JPH02250245A - 画像表示装置 - Google Patents
画像表示装置Info
- Publication number
- JPH02250245A JPH02250245A JP6939289A JP6939289A JPH02250245A JP H02250245 A JPH02250245 A JP H02250245A JP 6939289 A JP6939289 A JP 6939289A JP 6939289 A JP6939289 A JP 6939289A JP H02250245 A JPH02250245 A JP H02250245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- electrode
- modulation electrode
- display device
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、真空中で電子放出を行う素子と蛍光体を塗布
したフェースプレートから成る画像表示装置に関するも
のである。
したフェースプレートから成る画像表示装置に関するも
のである。
［従来の技術］
平板状デイスプレィ装置は現在数々のクイズが提案され
ている。代表的なものにエレクトロルミネッセンス方式
、プラズマ方式、液晶方式がある。しかし、・これらの
方式の平面状デイスプレィ装置をカラーテレビジョン用
などの高速走査で画像密度の高い画像が必要なものに応
用しようとした場合、発光効率等に問題があり、また大
画面用としては実用的ではない。このためテレビジョン
用などには真空中で電子源より放出された電子を高電圧
で加速し蛍光体に衝突発光させ画像を再現させる電子線
加速型の平板状デイスプレィ装置が有力候補の一つとな
っている。
ている。代表的なものにエレクトロルミネッセンス方式
、プラズマ方式、液晶方式がある。しかし、・これらの
方式の平面状デイスプレィ装置をカラーテレビジョン用
などの高速走査で画像密度の高い画像が必要なものに応
用しようとした場合、発光効率等に問題があり、また大
画面用としては実用的ではない。このためテレビジョン
用などには真空中で電子源より放出された電子を高電圧
で加速し蛍光体に衝突発光させ画像を再現させる電子線
加速型の平板状デイスプレィ装置が有力候補の一つとな
っている。
この電子線デイスプレィは、平板状のため耐大気圧構造
を考えた場合、これに適した方法の一つとして画素に電
子源が１対１で対応しているマルチ電子源構造が考えら
れており、電子源についても薄膜による電子源の実現が
提案されている。これらの例として特開昭５８−１９５
６号、特開昭６０−２２５３４２号等がある。これら電
子線デイスプレィ装置は次のような構造からなる。
を考えた場合、これに適した方法の一つとして画素に電
子源が１対１で対応しているマルチ電子源構造が考えら
れており、電子源についても薄膜による電子源の実現が
提案されている。これらの例として特開昭５８−１９５
６号、特開昭６０−２２５３４２号等がある。これら電
子線デイスプレィ装置は次のような構造からなる。
第１図は従来デイスプレィ装置の概要を示すものである
。１はガラス基板、２は支持体、３は配線電極、４は電
子放出部、５は電子通過孔、６は変調電極、７はガラス
板、８は透明電極、９は蛍光体、レジスト材等電子が衝
突することにより発光、変色、帯電、変質等する画像形
成部材、１０はフェースプレート、１１は蛍光体の輝点
である。電子放出部４は薄膜技術により作成され、ガラ
ス基板１とは接触することがない中空構造を成すもので
ある。配線電極３は電子放出部材と同一の材料を用いて
形成しても、別材料を用いても良（一般に融点が高く電
気抵抗の小さいものが用いられる。支持体２は絶縁体材
料もしくは導電体材料で形成されている。
。１はガラス基板、２は支持体、３は配線電極、４は電
子放出部、５は電子通過孔、６は変調電極、７はガラス
板、８は透明電極、９は蛍光体、レジスト材等電子が衝
突することにより発光、変色、帯電、変質等する画像形
成部材、１０はフェースプレート、１１は蛍光体の輝点
である。電子放出部４は薄膜技術により作成され、ガラ
ス基板１とは接触することがない中空構造を成すもので
ある。配線電極３は電子放出部材と同一の材料を用いて
形成しても、別材料を用いても良（一般に融点が高く電
気抵抗の小さいものが用いられる。支持体２は絶縁体材
料もしくは導電体材料で形成されている。
これら電子線デイスプレィ装置は、配線電極３に電圧な
印加せしめ中空構造をなす電子放出部より電子を放出さ
せ、これら電子流を情報信号に応じて変調する変調電極
６により電子を取り出し、取り出した電子を加速させ画
像形成部材（蛍光体）９に衝突させるものである。また
