JPH0225081A - 圧電変位素子 - Google Patents
圧電変位素子Info
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- JPH0225081A JPH0225081A JP63173919A JP17391988A JPH0225081A JP H0225081 A JPH0225081 A JP H0225081A JP 63173919 A JP63173919 A JP 63173919A JP 17391988 A JP17391988 A JP 17391988A JP H0225081 A JPH0225081 A JP H0225081A
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- piezoelectric
- electrode
- piezoelectric material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は微小位置決めに用いられる圧１変立素子に関す
る。
る。
圧゛亀変位素子は、圧電材料ｆこ電圧を印υ口すること
によりて生じる歪みを変位として吹り出すために用いら
れる。−膜着こは、素子の一端を固定することζこより
てａｎから変位を得るようζこ利用されるものが多いが
、特開昭５７−９２３２２号公報に記載された圧’Ｉｆ
位素子のように、バイモルフ（商標）構造をした円環状
の素子の外周部を固定し。
によりて生じる歪みを変位として吹り出すために用いら
れる。−膜着こは、素子の一端を固定することζこより
てａｎから変位を得るようζこ利用されるものが多いが
、特開昭５７−９２３２２号公報に記載された圧’Ｉｆ
位素子のように、バイモルフ（商標）構造をした円環状
の素子の外周部を固定し。
内周部に取付けられた被駆動体を素子の軸方向に変位さ
せるものもある。
せるものもある。
ところが前者の圧電変位素子の場合、充分な変位量を得
るためには素子の変位方向長さを短くすることが困難で
あり、！た優者の圧電変位素子の場合、素子の変位方向
長さは短くなるが光分な変位ｌ＆を得るのが困難である
。
るためには素子の変位方向長さを短くすることが困難で
あり、！た優者の圧電変位素子の場合、素子の変位方向
長さは短くなるが光分な変位ｌ＆を得るのが困難である
。
（発明が解決しようとする昧題）
以上のようｌこ従来は、圧ｔｆ ［素子の光分な変位量
を得ることと圧を変位素子の変位方向長さを短くするこ
とを同時ｌこ実現させることが困難であった。本発明は
この問題を解決し、大きな変位量を得られてしかも変位
方向に対する寸法が極めて小さな圧ｇＥｆＩｉ素子の提
供を目的とする。
を得ることと圧を変位素子の変位方向長さを短くするこ
とを同時ｌこ実現させることが困難であった。本発明は
この問題を解決し、大きな変位量を得られてしかも変位
方向に対する寸法が極めて小さな圧ｇＥｆＩｉ素子の提
供を目的とする。
（課電を解決するための手段）
上記の目的を達成するために本発明においては。
（１）中央電極と、この中央′１極の端とつながらない
ように設けられたスリットと、この中央電極の少なくと
も一方の而に接合される圧電材料と、この圧電材料を介
して中央電極に接合される電極とからなる圧電ｆ立素子
とした。また。
ように設けられたスリットと、この中央電極の少なくと
も一方の而に接合される圧電材料と、この圧電材料を介
して中央電極に接合される電極とからなる圧電ｆ立素子
とした。また。
（り孔を有する中央電極と、この中央電極の端とつなが
らないように孔の周囲に設けられたスリットと、この中
央電極の少なくとも一方の面番こ接合される圧電材料と
、この圧電材料を介して中央電極に接合される電極とか
らなる圧電変位素子とした。
らないように孔の周囲に設けられたスリットと、この中
央電極の少なくとも一方の面番こ接合される圧電材料と
、この圧電材料を介して中央電極に接合される電極とか
らなる圧電変位素子とした。
以上のような構成の圧電変位素子とすることｌこより、
