JPH02242217A - 一定速度スキャニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、大略、光学的スキャニング装置に関するもの
であって、更に詳細には、ミラーなどのような反射器を
使用すると共に使用及び摩耗によって劣化するか又はス
キャニング性能を劣化することのある最小数の可動の機
械的部品を使用する一定速度スキャニング装置に関する
ものである。

従来技術 機械的リンク機構に依存する現在の迅速に振動される光
学的スキャニングミラーは、そのスキャニングミラーに
関連する質量に起因する過剰な慣性反作用力及びコンプ
ライアンスの影響を受ける。

直ぐに着想する解決方法は、スキャニングミラーの動作
に絶対的に必要でない全ての質量を除去することである
が、これらの質量を除去する態様が本発明の概念に関す
るものである。ミラーの振動行程の主要部分に亘っての
一定な角速度を得るためには、ミラーは角度方向におい
て減速され、停止され且つスキャンサイクルの実際的に
最小部分において反対方向に加速され且つスキャンサイ
クルの実際的に最大の部分において基本的に外力を受け
ることがないようにせねばならない。本発明においては
、このことは、短いストローク（行程）のスプリングの
インパルス運動量の逆転によって実施される。スキャニ
ングサイクルの一定速度部分の間に発生するエネルギ損
失は、ピエゾアクチュエータ即ちスラスト発生手段によ
って置換される。

一定速度の線形スキャニングを行なう光学的スキャニン
グ装置は、多くの異なった適用場面を有している。最も
一般的な適用場面はテレビである。

非常に大きなスクリーンのテレビ用の現在の投影器は現
在のところ電子的スキャニングを使用して実現されてい
るが、本発明の機械的振動反射装置を代用させることが
可能である。ビーム偏向用に検流計が一般的に使用され
るが、この場合、スキャニングは典型的に正弦波である
。一定速度で非常に大きな角度に亘ってスキャニングす
る本発明のスキャニング装置の能力は、従来の装置と比
べてその適用場面を著しく増大させている。更に、本発
明の概念は、ピエゾアクチュエータが６自由度の全てに
おけるミラー運動を制御するマイクロＧ環境において使
用することを可能としている。

この様な場合、軸受のエネルギ損失を除去することが可
能であり、且つ本発明のスキャニング装置は現在のスキ
ャニング装置と比較して改良を与えることが可能なもの
である。

目　　的 本発明は、以上の点に鑑みなされたものであって、上述
した如き従来技術の欠点を解消し、改良した光学的スキ
ャニング反射器を提供することを目的とする。

実施例 以下、添付の図面を参考に、本発明の具体的実施の態様
について詳細に説明する。

第１図において、主要な支持フレーム１０は、付加的支
持部材１２などを有しており、その上に種々のピエゾ電
気乃至はその他のインパルス発生装置１４，１６．１８
，２０．２２などが装着されている。図示した実施例に
おいては、更に３個の付加的なピエゾ電気装置が設けら
れているかそれらは図示されていない。支持部材２６と
共に付加的な支持部材２４は、ミラー乃至は反射手段２
８に対する担持乃至は軸受支持体として作用する。

ミラー乃至は反射手段２８は、外側フレーム３０を有し
ており、それは複数個のエラストマー、スプリング手段
乃至はバンパー手段３２を有しており、そのうちの３個
が示されている。ピエゾ電気スラスト手段１４乃至２２
は、第３図に示した如く、多要素装置である。装置の使
用状態により、担持用支持手段２４及び２６は、単に、
ミラーを・休止位置に保持するか又は動作中に担持用の
支持を与えるものとすることが可能である。これらの担
持体が使用される態様は、適用場面及びピエゾ電気要素
及びスラストアクチュエータ手段を制御するソフトウェ
アの出来具合に依存する。詳細に示してはいないが、別
の装置３４は、スキャニング運動を開始するために反射
手段に対して初期的なキックを与えるべく動作する。こ
れは、例えばソレノイドなどのような任意のタイプの開
始装置とすることが可能である。更に注意すべきことで
あるが、スラストを供給する最も望ましい態様は、無限
の数のスラスト供給装置から適宜の時間にミラーの全表
面へスラストを印加することである。