、配線電極と変調電極でＸＹマトリックス電極を形成せ
しめ、画像形成部材上に画像表示を行うものである。
印加せしめ中空構造をなす電子放出部より電子を放出さ
せ、これら電子流を情報信号に応じて変調する変調電極
６により電子を取り出し、取り出した電子を加速させ画
像形成部材（蛍光体）９に衝突させるものである。また
、配線電極と変調電極でＸＹマトリックス電極を形成せ
しめ、画像形成部材上に画像表示を行うものである。
この電子線デイスプレィは通常Ｉ Ｘ １０−７〜Ｉ
Ｘ １０−’ｔｏｒｒの真空状態で駆動させる為に、系
全体を真空封止することによりデイスプレィ装置を製作
しなければならない。
Ｘ １０−’ｔｏｒｒの真空状態で駆動させる為に、系
全体を真空封止することによりデイスプレィ装置を製作
しなければならない。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記従来例では次のような問題点があっ
た。
た。
１、画像形成部材（蛍光体）９と変調電極６と電子放出
部４の位置合わせが難しい為、大画面で高精細なデイス
プレィが作成できない。
部４の位置合わせが難しい為、大画面で高精細なデイス
プレィが作成できない。
２、変調電極６と電子放出部４の距離が場所によって異
なる為に表示画像にムラが生じる。これは、熱電子源を
用いたデイスプレィの共通の問題である。電子放出部４
と変調電極６の距離が場所によって変わらないように正
確に製造する必要がある。
なる為に表示画像にムラが生じる。これは、熱電子源を
用いたデイスプレィの共通の問題である。電子放出部４
と変調電極６の距離が場所によって変わらないように正
確に製造する必要がある。
３．１．２を鑑みて大画面で高精細なデイスプレィを製
造するには、多大な設備投資が必要であり、デイスプレ
ィの価格も非常に高価になる。
造するには、多大な設備投資が必要であり、デイスプレ
ィの価格も非常に高価になる。
［課題を解決するための手段及び作用］本発明は、変調
電極を電子放出部の下、つまり電子源が形成されている
基板上もしくは基板内に設けることにより上述問題点を
解決したものである。
電極を電子放出部の下、つまり電子源が形成されている
基板上もしくは基板内に設けることにより上述問題点を
解決したものである。
次に実施例で本発明を詳述する。
［実施例］
衷ｌ」し２
第２図は本実施例の電子源と変調電極１２を示すもので
ある。
ある。
本実施例は従来例で電子放出部と蛍光体の間にある変調
電極をガラス基板上に置き変えたものである。
電極をガラス基板上に置き変えたものである。
第３図は実施例の画像表示装置の作成法を示すもので、
第２図のＡ −’Ａ ’の断面である。
第２図のＡ −’Ａ ’の断面である。
ａ、ガラス基板１を充分洗浄し通常良（用いられる蒸着
技術とフォトリソグラフィー技術によりライン状の変調
電極１２群を形成する。基板はガラス以外にもアルミナ
セラミックスなどの絶縁体であれば良い。また変調電極
は金、ニッケル、タングステンなどの導電性材料であれ
ば良いが、高融点の熱損傷の少ない材料が好ましく、タ
ングステンやタングステン合金、タンタル等が好適であ
る。
技術とフォトリソグラフィー技術によりライン状の変調
電極１２群を形成する。基板はガラス以外にもアルミナ
セラミックスなどの絶縁体であれば良い。また変調電極
は金、ニッケル、タングステンなどの導電性材料であれ
ば良いが、高融点の熱損傷の少ない材料が好ましく、タ
ングステンやタングステン合金、タンタル等が好適であ
る。
５１次に、蒸着技術により支持体２及び配線電極３、電
子放出部４を順次成膜した。支持体２はガラスを用いた
が熱劣化の少ない絶縁体であればこれに限るものではな
い。本実施例では、配線電極３と電子放出部４をタング
ステンで作成した。ここで、電子放出部４は低仕事関数
材料、配線電極３は熱劣化の少ない低抵抗率材料で形成
することが望ましい。
子放出部４を順次成膜した。支持体２はガラスを用いた
が熱劣化の少ない絶縁体であればこれに限るものではな
い。本実施例では、配線電極３と電子放出部４をタング
ステンで作成した。ここで、電子放出部４は低仕事関数
材料、配線電極３は熱劣化の少ない低抵抗率材料で形成
することが望ましい。
Ｃ０次に、フォトリソグラフィー技術とエツチング技術
により、所望の電子放出部４の形状を作成する。
により、所望の電子放出部４の形状を作成する。
６１次に、エツチング技術により、電子放出部４の下の
ガラスを取り除き中空構造を有する電子源と変調電極１
２を作成する。タングステン材料からなる電子放出部４
は厚さ０．８〜２．０ｐｍ、幅５〜３０ｐｍ、長さ５０
〜５００ｇｍで作成することが望ましいがこの数値に限
るものではない。本実施例では、厚さ１．０μｍ、幅１
