JPH0224209Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0224209Y2 JPH0224209Y2 JP1982095433U JP9543382U JPH0224209Y2 JP H0224209 Y2 JPH0224209 Y2 JP H0224209Y2 JP 1982095433 U JP1982095433 U JP 1982095433U JP 9543382 U JP9543382 U JP 9543382U JP H0224209 Y2 JPH0224209 Y2 JP H0224209Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- circuit
- supplied
- division
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は走査電子顕微鏡等の像信号処理回路に
関し、特に２種の信号の除算信号を像信号として
用いるようにした走査電子顕微鏡等の像信号処理
回路に関する。
関し、特に２種の信号の除算信号を像信号として
用いるようにした走査電子顕微鏡等の像信号処理
回路に関する。
走査電子顕微鏡においては二次電子信号、透過
電子信号、反射電子信号等の各種の検出信号が得
られるが、その内の２種の信号を除算回路に導
き、２種の信号の除算された信号を陰極線管に供
給して像を表示することが行われている。この場
合、除算回路は有限の出力電圧を有しているから
この値になると飽和状態となる。すなわち、除算
回路の分子と分母に入力される信号の大きさが適
切でないと、該回路は容易に飽和状態となり、除
算信号による像観察が不可能になつてしまう。従
来飽和状態となつた際には、その都度、オペレー
タは像を観察しながら分子あるいは分母に入力さ
れる信号の大きさを調整していたが、この作業は
甚だ面倒である。
電子信号、反射電子信号等の各種の検出信号が得
られるが、その内の２種の信号を除算回路に導
き、２種の信号の除算された信号を陰極線管に供
給して像を表示することが行われている。この場
合、除算回路は有限の出力電圧を有しているから
この値になると飽和状態となる。すなわち、除算
回路の分子と分母に入力される信号の大きさが適
切でないと、該回路は容易に飽和状態となり、除
算信号による像観察が不可能になつてしまう。従
来飽和状態となつた際には、その都度、オペレー
タは像を観察しながら分子あるいは分母に入力さ
れる信号の大きさを調整していたが、この作業は
甚だ面倒である。
本考案は上述した点に鑑みてなされたもので、
面倒な調整作業を伴わず、検出信号の変動によつ
ても、除算回路が飽和せず、良好な像観察を可能
とする走査電子顕微鏡等の像信号処理回路を提供
することを目的とする。
面倒な調整作業を伴わず、検出信号の変動によつ
ても、除算回路が飽和せず、良好な像観察を可能
とする走査電子顕微鏡等の像信号処理回路を提供
することを目的とする。
本考案に基づく走査電子顕微鏡等の像信号処理
回路は、試料への荷電粒子線の照射に伴い、該試
料から得られる２種の異つた情報信号を除算回路
によつて除算し、該除算信号を像信号として表示
装置へ供給するようにした像信号処理回路におい
て、該２種の信号の内少くともいずれか一方の信
号を信号強度可変手段を介して該除算回路に供給
し、該除算回路の出力信号を基準信号と比較する
比較手段を設け、該比較手段からの信号に応じて
該信号強度可変手段を制御し、該除算回路に供給
される該２種の異なつた情報信号の強度比を変化
させるように構成している。
回路は、試料への荷電粒子線の照射に伴い、該試
料から得られる２種の異つた情報信号を除算回路
によつて除算し、該除算信号を像信号として表示
装置へ供給するようにした像信号処理回路におい
て、該２種の信号の内少くともいずれか一方の信
号を信号強度可変手段を介して該除算回路に供給
し、該除算回路の出力信号を基準信号と比較する
比較手段を設け、該比較手段からの信号に応じて
該信号強度可変手段を制御し、該除算回路に供給
される該２種の異なつた情報信号の強度比を変化
させるように構成している。
以下本考案の一実施例を添付図面に基づき詳述
する。
する。
第１図は本考案の第１の実施例を示しており、
図中１及び２は像信号処理回路の入力端子であ
り、端子１には例えば二次電子検出信号が供給さ
れ、端子２には例えば反射電子検出信号が供給さ
れている。該端子１及び２は夫々減衰器３及び４
に供給され、任意の振幅に設定される。該減衰器
３及び４の出力は夫々可変減衰器５及び６に供給
される。該可変減衰器５の出力信号は除算回路７
の分子端子に供給され、他方の可変減衰器６の出
