JPH0223113A - 板状物搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、板状物搬送装置、特に、流体を吹き付けなが
ら板状物を平坦な搬送路に沿って連続的に搬送する技術
に関し、例えば、半導体装置の製造工程において、リー
ドフレームを搬送するのに利用して有効な技術に関する
。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程において、ペレットボンディング
工程からワイヤポンディング工程へ、リードフレームを
搬送する場合、リードフレームにエアを吹き付けながら
、リードフレームを平坦な搬送路に沿って滑走させて連
続的に搬送するエアコンベアが使用される。このような
エアコンベアにおいて、搬送されて来たリードフレーム
を所望の場所で停止させる際、搬送路の所望の終端部に
ストッパを突出させることにより、ストッパにリードフ
レームを接衝させて停止させることが行われている。

なお、板状物の搬送技術を述べである例としては、日刊
工業新聞社発行「電子部品の自動自立入門」昭和５６年
７月３０日発行Ｐ４８〜Ｐ５０、がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、このようなエアコンへアにおいては、エアによ
り高速で搬送されて来たリードフレームがストッパに接
衝してバウンドするため、正規の位置に停止しないとい
う問題点があることが、本発明者によって明らかにされ
た。

本発明の目的は、被搬送物を適正な位置に停止させるこ
とができる板状物搬送装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

（課題を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。

すなわち、流体を吹き付けられながら、板状物が平坦な
搬送路に沿って搬送され、前記搬送路の終端においてス
トッパに接衝されることにより板状物が停止されるよう
に構成されている板状物搬送装置において、前記搬送路
の終端部に段差部を前記ストッパにその上流側で対向す
るように形成したものである。

〔作用〕

前記した手段によれば、流体により高速で搬送されて来
た被搬送物としての板状物はストッパに接衝してバウン
ドすると、搬送路の段差部に落ち込むため、ストッパに
対応する正規の位置に適正に停止することになる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例であるリードフレーム搬送装
置を示す拡大部分縦断面図、第２図はその平面図である
。

本実施例において、本発明に係る板状物搬送装置はリー
ドフレーム１をペレットボンダ（図示せず）からワイヤ
ボンダ（図示せず）へ搬送するように構成されており、
搬送レール２を備えている。

搬送レール２はペレットボンダにおけるフィーダ装置の
終端部からワイヤボンダにおけるフィーダ装置の始端部
まで略水平に敷設されており、このレール２上には搬送
路３が略チャンネル形状に形成されている。ＴＩ！ｉ送
路３は滑走路部４とガイド部５とを備えており、滑走路
部４は被搬送物とじてのり一ドフレーム１と略等しい幅
を有し、細長く延設され、ガイド部５はその滑走路部４
の両脇においてリードフレーム１が滑走路部４から脱落
するのを防止するようにそれぞれ立設されている。

搬送路３にはカバー６がその滑走路部４の上方を覆うよ
うに被せられて固定されており、カバー６にはエア吹出
ロアが複数個、長手方向に略等間隔に配されて開設され
ている。カバー６上には搬送エアノズル８がエア吹出ロ
アに対向するように配されてそれぞれ設備されており、
このノズル８は流体としてのエア９を送り方向に向けて
斜め下向きに吹き出すように構成されている。

搬送レール２の終端部、すなわち、ワイヤボンダのフィ
ーダ装置における始端部にはストッパ１０が設備されて
おり、このストッパ１０は上下動することにより、滑走
路部４に下から上へと突出するように構成されている。

そして、本実施例においては、滑走路部４に段差部１１
がストッパｌＯにその上流側位置において対向するよう
に形成されており、その段差部ｌｌからストッパ１０ま
での間隔はリードフレーム１の長さと略等しくなるよう
に設定されている。

また、カバー６には下向きエア吹出口１２が段差部１１
の若干下流側位置に配されて開設されており、この吹出
口１２には下向きエアノズル１３がエア１４を垂直下向
きに吹き出すように設備されている。さらに、搬送路３
の滑走路部４にはエア抜き口１５が吹出口１２に対向す
るように配されて開設されている。

次に作用を説明する。

ペレットボンダにおいてペレットのボンディングが終了
したリードフレームｌは、ペレ７）ボンダのフィーダ装
置により前記構成に係るリードフレーム搬送装置の始端
部に送給されて来る。送給されて来てフィーダ装置の拘
束を断たれると、リードフレーム１は搬送エアノズル８
によりエア９を吹き付けられるため、搬送路３をワイヤ
ボンダ方向へ向けて搬送される。すなわち、リードフレ
ーム１は滑走路部４を滑走しながらガイド部５に案内さ
れてその終端部まで搬送される。