このことは、ミラー装置内で発生する振動をほぼ完全に
最小とする。この様な振動は、しばしば、完全物体イン
パルス振動ＣｆｕｌｌＤ　　ｂｏｄｙｉｍｐｕｇｓｅ　
　ｖｉｂｒａｔｉｏｎ）と呼称されることがある。第１
図に示したものと同様な装置に対する実際的に最小数の
スラスト装置は、４個であり、これらの装置は担持用支
持体２４と２６との間のミラーの中間点に装着される。

しかしながら、これらのスラスト印加条件の下では、該
ミラーは、スキャニングサイクルの一定速度の部分に対
しての実質的に振動のない態様に落ち着くまでにそのス
キャニングサイクルのかなりの部分を必要とする。

第２図において、自由物体環境におけるスキャニング装
置を簡略化して示しである。この様な状態において、ミ
ラーが包囲部材５０及び５２の間に止どまるようにミラ
ーに対して６個の運動方向においてスラストを与えるた
めには少なくとも８個のスラスト印加装置が必要となる
。反射手段乃至はミラー５４は、大略、要素５０と５２
との間に示されており、且つ該ミラーは、前に第１図に
関して示した如く、コンタクト手段乃至は短いストロー
クのスプリング手段５６を有している。ミラー５４の表
面上には適宜の位置にマークが付けられており、従って
位置検知手段５８．６０．６２などが、三つの軸の各々
における位置情報を検知することが可能であり、従って
包囲要素５０及び５２に関してミラーの六つの運動方向
における位置情報が検知される。第１図のものと類似し
た態様において、短いストロークのスプリング手段５６
とコンタクトするための複数個のピエゾ電気スラスト装
置６４が示されている。

第３図において、第２図のピエゾ電気要素６４が更に詳
細に示されており、それは三つのセクショ＞７０．７２
．７４を有している。セクション７０は、主ミラーイン
パルス印加に対して方向７６において作用する。セクシ
ョン７２は、方向７８において作用し、ミラー５４に対
して垂直な速度成分を印加し、一方セクション７４は方
向８０において作用し、ミラー５４に対して横方向の速
度を印加する。セクション７０乃至７４の各々は、互い
自接着されると共に、第２図の支持体５０乃至は５２に
対して接着されている。セクション７０は、剪断変形態
様で動作されるシート状ピエゾ電気要素を有することが
可能である。電気信号を印加すると、方向７６における
動作を発生する。

一方、この要素は、厚さ又は長さにおける変形を与える
ように設計することも可能である。同様の設計考慮が要
素７２及び７４に対しても適用することが可能であり、
それにより所望の方向におけるスラストを与えることが
可能である。アクチュエータ６４のこれら三つのセクシ
ョンによって供給されるスラストは、ベクトル的に加え
られ、セクション７０のインパクト表面はセクション７
２及び７４の両方によって影響を受ける。

当業者にとって公知の如く、ピエゾ電気要素は、エネル
ギを印加する場合とエネルギを検知する場合の両方に使
用することが可能である。従って、これらの同一の要素
は、力又は大きさに関する信号及び第２図のパッド５６
の一つとピエゾ電気要素６４との間でコンタクトがなさ
れた後のスキャンサイクルの終了時においてミラーが減
速する場合に供給されるインパクトの方向に関する信号
を供給するために使用することが可能である。

第４図は、第１図、第２図又は第５図の装置の動作を示
した概略ブロック図である。ミラーは大略９０で示して
あり、且つ該ミラーの位置は１個又はそれ以上の位置セ
ンサ９２によって検知され、該センサは、第２図の場合
においては、三つの軸の各々に対しての位置情報を与え
るものである。