力信号はダイオードＤ及び抵抗R1及びR2の接続
点を経て除算回路７の分母端子に供給される。該
ダイオードＤ及び抵抗R1，R2は、可変減衰器６
の出力信号強度が零に近くなり、分子に比べて分
母が非常に小さくなつた場合に、該除算回路７の
出力が容易に飽和してしまうために、該除算回路
の分母入力が零になることを防ぐために設けられ
ている。該可変減衰器６の出力信号強度が抵抗
R1とR2との分割比で決められる電圧値以下とな
ると、該ダイオードＤは非導通状態となり、該除
算回路７の分母入力には該抵抗の分割比で決めら
れる電圧が印加される。該除算回路７の出力信号
は陰極線管（図示せず）に接続されている端子Ｔ
に供給されると共に比較回路８にも供給され、基
準電源９からの基準電圧と比較される。該比較回
路８は除算回路７の出力電圧が該基準電圧を越え
た時パルスを発生する。該パルスはカウンター１
０に供給されるが、該カウンター１０は供給され
たパルスに基づき前記可変減衰器５及び６の減衰
率を制御する。
図中１及び２は像信号処理回路の入力端子であ
り、端子１には例えば二次電子検出信号が供給さ
れ、端子２には例えば反射電子検出信号が供給さ
れている。該端子１及び２は夫々減衰器３及び４
に供給され、任意の振幅に設定される。該減衰器
３及び４の出力は夫々可変減衰器５及び６に供給
される。該可変減衰器５の出力信号は除算回路７
の分子端子に供給され、他方の可変減衰器６の出
力信号はダイオードＤ及び抵抗R1及びR2の接続
点を経て除算回路７の分母端子に供給される。該
ダイオードＤ及び抵抗R1，R2は、可変減衰器６
の出力信号強度が零に近くなり、分子に比べて分
母が非常に小さくなつた場合に、該除算回路７の
出力が容易に飽和してしまうために、該除算回路
の分母入力が零になることを防ぐために設けられ
ている。該可変減衰器６の出力信号強度が抵抗
R1とR2との分割比で決められる電圧値以下とな
ると、該ダイオードＤは非導通状態となり、該除
算回路７の分母入力には該抵抗の分割比で決めら
れる電圧が印加される。該除算回路７の出力信号
は陰極線管（図示せず）に接続されている端子Ｔ
に供給されると共に比較回路８にも供給され、基
準電源９からの基準電圧と比較される。該比較回
路８は除算回路７の出力電圧が該基準電圧を越え
た時パルスを発生する。該パルスはカウンター１
０に供給されるが、該カウンター１０は供給され
たパルスに基づき前記可変減衰器５及び６の減衰
率を制御する。
上述した如き構成において、まず減衰器３及び
４が手動で調整され、適宜なる強度の信号が除算
回路７に供給される。又、比較回路８に供給され
る基準電圧源からの基準電圧値は、除算回路７の
飽和電流値より若干低く設定される。このような
状態で像の観察が行われるが、端子１及び２に供
給される二次電子信号及び反射電子信号は試料状
態に応じて変化し、例えば、ある時点で二次電子
信号が強くなると、それに伴つて除算回路７の出
力電圧が高くなる。該回路７の電圧が基準電圧源
９からの電圧値以上となると該比較回路８からは
パルスが発生しカウンター１０に供給されるが該
カウンター１０は供給されたパルスに基づいて可
変減衰器５，６を制御する。該可変減衰器５はカ
ウンター１０にパルスが供給される毎に、所定量
ずつ該減衰率が高められるように制御され、可変
減衰器６はカウンター１０にパルスが供給される
毎に、所定量ずつ減衰率が低められる。その結
果、除算回路７は飽和せず、常に良好なる像観察
を行うことができる。
４が手動で調整され、適宜なる強度の信号が除算
回路７に供給される。又、比較回路８に供給され
る基準電圧源からの基準電圧値は、除算回路７の
飽和電流値より若干低く設定される。このような
状態で像の観察が行われるが、端子１及び２に供
給される二次電子信号及び反射電子信号は試料状
態に応じて変化し、例えば、ある時点で二次電子
信号が強くなると、それに伴つて除算回路７の出
力電圧が高くなる。該回路７の電圧が基準電圧源
９からの電圧値以上となると該比較回路８からは
パルスが発生しカウンター１０に供給されるが該
カウンター１０は供給されたパルスに基づいて可
変減衰器５，６を制御する。該可変減衰器５はカ
ウンター１０にパルスが供給される毎に、所定量
ずつ該減衰率が高められるように制御され、可変
減衰器６はカウンター１０にパルスが供給される
毎に、所定量ずつ減衰率が低められる。その結
果、除算回路７は飽和せず、常に良好なる像観察
を行うことができる。
第２図は本考案の他の実施例を示しており、第
１図の実施例と同一部分は同一番号を付し、その
詳細な説明を省略する。この実施例において除算
回路７の出力信号は比較回路８に供給されると共
に、第２の比較回路１１に供給される。該比較回
路１１は基準電圧源１２からの基準電圧値と該除