（１）に２いては、スリットを倉して隣接する部分が素
子の六面と直角な方向に大きな変位差を生じる。
子の六面と直角な方向に大きな変位差を生じる。
（２）においては１例えばスリｙ）ｆこより分割される
圧電材料の隣接する同志が異なる屈曲動作となるようｌ
こ成極を配置すると、その隣接する同志が素子の我面と
直角な方向に大きな変位差を生じる。
圧電材料の隣接する同志が異なる屈曲動作となるようｌ
こ成極を配置すると、その隣接する同志が素子の我面と
直角な方向に大きな変位差を生じる。
また５例えばスリットζこより分割される圧電材料の隣
接する同志が同一の屈曲動作となるようζこ電極を配置
すると、素子の内周部と外１ｆｆ１部とが、素子の我面
と直角な方向に大きな変位差を生じる。
接する同志が同一の屈曲動作となるようζこ電極を配置
すると、素子の内周部と外１ｆｆ１部とが、素子の我面
と直角な方向に大きな変位差を生じる。
従りて、大きな変位量が得られてしかもその変位方向に
対する寸法が極めて小さな圧電変位素子が実現する。
対する寸法が極めて小さな圧電変位素子が実現する。
（実施例）
以下、図面ｆこ従うて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す圧電変位素子に用いら
れる中央電極の上面図である。本実施例の圧電変位素子
４０ｆま、中央電極ｌの端部Ｅこつながらない平行で同
寸法の２本のスＩＪ ｖ ト２ 、３を有した矩形の形
状をなしている。この中央電極ｌ上に圧電材料２６を介
して接合される電極２７゜２８は第２図及び第３図のよ
うｔこ決定される領域にそれぞれ配置されている。ｔず
中央電極ｌをスリット２．３及びスＩＪ ｙ 上端部と
中央電極１の側Ｒを結ぶ分割線４〜７１こよりて３つの
部分領域８〜ｌｉこ分割する。次にそれぞれの部分領域
８〜１０を、一端がスリット２若しくはスリット３に接
する分割線１１〜１６によりて各３分割し、什計９個の
単位領域１７〜２５を構成する。そして第４図に示すよ
うに、この単位領域１７〜２５に圧電材料２６を介して
電［２７，２Ｂを接合する。
れる中央電極の上面図である。本実施例の圧電変位素子
４０ｆま、中央電極ｌの端部Ｅこつながらない平行で同
寸法の２本のスＩＪ ｖ ト２ 、３を有した矩形の形
状をなしている。この中央電極ｌ上に圧電材料２６を介
して接合される電極２７゜２８は第２図及び第３図のよ
うｔこ決定される領域にそれぞれ配置されている。ｔず
中央電極ｌをスリット２．３及びスＩＪ ｙ 上端部と
中央電極１の側Ｒを結ぶ分割線４〜７１こよりて３つの
部分領域８〜ｌｉこ分割する。次にそれぞれの部分領域
８〜１０を、一端がスリット２若しくはスリット３に接
する分割線１１〜１６によりて各３分割し、什計９個の
単位領域１７〜２５を構成する。そして第４図に示すよ
うに、この単位領域１７〜２５に圧電材料２６を介して
電［２７，２Ｂを接合する。
但し本実施例では、単位領域１７〜２５の隣接する同志
に同極の電極が配置されないように、そして端部領域２
９，３０１こは電極２７．２８が配置されないようにす
る。但し、圧電材料２６は、中央電極ｌに電圧を印加し
た時に電極２７．２８との間に発生するに界の向きが同
じとなるように接合する。ここで、第４図（ｂｌにＡ−
Ａ線断面図を、第４図（ｃ）にＢ−Ｂ線及びＣ−Ｃ線断
面図を示すが、これらの図に見られるように、中央電極
１を境として対向した成極同志は、互いに同極のものと
なりたバイモルフ構造をなしている。また１本実施例に
８いては、スリット２，３に沿りた成極２７゜２８の寸
法を１：２：１としている。
に同極の電極が配置されないように、そして端部領域２
９，３０１こは電極２７．２８が配置されないようにす
る。但し、圧電材料２６は、中央電極ｌに電圧を印加し
た時に電極２７．２８との間に発生するに界の向きが同
じとなるように接合する。ここで、第４図（ｂｌにＡ−
Ａ線断面図を、第４図（ｃ）にＢ−Ｂ線及びＣ−Ｃ線断
面図を示すが、これらの図に見られるように、中央電極
１を境として対向した成極同志は、互いに同極のものと