５ルｍ、長さ２００μｍで作成した。変調電極１２の幅
は８００μｍで作成し、電子放出部のピッチを１ｍｍと
した。また、ガラス支持体の厚さは５〜１１００ｐが好
適で本実施例では１０μｍで作成した。変調電極１２と
電子放出部４の距離は支持体２の厚さで決まるもので、
従来例と比較すると精度が高いものである。
ガラスを取り除き中空構造を有する電子源と変調電極１
２を作成する。タングステン材料からなる電子放出部４
は厚さ０．８〜２．０ｐｍ、幅５〜３０ｐｍ、長さ５０
〜５００ｇｍで作成することが望ましいがこの数値に限
るものではない。本実施例では、厚さ１．０μｍ、幅１
５ルｍ、長さ２００μｍで作成した。変調電極１２の幅
は８００μｍで作成し、電子放出部のピッチを１ｍｍと
した。また、ガラス支持体の厚さは５〜１１００ｐが好
適で本実施例では１０μｍで作成した。変調電極１２と
電子放出部４の距離は支持体２の厚さで決まるもので、
従来例と比較すると精度が高いものである。
上述した電子源と変調電極を有するプレートの上に、従
来例で説明したフェースプレートｌＯを設は画像表示装
置を作成した（図示省略）次に本実施例の駆動法を概説
する。
来例で説明したフェースプレートｌＯを設は画像表示装
置を作成した（図示省略）次に本実施例の駆動法を概説
する。
配線電極３に電圧を印加すると電子放出部４が加熱し電
子が放出する。放出した電子は電子放出部４のまわりに
空間的に蓄積し、ここで変調電極１２の電圧により該放
出電子の電子流を変調せしめる。変調電極１２へ印加す
る電圧は、蛍光体の電圧や、電子放出部４と変調電極１
２の形状、及び電子放出部と変調電極の間隔により異な
る。本実施例では、変調電極１２に＋ＩＯＶの電圧を印
加すると電子流は、蛍光体側へ引き出すことができ、−
３０ｖの電圧を印加すると電子流は引き出すことができ
なかった。また、−３０ｖ〜ＩＯＶの間の電圧を印加す
ることにより放出電流量を変えることができた。
子が放出する。放出した電子は電子放出部４のまわりに
空間的に蓄積し、ここで変調電極１２の電圧により該放
出電子の電子流を変調せしめる。変調電極１２へ印加す
る電圧は、蛍光体の電圧や、電子放出部４と変調電極１
２の形状、及び電子放出部と変調電極の間隔により異な
る。本実施例では、変調電極１２に＋ＩＯＶの電圧を印
加すると電子流は、蛍光体側へ引き出すことができ、−
３０ｖの電圧を印加すると電子流は引き出すことができ
なかった。また、−３０ｖ〜ＩＯＶの間の電圧を印加す
ることにより放出電流量を変えることができた。
フェースプレートの位置は電子放出部から１〜１０ｍｍ
の位置に設は透明電極８の電圧は１００〜１０．０ＯＯ
Ｖが望ましいがこれに限るものではない。
の位置に設は透明電極８の電圧は１００〜１０．０ＯＯ
Ｖが望ましいがこれに限るものではない。
配線電極３と変調電極によりＸＹマトリックス電極を形
成し、配線電極３を線順次で走査することにより電子を
放出せしめ、情報信号に応じて変調電極１２に電圧を印
加し、電子源から電子流を弓き出し、引き出された電子
流を加速させ蛍光体に衝突させ画像表示を行うものであ
る。
成し、配線電極３を線順次で走査することにより電子を
放出せしめ、情報信号に応じて変調電極１２に電圧を印
加し、電子源から電子流を弓き出し、引き出された電子
流を加速させ蛍光体に衝突させ画像表示を行うものであ
る。
本実施例は、基板上に電子放出部と変調電極が一体に形
成されている為アライメントが容易であり、かつ、薄膜
製造技術で作成している為大画面で高精細なデイスプレ
ィを得ることができた。さらに、電子放出部と変調電極
の間隔を極めて精度良（作成することができるので、輝
度ムラのない極めて−様な画像を形成できた。
成されている為アライメントが容易であり、かつ、薄膜
製造技術で作成している為大画面で高精細なデイスプレ
ィを得ることができた。さらに、電子放出部と変調電極
の間隔を極めて精度良（作成することができるので、輝
度ムラのない極めて−様な画像を形成できた。
見立■ユ
第４図は、実施例２の画像表示装置であるところの電子
源と変調電極部である。
源と変調電極部である。
ここでは、実施例１に対し、変調電極１２の上部に絶縁
体膜１３を設けた。
体膜１３を設けた。
絶縁体膜１３の材料はガラス、セラミックス等の熱変質
しにくい絶縁体膜が望ましく、その厚さは１〜１５ｇｍ
程度が好ましい。変調電極１２は、金、ニッケル、アル
ミニウム、タングステン等の導電性材料が好適である。
しにくい絶縁体膜が望ましく、その厚さは１〜１５ｇｍ
程度が好ましい。変調電極１２は、金、ニッケル、アル
ミニウム、タングステン等の導電性材料が好適である。
実施例１と同様な方法で作成し、評価をしたが実施例１
と同等な変調効果を得た。また、変調電極１２は絶縁体
膜１３と基板１の間にある為、電子放出部４の輻射熱の
