JPH02229948A - 微小変位設定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｕ産業上の利用分野Ｊ 本発明は、変位型を設定するための送りねじをモータで
回転させるようにした微小変位設定装置に関するもので
ある。

［従来の技術］ 前記微小変位設定装置は、位置の微調整処理や微小な送
り処理などを自動化するべく開発されたもので、最近で
は、放射線やレーザ光を取り扱う精密計測装置や光波の
干渉計等の産業分野において、需要が増大している。

第２図は、このような微小変位設定装置の一従来例の概
略構成を示したものである。

この図にも示すように、この種の微小変位設定装置は、
通常、ケース１と、送りねじ２と、モータ３とを具備し
た構成をなしている。

そして、前記ケース１は、略円筒状をなし、その周壁の
一部には、軸線に沿って変位確認窓１ａが開口し、該変
位確認窓１ａの周囲には、一定の間隔で目盛りｌｂが付
されている。

前記送りねじ２は、該送りねじ２が螺合する雌ねじ部を
有した保持具４−を介して、前記ケースｌの一端部に保
持されたもので、回転が加えられると、先端部２ａが前
記ケース１に対してその軸線方向（第２図における矢印
（イ）方向）に進退する。

この送りねじ２の先端部２ａが、変位を与えるべき物品
等に連結される。また、ケースｌは、その一端而１ｃと
前記保持具４に設けられた取り付けねし（雌ねじ）４ａ
との扶持によって、基準となる枠体５等に固定される。

前記モータ３は、前述の送りねじ２を回転させるために
ケースｌの他端側に収容したもので、この従来例のもの
では、ケース１に対してそのψ＋ｌＩ線方向に移動自在
に支持されており、該モータ３のスピンドル３ａが前記
送りねじ２に連結されている。

また、第３図にも示すように、前記モータ３の本体には
前記変位確認窓１ａに突出する指針部材６が固設され、
この指針部材６の頂部には支持目盛り６ａが付されてい
る。

このような従来装置は、モータ３が送りねじ２を回転さ
せると、ケースＩに対して送りねじ２とモータ３とが一
体的に進退する。

従って、前記目盛り１ｂに対する目盛り６ａの相対位置
の変化を読み取ることによって、モータ３の回転による
送りねじ２の変位量を視認することができる。

［発明が解決しようとする課題コ ところで、以上のような微小変位設定装置は、通常、遠
隔操作（リモートコントロール）によって動作させるた
め、送りねじの微小な変位が、離れた位置からも、容易
かつ正確に視認できることが望ましい。

ところが、前述の従来装置では、変位量が目盛りｌｂの
一目盛り以下となるような微小な変位動作の場合には、
送りねじ２が実際に動いているかどうか（即ち、モータ
３が実際に回転しているかどうか）の視認が困難になる
という問題があった。

また、モータ３自体が送りねじ２と一体に動くため、モ
ータ３に給電する配線７には、モータ３の動きを許容さ
せるために変位量に対応した余裕を持たせ、かつケース
ｌにはその配線を収容する大きなスペースを確保してお
かねばならないため、装置自体のコンパクト化が困難に
なるという問題があり、さらには、モータ３の動きによ
って配線に捩れ等の負担がかかり易く、そのために耐久
性が低下する虞れがあった。

また、前述の従来装置の場合は、変位確認窓Ｉａからケ
ースｌ内に粉塵等が混入し、それによって不都合が発生
する虞れもあった。

この発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、変位量
を確認するために付される目盛りの一目盛り以下の微小
な変位動作の場合でも、送りねじが実際に動いているか
どうか（即ち、モータが実際に回転しているかどうか）
を容易かつ確実に視認することができ、また、装置をコ
ンパクト化し得るとともに配線の捩れ等に起因した耐久
性の低下を防止することができ、さらに、粉塵等のケー
ス内への混入を防止する点でも優れた微小変位設定装置
を提供することを目的とする。

１課題を解決するための−手段］ 本発明に係る微小変位設定装置は、筒状をなすケースと
、該ケースの一端部に保持されて回転が加えられると前
記ケースの軸線方向に進退する送りねじと、前記ケース
の他端側に収容されて前記送りねじを回転させるモータ
とを具備して、前記送りねじの進退によって微小変位を
設定するものである。