他方、リードフレーム１の搬送が開始されると、ストッ
パ１０が上動されて滑走路部４上に自動的に突出される
。したがって、搬送路３の終端まで高速で搬送されて来
たリードフレーム１はこのストッパ１０に接衝すること
になる。この接衝時の反動により、リードフレーム１は
バウンドして搬送方向と逆方向に後退する。このとき、
リードフレーム１が終端まで搬送されたことを検知する
検出装置（図示せず）により、搬送エアノズル８のエア
吹き出し作動が自動的に停止されると、リードフレーム
１はバウンドして後退した位置に不規則に停止してしま
う。

しかし、本実施例においては、搬送路３に段差部１１が
ストッパ１０に対向するように形成されているため、リ
ードフレーム１は正規の位置に規則的に必ず停止される
。

すなわち、リードフレーム１がストッパｌＯへの接衝時
の反動によってバウンドして後退しようとしても、スト
ッパ１０に対向する段差部１１により後退を阻止される
ため、ストッパ１０と段Ｍ部１工によって規制される位
置にリードフレーム１は必ず停止されることになる。こ
のとき、リードフレーム１にはエアノズル１３から下向
きエア１４が垂直下向きに吹き付けられるため、リード
フレーム１は段差部１１に強制的に落とし込まれること
になる。

このようにしてリードフレーム１が正規の位置に適正に
停止された後、ストッパ１０が滑走路部４から引き込め
られると、ワイヤボンダのフィーダ装πによりリードフ
レーム１はワイヤボンダへ送給されて行く。

以降、前記作動が繰り返されることにより、リードフレ
ーム１が順次搬送されて行く。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

（１）搬送路の終端部に段差部を被搬送物としての板状
物を接衝によって停止させるストッパに上流側で対向す
るように形成することにより、被搬送物のストッパとの
接衝時のバウンドによる後退を段差部への落とし込みに
より阻止することができるため、被搬送物を所定の位置
に適正に停止させることができる。

（２）段差部の近傍に下向きエアノズルを設備すること
により、被搬送物に下向きエアを吹き付けて被搬送物を
段差部に強制的に蕩とし込むことができるため、前記（
１）の効果をより一層確実化させることができる。

（３）被搬送物を常に所定の位置に停止させることによ
り、設備の稼働効率を高めることができるとともに、被
搬送物の搬送速度を高めることができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種り変更可能
であることはいうまでもない 例えば、下向きエアノズルは場合によって省略すること
ができる。

搬送路やストッパ等の具体的構成は前記実施例の構造に
■らず、条件に応じて適宜選定することが望ましい。

搬送エアノズルはエアを搬送方向に向けて斜め下向きに
吹き出すように構成するに限らず、エアを搬送方向に向
けて斜め上向きに吹き出すように構成してもよい。

カバーは場合によっては省略してもよい。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるベレットボンディン
グ工程とワイヤボンディング工程との間においてリード
フレームを継ぎ搬送する技術に通用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、他の工程、
例えば、リードフレームの切断工程からベレットボンデ
ィング工程、ワイヤボンディング工程からパッケージ成
形工程、パッケージ成形工程からアウタリード切断成形
工程へのリードフレームの縫ぎ搬送等にも使用すること
ができ、さらに、リードフレームに限らず、マスクやプ
リント配線基板等のような板状物の搬送技術全般に適用
することができる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。

搬送路の終端部に段差部を被搬送物としての板状物を接
衝によって停止させるストッパに上流側で対向するよう
に形成することにより、被搬送物のストッパとの接衝時
のバウンドによる後退を段差部への落とし込みにより阻
止することができるため、被搬送物を所定の位置に適正
に停止させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるリードフレーム搬送装
置を示す拡大部分縦断面図、 第２図はその平面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、流体を吹き付けられながら、板状物が平坦な搬送路
   に沿って搬送され、前記搬送路の終端においてストッパ
   に接衝されることにより板状物が停止されるように構成
   されている板状物搬送装置であって、前記搬送路の終端
   部に段差部が前記ストッパにその上流側で対向するよう
   に形成されていることを特徴とする板状物搬送装置。 ２、段差部近傍の真上に流体吹き出し口が、搬送路に向
   けて流体を吹き出すように設けられていることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の板状物搬送装置。