JPH0222988Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （考案の技術分野） 本考案は、基板上の所定位置にペレツトを固定
するペレツトボンデイング装置に関する。

（考案の技術的背景） 従来、基板の所定位置へのペレツトの固定は、
第１図に示すようなペレツトボンデイング装置を
用いて行なつている。すなわち第１図に示す装置
は、Ｘ−Ｙテーブル１上に載置された機台２に支
柱３を立設し、この支柱３にアーム４の一端を回
動自在に保持させるとともに、このアーム４の他
端にはアーム４と直交しかつ垂直に伸びるコレツ
ト軸５を保持するようにしてある。さらにこのア
ーム４の途中にはカムフオロア６を回動自在に設
け、このカムフオロア６は機台２に立設した支柱
７に回動自在に支持されているカム８のカム面に
常に当接するようにしてある。９はスプリング
で、その一端は機台２に固定され、他端はアーム
４の途中に固定させてある。また１０はコレツト
軸５の先端に有するペレツト吸着部１１がペレツ
ト１２を吸着する際、吸引するため真空ポンプと
を繋ぐ管、１３はペレツト１２を載置してあるテ
ーブル、１４はペレツト１２が固着されるべき基
板１５を載置してあるテーブルを各々示してい
る。

この装置において、まずＸ−Ｙテーブル１を図
示を省略したＸ方向駆動モータ、Ｙ方向駆動モー
タ等により移動させることによりコレツト軸５の
ペレツト吸着部１１をテーブル１３上のペレツト
１２の位置に移動させる。次に図示を省略した駆
動モータ等によりカム８を回転させ、カム面の凹
部にカムフオロア６が追従することによりコレツ
ト軸５を下降させ、ペレツト１２を吸着する。そ
の後、カムフオロア６がカム面の凸部に追従する
ことによりコレツト軸５はペレツト吸着部１１に
ペレツト１２を吸着した状態で上昇し、さらにＸ
−Ｙテーブル１の移動によりコレツト吸着部１１
はテーブル１４上の基板１５のペレツト載置位置
に移動する。そこで再度コレツト軸５が下降する
ことにより基板１５の所定位置にペレツト１２を
接触させ、図示を省略したスクラブ機構によりス
クラブを行ない固定する。そしてコレツト軸５は
上昇し、テーブル１３上に移動し、別のペレツト
１２の吸着作業を行なう。

以上のような動作を繰り返し行なうことにより
ペレツトボンデイング作業を行なうものであつ
た。

（背景技術の問題点） 上記したペレツトボンデイング装置は、ペレツ
ト吸着部１１に吸着保持されたペレツト１２が基
板１５の所定位置に接触した後、カム８のカム面
とカムフオロア６とが離れるようになつていて、
ペレツト吸着部１１が基板１５上の所定位置にペ
レツト１２を固定する際の押圧力を、機台２とア
ーム４との間に設けたスプリング９のばね定数を
変化させることにより調整していた。

ところがこの調整は、スプリング９自体ををま
つたく別のものと取り替える作業のため、その調
整は容易でなかつた。また押圧力の微調整が行な
えないばかりか、この押圧力はスプリング９によ
るばね力にコレツト５やアーム４自体の重量が加
わつたものとなるため、押圧力をコレツト軸５の
重量以下に設定することができなかつた。この押
圧力が大きすぎるとペレツト１２を破損すること
にもなり、また小さすぎるとペレツト１２を基板
１５にうまく固定することができず、いずにして
も押圧力を最適に調整しないと不良品を生みだす
原因となつてしまう。

（考案の目的） 本考案は、上述のような欠点を除去するために
なされたもので、ペレツトを基板に固定する際に
加える押圧力の調整が容易で、確実にペレツトを
基板に対しボンデイングすることのできるペレツ
トボンデイング装置を提供することを目的とす
る。