具体的には、微小な変位動作の際の動作状態の視認性を
向上させること、並びにコンパクト化および耐久性の低
下防止等の目的を達成することかり、 前記モータの本体を前記ケースに固定するモータ固定手
段と、前記モータのスピンドルの回転を前記送りねじに
伝達する回転伝達機構と、変位動作時の回転部を現実に
確認すべく前記ケースに開口させた変位確認窓とを具備
した構成をなしている。

また、前記回転伝達機構としては、公知の種々の回転伝
達機構を採用することが可能であるが、後記する理由か
ら、前記回転伝達機措は、モータのスピンドルに固定さ
れた主動部材と、送りねじに固定された従動部材とから
構成するとともに、従動部材のケースの軸線方向の移動
が拘束されないように、これら主動部材と従動部材との
相互の連結を、前記ケースの軸線方向に沿った溝とその
溝に嵌合する突起との係合によって行い、かつ、前記溝
を変位動作時に前記変位確認窓から視認できる回転部と
して選定した構成とすることが効果的である。

また、粉塵等のケース内への混入を防止する目的を達成
するためには、前記変位確認窓を、前記ケースに外嵌す
る透明な筒状部材で覆う構成とすることが効果的である
。

［作用］ モータ固定手段によってモータの本体がケースに固定さ
れる構成では、モータに給電する配線に捩れ等の作用が
な−く、配線の捩れ等に起因した耐久性の低下を防止す
ることができる。

また、モータが固定される構成としたことによって、モ
ータに給電する配線に変位量に対応した余裕を持たせる
必要がなく、しかも、余裕を持たせた配線を収容するた
めの大きなスペースをケースに確保しておく必要もない
ため、コンパクト化が図り易くなる。

また、この種の微小変位設定装置で使用する送りねじは
、いわゆる精密ねじて、一般に、大きな回転電を与える
ことによって小さな直線変位を取り出すものであり、送
りねじが移動しているか否かの判断は、直線的な変化（
変位）を監視するよりも、回転の変化（変位）を監視す
る方が容易となる。

従って、変位動作時の回転部を変位確認窓から確認し得
るようにした構成では、変位量を確認するために付され
る目盛りの一目盛り以下の微小な変位動作の場合でも、
送りねじが実際に動いているかどうか（即ち、モータが
実際に回転しているかどうか）を容易かつ確実に視認す
ることができる。

そして、回転軸が回転しているか否かの判断は、例えば
、変位確認窓からの視認することのできる回転部の外周
面に適宜目印を付しておくことによって、容易にするこ
とができる。

溝と突起の係合による回転伝達機構を使用し、該回転伝
達機構における溝を変位確認窓から視認し得るようにし
た構成では、前記溝が、単に連結手段としてだけでな《
、回転を判断する目印としても有効に働くため、特に目
印を設けずとも、微小な変位動作時における視認を容易
かつ確実になし得る。

また、溝と突起の係合による回転伝達機構を変位確認窓
から視認し得るようにした構成では、溝を有した部材に
溝に沿って一定の目盛りを付し、前記突起に指示目盛り
を付しておくことによって、回転伝達機構自体を変位量
の読み取り部と（２ても機能させることができ、一機構
を多機能化することによって、構成部材数を低減させて
、部材構成を単純化することも可能になる。

また、ケースに開口させた変位確認窓からの粉塵等の混
入の防止には、該変位確認窓を覆うカバーを設けるとい
う技術は、容易に発想することができる。しかし、その
場合に、視認性を低下させないこと、ケースへの取り付
けが簡単になし得ること、コンパクト化を犠牲にしない
こと等の多数の条件が付くと、実現は極めて困難になっ
てしまう。

どころが、変位確認窓をケースに外嵌する透明な筒状部
材で覆う構成とすると、前述のいずれの条件も満足し得
て、しかも粉塵等のケース内への混入を良好に防止する
ことができる。

［実施例］ 以下、請求項１乃至請求項３に記載の発明に係る微小変
位設定装置の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、一実施例の微小変位設定装置の縦断面図を示
したものである。

この微小変位設定装置は、基本的な構成部材として、筒
状をなすケース１０と、該ケース１０の一端部に保持さ
れて回転が加えられると前記ケースＩＯの軸線方向（第
１図における矢印（イ）方向）に進退する送りねじｌ１
と、前記ケース１０の他端側に収容されて萌記送りねじ
Ｉ［を回転させるためのモータ１２と、該モータ１２の
スピンドル１２Ｈの回転を前記送りねじ１１に伝達する
回転伝達機構１３とを具備している。