影響が小さく、劣化が小さいことが分かった。よって変
調電極材料の適用範囲は低融点のものまで利用でき得る
。
と同等な変調効果を得た。また、変調電極１２は絶縁体
膜１３と基板１の間にある為、電子放出部４の輻射熱の
影響が小さく、劣化が小さいことが分かった。よって変
調電極材料の適用範囲は低融点のものまで利用でき得る
。
１嵐■ユ
本実施例は、第４図に示す実施例２における支持体２を
金属材料で形成したものである。電子放出部４、絶縁体
膜１３は実施例２と同様に作成した。また本実施例にお
ける配線電極３は、電子放出部材であるところのタング
ステンとこれを支持する支持体２から形成するものであ
る。
金属材料で形成したものである。電子放出部４、絶縁体
膜１３は実施例２と同様に作成した。また本実施例にお
ける配線電極３は、電子放出部材であるところのタング
ステンとこれを支持する支持体２から形成するものであ
る。
本実施例における支持体２は銅材料を用いて、その厚さ
を１０ｐｎ＋に形成した。
を１０ｐｎ＋に形成した。
本実施例は、実施例１と同等な効果を得るだけでなく、
配線電極３の抵抗を大幅に下げることができるので、特
に大画面で高精細な表示装置に対して有効である。
配線電極３の抵抗を大幅に下げることができるので、特
に大画面で高精細な表示装置に対して有効である。
［発明の効果］
以上説明したように、変調電極を中空構造を成す熱電子
源下部の基板に設けることにより、電子源と変調電極の
位置合わせが容易となり、さらに表示ムラのない画像を
得るのに効果がある。また、薄膜製造技術で上記熱電子
源と変調電極を製造することにより、大画面でかつ高精
細な画像表示装置を低価格で製造できる。
源下部の基板に設けることにより、電子源と変調電極の
位置合わせが容易となり、さらに表示ムラのない画像を
得るのに効果がある。また、薄膜製造技術で上記熱電子
源と変調電極を製造することにより、大画面でかつ高精
細な画像表示装置を低価格で製造できる。
第１図は従来の電子線デイスプレィの概要図である。第
２図は実施例１における電子線デイスプレィの電子源と
変調電極部を表わす図である。第３図は実施例１におけ
る電子線デイスプレィの電子源と変調電極部の製法図で
ある。第４図は実施例２，３における電子線デイスプレ
ィの電子源と変調電極及び絶縁体膜を表わす図である。
２図は実施例１における電子線デイスプレィの電子源と
変調電極部を表わす図である。第３図は実施例１におけ
る電子線デイスプレィの電子源と変調電極部の製法図で
ある。第４図は実施例２，３における電子線デイスプレ
ィの電子源と変調電極及び絶縁体膜を表わす図である。
Claims (2)
- （１）熱電子放出素子を複数並列した熱電子線源を複数
配置した熱電子線源群と、該熱電子源からの電子流を変
調する変調電極群と電子流の衝突により画像を形成する
画像形成部材とを備えた画像表示装置において、熱電子
放出素子が中空構造を成し、変調電極が電子放出部の下
部に位置し、かつ基板上もしくは基板内に一体に形成さ
れていることを特徴とする画像表示装置。 - （２）前記電子源と変調電極群でマトリックス駆動を施
し、画像を形成することを特徴とする請求項１記載の画
像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6939289A JPH02250245A (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | 画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6939289A JPH02250245A (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | 画像表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02250245A true JPH02250245A (ja) | 1990-10-08 |
Family
ID=13401284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6939289A Pending JPH02250245A (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | 画像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02250245A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5385631A (en) * | 1993-02-26 | 1995-01-31 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method of making plasma display apparatus |