なりたバイモルフ構造をなしている。また１本実施例に
８いては、スリット２，３に沿りた成極２７゜２８の寸
法を１：２：１としている。
このような構成の王１変立素子４０の中央電極ｌに電圧
を印加すると、電憔２７，２８と中央電極ｌとの間ｌこ
電界が発生することにより圧電材料２６に変位が生じ、
ｇｇＳ図のような屈曲動作が起こる。ここで第５図（ｍ
ｌは第４図ら）に対応しており中央凸状に屈曲し％第５
図ｆｂ）は第４図（ｃｌに対応しており中央凹状に屈曲
する。こういりた屈曲動作は例えば第６図−こ示すよう
なカメラの受光素子用アクチュエータとして応用できる
。ここでは田１変位素子４０と略同じ形状を成すフレキ
シブルプリント１板６１をスペーサ６２を介して圧電変
位素子４０上部に平行に重ね、このフレキシブルプリン
ト基板６１の中央部に受光素子（ＣＣＤ：Ｃｈａｒｇｅ
Ｃｏｕｐｌｅｄ １）ｅｖｌｃｅ ）を、その受光面
がフレキシブルプリント基板６１と平行になるように固
定している。フレキシブルプリント基板６１は。
を印加すると、電憔２７，２８と中央電極ｌとの間ｌこ
電界が発生することにより圧電材料２６に変位が生じ、
ｇｇＳ図のような屈曲動作が起こる。ここで第５図（ｍ
ｌは第４図ら）に対応しており中央凸状に屈曲し％第５
図ｆｂ）は第４図（ｃｌに対応しており中央凹状に屈曲
する。こういりた屈曲動作は例えば第６図−こ示すよう
なカメラの受光素子用アクチュエータとして応用できる
。ここでは田１変位素子４０と略同じ形状を成すフレキ
シブルプリント１板６１をスペーサ６２を介して圧電変
位素子４０上部に平行に重ね、このフレキシブルプリン
ト基板６１の中央部に受光素子（ＣＣＤ：Ｃｈａｒｇｅ
Ｃｏｕｐｌｅｄ １）ｅｖｌｃｅ ）を、その受光面
がフレキシブルプリント基板６１と平行になるように固
定している。フレキシブルプリント基板６１は。
受光素子６３及びここでは図示さｎていない１６号処理
回路を′電気的に結貧させている。また、中央電極ｌは
スタッド６４を介してシャーシ６５１こ固定されており
、カメラ内をこ収納される。以上の構成により中央電極
１に任意の電圧を印加すると、受光素子６３悼第６図ｔ
ｂｌに示すｈの変位をする。
回路を′電気的に結貧させている。また、中央電極ｌは
スタッド６４を介してシャーシ６５１こ固定されており
、カメラ内をこ収納される。以上の構成により中央電極
１に任意の電圧を印加すると、受光素子６３悼第６図ｔ
ｂｌに示すｈの変位をする。
もちろん、印加する電圧の正・負を変えれば受光素子６
３は逆方向にｈだけ変位するため、せ計２ｈの変位量を
確保することができる。このように。
３は逆方向にｈだけ変位するため、せ計２ｈの変位量を
確保することができる。このように。
元軸方向ｌこ充分な変位を生じるため、従来のようにカ
メラのレンズを駆動することによりその焦点をＣＣＤＩ
こ曾わせるのではなく、レンズは固定のままＣＯＤを駆
使することｌこよりて、焦点を甘わせることができるた
め、小型で安画なカメラが提供される。
メラのレンズを駆動することによりその焦点をＣＣＤＩ
こ曾わせるのではなく、レンズは固定のままＣＯＤを駆
使することｌこよりて、焦点を甘わせることができるた
め、小型で安画なカメラが提供される。
前実施例においては被服Ｉｌ！７物体（受光素子６３）
を、外部と′電気的に１妾続しているが、こういりた必
要のない被駆動物体の駆切ｌこ２いては、第６図（ｃＪ
のようにスペーサ６２を介さずｌこ被駆動物本を直接圧
Ｉｔ変立素子４０に接会してもよい。その際、被部＃ｂ
物体は中央１極１に直ｆこ接甘し、間に圧′感材料２６
が挟まれない構造とすると、疲労剥離を防止することが
できる。このことは、圧１変立累子４０とスペーサ６２
．スタッド６４の闇せ面に関しても同謙である。また１
例えば被駆動物体の移動方向への精度を高めるためＩこ
、第６図１ｃ）のようζこ中央１極１に滑り他愛６６を
、そしてシャーシ６５に軸６７をそれぞれ取付け、滑り
軸受６６と軸６７が摺動するようにしてもよい。
を、外部と′電気的に１妾続しているが、こういりた必
要のない被駆動物体の駆切ｌこ２いては、第６図（ｃＪ