なお、第１図において、符号１４は、前記モータ１２に
給電する配線である。

前記ケース１０は、金属材料で円筒状に形成されたもの
で、一端側（第１図において右端側）は厚肉に形成され
、他端側は薄肉に形成されている。

そして、大きく開口する他端部は、該他端部に螺着する
ブラグ１５によって閉塞される構造とされている。

このブラグ１５は、円盤状をなす鍔部１５３と、前記ケ
ース１０の他端に螺合する雄ねじが形成された円筒部１
５ｂとを具備した構成とされている。

そして、前記鍔部１５ａは、その中央部に前記配線ｌ４
を押通する穴を有するとともに、該穴に向かって進退し
得る止めねじ１５Ｃを脊している。

そして、該穴に挿通した配線１４は、該配線１４に外嵌
したプッシュ１６を介して前記止めねじ１５Ｃによって
固定されている。

前記プッシュｌ６は、止めねじ１５ｃによる配線１４の
損傷を防止するものである。

また、前記ケーズ１０には、変位確認窓１０ａが形成さ
れている。この変位確認窓ｔＯａは、変位動作時の回転
部を現実に確認するために、第４図に示すように、ケー
ス１０の周壁の一部を周方向に半周分切除することによ
って開口させたものである。

この変位確認窓１０ａの位置は、前記変位動作時の回転
部として前記回転伝達機構１３を視認し得る位置に設定
されている。

このようなケース１０の外周部は、透明な筒状部材１７
ａと、不透明な筒状部材１７ｂとが外嵌させられている
。

これらの筒状部材１７ａ，１７ｂは、いずれも内径およ
び外径が揃えられており、ケース１０に外嵌させた状態
では、滑らかな外表面を演出する。

これらの筒状部材１７ａ，１７ｂのケースＩＯへの固定
は、ケース１０に形成した段差１０ｂと前記ブラグｌ５
の鍔部１５ａとの挾持によって行っている。

透明な筒状部材１７ａは、透明なプラスチック等で形成
したちの゛で、前記変位確認窓１０ａを覆って、該変位
確認窓１０ａからの粉塵等の混入を防止する。

前記不透明な筒状部材１７ｂは、金属等で形成されたも
ので、装置の外表面の保護と装飾を果す。

前記送りねじ１１は、止めねじ１８によってケース１０
の一端部に固定された保持具１９を介して、ケース１０
の一端部に保持されている。

ここに前記保持具１９は、筒状を呈し、その内周部に前
記送りねじ１１が螺合する雌ねじ部を形成したもので、
送りねじ１１の回転量に応じて、該送りねじ１１を進退
させる役割を果す。

前記保持具Ｉ９の一端には、取り付けねじ（雌めじ）２
０が取り付けてあり、該微小変位設定装置の枠体等への
取り付けは、前記取り付けねじ２０とケース１０の一端
面１．　０　Ｃとによる挾持作用によって行う。

なお、前記送りねじ１１の先端部１１ａは、適宜連結手
段によって、変位を与えるべき物品等に連結される。

前記モータ１２は、その本体がモータ固定手段２２によ
ってケース１０に固定されている。

このモータ固定手段２２は、モータ１２の本体の一部を
なすボス部１２ｂに螺養する円板状のもので、その外径
寸法がケース１０の内周部に合わせられており、止めね
じ２３によりケース１０に固定されている。

ケースｌＯの内周には、モータ固定手段２２の固定位置
に対応して、段差１０ｄが設けられていて、モータ固定
手段２２をケースＩＯの他端側から挿入すると、該段差
１０ｄによって固定位置に位置決めすることができる。

前記回転伝達機構１３は、モータｌ２のスピンドル１２
ａに固定された主動部材２５と、送りねじ１ｌに固定さ
れた従動部材２６とから構成されている。

そして、前記主導部材２５と従動部材２６との相互の連
結は、第５図に示すように、主動部材２５に設けた溝２
５ａと、従動部材２６に設けた突起２６ａとの嵌合によ
ってなされ、この結果、従動部材２６のケースの軸線方
向への移動（即ち、送りねじ１ｌの移動）が拘束されな
い連結構造となるとともに、前記溝２５ａが変位確認窓
１０ａから視認可能になっている。