第１図の実施例における場合のように完全な担持用支持
体が設けられる場合には、位置センサ９４が必要でない
場合もある。位置センサ９２は、制御器ブロック９４へ
信号を供給し、制御器ブロック９４は、スイッチ回路１
００を介してアクチュエータ９８から受取られるような
信号条件骨は手段９６から信号を受取る。アクチュエー
タ９８は、前述した如く複数個のアクチュエータ要素を
有しており、且つスイッチ回路は、スキャニングサイク
ルの減速部分の間にアクチュエータから制御器９４へ信
号を供給すべく動作し且つミラースキャニングサイクル
の加速期間中にパワーアンプブロック１０２を介して制
御器９４からの信号を適宜のアクチュエータへ供給すべ
く動作する。スキャニング周波数などのパラメータが制
御器９４ヘリード１０４を介して供給される。第５図の
実施例においては、別の外部信号は、位置決め手段１２
４へ供給されるスキャニング角度信号である場合がある
。

第５図において、ミラー１１０は、担持用支持体１１２
と１１４との間に装着されている。支持体１１２及び１
１４の間の支柱は、複数個のピエゾ電気アクチュエータ
１１６に対する支持体を与えるために使用されている。

別の組の支持手段１１８が、支持要素１１４及び１１２
へ接続されており、別のピエゾ電気アクチュエータ１２
０に対する矩形状のフレームを与えている。アクチュエ
−タ１１６及び１２０は前述した態様でパッド１２２と
作用する。第５図の実施例において付加された主要な要
素は位置決め手段１２４であり、それは、回動手段１２
ｂにおいて二つの支持体フレームの回動装着部を介して
スラスト手段１１６と１２０との間の角度距離を変化さ
せるために使用される。

第５図の実施例は、ミラースキャニング周波数を変化さ
せることを可能とするのみならず、スキャニングされる
角度を偏向することを可能としている。実際には制限さ
れたスキャニング角度が必要であるに過ぎない場合には
、高いスキャニング周波数を得ることが可能であり、一
方位置決め手段１２０を使用することにより支持体間の
距離を減少するだけでアクチュエータから要求されるス
ラストを最小とすることが可能である。これは、動作速
度を増加することなしにスキャニング周波数を増加させ
るという初期の目的を達成するものである。注意すべき
ことであるが、振動減衰条件を最小とするためにスラス
ト量を最小とすることが望ましい。

動作について説明すると、前述した如く、機械的スキャ
ニング装置に対する最善の解決方法は、スキャニング装
置の動作に絶対的に必要でない全ての質量を除去し且つ
担持体又は気擦から発生する運動抵抗を除去することで
ある。このことを達成するためには、スキャニング装置
乃至はミラーは、可及的に［自由物体（ｆ　ｒｅｅ　　
ｂｏｄｙ）Ｊ（担持体なし）とせねばならず、且つ自由
物体態様においては、６個の自由度の全てにおいて制御
がなされねばならない。スキャニング装置の振動ストロ
ーク（行程）の主要部分に亘って一定の角速度を得るた
めには、この装置は、角度的に減速され、停止され且つ
実際的に最小の時間で反対方向に加速されねばならない
。スキャニング装置を真空中で動作させることにより気
擦を最小とすることが可能である。

ミラー２８に対する担持用支持体を使用する第１図の実
施例について説明すると、作動の前にミラーが休止位置
にあると、例えば３２などのようなエネルギ吸収・解除
コンタクトが実際にピエゾ電気要素１４乃至２２の一つ
とコンタクトしていない限り、この基本的概念はスキャ
ニング機構をスタートさせることができない。従って、
何らかの運動を開始する手段が使用されねばならず、こ
のことはブロック３４として示しである。この開始機構
は、例えばガスの噴流、静電界又は電磁界の印加、機械
的衝撃付与器、又は動作中でない場合に回転位置の一方
の限界位置にミラーを保持するのにちょうど十分な弱い
引張りスプリングなどのような種々の供給源の何れかと
することが可能である。コンタクト３４と例えば１４な
どのそれらの適宜の対応するアクチュエータとの間の最
初のコンタクトが発生すると、該アクチュエータは、所
望ａスキャニング速度が得られるまで、ミラーを段々と
増大する周波数で角度方向に加速することが可能である
。

