマスク等を用いて
任意の形状に浮動ヘッドスライダ（２）を作ることがで
きる。また、その厚みはスパッタリングの時間によって
制御でき、非常に厚みの寸法精度に優れた層が簡単に形
成される。ここで得られた浮動ヘッドスライダ（２）は
、磁気記録媒体（１）に対向する面がＱ、 ３１１１
Ｘ ｌ、 Ｑ ｆｆｌの大きさの層が２本のレール状に
並んだものである。
気記録媒体（１）に対向する端部にアルミナのスパッタ
リングで直接形成される。この時、アルミナは原子或い
は分子の粒子となって基板であるサスペンション（５目
ζ付着し堆積して浮動ヘッドスライダ（２）の層を形成
するので、任意の非常に小さな部分にマスク等を用いて
任意の形状に浮動ヘッドスライダ（２）を作ることがで
きる。また、その厚みはスパッタリングの時間によって
制御でき、非常に厚みの寸法精度に優れた層が簡単に形
成される。ここで得られた浮動ヘッドスライダ（２）は
、磁気記録媒体（１）に対向する面がＱ、 ３１１１
Ｘ ｌ、 Ｑ ｆｆｌの大きさの層が２本のレール状に
並んだものである。
磁気ヘッド（３）は２本の浮動ヘッドスライダ（２）の
間に形成される。従って、上記浮動ヘッドスライダ（２
）の厚みは上記磁気ヘッド（３）の厚みによって決まる
ので、上記磁気ヘッド（３）は、厚みを薄く作れる薄膜
型ヘッドを用いることが好ましい。また磁気ヘッド（３
）の位置は、浮動ヘッドスライダ（２）が形成すれたサ
スペンション（５１の磁気記録媒体（１）に対向する面
上であれば特に制限はな（、例えば、第３図に示すよう
に浮動ヘッドスライダ（２）中に形成してもよい。
間に形成される。従って、上記浮動ヘッドスライダ（２
）の厚みは上記磁気ヘッド（３）の厚みによって決まる
ので、上記磁気ヘッド（３）は、厚みを薄く作れる薄膜
型ヘッドを用いることが好ましい。また磁気ヘッド（３
）の位置は、浮動ヘッドスライダ（２）が形成すれたサ
スペンション（５１の磁気記録媒体（１）に対向する面
上であれば特に制限はな（、例えば、第３図に示すよう
に浮動ヘッドスライダ（２）中に形成してもよい。
また、この発明は負圧形浮動ヘッドスライダ（２）に用
いてもよい。第４図は磁気記録媒体（１）側から見たそ
の実施例の平面図、第５図は第４図のＶ−Ｖ線に沿った
断面図である。第４図及び第５図にわいて、（７）は負
圧を発生させる空洞部で、浮動ヘッドスライダ（２）に
設けられている。Ｍ１気記録媒体（図示せず）が回転し
て、浮動ヘッドスライダ（２）と上記磁気記録媒体との
細隙に流れ込んだ空気が上記空洞部（７）にくると、上
記空気が急激に等温膨張してサスペンション（５）を押
し上げる方向に負圧が発生する。この負圧の大きさは、
上記浮動ヘッドスライダ（２）と上記磁気記録媒体との
細隙の大きさの逆数に依存するので、磁気ヘッド（３）
の先端と上記上気記録媒体の間の距１ｈを一定に保つよ
うに自動的に調節するように働く。
いてもよい。第４図は磁気記録媒体（１）側から見たそ
の実施例の平面図、第５図は第４図のＶ−Ｖ線に沿った
断面図である。第４図及び第５図にわいて、（７）は負
圧を発生させる空洞部で、浮動ヘッドスライダ（２）に
設けられている。Ｍ１気記録媒体（図示せず）が回転し
て、浮動ヘッドスライダ（２）と上記磁気記録媒体との
細隙に流れ込んだ空気が上記空洞部（７）にくると、上
記空気が急激に等温膨張してサスペンション（５）を押
し上げる方向に負圧が発生する。この負圧の大きさは、
上記浮動ヘッドスライダ（２）と上記磁気記録媒体との
細隙の大きさの逆数に依存するので、磁気ヘッド（３）
の先端と上記上気記録媒体の間の距１ｈを一定に保つよ
うに自動的に調節するように働く。
なお、サスペンション（５）の形には特に限定はなく、
所謂ワトラス形、ウィンチエスタ形成いはジンバル形で
もよい。
所謂ワトラス形、ウィンチエスタ形成いはジンバル形で
もよい。
以上のように、この発明によれば浮動ヘッドスライダを
、サスペンションの磁気記録媒体に対向する端部に腰形
成プロセスにより形成したので、磁気ディスク装五にお
いて高密度紀幾ができ、また記録又は再生のアクセス時
間が大幅に短縮できる浮動磁気ヘッド装置が得られる効
果がある。
、サスペンションの磁気記録媒体に対向する端部に腰形
成プロセスにより形成したので、磁気ディスク装五にお
いて高密度紀幾ができ、また記録又は再生のアクセス時
間が大幅に短縮できる浮動磁気ヘッド装置が得られる効
果がある。
第１図はこの発明の一実施例による浮動磁気ヘッド装置
を示す側面図、第２図はその浮動磁気ヘッド装置を磁気
記録媒体側から見た平面図、第３図はこの発明の他の実
施例による浮動磁気ヘッド装置の主要部を磁気記録媒体
側から見た平面図。 第４図はこの賢明の更に別の実施例にょる負圧形浮動ヘ
ッドスライダを有する浮動磁気ヘッド装置の磁気記録媒
体側から見た平面図、第５図は第４図のマーＶ線に沿う
断面図、第６図は従来のバルク型浮動磁気ヘッド装置を
