JPH02240582A - Ｉｃテスターの電流監視装置 - Google Patents
Ｉｃテスターの電流監視装置Info
- Publication number
- JPH02240582A JPH02240582A JP1061359A JP6135989A JPH02240582A JP H02240582 A JPH02240582 A JP H02240582A JP 1061359 A JP1061359 A JP 1061359A JP 6135989 A JP6135989 A JP 6135989A JP H02240582 A JPH02240582 A JP H02240582A
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- Japan
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- overcurrent
- circuit
- wiring
- tester
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- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明はＩＣテスターに対する供給電流の過電流を監
視する装置に関するものである。
視する装置に関するものである。
［従来の技術］
半導体製品のＩＣチップは製作後ＩＣテスターにより性
能が検査される。テスターには多数のＩＣチップが搭載
されて並列にテストされるので、全体に対する電流値は
かなり大きく、例えば約８００Ａに達する。ただし電圧
は低くて数Ｖである。
能が検査される。テスターには多数のＩＣチップが搭載
されて並列にテストされるので、全体に対する電流値は
かなり大きく、例えば約８００Ａに達する。ただし電圧
は低くて数Ｖである。
ここで留意すべきはＩＣの性能をテストするために、テ
スターの電圧は一定値に規定されて変動幅はシビャに押
さえられていることである。
スターの電圧は一定値に規定されて変動幅はシビャに押
さえられていることである。
第３図はＩＣテスターにおける電源配線系統の１例を示
すもので、直流電源１よりの正および負極の配線１ａ、
ｌｂは、端子盤ＩＣにおいて数本の一次分岐配線２ａ、
２ｂに分岐して分電盤３の端子３ａに接続される。この
−次分岐配線２ａ、２ｂはさらに二次分岐配線に細分（
図示は３分岐）されて、端子３ｂよりＩＣテスターのバ
ックボード４の各端子４ａを経てバックボード４に挿入
されたプラッタ５に接続され、これに搭載されたＩＣチ
ップに電流が供給される。各配線は電圧降Ｆを生しない
ように、抵抗が極めて小さくて電流に対して余裕のある
太さの電線が使用され、できる限り短く配線されている
。
すもので、直流電源１よりの正および負極の配線１ａ、
ｌｂは、端子盤ＩＣにおいて数本の一次分岐配線２ａ、
２ｂに分岐して分電盤３の端子３ａに接続される。この
−次分岐配線２ａ、２ｂはさらに二次分岐配線に細分（
図示は３分岐）されて、端子３ｂよりＩＣテスターのバ
ックボード４の各端子４ａを経てバックボード４に挿入
されたプラッタ５に接続され、これに搭載されたＩＣチ
ップに電流が供給される。各配線は電圧降Ｆを生しない
ように、抵抗が極めて小さくて電流に対して余裕のある
太さの電線が使用され、できる限り短く配線されている
。
［解決しようとする課題］
」−記の配線構成においては、各分岐配線またはＩＣチ
ップに短絡などの異常が生じた場合、過電流により電圧
が低下し、場合によってはこれらが焼損する危険がある
。−船釣には、大兄のＡＣ電源には遮断器が設けられて
過電流が発生したときは遮断できるが、上記の各分岐配
線には電流計は勿論、なんらの保護回路が設けられてい
ないのが実情である。そこで装置の安全のために、少な
くとも一次分岐配線ごとに電流計と、適当な箇所に安全
フユーズを設けるこが考えられるが、前記したところに
より、−次分岐配線の電流値は２００Ａ程度であるので
電流計には分流器を必要とし、また内部抵抗による電圧
降下の恐れがある。さらに、フユーズの動作にはど一定
の時間を要するので、その間に部品が焼損して間に合わ
ないことが多い。