パッド３２は、複数個の機能を達成する。該パッドは、
まず、ピエゾ要素１４乃至２２とのインパクト即ち衝撃
による反射器機構２８をショック損傷から保護する。パ
ッドは、ミラーフレーム３２がこれらのコンタクトによ
って変形されることを防止する。更に、且つより重要な
点であるが、パッド３２は、インパクトにより圧縮され
次いで伸長して最初にミラーを減速し、該ミラーを停止
させ、次いで運動エネルギの損失が最小の状態で反対方
向に加速することによってインパルス運動量の逆転を行
なう機能を有している。

減速過程期間中、第４図のスイッチ１００は、第１図の
ピエゾ電気要素２０が信号条件付は器９６を介して制御
器９４へ信号を供給し、インパクトの開始時その強度及
びそのインパクトの成分のベクトル分布に関する情報を
供給状態となる。ミラーがほぼ運動を停止する時に、ス
イッチ回路１００は、制御器９４からの信号に応答して
内部的接続を変化させ次いで制御器９４からパワーアン
プ１０２及びスイッチ１００を介して第４図における９
８などのようなピエゾ電気アクチュエータへ信号が供給
され、ピエゾ電気の適宜のものへエネルギが供給されて
、適宜のベクトル方向及び適宜の量のエネルギを供給し
、パッド３２におけるエネルギ損失、免振損失及び担持
損失を補償する。

このエネルギ供給は、第４図においては、制御器９４の
パルス整形器部分によって表わされており、その場合、
スリューレートみ、電圧加速ｅ及び可変振幅電圧ｅがパ
ルス整形器回路において結合されてアクチュエータ９８
へ印加される合成信号を発生する。第１図の担持用支持
体２４及び２６内の担持体が真の高品質担持体であるよ
りも初期的位置決め用のものである場合には、該ピエゾ
電気要素は、付加的に、重力に対する補償を行なうため
の付加的なベクトル的情報を供給することが可能である
。

ミラー２８が真空中に位置されておりその免振損失が最
小であり、且つ担持用支持体２４及び２６が主に非動作
条件にある間及び始動期間中にミラーを保持するために
構成されている場合には、１４などのようなピエゾ電気
アクチュエータの各々は、スキャニング運動を継続する
一方担持用支持体２４及び２６によって許容される可能
な垂直運動の限界の間にミラーを基本的にフローティン
グした状態に維持するためには、ミラーの可能な６個の
運動方向のうちの五つの方向においてスラストを供給せ
ねばならない。この制御を達成するためには、第２図の
５８．６０．６２などのような位置センサは、第１図の
機構内に組込むことが必要であり、且つ三つの運動軸の
各々における位置に関しての情報を制御器９４へ供給す
ることが必要である。第４図において、本発明の概念の
この部分は、ミラー９０からの位置情報を受取り且つ制
御器９４へ位置情報を供給する位置センサブロック９２
によって示されている。

第２図の５８乃至６２によって示されるような位置検知
手段は、任意の非接触型横方向位置検知手段とすること
が可能である。その−例として米国特許箱４，７４６，
２１７号に記載されるものを使用することが可能である
。

好適な実施例においては第１図、第２図及び第５図にお
いて示されるように８個のアクチュエータを使用するも
のであるが、第１図に示した如く適宜の担持体を使用し
た場合には、４個のアクチュエータを中間面上に位置さ
せることが可能である。４個のアクチュエータの構成は
、ミラーの運動の６個の自由度の全てに対する十分な制
御を与えるものではないが、ある適用場面においては満
足のゆく動作を与えるものである。しかしながら、アク
チュエータの数が減少すると、正確なスキャニングを得
ることが不可能な振動期間が長くなる可能性がある。無
限の数のアクチュエータを設けた場合には、ミラーに対
する力を均等に分布させ、且つ振動の問題を低下させる
ことが可能である。

換言すると、インパクトによって発生される振動及びミ
ラーの歪は、スラストの分布を均等とするアクチュエー
タの数が増加すると直接的に減少する。

パッド３２のために使用される物質及びミラー１４をフ
レーム３０内に装着するための物質は、ダンピング即ち
振動減衰の観点から極めて重要である。本装置のこれら
の二つの部分に対するダンピング物質は、振動を抑圧す
ることによりインパクト間の一定角速度に提供されるべ
き時間の割合に影響を与え、各インパクトの後のミラー
の光学的画像における変化は減少されるか又は除去され
る。