算回路７の出力電圧とを比較し、該除算回路７の
出力電圧が基準電圧より低くなつた際にパルスを
発生する。該比較回路１１はフリツプフロツプ回
路１３に接続されているが、該フリツプフロツプ
回路１３は比較回路１１からのパルスの供給を受
けてローレベル信号を発生し、又、走査信号発生
回路（図示せず）に接続された端子１４を介して
供給される走査画面の−フレーム終了毎の消去信
号によつてリセツトされる。該フリツプフロツプ
回路１３は端子１４からの消去信号が供給される
ゲート回路１５に接続されており、該消去信号は
該フリツプフロツプ回路の出力がハイレベルに維
持されている時にのみ該ゲート回路１５を通過し
てアツプダウン・カウンター１６のアツプ端子に
供給される。該カウンター１６のダウン端子には
比較回路８からのパルスが供給される。
１図の実施例と同一部分は同一番号を付し、その
詳細な説明を省略する。この実施例において除算
回路７の出力信号は比較回路８に供給されると共
に、第２の比較回路１１に供給される。該比較回
路１１は基準電圧源１２からの基準電圧値と該除
算回路７の出力電圧とを比較し、該除算回路７の
出力電圧が基準電圧より低くなつた際にパルスを
発生する。該比較回路１１はフリツプフロツプ回
路１３に接続されているが、該フリツプフロツプ
回路１３は比較回路１１からのパルスの供給を受
けてローレベル信号を発生し、又、走査信号発生
回路（図示せず）に接続された端子１４を介して
供給される走査画面の−フレーム終了毎の消去信
号によつてリセツトされる。該フリツプフロツプ
回路１３は端子１４からの消去信号が供給される
ゲート回路１５に接続されており、該消去信号は
該フリツプフロツプ回路の出力がハイレベルに維
持されている時にのみ該ゲート回路１５を通過し
てアツプダウン・カウンター１６のアツプ端子に
供給される。該カウンター１６のダウン端子には
比較回路８からのパルスが供給される。
上述した実施例は除算回路７の出力信号が小さ
くなつた場合に自動的にその出力を大きくするこ
とを可能とするもので、該基準電圧源１２の電圧
値は基準電圧源９の電圧値より低く設定されてい
る。該端子１４には第３図ａに示す走査信号発生
回路からの消去信号パルスP1が供給されており、
該除算回路７の出力が基準電圧源１２の電圧値以
上となると第３図ｂに示すパルスP2が比較回路
１１から発生する。該パルスP2の供給を受けフ
リツプフロツプ回路１３はローレベル信号を出力
し、その結果第３図ａの消去信号パルスP1はゲ
ード回路を通過することができずカウンター１６
の計数値に変化は無い。尚第３図ｃはフリツプフ
ロツプ回路１３の出力を、第３図ｄはゲート回路
１５の出力信号を示している。従つてこの状態で
は前記可変減衰器５，６による信号の減衰率にも
変化が無い。この状態の後、走査信号発生回路に
よる走査画面の１フレーム分の走査が終了し、消
去信号パルスが解除された直後にフリツプフロツ
プ回路１３はリセツトされ、その出力はハイレベ
ルとなる。一方１フレーム走査の内に除算回路７
の出力が継続して基準電圧値より低い場合には、
比較回路１１からはパルスが発生せず、従つてフ
リツプフロツプ回路１３の出力はハイレベルに維
持される。その結果、消去信号パルスはゲート回
路１５を通過し、カウンター１６のダウン端子に
供給され、その計数値を低くする。このカウンタ
ー１６の計数値が低くされたことに伴い、前記可
変減衰器５，６は制御され、該減衰器５は所定量
その減衰率が低くされ、減衰器６は所定量その減
衰率が高くされて、除算回路分子入力信号強度を
大きくし、分母入力信号強度を小さくして、結果
として除算回路出力を観察に適した信号レベルと
する。
くなつた場合に自動的にその出力を大きくするこ
とを可能とするもので、該基準電圧源１２の電圧
値は基準電圧源９の電圧値より低く設定されてい
る。該端子１４には第３図ａに示す走査信号発生
回路からの消去信号パルスP1が供給されており、
該除算回路７の出力が基準電圧源１２の電圧値以
上となると第３図ｂに示すパルスP2が比較回路
１１から発生する。該パルスP2の供給を受けフ
リツプフロツプ回路１３はローレベル信号を出力
し、その結果第３図ａの消去信号パルスP1はゲ
ード回路を通過することができずカウンター１６
の計数値に変化は無い。尚第３図ｃはフリツプフ
ロツプ回路１３の出力を、第３図ｄはゲート回路
１５の出力信号を示している。従つてこの状態で
は前記可変減衰器５，６による信号の減衰率にも
変化が無い。この状態の後、走査信号発生回路に
よる走査画面の１フレーム分の走査が終了し、消
去信号パルスが解除された直後にフリツプフロツ
プ回路１３はリセツトされ、その出力はハイレベ
ルとなる。一方１フレーム走査の内に除算回路７