主動部材２５および従動部材２６の構成を詳述すると、
次のようである。

主動部材２５は、第５図に示しているように、モータ１
２のスピンドル１２ａを固定するための円板状の底板部
２５ｂと、該底板部２５ｂの周縁から突出する複数の凸
片２５Ｃとを具備したものである。

底板部２５ｂは、モータ１２のスピンドル１２ａを貫通
させる穴２５ｄを有するとともに、該底阪部２５ｂの半
径方向に進退可能な止めねじ２５ｅを有したもので、ス
ピンドル１２ａを前記穴２５ｄに挿通させた状態で、止
めねじ２５ｅの締め付けを行うことに．よって、主動部
材２５とスピンドル１２ａとの連結がなされる。

前記凸片２５Ｃは、その横断面が円弧板状を呈したもの
で、この実施例では、前記穴２５ｄの中心軸線（装置を
組み立てた状態では、スピンドル１２ａの中心軸線やケ
ース１０の中心軸線に重なる）口に対して対称的に、二
つ存在する。そして、これらの二つの凸片２５Ｃによっ
て、ケース１０の軸線方向に沿った溝２５ａが２つ形成
されている。

これら二つの凸片２５Ｃは、例えば、有底円筒状をなす
素材の周壁の一部を軸線方向に沿って切除することによ
って得ることができ、この実施例では、第６図に示すよ
うに、中心軸線口を挟んで対向する部分の周壁を、中心
軸線に対する挾角θか９０度となる範囲で切除すること
によって得ている。

各凸片２５Ｃの外周面の両側には、第７図に示すように
、変位債を読み取るための目盛り２７が一定間隔で刻設
されている。

一方、従動部材２６は、第５図に示したように、前記凸
片２５Ｃの内周面に嵌合する円筒部２６ｂと、該円筒部
２６ｂの外周部に突設された前記突起２６ａとから構成
されている。

前記円筒部２６ｂの内周面は、第１図に示すように、テ
ーバ而に形成されている。

箭記突起２６ａは、例えば、円筒部２６ｂの外周にリン
グ状に形成した鍔部の一部を切り欠くことによって得る
ことができ、この実施例では、第８図に示すように、中
心軸線口を挟んで対向する部分の鍔部を、中心軸線口に
対する挟角θ，が約９０度になる範囲で切除することに
よって得ている。

そして、前記突起２６ａの外周而には、第５図および第
７図に示すように、主動部材２５に対する従動部材２６
の変位量を読み取るための指示目盛り２８が刻設されて
いる。

このような従動部材２６と送りねじ１１との連結は、第
１図に示すように、双方のテーパ面の密行によって行う
もので、テーバ面相互の密青は、送りねじｌ１の端部に
螺合する押えねじ３０によって行っている。

以上のような微小変位設定装置では、モータ固定手段２
２によってモータ１２の本体がケース１０に固定される
ため、モータ１２に給電する配線ｌ４に捩れ等の作用が
なく、配線の捩れ等に起因した耐久性の低下を防止する
ことができる。

また、モータ１２が固定される構成としたことによって
、前記配線ｌ４に変位量に対応した余裕を持たせる必要
がなく、しかも、余裕を持たせた配線を収容するための
大きなスペースをケース１０に確保しておく必要もない
ため、コンパクト化が図り易くなる。

また、変位動作時において、送りねじ１１が実際に動い
ているかどうか（即ち、モータｌ２が実際に回転してい
るかどうか）は、変位確認窓１０ａから回転伝達機構１
３の動きを観察して、動きがより顕著に現れる回転動作
から判断することができる。しかも、前記主動部材２５
に設けた溝２５ａか回転動作を明確にする目印としての
機能を発揮するため、主動部材２５に刻設した目盛り２
７の−目盛り以下となるような微小な変位動作の場合で
も、送りねじが実際に動いているか否かを容易かつ確実
に視認することが可能になる。

また、回転伝達機構１３を構成する主動部材２５に付し
た目盛り２７と従動部材２６に付した指示目盛り２８と
によって、前記回転伝達機構１３自体が変位ｍの読み取
り部（表示部）としても機能し、このように一機構を多
機能化することによって、構成部材数を低減させて、部
材構成を単純化することも可能になる。