のようにスペーサ６２を介さずｌこ被駆動物本を直接圧
Ｉｔ変立素子４０に接会してもよい。その際、被部＃ｂ
物体は中央１極１に直ｆこ接甘し、間に圧′感材料２６
が挟まれない構造とすると、疲労剥離を防止することが
できる。このことは、圧１変立累子４０とスペーサ６２
．スタッド６４の闇せ面に関しても同謙である。また１
例えば被駆動物体の移動方向への精度を高めるためＩこ
、第６図１ｃ）のようζこ中央１極１に滑り他愛６６を
、そしてシャーシ６５に軸６７をそれぞれ取付け、滑り
軸受６６と軸６７が摺動するようにしてもよい。
第７図乃至第１０図は本宅明の他の実施例を示す圧電変
位素子に用いられる中央電極の上面図であり、以下、順
次説明する。
位素子に用いられる中央電極の上面図であり、以下、順
次説明する。
第７図の圧電変位素子７０は、中央電極１に設けられた
２本のスリット２．３が共に、中央電啄ｌの中央部ｉこ
向かうに従りてその間隔を挟くするようなＩ線の組合せ
から成りている。また１図中■：■：■＝■′：■′：
■’＝ｌ：２：ｌとなりている。圧を材料（図示せず）
及び電極２７．２８の配置は前実殉例と同じである。こ
のような構成とすると、この圧電変位素子７０を第６図
のように応用した場合、スタッド６４との固定部の断面
積を大きくとれるため、同一面積の圧″ｆｔＬｆ立素子
を使用した場合のトータルの動性を犬きぐすることがで
き、結果として大きな、駆動力を得ることができる。
２本のスリット２．３が共に、中央電啄ｌの中央部ｉこ
向かうに従りてその間隔を挟くするようなＩ線の組合せ
から成りている。また１図中■：■：■＝■′：■′：
■’＝ｌ：２：ｌとなりている。圧を材料（図示せず）
及び電極２７．２８の配置は前実殉例と同じである。こ
のような構成とすると、この圧電変位素子７０を第６図
のように応用した場合、スタッド６４との固定部の断面
積を大きくとれるため、同一面積の圧″ｆｔＬｆ立素子
を使用した場合のトータルの動性を犬きぐすることがで
き、結果として大きな、駆動力を得ることができる。
第８図の圧電変位素子８０は、中央′社憔１ｆこ設けら
ｎた２本のスリブｌ−８２、８３が第１図のスリット２
．３と同じ形状をなし、更にその端部同ｔこヒンジ部を
残してスリブ）８２．８３と垂直な方向に６本のスリッ
ト８４８〜８４ｆを形成したものである。 ＦＥ？ｆｆ
、材料（図示せず）及び電極２７゜２８の６作は前述の
２つの実施例と異なりており、各部分領域８５ａ〜８５
ｃ内は全て１つの＠翫とし、隣接する部分領域８５ａ〜
８５Ｃ同志は異なる電極となるようｌこ、圧電材ｆ＋を
ブｒして接金してい６つこのような構成としたｌＥ′Ｊ
Ｌ変位素子８０の中央シ韻ｌに電圧を印カロした場付、
第１１図に示したような屈曲動作が起こる。ここで第１
１図（ａｔは男８図のＡ’−Ａ’線断面図であり中央凸
状ｌこ屈曲し、第１１図（ｂ）は第８ ｌ２Ｉ（１）
Ｂ’−ｔ３’ｉ断（石図若Ｌ（はＣ’−Ｃ’線断面：Ａ
であり中央凹状に１４曲する。
ｎた２本のスリブｌ−８２、８３が第１図のスリット２
．３と同じ形状をなし、更にその端部同ｔこヒンジ部を
残してスリブ）８２．８３と垂直な方向に６本のスリッ
ト８４８〜８４ｆを形成したものである。 ＦＥ？ｆｆ
、材料（図示せず）及び電極２７゜２８の６作は前述の
２つの実施例と異なりており、各部分領域８５ａ〜８５
ｃ内は全て１つの＠翫とし、隣接する部分領域８５ａ〜
８５Ｃ同志は異なる電極となるようｌこ、圧電材ｆ＋を
ブｒして接金してい６つこのような構成としたｌＥ′Ｊ
Ｌ変位素子８０の中央シ韻ｌに電圧を印カロした場付、
第１１図に示したような屈曲動作が起こる。ここで第１
１図（ａｔは男８図のＡ’−Ａ’線断面図であり中央凸
状ｌこ屈曲し、第１１図（ｂ）は第８ ｌ２Ｉ（１）
Ｂ’−ｔ３’ｉ断（石図若Ｌ（はＣ’−Ｃ’線断面：Ａ
であり中央凹状に１４曲する。
第５図及び＠１１図を比較してもわかるようｌこ本来類
例においては、部分領域８５ａ−８５ｃにより折返し構
造８構成しているために％ ２枚の圧電変位素子を２枚
重ねた状態と同等の変位を得ることができる。