の出力が継続して基準電圧値より低い場合には、
比較回路１１からはパルスが発生せず、従つてフ
リツプフロツプ回路１３の出力はハイレベルに維
持される。その結果、消去信号パルスはゲート回
路１５を通過し、カウンター１６のダウン端子に
供給され、その計数値を低くする。このカウンタ
ー１６の計数値が低くされたことに伴い、前記可
変減衰器５，６は制御され、該減衰器５は所定量
その減衰率が低くされ、減衰器６は所定量その減
衰率が高くされて、除算回路分子入力信号強度を
大きくし、分母入力信号強度を小さくして、結果
として除算回路出力を観察に適した信号レベルと
する。
以上本考案を詳述したが本考案は簡単な構成に
より観察に適した像信号を陰極線管の如き表示装
置に供給することができる。尚、本考案は上述し
た実施例に限定されることなく幾多の変形が可能
である。例えば、除算回路に供給される２種の信
号強度を共に制御するように構成したが、一方の
信号のみ制御しても良い。又走査電子顕微鏡を例
に本考案を説明したが、他の荷電粒子線装置にも
本考案を適用し得る。
より観察に適した像信号を陰極線管の如き表示装
置に供給することができる。尚、本考案は上述し
た実施例に限定されることなく幾多の変形が可能
である。例えば、除算回路に供給される２種の信
号強度を共に制御するように構成したが、一方の
信号のみ制御しても良い。又走査電子顕微鏡を例
に本考案を説明したが、他の荷電粒子線装置にも
本考案を適用し得る。
第１図及び第２図は夫々本考案の一実施例を示
すブロツク図、第３図は第２図に示した実施例を
説明するための信号波形を示す図である。 ３，４：減衰器、５，６：可変減衰器、７：除
算回路、８：比較回路、９：基準電圧源、１０：
カウンター。
すブロツク図、第３図は第２図に示した実施例を
説明するための信号波形を示す図である。 ３，４：減衰器、５，６：可変減衰器、７：除
算回路、８：比較回路、９：基準電圧源、１０：
カウンター。
Claims (1)
- 試料への荷電粒子線の照射に伴い、該試料から
得られる２種の異なつた情報信号を除算回路によ
つて除算し、該除算信号を像信号として表示装置
へ供給するようにした像信号処理回路において、
該２種の信号の内少なくともいずれか一方の信号
を信号強度可変手段を介して該除算回路に供給
し、該除算回路の出力信号を基準信号と比較する
比較手段を設け、該比較手段からの信号に応じて
該信号強度可変手段を制御し、該除算回路に供給
される該２種の異なつた情報信号の強度比を変化
させるように構成した像信号処理回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9543382U JPS59261U (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 像信号処理回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9543382U JPS59261U (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 像信号処理回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59261U JPS59261U (ja) | 1984-01-05 |
| JPH0224209Y2 true JPH0224209Y2 (ja) | 1990-07-03 |
Family
ID=30227902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9543382U Granted JPS59261U (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 像信号処理回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59261U (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5586059A (en) * | 1978-12-25 | 1980-06-28 | Hitachi Ltd | Ion micro analyser |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP9543382U patent/JPS59261U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59261U (ja) | 1984-01-05 |
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