また、変位確認窓１０ａを覆う筒状部材１７ａは、嵌合
という単純作業でケースＩＯへ取り付けることができ、
また透明であることから該筒状部材Ｉ７ａを取り付けた
状態のままでも変位動作の視認性が損なわれず、また、
筒状部材］．　７　ａの取り付けによっても外形寸法の
増大は筒状部材ｌ７ａの肉厚分だけで済むため、視認性
、組み立て性、コンパクト化等の種々の条件を満足しつ
つ、粉塵等のケース１０内への混入を良好に防止するこ
とができる。

なお、以上に説明した実施例では、変位確認窓１０ａの
周方向の開口度を半周分（即ち１８０°分）とし、これ
に対して、回転伝達機構ｌ３における溝２５ａの周方向
の開口度を１／４周分（即ち、９０°分）でしたが、こ
れらの各度の設定は、前記実施例に限定するものではな
い。

要は、確認窓１０ａから、常時、溝２５ａの周囲に付し
た目盛り２７が確認できる状態にあれば良く、その範囲
で、それぞれの開口度は任意に変史し得る。

また、回転伝達機構ｌ３において、溝２’５ａの数も、
実施例に限定するものではなく、例えば、３本あるいは
それ以」二に増加させることもできる。

また、実施例の場合には、回転伝達機構１３の主動部材
２５に溝２５ａを設けて、従動部材２Ｇに突起２６ａを
設けることとしたが、逆に、主動部材側に突起を設けて
、従動部材側に溝を設けた構造とすることも考えられる
。しかし、実施例のように、主動部材側に溝を設けた構
造とした場合の方が、送りねし周囲のスペースを有効に
活用することができ、コンパクト化が容易に図れる。

また、前記実施例におい゛Ｃは、回転伝達機構１３にお
ける溝２５ａを、回転を確認するための目印として活用
する構成であったが、該溝２５ａとは別に目印を設ける
ようにしても良い。

また、前述の実施例においては、透明な筒状部材１７ａ
と不透明な筒状部材１７ｂとは、材料を違えて、別個の
部材としているが、プラスチック材料によって一体に成
形しても良く、それによって、部品点数の削減を図るこ
とが可能である。また、筒状部材１７ａ，１７ｂをプラ
スチック材料の一体成形で形成する場合には、多色成形
法等を利用して、変位確認窓に対応する部分のみ透明に
することも考えられる。

また、前記実施例の場合は、回転伝達機構１３を構成す
る主動部材２７の外周面に一定間隔の目盛り２７を付し
たが、該目盛り２７を付す位置は前記実施例に限定する
ものではない。

例えば、前記一定間隔の目盛り２７は、前記透明な筒状
部材１７ａの内周面に付することにしても良《、また、
変位確認窓１０ａに透明な板状体を埋め込んだ構成とし
て、該透明な板状体の内面に付するようにしても良い。

このように、回転しない部分に目盛り２７を付した場合
は、実施例のように回転部に目盛り２７を付した場合と
比較して、回転時における指示目盛り２８の動きがｔ’
．ＩＪ別し易くなる。

また、回転しない部分に目盛り２７を付す場合には、目
盛りの読み取り誤差の発生を防止することから、目盛り
２７の位置と指示目盛り２８との位置を極力近付けるこ
とが好ましく、この観点から言えば、変位確認窓１０ａ
に透明な板状体を埋め込んで、この板状体の内面に目盛
り２７を設ける構成が最適である。

なお、変位確認窓ｔＯａに透明な板状体を埋め込む構成
とした場合には、該板状体によって防塵も図ることとし
て、前述の筒状部材１７ａおよび筒状部材１７ｂを廃止
することも考えられる。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の微小
変位設定装置は、モータ固定手段によってモータの本体
がケースに固定されるため、モータに給電する配線に捩
れ等の作用がなく、配線の捩れ等に起因したｍｌ久性の
低下を防止することができる。

また、モータが固定される構成としたことによって、モ
ータに給電する配線に変位量に対応した余裕を持たせる
必要がなく、しかも、余裕を持たせた配線を収容するた
めの大きなスペースをケースに確保しておく必要もない
ため、コンパクト化が図り易くなる。

また、送りねじの動きは直線的な変化（変位）よりも回
転の変化（変位）により顕著に現れるため、変位動作時
の回転部を変位確認窓から確認し得るようにしたことに
よって、変位量を確認するために付される目盛りの一目
盛り以下の微小な変位動作の場合でも・、送りねじが実
際に動いているかどうか（即ち、モータが実際に回転し
ているかどうか）を容易かつ確実に視認することができ
る。