別の電気的な実施例は、第４図のパワーアンプを一定電
位のセグメント化供給源で置換し、且つ制御器、のパル
ス整形回路を正弦指数時間計算用成分と置換する。例え
ばバッテリーセルなどのような電位セグメントは、制御
器によって決定される時間においてスイッチ回路により
任意の所望の結合状態でピエゾアクチュエータ部分へ接
続される。

更に、アクチュエータのピエゾ電気部分は、独立的に電
気的にアドレス可能なセグメント（層）を有しており、
前記ピエゾ電気セグメントの任意の組合わせは、任意の
組合わせの電位セグメントへスイッチング的に接続させ
ることが可能であり、その際に電位の任意の所望の時間
関数の部分的近似を発生する。タイミング計算は、ピエ
ゾ電気セグメントへ転送されるか又はそれから除去され
る電荷の時間に関する正弦指数変化を有しており、各セ
グメントは主にコンデンサとして作用し、且つそれは電
気的部品及びそれらを接続する配線の小さな値の本質的
な抵抗及びインダクタンスに起因する。前述した本発明
の実際的な実施例の抵抗及びインダクタンスはそれらの
値が小さく、従って正弦指数的挙動を発生する。セグメ
ント化した供給源及び主にリアクティブな負荷セグメン
トをスイッチングすることによる部分的信号近似の主要
な利点は、実際にリニアアンプを使用することなしにリ
ニアアンプの機能を充足することであり、一方第二の利
点は、動作速度に関するものであり、その速度は、リニ
アアンプによって駆動される場合よりも部品が直接接続
されている場合には常により速いものである。

第１図の５６のような理想的に弾性的なリバウンド即ち
弾性装置は、スキャニング期間中無視可能なエネルギを
散逸させ、従ってインパクト及びリバウンドの期間中ア
クチュエータのコンタクト表面がミラーに追従すること
を必要とする。電気的装置の変形例は、力センサとして
各インパクトの期間中中断なしに機能する各アクチュエ
ータの別々に電気的にアドレス可能なピエゾ電気部分を
有しており、且つ前記電位供給源及び電位制御手段によ
って中断されることなく制御される各アクチュエータの
独立的に電気的にアドレス可能な部分を有しており、そ
の利点は、インパクトによりミラーの速度とマツチする
速度を各ピエゾ電気アクチュエータへ印加することによ
って発生されるインパクトの開始の後で且つゼロミラー
速度が得られるまでミラーの一定の減速を維持すること
により得られるインパクトの最大力を減少することによ
り応力反転による疲労に露呈される装置の部品の寿命が
延長されることである。同様に、方向変換の後にミラー
へ印加される加速の制御された一定値は、各サイクルの
リバウンド部分の期間中における最大力を減少させ、且
つコンタクトが終了する際にアクチュエータ速度がミラ
ーの速度とマツチングする場合には基本的にゼロの力と
なる。

弾性インパクトパッドのスプリング特性は、減速及び加
速の速度計算に組込まれている。このことは、ヘルツ効
果即ち点状インパクトコンタクトと関連するインパクト
の非線形力を回避する。本発明の自由物体変形例は、連
続したスキャニングのために極めて小さな量のエネルギ
を必要とする。

即ち、それは、インパクト近傍における物質及び装置全
体のヒステリシスを介して失われるエネルギである。ス
キャニング部材に対する一定の加速及び一定の減速を印
加することにより、必要とされる最大力を減少すること
によりヒステリシスエネルギ損失が減少され、その利点
は、電気的に効率の高い装置が提供され、疲労応力が減
少された分有効寿命が延長されることである。その他の
利点は、音響的により静かな動作となり、且つ制御して
いない非線形インパクト加速の下で発生するミラニーの
不所望な構造的振動を励起することが減少されることで
ある。