ップに短絡などの異常が生じた場合、過電流により電圧
が低下し、場合によってはこれらが焼損する危険がある
。−船釣には、大兄のＡＣ電源には遮断器が設けられて
過電流が発生したときは遮断できるが、上記の各分岐配
線には電流計は勿論、なんらの保護回路が設けられてい
ないのが実情である。そこで装置の安全のために、少な
くとも一次分岐配線ごとに電流計と、適当な箇所に安全
フユーズを設けるこが考えられるが、前記したところに
より、−次分岐配線の電流値は２００Ａ程度であるので
電流計には分流器を必要とし、また内部抵抗による電圧
降下の恐れがある。さらに、フユーズの動作にはど一定
の時間を要するので、その間に部品が焼損して間に合わ
ないことが多い。
これに対して、過電流検出器を挿入して遮断器を動作さ
せることが良策である。ただし、上記したようにＩＣテ
スターは大電流低電圧回路であり、一方、通常の過電流
検出器には内部抵抗があって電圧降下の恐れがあり、さ
らに取り付はスペースの問題がある。要するに、電流計
と過電流検出器による方法はＩＣテスターには適用し難
い。
せることが良策である。ただし、上記したようにＩＣテ
スターは大電流低電圧回路であり、一方、通常の過電流
検出器には内部抵抗があって電圧降下の恐れがあり、さ
らに取り付はスペースの問題がある。要するに、電流計
と過電流検出器による方法はＩＣテスターには適用し難
い。
この発明は以上に鑑みてなされたもので、ＩＣテスター
の配線変更を必要とせず、また電圧降下が全く生じない
、ホール素子電流計を使用して非接触で各分岐配線の電
流値を監視し、過電流に対してＡＣ電源を遮断すること
ができる、ＩＣテスターの電流監視装置を提供すること
を目的とするものである。
の配線変更を必要とせず、また電圧降下が全く生じない
、ホール素子電流計を使用して非接触で各分岐配線の電
流値を監視し、過電流に対してＡＣ電源を遮断すること
ができる、ＩＣテスターの電流監視装置を提供すること
を目的とするものである。
［課題を解決するための手段コ
この発明は、多数のＩＣチップを搭載して並列にテスト
するＩＣテスターの電流供給回路における電流監視装置
であって、直流電源よりの供給電流に対する一次分岐配
線のそれぞれにホール素子電流計を挿入し、マイクロプ
ロセッサにより制御され、ホール素子電流計の出力を順
次切り替える切り替えスイッチと、マイクロプロセッサ
により予め設定された過電流に対する許容値に比較して
、」二記−次分岐配線の過電流を検出する過電流検出器
、および過電流検出器の出力する過電流信号によりアラ
ームを発生し、直流電源に対するＡＣ電源の遮断器に対
して遮断信号を出力するアラーム回路とにより構成され
る。
するＩＣテスターの電流供給回路における電流監視装置
であって、直流電源よりの供給電流に対する一次分岐配
線のそれぞれにホール素子電流計を挿入し、マイクロプ
ロセッサにより制御され、ホール素子電流計の出力を順
次切り替える切り替えスイッチと、マイクロプロセッサ
により予め設定された過電流に対する許容値に比較して
、」二記−次分岐配線の過電流を検出する過電流検出器
、および過電流検出器の出力する過電流信号によりアラ
ームを発生し、直流電源に対するＡＣ電源の遮断器に対
して遮断信号を出力するアラーム回路とにより構成され
る。
［作用］
以上の構成によるＩＣテスターの電流監視装置において
は、ホール素子は配線に対して非接触で電流が測定でき
るので、内部抵抗による電圧降下が全くない状態で一次
分岐配線の電流が計測される。計測データは切り替えス
イッチにより各電流計が順次切り替えられて過電流検出
回路に入力し、予め設定されている過電流に対する許容
値と比較されて、これを越える過電流に対して過電流信
号が出力され、これを受けてアラームが発生され、同時
にＡＣ電源が遮断される。上記の切り替えスイッチの切
り替え制御と、許容値の設定はマイクロプロセッサによ
り自動的に行われる。
は、ホール素子は配線に対して非接触で電流が測定でき
るので、内部抵抗による電圧降下が全くない状態で一次
分岐配線の電流が計測される。計測データは切り替えス
イッチにより各電流計が順次切り替えられて過電流検出
回路に入力し、予め設定されている過電流に対する許容