そして、回転軸が回転しているか否かの判断は、例えば
、変位確認窓からの視認することのできる回転部の外周
面に適宜目印を付しておくことによって、容易にするこ
とができる。

ここに、請求項２に記載の微小変位設定装置は、溝と突
起の係合による回転伝達機構を使用し、該回転伝達機構
における溝を変位確認窓から視認できる回転部として選
定しているため、前記溝が、単に連結手段としてだけで
なく、回転を判断する目印としても有効に働くため、特
に目印を設けずとも、微小な変位動作時における視認が
容易かつ確実になし得る。

また、溝と突起の係合による回転伝達機構を変位確認窓
から視認し得るようにした構成では、溝を有した部材に
溝に沿って一定の目盛りを付し、前記突起に指示目盛り
を付しておくことによって、回転伝達機構自体を変位量
の読み取り部としても機能させることができ、一機構を
多機能化することによって、構成部材数を低減させて、
部材構成を単純化することも可能になる。

また、請求項３に記載の微小変位設定装置は、ケースに
開口させた変位確認窓からの粉塵等の混入の防止手段と
して、ケースに外嵌合する透明な筒状部材を使用したも
ので、該筒状部材は挿入という単純作業でケースへ取り
付けることができ、また透明であることから筒状部材を
取り付けた状態のままでも変位動作の視認性が損なわれ
ず、また、筒状部材の取り付けによっても外形寸法の増
大は筒状部材の肉厚分だけで済むため、視認性、組み立
て性、コンパクト化等の種々の条件を満足しつつ、粉塵
等のケース内への混入を良好に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は請求項１乃至請求項３の発明に係る微小変位設
定装置の一実施例の縦断面図、第２図は従来の微小変位
設定装置の側面図、第３図は第２図におけるＩＩＩ−１
１１１線に沿う断面図、第４図は第１図における■−Ｉ
Ｖ線に沿う断面図、第５図は第１図における回転伝達機
構の分解斜視図、第６図は第５図における■矢視図、第
７図は第１図における回転伝達機構の組み立て図、第８
図は第５図における■矢視図である。 １０・・・・・・ケース、１０．ａ・・・・・・変位確
認窓、１１・・・・・送りねじ、１２・・・・・モータ
、１２ａ・・・・・・スピンドル、１３・・・・・・回
転伝達機構、ｌ５・・・・・・プラグ、１７ａ・・・・
・・透明な筒状部材、１９・・・・・保持具、２２・・
・・・・モータ固定手段、２５・・・・・・主動部材、
２５ａ・・・・・・溝、２５ｃ・・・・・凸片、２６・
・・・・・従動部材、２６ａ・・・・・・突起、２７・
・・・・・目盛り、２８・・・・・・指示目盛り、３０
・・・・・・押えねじ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、筒状をなすケースと、該ケースの一端部に保持され
   て回転が加えられると前記ケースの軸線方向に進退する
   送りねじと、前記ケースの他端側に収容されて前記送り
   ねじを回転させるモータとを具備して、前記送りねじの
   進退によって微小変位を設定する微小変位設定装置であ
   って、 前記モータの本体を前記ケースに固定するモータ固定手
   段と、 前記モータのスピンドルの回転を前記送りねじに伝達す
   る回転伝達機構と、 変位動作時の回転部を現実に確認すべく前記ケースに開
   口させた変位確認窓とを具備したことを特徴とする微小
   変位設定装置。 ２、前記回転伝達機構が、モータのスピンドルに固定さ
   れた主動部材と、送りねじに固定された従動部材とから
   構成されるとともに、従動部材のケースの軸線方向の移
   動が拘束されないように、これら主動部材と従動部材と
   の相互の連結が、前記ケースの軸線方向に沿った溝とそ
   の溝に嵌合する突起との係合によってなされており、か
   つ、前記溝が変位動作時に前記変位確認窓から視認でき
   る回転部として選定されていることを特徴とする請求項
   １記載の微小変位設定装置。 ３、前記変位確認窓が、前記ケースに外嵌する透明な筒
   状部材で覆われたことを特徴とする請求項１又は２記載
   の微小変位設定装置。