要するに、本発明は、実質的に自由物体のミラースキャ
ニング装置を使用する概念に基づくものであって、それ
は、スキャニング運動を開始した後においては、ピエゾ
電気アクチュエータを使用してインパクト時間を検知す
ると共にミラーとアクチュエータとのインパクトの方向
を検知し、次いでスキャニング物体が停止した後に、同
一のアクチュエータを使用して適宜の方向において且つ
適宜の大きさで力をミラーに付与して、スキャニング運
動の次の半サイクルを完了する。このスキャニングミラ
ーは、担持体の摩擦、免振などのような種々の損失の大
きさの逆関数として所望の目的である「一定速度Ｊを達
成する。パッド５６が短いストロークのスプリングの効
果を与えるために使用される場合には、減速エネルギが
一時的に格納され次いでスキャニング動作の次の半サイ
クルに対してミラーを「一定速度」へ復帰させるための
力の一部を発生するために使用される。このことは、ピ
エゾ電気アクチュエータのエネルギ条件を減少させてい
る。制御器９４によってアクチュエータへ供給される信
号は、第２図の如き実施例が使用される場合には一層複
雑となる。その場合には、アクチュエータはスキャニン
グ運動を発生するのみならず、重力の影響に対してミラ
ーを支持するためにも使用されるからである。本発明の
概念を大気圏外空間におけるマイクロＧ環境において使
用する場合においても、補償することが必要となるある
程度の重力の影響が存在している。

第２図の位置検知器５８乃至６２又は第４図における位
置検知器９２は、この重力補償情報を与えるための情報
を制御器９４へ供給し、更にその支持体に関してミラー
５４の関係を変化させることのあるようなその他の力も
、センサ及び制御器によって考慮に入れられ、ミラーを
そのスキャニングモードにおける平衡状態に維持する。

以上、本発明の具体的実施の態様について詳細に説明し
たが、本発明はこれら具体例に限定されるべきものでは
なく、本発明の技術的範囲を逸脱することなしに種々の
変形が可能であることは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は通常の重力状態又はマイクロＧ重力状態の両方
において使用するために支持体内に装着したスキャニン
グミラーの機械的部分を示した概略図、第２図は大気圏
外空間即ちマイクロＧ環境において使用するためのスキ
ャニング装置の機械的部分を示した概略図、第３図は第
１図及び第２図において使用するピエゾ電気アクチュエ
ータの一実施例を示した概略図、第４図はスキャニング
ミラーシステムを一定速度に維持するための制御回路の
接続状態を示した概略電気ブロック図、第５図はミラー
の移動限界間の距離を変化させることが可能であり従っ
てスキャン角度を調節することが可能な本発明の別の実
施例を示した概略図、である。 （符号の説明） １０：支持フレーム １４．１６．１８，２０．２２ ＝インパルス発生装置 ２４．２６：支持部材 ２８：ミラー（反射手段） ３０：外側フレーム ３２：バンパー手段 ＦＩＧ、　５ ＦＩＧ、　３

