JPH02245482A - 圧電マイクロポンプ - Google Patents
圧電マイクロポンプInfo
- Publication number
- JPH02245482A JPH02245482A JP6503189A JP6503189A JPH02245482A JP H02245482 A JPH02245482 A JP H02245482A JP 6503189 A JP6503189 A JP 6503189A JP 6503189 A JP6503189 A JP 6503189A JP H02245482 A JPH02245482 A JP H02245482A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- check valve
- valve
- chamber
- pressurizing chamber
- discharge port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ある微少一定量の流体移送用の圧電マイクロ
ポンプに関するものである。
ポンプに関するものである。
本発明は圧電マイクロポンプにおいて、逆上弁を吐出口
・流入口を有するＡ体と加圧室・流路孔を有するＢ体で
挟み込み固定することにより、ポンプの薄型化、組立性
の向上を実現したものである。
・流入口を有するＡ体と加圧室・流路孔を有するＢ体で
挟み込み固定することにより、ポンプの薄型化、組立性
の向上を実現したものである。
従来の圧電マイクロポンプは第３図に示すように、圧電
素子１、傘形逆止弁２、吐出口３・流入口４を有するＡ
体５、加圧室６・流路孔７を有する８体８および振動板
９から構成され、前記傘形逆止弁２は８体８に固定され
ていた。
素子１、傘形逆止弁２、吐出口３・流入口４を有するＡ
体５、加圧室６・流路孔７を有する８体８および振動板
９から構成され、前記傘形逆止弁２は８体８に固定され
ていた。
しかし前述の従来技術の傘形逆止弁２を８体８に固定す
る構造では、弁端部１０を接着あるいは、熱融着等の処
理により傘形逆止弁２を８体８に固定しなければならず
、組立性が良くないという問題があった。また、加圧室
６に傘形逆止弁の弁端部１０と傘部があるため、加圧室
の空間を薄くできなかった。
る構造では、弁端部１０を接着あるいは、熱融着等の処
理により傘形逆止弁２を８体８に固定しなければならず
、組立性が良くないという問題があった。また、加圧室
６に傘形逆止弁の弁端部１０と傘部があるため、加圧室
の空間を薄くできなかった。
そこで、本発明の目的とするところは、薄くて組立性の
よい圧電マイクロポンプをｔＪＢ 共する事にある。
よい圧電マイクロポンプをｔＪＢ 共する事にある。
本発明の圧電マイクロポンプは、少なくとも、セラミッ
ク系又は有機系の圧電素子、逆止弁、吐出口・注入口を
有するＡ体、加圧室・流路孔を有するＢ体および振動板
からなり、前記逆止弁をＡ体とＢ体により挾み込み固定
したことを特徴とする。
ク系又は有機系の圧電素子、逆止弁、吐出口・注入口を
有するＡ体、加圧室・流路孔を有するＢ体および振動板
からなり、前記逆止弁をＡ体とＢ体により挾み込み固定
したことを特徴とする。
本発明の上記構成によれば、逆止弁を投込みで組立られ
、また薄い空間内に逆上弁が固定される。
、また薄い空間内に逆上弁が固定される。
次に本発明の詳細について図面を参照して説明する。第
１図は本発明による圧電マイクロポンプの一実施例であ
り、第２図は第１図の上平面図を示す。
１図は本発明による圧電マイクロポンプの一実施例であ
り、第２図は第１図の上平面図を示す。
本発明に係る圧電マイクロポンプは、圧電素子１、逆止
弁１２ａ、１２ｂ、吐出口３・流入口４および弁室１１
を有するＡ体５、加圧室６・加圧室と弁室の流路孔７
ａ ％ ７ ｂを有する０体１３、振動板９より構成さ
れる。逆止弁１２の投込まれた０体１３は、Ａ体５およ
び圧電素子１の貼付けられた振動板９と超音波融着等に
より組立てられる。
弁１２ａ、１２ｂ、吐出口３・流入口４および弁室１１
を有するＡ体５、加圧室６・加圧室と弁室の流路孔７
ａ ％ ７ ｂを有する０体１３、振動板９より構成さ
れる。逆止弁１２の投込まれた０体１３は、Ａ体５およ
び圧電素子１の貼付けられた振動板９と超音波融着等に
より組立てられる。
第４図、第５図が圧電マイクロポンプの動作原理を示す
図面である。第４図に示す様に、圧電素子１に電圧を印
加すると、圧電素子１の貼付けられた振動板９は矢印１
４の方向に変形する。したがって加圧室６内にある流体
は加圧され、逆止弁１２ａは下方へ押つけられ、流入口
４をふさぎ、逆止弁１２ｂは流路孔７ｂを開き、流体は
吐出口３へ送り出される。次に第５図に示すように圧電
素子１に逆電圧を印加すると、振動板９は矢印１５の方
向に変形する。したがって、加圧室６内は負圧となり、
逆止弁１２ｂは上方へ吸いつけられ、流路孔７ｂをふさ
ぎ、逆止弁１２ａは流入口４を開き、流体は流入口４か
ら流路孔７ａを通り、加圧室６内に流入する。以上の動
作を繰返すことにより、流体は連続的に流入口４から吐
出口３へと送り出される。
図面である。第４図に示す様に、圧電素子１に電圧を印
加すると、圧電素子１の貼付けられた振動板９は矢印１
４の方向に変形する。したがって加圧室６内にある流体
は加圧され、逆止弁１２ａは下方へ押つけられ、流入口
４をふさぎ、逆止弁１２ｂは流路孔７ｂを開き、流体は
吐出口３へ送り出される。次に第５図に示すように圧電
素子１に逆電圧を印加すると、振動板９は矢印１５の方
向に変形する。したがって、加圧室６内は負圧となり、
逆止弁１２ｂは上方へ吸いつけられ、流路孔７ｂをふさ
ぎ、逆止弁１２ａは流入口４を開き、流体は流入口４か
ら流路孔７ａを通り、加圧室６内に流入する。以上の動
作を繰返すことにより、流体は連続的に流入口４から吐
出口３へと送り出される。
第６図は、本発明の弁部の他の実施例を示したものであ
り、第７図は、第６図のＡＡ断面図を示している。図に
おいて、１２は逆止弁、１３はＣ体、７は流路孔、５は
Ａ体、３は吐出口を示している。ここで、逆止弁１２の
位置決めをする軸１６は、超音波融着等の振動により、