値と比較されて、これを越える過電流に対して過電流信
号が出力され、これを受けてアラームが発生され、同時
にＡＣ電源が遮断される。上記の切り替えスイッチの切
り替え制御と、許容値の設定はマイクロプロセッサによ
り自動的に行われる。
［実施例コ
第１図（ａ）、（ｂ）は、この発明によるＩＣテスター
の電流監視装置に適用するホール素子電流計の説明図と
、この発明によるＩＣテスターの電流監視装置の実施例
におけるホール素子電流計の実装図を示す。図（ａ）に
おいて、ホール素子電流計６は、貫通孔６ｂをイｒする
ハウジング６ａ内にホール素子が組み込まれており、励
磁端子６ｃに直流電圧Ｅを与えて励磁し、貫通孔に被測
定電流の配線２′を通す。ホール素子の作用により出力
端Ｙ６ｄには配線２′の電流ｉに比例する電圧ｅが出力
されるもので、形状は小型で電流の測定範囲はかなり広
く、０〜数百八に対して動作するものが市販されている
。図（ｂ）は第３図で説明したＩＣテスターの電源配線
系統と同一のものとし同一部分には同一の番号を付記す
る。図において、分電盤３の適当な箇所に、直流電源１
の端子１ｃよりの正極の各−次分岐配線２ａに対してホ
ール素子電流計６１，６２．６３・・・・・・をそれぞ
れ設けて、各配線２ａを貫通孔６ｂに貫通させる。負極
の−次分岐配線２ｂは関係なくそのままとする。ホール
素子電流計６の励磁端子６Ｃには、直流電源の端子ｌａ
ｗ１ｂより配線６ｅにより励磁電圧Ｅを供給する。
の電流監視装置に適用するホール素子電流計の説明図と
、この発明によるＩＣテスターの電流監視装置の実施例
におけるホール素子電流計の実装図を示す。図（ａ）に
おいて、ホール素子電流計６は、貫通孔６ｂをイｒする
ハウジング６ａ内にホール素子が組み込まれており、励
磁端子６ｃに直流電圧Ｅを与えて励磁し、貫通孔に被測
定電流の配線２′を通す。ホール素子の作用により出力
端Ｙ６ｄには配線２′の電流ｉに比例する電圧ｅが出力
されるもので、形状は小型で電流の測定範囲はかなり広
く、０〜数百八に対して動作するものが市販されている
。図（ｂ）は第３図で説明したＩＣテスターの電源配線
系統と同一のものとし同一部分には同一の番号を付記す
る。図において、分電盤３の適当な箇所に、直流電源１
の端子１ｃよりの正極の各−次分岐配線２ａに対してホ
ール素子電流計６１，６２．６３・・・・・・をそれぞ
れ設けて、各配線２ａを貫通孔６ｂに貫通させる。負極
の−次分岐配線２ｂは関係なくそのままとする。ホール
素子電流計６の励磁端子６Ｃには、直流電源の端子ｌａ
ｗ１ｂより配線６ｅにより励磁電圧Ｅを供給する。
なお、各ホール素子電流計６の出力配線は図示を省略す
る。
る。
第２図は、この発明によるＩＣテスターの電流監視装置
のブロック構成を示すもので、第１図により設けられた
各ホール素子８１，８２．６３・・・・・・よりの出力
線を切り替えスイッチ７の入力側に接続する。
のブロック構成を示すもので、第１図により設けられた
各ホール素子８１，８２．６３・・・・・・よりの出力
線を切り替えスイッチ７の入力側に接続する。
出力側は一括されてＡ／Ｄ変換器８を経て過電流検出回
路９に配線され、また制御回路１０は切り替えスイッチ
７とＡ／Ｄ変換Ｗ８に接続される。マイクロプロセッサ
１２のバスＨには過電流検出回路９、制御回路１０．メ
モリ目およびアラーム回路１４が接続され、アラーム回
路１４よりＡＣ電源部１５の遮断′ｊＳ１５ａに配線接
続される。
路９に配線され、また制御回路１０は切り替えスイッチ
７とＡ／Ｄ変換Ｗ８に接続される。マイクロプロセッサ
１２のバスＨには過電流検出回路９、制御回路１０．メ
モリ目およびアラーム回路１４が接続され、アラーム回
路１４よりＡＣ電源部１５の遮断′ｊＳ１５ａに配線接
続される。
装置の動作を説明すると、各−次分岐配線２ａの電流値
はホール素子ｅＩ、［ｉ２，８３・・・・・・により計
測され、計測データはマイクロプロセッサＩ２の指令に
従って制御回路ＩＯにより切り替えスイッチ７が切り替
えられる。切り替えスイッチ７は電子回路により構成し
てサイクリックの周期を極力短くして、各配線の電流値
を遅延なく検出する。計測データは順次Ａ／Ｄ変換４８
に人力してデジタル化され、過電流検出回路９において
過電流が検出される。