（考案の構成） 上記目的を達成するために、本考案は基板の所
定位置にペレツトを固定するペレツトボンデイン
グ装置において、コレツト受けに対してコレツト
軸を摺動自在に保持するとともに、コレツト軸と
コレツト受けとの間に、コレツト軸を下方に付勢
する第１の弾性体、この第１の弾性体の付勢力自
体を調整する調整機構、コレツト受けに対するペ
レツト吸着部の突出量を第１の弾性体の付勢力に
抗して調整するストツパ、第１の弾性体の付勢方
向とは逆方向にコレツト軸を付勢する第２の弾性
体、をそれぞれ介在させたことを特徴とする。

（考案の一実施例） 以下本考案の一実施例を第２図を用いて説明す
る。なお第１図と同一部材には同一符号を付け、
その説明は省略する。

１６はスプリングで、その一端は機台２に、他
端はアーム１７の途中に固定させてあり、このス
プリング１６のばね定数は大きくしてある。アー
ム１７の一端部には後述のコレツト軸１９の保持
部である円筒型のコレツト受け１８を設け、この
コレツト受け１８内にはアーム１７と直交しかつ
上下方向に伸びるコレツト軸１９がベアリングを
介して摺動自在に支持されている。このコレツト
軸１９の一端部にはペレツト吸着部２０が設けら
れており、他端には板２１が取り付けられてい
る。またこの板２１には円形貫通孔２２及び雌ね
じ部２３が設けられている。そしてコレツト受け
１８の上面に立設された一端に雄ねじ部を有する
軸２４が、円形貫通孔２２を貫通するようになつ
ている。またこの軸２４の外周でコレツト受け１
８の上面と板２１の下面間には、コレツト軸１９
を上方に付勢するバランス用スプリング２５が、
また板２１の上面と軸２４の雄ねじ部に螺合され
たナツト２６との間には、コレツト軸１９を下方
に付勢する押圧力調整用スプリング２７を介在さ
せてある。一方、板２１の雌ねじ部２３にはボル
ト２８が螺合されていて、このボルト２８の一端
面はコレツト受け１８の上面と当接するようにな
つている。従つてこのボルト２８の回動調整によ
り、ペレツト吸着部２０のコレツト受け１８に対
する突出量を変えることができる。

次にこのように構成されたペレツトボンデイン
グ装置の作用について説明する。なおコレツト軸
１９の先端部に設けたペレツト吸着部２０にてテ
ーブル１３上のペレツト１２を吸着し、その吸着
したペレツト１２をテーブル１４上の基板１５の
所定位置にボンデイングする作用自体は第１図に
おいて説明したものと同様のためこの説明は省略
する。

作用の点でこの実施例の特徴とするところは、
ペレツト吸着部２０が吸着したペレツト１２をテ
ーブル１４上の基板１５上の所定位置に接触さ
せ、図示を省略したスクラブ機構によりスクラブ
する時である。すなわち、ペレツト１２を基板１
５へ固定させる際、ペレツト１２に加える押圧力
は板２１、ナツト２６、押圧力調整用スプリング
２７により調整、設定することができることであ
る。この点について説明すると、まずカム８のカ
ム面に追従してカムフオロア６が下降するに伴な
つて、コレツト受け１８、コレツト軸１９も下降
し、ペレツト吸着部２０に吸着されたペレツト１
２が基板１５と接触する。それ以後もカムフオロ
ア６、コレツト受け１８が下降するようにカム面
を形成しておく。コレツト受け１８が下降すれば
コレツト軸１９も下降しようとするが、ペレツト
吸着部２０は、基板１５に接触したペレツト１２
によりその下降が阻止されるため、コレツト軸１
９はコレツト受け１８に対して相対的に上方に摺
動することになる。この摺動はコレツト軸１９が
押圧力調整用スプリング２７を押し縮める状態と
なり、この押し縮め力がすなわちコレツト軸１９
がペレツト１２に付与する押圧力となるのであ
る。