示す側面図、第７図は従来の薄膜型浮動ｍ気ヘッド装置
を示す側面図である。 図において、（１）は磁気記録媒体、（２）は浮動ヘッ
ドスライダ、（３）は磁気ヘッド、（５）はサスペンシ
ョンである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
を示す側面図、第２図はその浮動磁気ヘッド装置を磁気
記録媒体側から見た平面図、第３図はこの発明の他の実
施例による浮動磁気ヘッド装置の主要部を磁気記録媒体
側から見た平面図。 第４図はこの賢明の更に別の実施例にょる負圧形浮動ヘ
ッドスライダを有する浮動磁気ヘッド装置の磁気記録媒
体側から見た平面図、第５図は第４図のマーＶ線に沿う
断面図、第６図は従来のバルク型浮動磁気ヘッド装置を
示す側面図、第７図は従来の薄膜型浮動ｍ気ヘッド装置
を示す側面図である。 図において、（１）は磁気記録媒体、（２）は浮動ヘッ
ドスライダ、（３）は磁気ヘッド、（５）はサスペンシ
ョンである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 磁気記録媒体に対向する端部に記録再生を行うための磁
気ヘッドを有し、上記磁気ヘッドを上記磁気記録媒体の
方向に付勢するサスペンションと、上記サスペンション
の上記端部に膜形成プロセスにより形成され、上記磁気
ヘッドを機械的衝撃から保護する浮動ヘッドスライダと
を有する浮動磁気ヘッド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4752789A JPH02226512A (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 浮動磁気ヘッド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4752789A JPH02226512A (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 浮動磁気ヘッド装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02226512A true JPH02226512A (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=12777593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4752789A Pending JPH02226512A (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 浮動磁気ヘッド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02226512A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5335126A (en) * | 1991-05-23 | 1994-08-02 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk device without slider and having magnetic head mounted directly on magnetic head support including integral gas pressure generating structure |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP4752789A patent/JPH02226512A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5335126A (en) * | 1991-05-23 | 1994-08-02 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk device without slider and having magnetic head mounted directly on magnetic head support including integral gas pressure generating structure |
| US5757573A (en) * | 1991-05-23 | 1998-05-26 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk device without slider and having magnetic head mounted directly on magnetic head support |
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