はホール素子ｅＩ、［ｉ２，８３・・・・・・により計
測され、計測データはマイクロプロセッサＩ２の指令に
従って制御回路ＩＯにより切り替えスイッチ７が切り替
えられる。切り替えスイッチ７は電子回路により構成し
てサイクリックの周期を極力短くして、各配線の電流値
を遅延なく検出する。計測データは順次Ａ／Ｄ変換４８
に人力してデジタル化され、過電流検出回路９において
過電流が検出される。
過電流検出回路９はコンパレータにより構成して微小な
電圧変化が検出できるもので、予めメモリ１３に記憶さ
れている過電流に対する許容値をマイクロプロセッサ１
２により設定しておく。過電流が発生した瞬間に、過電
流信号がアラーム回路１４に転送されて警報ランプを点
灯しまたは警報ブザーを動作させ、同時に、遮断信号が
遮断３１５ａに転送されてＡＣ電源が遮断される。ここ
で、過電流に対する許容値を２段階として、大事に至ら
ない範囲の過電流に対しては警報のみに止め、それより
大きい過電流に対しては警報とともにＡＣ電源の遮断を
行うようにすることができる。
電圧変化が検出できるもので、予めメモリ１３に記憶さ
れている過電流に対する許容値をマイクロプロセッサ１
２により設定しておく。過電流が発生した瞬間に、過電
流信号がアラーム回路１４に転送されて警報ランプを点
灯しまたは警報ブザーを動作させ、同時に、遮断信号が
遮断３１５ａに転送されてＡＣ電源が遮断される。ここ
で、過電流に対する許容値を２段階として、大事に至ら
ない範囲の過電流に対しては警報のみに止め、それより
大きい過電流に対しては警報とともにＡＣ電源の遮断を
行うようにすることができる。
［発明の効果］
以上の説明により明らかなように、この発明によるＩＣ
テスターの電流監視装置においては、ホール素子電流計
が非接触方式であることに着眼し、これをＩＣテスター
の電源系統の各−次分岐配線にそれぞれ設け、内部抵抗
による電圧降下を生ずることな（電流を計測し、計測デ
ータをサイクリックに切り替えて監視して過電流が発生
したときは瞬時に警報を発し、同時にＡＣ電源を遮断し
て焼損事故を防止できるもので、ＩＣテスターの安全な
動作に寄与するところには大きいものがある。
テスターの電流監視装置においては、ホール素子電流計
が非接触方式であることに着眼し、これをＩＣテスター
の電源系統の各−次分岐配線にそれぞれ設け、内部抵抗
による電圧降下を生ずることな（電流を計測し、計測デ
ータをサイクリックに切り替えて監視して過電流が発生
したときは瞬時に警報を発し、同時にＡＣ電源を遮断し
て焼損事故を防止できるもので、ＩＣテスターの安全な
動作に寄与するところには大きいものがある。
第１図（ａ）はこの発明によるＩＣテスターの電流監視
装置に適用するホール素子電流計の外観図、第１図（ｂ
）はこの発明によるＩＣテスターの電流監視装置の実施
例におけるホール素子電流計の配線実装図、第２図はこ
の発明によるＩＣテスターの電流監視装置の実施例のブ
ロック構成図、第３図はＩＣテスターの電源配線系統図
である。 １・・・直流電源、１ａｔｔｂ・・・正および負極配線
、ＩＣ・・・端子盤、 ２ａ、２ｂ・・・−次分岐配
線、３・・・分電盤、 ３ａ、３ｂ・・・端子
、４・・・バックボード、 ４ａ・・・端子、５・・
・プラッタ、 ６ａ・・・ハウジング、 ６ｃ・・・励磁端子、 ６ｄ・・・出力端子、 ８・・・Ａ／Ｄ変換器、 １０・・・制御回路、 ■２・・・マイクロプロセ １４・・・アラーム回路、 １５ａ ・・・遮断器。 ６・・・ホール素子電流計、 ６ｂ・・・貫通孔、 ６ｅ・・・励磁配線、 ７・・・切り替えスイッチ、 ９・・・過電流検出回路、 １目・・・バス、 ッサ、１３・・・メモリ、 １５・・・ＡＣ７！ｉ源部、
装置に適用するホール素子電流計の外観図、第１図（ｂ
）はこの発明によるＩＣテスターの電流監視装置の実施
例におけるホール素子電流計の配線実装図、第２図はこ
の発明によるＩＣテスターの電流監視装置の実施例のブ
ロック構成図、第３図はＩＣテスターの電源配線系統図
である。 １・・・直流電源、１ａｔｔｂ・・・正および負極配線
、ＩＣ・・・端子盤、 ２ａ、２ｂ・・・−次分岐配
線、３・・・分電盤、 ３ａ、３ｂ・・・端子
、４・・・バックボード、 ４ａ・・・端子、５・・