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ベース支持手段、前記支持手段に回動自在に取付け
   られており与えられた角度限界内で実質的に一定の速度
   のスキャニングサイクルで動作し且つ前記ベース支持手
   段と相対的なミラーの回動位置情報を検知することを容
   易とするためのインデックスを具備するミラー手段、ス
   キャンサイクルの与えられた半分においてその移動限界
   における前記ミラー手段のインパクトを測定し且つ前記
   スキャンサイクルの他の半分において前記ミラー手段を
   その設計速度へ復帰させるために適宜のスラストを前記
   ミラー手段へ供給するための複数個のインパクト検知手
   段及び調節可能なスラスト供給手段、前記ベース支持手
   段と相対的に静止位置に装着されており前記ベース支持
   手段と相対的な前記ミラー手段の角度位置を表わす位置
   信号を供給するための位置検知手段、前記インパクト検
   知手段及び前記位置検知手段に接続されておりそれらか
   ら位置情報及びインパクト情報を受取り且つ前記スラス
   ト供給手段へスラスト信号を供給して前記ミラー手段の
   運動を制御しその際に与えられた運動範囲に亘って前記
   ミラー手段の実質的に一定なスキャン速度を与える制御
   手段、を有することを特徴とするミラースキャニング装
   置。 ２、与えられた角度限界間を実質的に一定速度のスキャ
   ニングサイクルで動作し且つ前記角度限界と相対的な前
   記ミラーの回動位置情報の検知を容易化するためのイン
   デックスを具備する回動可能に装着されたミラー手段、
   スキャンサイクルの与えられた半分においてその移動限
   界における前記ミラー手段のインパクトを測定し且つ前
   記スキャンサイクルの他の半分において前記ミラー手段
   をその設計速度へ復帰させるために前記ミラー手段へ適
   宜のスラストを供給するための複数個のインパクト検知
   手段及び調節可能のスラスト供給手段、前記ミラー手段
   と相対的に静止位置に装着されており前記ミラー手段の
   角度位置を表わす位置信号を供給するための位置検知手
   段、前記インパクト検知手段及び前記位置検知手段へ接
   続されておりそれらから位置情報及びインパクト情報を
   受取り且つ前記スラスト供給手段へスラスト信号を供給
   して前記ミラー手段の運動を制御しその際に与えられた
   運動範囲に亘って前記ミラー手段の実質的に一定なスキ
   ャン速度を与える制御手段、を有することを特徴とする
   ミラースキャニング装置。 ３、与えられた角度限界間において実質的に一定な速度
   のスキャニングサイクルにおいて動作し且つ前記角度限
   界と相対的な反射器手段の回動位置情報の検知を容易と
   するためのインデックスを具備する回動自在に装着され
   た反射器手段、スキャンサイクルの各半分におけるその
   移動限界における前記反射器手段のインパクトを測定す
   るための複数個のインパクト検知手段、前記スキャンサ
   イクルの各半分の残りの半分の主要部において前記反射
   器手段をその設計速度へ復帰するために前記反射器手段
   へ適宜のスラストを供給するための複数個のスラスト供
   給手段、前記反射器手段の角度位置を表わす出力位置信
   号を供給するための位置検知手段、前記インパクト検知
   手段及び前記位置検知手段へ接続されておりそれらから
   位置情報及びインパクト情報を受取り且つ前記スラスト
   供給手段へスラスト信号を供給して前記反射器手段の運
   動を制御しその際に与えられた運動範囲に亘って前記反
   射器手段の実質的に一定なスキャン速度を与える制御手
   段、を有することを特徴とする信号反射性スキャニング
   装置。 ４、与えられた角度限界間において実質的に一定速度の
   スキャニングサイクルで動作するための回動自在に装着
   した反射器手段、スキャンサイクルの各半分における移
   動限界において前記反射器手段のインパクトを測定する
   ための複数個のインパクト検知手段、前記反射器手段の
   角度位置を表わす位置信号を供給する位置検知手段、適
   宜の大きさで且つ適宜の方向のスラストを前記反射器手
   段へ供給しそれに供給した信号に応答してスキャンサイ
   クルの各半分の主要部において前記反射器手段をその設
   計速度及び速度位置へ復帰させる複数個のスラスト供給
   手段、前記インパクト検知手段及び前記位置検知手段へ
   接続されておりそれらから位置情報及びインパクト情報
   を受取り且つスラスト信号を前記スラスト供給手段へ供
   給して前記反射器手段の運動の方向及び速度を制御しそ
   の際に運動サイクルの与えられた部分に亘って前記反射
   器手段の実質的に一定なスキャン速度を与える制御手段
   、を有することを特徴とする信号反射性スキャニング装
