JPH02247651A - ペリクル除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［概要］ マスクやレチクルの表面に接着して使用するペリクルの
除去装置に関し、 ペリクルをマスクあるいはレチクルがら取外す場合にペ
リクル膜がマスクあるいはレチクル表面に付着しないよ
うにすることを目的とし、ペリクル膜を吸着する吸着板
と、その吸着板に吸着されたペリクル膜をペリクルのフ
レームに沿って切断する切断歯とを枠体に設けて構成す
る。

［産業上の利用分野］ この発明はマスクやレチクルの表面に接着して使用する
ペリクルの除去装置に関するものである。

ペリクルはマスクやレチクルを使用したフォトエツチン
グの際にマスクやレチクル表面に付着する塵の投影を防
止するために、同マスクやレチクルの表面に接着される
ものであり、アルミ等のフレームにニトロセルロースで
形成される透明なペリクル膜を貼着したものである。

［従来の技術］ 第４図に示すように、ペリクル１はアルミ等で形成され
る環状のフレーム２の一側にペリクル膜３が貼着されて
いる。そして、このようなペリクル１がフレーム２の他
側をマスク４の表面に当接させる状態で同マスク４両面
にそれぞれ接着され、パターニングされたマスク４表面
への塵の付着を防止している。

このようにマスク４に接着されたペリクル１は、そのペ
リクル１の接着後にマスク４表面に塵が発見された場合
等には第４図に示す治具５を使用してペリクル１をマス
ク４から取外す必要がある。

この治具５は柄部５ａの下端に嘴状に突出する突部７が
形成され、その突部５ｂをペリクル１とマスク４との間
隙に挿入して、同ペリクル１とマスク４との接着状態を
こじあけるものである。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のような治具５を使用したペリクル１の取外し作業
では、フレーム２をマスク４から取外す際に誤ってペリ
クル膜３が破れることがあり、破れたペリクル膜３は第
５図に示すように静電気によりマスク４のパターン面に
付着する。そして、このペリクルＷＡ３をマスク４から
引き剥がそうとすると静電気の放電によりマスク４表面
に形成されているクロム膜のパターンが破壊されること
があるという問題点があった。

この発明の目的は、ペリクルをマスクあるいはレチクル
から取外す場合にペリクル膜がマスクあるいはレチクル
表面に付着することのないペリクル除去装置を提供する
にある。

［課題を解決するための手段］ 第１図は本発明の原理説明図である。すなわち、ペリク
ル膜を吸着する吸着板８と、その吸着板８に吸着された
ペリクル膜をペリクルのフレームに沿って切断する切断
歯】、２とが枠体７に設けられている。

［作用］ ペリクル膜は吸着板８で吸着された状態で切断歯１２に
よりペリクルのフレームから切断されて除去される。

［実施例］ 以下、この発明を具体化した一実施例を第２図及び第３
図に従って説明すると、ペリクル除去装置６は蓋状の枠
体７内にテフロンで形成された吸着板８が支持され、そ
の吸着板８の下面は枠体７の周縁部７ａ下縁とほぼ面一
である。また、第３図に示すように枠体７の外形はべり
クル１のフレーム２に沿う形状となっている。

吸着板８と枠体７との間にはへリクルＭ３を切断するた
めの切断器９が上下動可能に支持されている。すなわち
、切断器９は枠体７の中央部を貫通する支軸１０の下端
に支持板１１が固定され、その支持板１１の端縁部には
枠体周縁部７ａに沿って下方へ突出する環状の切断歯１
２が設けられている。支軸１０の上端にはフランジ状の
操作部１３が形成され、その操作部１３と枠体７１面と
の間にはコイルスプリング１４だ配設され、そのコイル
スプリング１４の付勢力により操作部１３は常に上方へ
付勢されている。従って、切断器９はコイルスプリング
１４の付勢力により常には支持板１１が枠体７に当接す
る最上位置にあり、この状態では切断１１２は枠体７内
に収納されている。そして、コイルスプリング１４の付
勢力に抗して操作部１３を下方へ押すと、切断歯１２が
枠体周縁部７ａより下方へ突出されるようになっている
。

さて、このように構成されたペリクル除去装置６を使用
する場合には、まず第３図に示すように枠体７の周縁部
７ａをマスク４に接着されているペリクル１のフレーム
２上に載置する。すると、吸着板８はテフロンで形成さ
れていて静電気が発生しやすいのでペリクル膜３が吸着
板８に吸着される。そして、この状態で操作部１３を下
方ノ＼押圧すると第３図に鎖線で示すように切断歯１２
が下降してフレーム２の内側でペリクル膜３が切断され
、次いでペリクル除去装置６をフレーム２上から除去す
ると、マスク４上にはべりクル１のフレーム２だけが残
る。この後、前記治具５でフレーム２をマスク４から取
外せばペリクル１の取外しが完了する。

以上のようにこのペリクル除去装置１では、ペリクル１
のフレーム２の取外しに先立ってペリクル［３がフレー
ム２から切断されて除去されるので、そのフレーム２の
取外しの際にペリクル膜３が破れてマスク４表面に付着
するという不具合を解消することができる。従って、ペ
リクル膜３をマスク４表面から引き剥がすことによるパ
ターンの損傷を未然に防止することができる。

［発明の効果］ 以上詳述したように、この発明はペリクルをマスクある
いはレチクルから取外す場合にペリクル膜がマスクある
いはレチクル表面に付着することを防止することができ
る優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理説明図、第２図は本発明を具体化
した実施例を示す断面図、第３図はその使用状況を示す
断面図、第４図は従来の治具を使用したペリクルの取外
し作業を示す説明図、第５図はペリクル膜がマスクに付
着した状態を示す断面図である。 図中、１はペリクル、２はフレーム、３はペリクル膜、
７は枠体、８は吸着板、１２は切断歯で第１図 本発明の原理説明図 第４図 従来の治具を使用したペリクルの取り外しｆ￥業を示す
説明因第５図 ペリクル膜がマスクに付着した状態を示す断面図第２図 本発明の実施例を示す断面図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ペリクル膜（３）を吸着する吸着板（８）と、その
   吸着板（８）に吸着されたペリクル膜（３）をペリクル
   （１）のフレーム（２）に沿って切断する切断歯（１２
   ）とを枠体（７）に設けたことを特徴とするペリクル除
   去装置。