逆止弁１２と流路孔７の相対位置がずれないように、ト
ラック形状にしである。なお、この形状については、逆
止弁１２の回転を阻止する形状であれば、上記実施例に
限るものではない。
り、第７図は、第６図のＡＡ断面図を示している。図に
おいて、１２は逆止弁、１３はＣ体、７は流路孔、５は
Ａ体、３は吐出口を示している。ここで、逆止弁１２の
位置決めをする軸１６は、超音波融着等の振動により、
逆止弁１２と流路孔７の相対位置がずれないように、ト
ラック形状にしである。なお、この形状については、逆
止弁１２の回転を阻止する形状であれば、上記実施例に
限るものではない。
以上説明したように、本発明は、逆上弁を吐出口・注入
口を有するＡ体と加圧室・弁室・流路孔を有するＢ体に
より挾み込み固定する構造により、逆止弁を投げ込みで
組立てることができ、組立性が非常に向上し、組立コス
トの低減が実現できた。
口を有するＡ体と加圧室・弁室・流路孔を有するＢ体に
より挾み込み固定する構造により、逆止弁を投げ込みで
組立てることができ、組立性が非常に向上し、組立コス
トの低減が実現できた。
また、逆止弁を弁室内に完全に収めることができるので
、加圧室の空間を、従来の２０％以下に薄くすることが
でき、薄型・軽量の圧電マイクロポンプを実現できる効
果を有するものである。
、加圧室の空間を、従来の２０％以下に薄くすることが
でき、薄型・軽量の圧電マイクロポンプを実現できる効
果を有するものである。
第１図は本発明の実施例の構成を示す断面図、第２図は
第１図の上平面図、第４図、第５図は第１ ・ −・
φ ２ ・ ・ 争 − ３・ 争 ・ φ ４ ・ −・ ・ ５・ φ ・ 拳 ６ ・ ・ ・ ・ ７（７ａ。 ・・圧電素子 ・・傘形逆止弁 ・・吐出口 ・・流入口 ・・Ａ体 ・・加圧室 ７ｂ） ・・流入口 ・・Ｂ体 ・・振動板 ・・弁端部 ・・弁室 １２ｂ） ・逆止弁 ８・ ・ ・ ・ ９−・赤争 １０ ◆ ・ ・ Φ １１ ・ ・ −・ １２（１２ａ。 １３・ ・ ・０体 １４．１５・ ・振動板の変形方向を示す矢印 以 上
第１図の上平面図、第４図、第５図は第１ ・ −・
φ ２ ・ ・ 争 − ３・ 争 ・ φ ４ ・ −・ ・ ５・ φ ・ 拳 ６ ・ ・ ・ ・ ７（７ａ。 ・・圧電素子 ・・傘形逆止弁 ・・吐出口 ・・流入口 ・・Ａ体 ・・加圧室 ７ｂ） ・・流入口 ・・Ｂ体 ・・振動板 ・・弁端部 ・・弁室 １２ｂ） ・逆止弁 ８・ ・ ・ ・ ９−・赤争 １０ ◆ ・ ・ Φ １１ ・ ・ −・ １２（１２ａ。 １３・ ・ ・０体 １４．１５・ ・振動板の変形方向を示す矢印 以 上
Claims (1)
- 少なくとも、セラミック系又は有機系の圧電素子逆止弁
、吐出口・注入口を有するＡ体、加圧室・流路孔を有す
るＢ体および振動板からなり、前記逆止弁をＡ体とＢ体
により挟み込み固定したことを特徴とする圧電マイクロ
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6503189A JPH02245482A (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | 圧電マイクロポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6503189A JPH02245482A (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | 圧電マイクロポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02245482A true JPH02245482A (ja) | 1990-10-01 |
Family
ID=13275202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6503189A Pending JPH02245482A (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | 圧電マイクロポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02245482A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007009838A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Enomoto Micro Pump Seisakusho:Kk | 小型ダイヤフラムポンプ |
| JP2011247106A (ja) * | 2010-05-24 | 2011-12-08 | Murata Mfg Co Ltd | ポンプ |
| US8205640B2 (en) | 2009-02-24 | 2012-06-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Check valve, fluid device, and pump |
-
1989
- 1989-03-17 JP JP6503189A patent/JPH02245482A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007009838A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Enomoto Micro Pump Seisakusho:Kk | 小型ダイヤフラムポンプ |
| US8205640B2 (en) | 2009-02-24 | 2012-06-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Check valve, fluid device, and pump |
| JP2011247106A (ja) * | 2010-05-24 | 2011-12-08 | Murata Mfg Co Ltd | ポンプ |
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