   置。 ５、与えられた角度限界間において実質的に一定速度の
   スキャンサイクルで動作するための回動自在に装着され
   た反射器手段、スキャンサイクルの各半分におけるその
   移動限界において前記反射器手段のインパクトを測定す
   るための複数個のインパクト検知手段、前記反射器手段
   の角度位置を表わす位置信号を供給するための位置検知
   手段、前記反射器手段の両側に位置しており且つ角度的
   に離隔されており適宜の大きさ及び適宜の方向のスラス
   トを前記反射器手段へ供給してそれに供給される信号に
   応答してスキャンサイクルの各半分の主要部に対して前
   記反射器手段をその設計速度及び角度位置へ復帰させる
   複数対のスラスト供給手段、前記複数対のスラスト供給
   手段の間に接続されており前記反射器手段を反対方向に
   加速するために動作する協動対従って前記反射器手段の
   動作角度限界間の角度間隔距離を調節する調節手段、前
   記インパクト検知手段及び前記位置検知手段へ接続され
   ておりそれらから位置情報及びインパクト情報を受取り
   且つ前記スラスト供給手段へスラスト信号を供給して前
   記反射器手段の運動の方向及び速度を制御しその際に移
   動サイクルの与えられた部分に亘って前記反射器手段の
   実質的に一定なスキャン速度を与える制御手段、を有す
   ることを特徴とする信号反射性スキャニング装置。 ６、与えられた角度限界間において実質的に一定な速度
   のスキャンサイクルで動作する反射器手段、移動限界に
   おいて前記反射器手段のインパクトを測定するインパク
   ト検知手段、前記反射器手段の角度位置を表わす位置信
   号を供給する位置検知手段、供給される信号に応答して
   スキャンサイクルの各半分の主要部において前記反射器
   手段をその設計速度及び角度位置へ復帰させるためにス
   ラストを供給するための複数個のスラスト供給手段、前
   記インパクト検知手段及び前記位置検知手段へ接続され
   ておりそれらからの位置情報及びインパクト情報を受取
   り且つ前記スラスト供給手段へスラスト信号を供給して
   前記反射器手段の運動方向及び速度を制御しその際にス
   キャンサイクルの与えられた部分に亘って前記反射器手
   段の実質的に一定なスキャン速度を与える制御手段、を
   有することを特徴とする信号反射性スキャニング装置。 ７、少なくとも二対の離隔した可変インパルス発生手段
   を具備する支持手段、前記対のインパルス発生手段のう
   ちの一対の間隔によって限界が決定される有限運動円弧
   における第一軸の回りを回転すべく回動自在に装着され
   ている信号反射手段、前記支持手段の一部を有しており
   且つ前記可変インパルス発生手段へ接続されており前記
   反射手段の前記インパルス発生手段とのコンタクト間の
   時間を決定するコンタクト検知手段、前記コンタクト検
   知手段と前記インパルス発生手段との間に接続されてお
   り前記インパルス発生手段によって供給される各インパ
   ルスのエネルギを変化させて前記インパルス発生手段と
   の前記反射手段のコンタクト間の時間を所定の値に維持
   する制御手段、を有することを特徴とする光学的スキャ
   ニング装置。 ８、離隔されている可変のインパルス発生手段、前記イ
   ンパルス発生手段の間隔によって限界が決定される有限
   運動円弧における第一軸の回りに回転可能な信号反射手
   段、前記可変インパルス発生手段の一部を具備しており
   前記反射手段の前記インパルス発生手段とのコンタクト
   間の時間を決定するコンタクト検知手段、前記コンタク
   ト検知手段及び前記インパルス発生手段へ接続されてお
   り前記インパルス発生手段によって与えられる各インパ
   ルスのエネルギを変化させて前記反射手段の前記インパ
   ルス発生手段とのコンタクトの間の時間を所定値に維持
   する制御手段、を有することを特徴とするスキャニング
   装置。 ９、与えられた角度限界間を実質的に一定速度のスキャ
   ニングサイクルで動作する反射器手段、移動限界におい
   て前記反射器手段のインパクトと相対的なパラメータを
   測定するインパクト検知手段、供給される信号に応答し
   てスキャンサイクルの各半分の主要部において前記反射
   器手段をその設計速度及び角度位置へ復帰させるために
   スラストを供給する複数個のスラスト供給手段、インパ
   クト情報を受取るために前記インパクト検知手段へ接続
   されており且つ前記反射器手段の運動方向及び速度を制
   御するためにスラスト信号を供給するために前記スラス
   ト供給手段へ接続されておりその際にスキャンサイクル
   の与えられた部分に亘って前記反射器手段の実質的に一
   定なスキャン速度を与える制御手段、を有することを特
   徴とする信号反射性スキャニング装置。