・プラッタ、 ６ａ・・・ハウジング、 ６ｃ・・・励磁端子、 ６ｄ・・・出力端子、 ８・・・Ａ／Ｄ変換器、 １０・・・制御回路、 ■２・・・マイクロプロセ １４・・・アラーム回路、 １５ａ ・・・遮断器。 ６・・・ホール素子電流計、 ６ｂ・・・貫通孔、 ６ｅ・・・励磁配線、 ７・・・切り替えスイッチ、 ９・・・過電流検出回路、 １目・・・バス、 ッサ、１３・・・メモリ、 １５・・・ＡＣ７！ｉ源部、
Claims (1)
- 多数のＩＣチップを搭載して並列にテストするＩＣテス
ターの電流供給回路において、直流電源よりの供給電流
に対する一次分岐配線のそれぞれにホール素子よりなる
電流計（以下ホール素子電流計）を挿入し、マイクロプ
ロセッサにより制御され、該電流計の出力を順次切り替
える切り替えスイッチと、該マイクロプロセッサにより
予め設定された過電流に対する許容値に比較して上記各
一次分岐配線の過電流を検出する過電流検出回路、およ
び該過電流検出回路の出力する過電流信号によりアラー
ムを発生し、上記直流電源に対するＡＣ電源の遮断器に
対する遮断信号を出力するアラーム回路とにより構成さ
れたことを特徴とする、ＩＣテスターの電流監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1061359A JP2860794B2 (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | Ｉｃテスターの電流監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1061359A JP2860794B2 (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | Ｉｃテスターの電流監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02240582A true JPH02240582A (ja) | 1990-09-25 |
| JP2860794B2 JP2860794B2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=13168886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1061359A Expired - Lifetime JP2860794B2 (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 | Ｉｃテスターの電流監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2860794B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020165906A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 新東工業株式会社 | テストシステム及びテストヘッド |
| CN116189403A (zh) * | 2022-12-20 | 2023-05-30 | 紫光同芯微电子有限公司 | 用于测试报警感测器极限参数的方法及装置、电子设备 |
-
1989
- 1989-03-14 JP JP1061359A patent/JP2860794B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020165906A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 新東工業株式会社 | テストシステム及びテストヘッド |
| CN116189403A (zh) * | 2022-12-20 | 2023-05-30 | 紫光同芯微电子有限公司 | 用于测试报警感测器极限参数的方法及装置、电子设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2860794B2 (ja) | 1999-02-24 |
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