またペレツト１２を基板１５上に固定後はアー
ム１７が上昇し、コレツト受け１８に対してコレ
ツト軸１９が下方に相対移動する。そしてこの相
対移動はボルト２８の一端面がコレツト受け１８
の上面と当接状態になるまで続く。なおこの時、
コレツト軸１９は、バランス用スプリング２５に
より上方への付勢力を板２１を介して受けながら
移動する。

以上説明したように上記実施例では、ボンデイ
ング時の押圧力を調整するに、押圧力調整用スプ
リング２７自体の長さをナツト２６を回動させて
変えるように構成した。このため、押圧力を容易
に調整、しかも微調整をすることができるので、
ペレツトに合つた最適な押圧力を付与することが
でき、良好なボンデイング作業が行なえる。

また、ボルト２８の回動調整により、コレツト
受け１８に対するペレツト吸着部２０の突出量を
調整できるようにした。このため、アーム１７の
下降時において、ペレツト吸着部２０に保持され
たペレツト１２が基板１５に当接するタイミング
を自由に調整することができる。

さらにバランス用スプリング２５によつて、コ
レツト軸１９を上方に付勢するようにした。この
ため、アーム１７の上昇時において、コレツト軸
１９がコレツト受け１８に対して相対的に下方に
移動し、ボルト２８の一端面がコレツト受け１８
の上面と当接する時の衝撃や騒音を防止すること
ができる。さらに、このバランス用スプリング２
５の付勢方向がコレツト軸１９の重力方向と逆方
向であるため、例えばこの付勢力をコレツト軸１
９の自重と略同等になるようにしておけば、コレ
ツト軸１９の自重はバランス用スプリング２５の
付勢力で相殺される。従つて、押圧力調整スプリ
ング２７の付勢力調整により、必要とする押圧力
がコレツト軸１９の自重より小の場合でも付与す
ることができる。

また、機台２とアーム１７との間にばね定数の
大きなスプリング１６を介してあるので、高速ボ
ンデイング時において生じがちなジヤンピング現
象も防ぐことができる。

なお上記実施例ではコレツト受け１８等をカム
フオロア６とカム８を用いて上下動させたが、こ
れらに限られず、他の公知の機構を用いてもよ
い。

（考案の効果） 以上本考案のボンデイング装置によれば、ペレ
ツトボンデイング時における押圧力の微調整、ボ
ンデイングタイミングの設定を容易に行なうこと
ができるとともに、コレツト軸の自重以下の押圧
力を設定することもでき、確実なボンデイング作
業を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のペレツトボンデイング装置の正
面図、第２図は本考案の一実施例のペレツトボン
デイング装置の一部断面正面図を各々示してい
る。 ４，１７……アーム、５，１９……コレツト
軸、６……カムフオロア、８……カム、９，１６
……スプリング、１０……管、１１，２０……ペ
レツト吸着部、１２……ペレツト、１５……基
板、１８……コレツト受け、２１……板、２４…
…軸、２５……バランス用スプリング（第２の弾
性体）、２６……ナツト（調整機構）、２７……押
圧力調整用スプリング（第１の弾性体）、２８…
…ボルト（ストツパ）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 先端にペレツト吸着部を有するコレツト軸と、
   一端に有するコレツト受けにて前記コレツト軸を
   支持するアームと、このアームを上下動させる上
   下動駆動部とを有するペレツトボンデイング装置
   において、前記コレツト軸は前記コレツト受けに
   上下方向に摺動自在に支持されるとともに、前記
   コレツト軸と前記コレツト受けとの間に、前記コ
   レツト軸を下方に付勢する第１の弾性体、この第
   １の弾性体の付勢力自体を調整する調整機構、前
   記コレツト受けに対するペレツト吸着部の突出量
   を前記第１の弾性体の付勢力に抗して調整するス
   トツパ、前記第１の弾性体の付勢方向とは逆方向
   に前記コレツト軸を付勢する第２の弾性体、をそ
   れぞれ介在させたことを特徴とするペレツトボン
   デイング装置。