| US5635334A (en) * | 1992-08-21 | 1997-06-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for making plasma display apparatus with pixel ridges made of diffusion patterned dielectrics |
-
1989
- 1989-03-23 JP JP6939289A patent/JPH02250245A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5635334A (en) * | 1992-08-21 | 1997-06-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for making plasma display apparatus with pixel ridges made of diffusion patterned dielectrics |
| US5385631A (en) * | 1993-02-26 | 1995-01-31 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method of making plasma display apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6377002B1 (en) | Cold cathode field emitter flat screen display | |
| AU673910B2 (en) | Image-forming apparatus | |
| WO1997015912A9 (en) | Cold cathode field emitter flat screen display | |
| JPH0320941A (ja) | 電子線発生装置及びこれを用いた画像形成装置、並びに電子線発生装置の製造方法 | |
| WO2001020639A1 (en) | Display device and method of manufacture thereof | |
| US7129626B2 (en) | Pixel structure for an edge-emitter field-emission display | |
| JPH02250245A (ja) | 画像表示装置 | |
| KR100658738B1 (ko) | 면전자원을 구비한 대면적 평판 디스플레이 장치 및 이장치의 구동 방법 | |
| JPH01298629A (ja) | 平板状ディスプレイ装置及びその製造方法 | |
| JPS5994343A (ja) | 平板形陰極線管 | |
| JPWO2002023578A1 (ja) | 表示装置 | |
| JPH02250248A (ja) | 画像形成装置及びその駆動方法 | |
| JP2976135B2 (ja) | 電子線発生装置及びそれを用いた画像形成装置と光信号供与装置 | |
| US7102279B2 (en) | FED with insulating supporting device having reflection layer | |
| JPS5968155A (ja) | 半板形陰極線管 | |
| JPH04334855A (ja) | 蛍光表示管 | |
| JP2981764B2 (ja) | 電子線発生装置及びそれを用いた画像形成装置と光信号供与装置 | |
| JP3332529B2 (ja) | 電子線発生装置及び画像形成装置 | |
| JP3000479B2 (ja) | 電子線発生装置及びそれを用いた画像形成装置と光信号供与装置 | |
| JPS60131742A (ja) | 平板型表示装置 | |
| JPS5991642A (ja) | 平板型陰極線管 | |
| JP2789210B2 (ja) | 電子線発生装置及び該電子線発生装置を用いた画像形成装置 | |
| JPH04137332A (ja) | 電子線発生装置及びそれを用いた画像形成装置 | |
| JPH02250246A (ja) | 画像形成装置 | |
| US20070170837A1 (en) | FED including gate-supporting device with gate mask having reflection layer |