例においては、部分領域８５ａ−８５ｃにより折返し構
造８構成しているために％ ２枚の圧電変位素子を２枚
重ねた状態と同等の変位を得ることができる。
第９図のｌ：Ｅ電変立素子９０は、第７図の圧鑞変位素
子７０のスリｗ ）７２．７３と同じ形状のスＩＪ ｖ
ト８２ 、８３と、第８図の圧電変位素子８０と略同
じ形状のスリット８４ａ−８４ｆとを兼ね備えている。
子７０のスリｗ ）７２．７３と同じ形状のスＩＪ ｖ
ト８２ 、８３と、第８図の圧電変位素子８０と略同
じ形状のスリット８４ａ−８４ｆとを兼ね備えている。
圧電材料（図示せず）及び電極２７゜２８の配置は前実
施例と同じである。このような構成とした本実施例Ｅこ
おいては、第７図及び第８図の王ＩＥｆ位素子７０．８
０の長所を併せ持ち。
施例と同じである。このような構成とした本実施例Ｅこ
おいては、第７図及び第８図の王ＩＥｆ位素子７０．８
０の長所を併せ持ち。
大きな駆動力でかつ大きな変位が得られる圧電変ｒｆＬ
素子９０となる。
素子９０となる。
第１０図の圧電変位素子ｌＯＯは、第１図の圧電変位素
子４０に形成されたスリｖ ト２ 、３と略同形状のス
リｖ ト１０２，１０３と、これらスリ。
子４０に形成されたスリｖ ト２ 、３と略同形状のス
リｖ ト１０２，１０３と、これらスリ。
ト１０２，１０３の端部から直角方向に新たｌこ形成さ
れた８本のスリｖ ） １０４ａ〜１０４ｈとｆこより
、部分領域１０５ａ〜１０５ｃの中間位置と端部領域１
０６゜１０７とがヒンジ部によりて連結されているよう
な形状となりている。圧電材料（図示せず）及び電極２
７．２８の配置は基本的ｌこは＄８図Ｔｏｌの接合方法
を用いているが、本実施例では、前記ヒンジ部１こは圧
電材料を接合せず、更に端部領域１０６゜１０７に＋接
合を行りている。この際、端部領域１０６．１０７と部
分領域１０５ａは全−Ｃ同じ１極２７であるようにして
いる。本実施例ｆこおける屈曲動作は、Ａ’−Ａ’線断
面が第１１図（ａ）に、Ｂ’−８’線断面及びＣ−Ｃ″
線断面が第１１図ｔｂｌに対応するものとなるが、更に
端部領域１０６，１０７が図面手前に向りて凸となる屈
曲動作を起こすため、全体としての変位量が非常ｌこ大
きな圧電変位素子１００となる。
れた８本のスリｖ ） １０４ａ〜１０４ｈとｆこより
、部分領域１０５ａ〜１０５ｃの中間位置と端部領域１
０６゜１０７とがヒンジ部によりて連結されているよう
な形状となりている。圧電材料（図示せず）及び電極２
７．２８の配置は基本的ｌこは＄８図Ｔｏｌの接合方法
を用いているが、本実施例では、前記ヒンジ部１こは圧
電材料を接合せず、更に端部領域１０６゜１０７に＋接
合を行りている。この際、端部領域１０６．１０７と部
分領域１０５ａは全−Ｃ同じ１極２７であるようにして
いる。本実施例ｆこおける屈曲動作は、Ａ’−Ａ’線断
面が第１１図（ａ）に、Ｂ’−８’線断面及びＣ−Ｃ″
線断面が第１１図ｔｂｌに対応するものとなるが、更に
端部領域１０６，１０７が図面手前に向りて凸となる屈
曲動作を起こすため、全体としての変位量が非常ｌこ大
きな圧電変位素子１００となる。
以上の実施例においては１図面横方向へ伸びるりたｖｈ
曾でありても、同様の効果を奏する。
曾でありても、同様の効果を奏する。
第１２図乃至第１４図に１本発明の更に別なる実施例を
挙げる。これらの圧を変位素子は、複数本のスＩＪ ｗ
）が環状ｌこ並設された構造のものである。
挙げる。これらの圧を変位素子は、複数本のスＩＪ ｗ
）が環状ｌこ並設された構造のものである。
第１２図の圧電変位素子１２０は、円形の中央電極１２
１の中心部ｌこ丸孔１２２が設けられたものであり、丸
孔１２２の外径に対する接線に近い状態Ｉこス！Ｊ ｖ
） １２３が８本それぞれ等間隔で形成されており１
部分領域１２４が８個とも等しい面積となりている。圧
電材料（図示せず）及び電極２７．２８の接合方法は、
被駆動物体の暇付は方法によりて２通りに大別される。
１の中心部ｌこ丸孔１２２が設けられたものであり、丸
孔１２２の外径に対する接線に近い状態Ｉこス！Ｊ ｖ
） １２３が８本それぞれ等間隔で形成されており１
部分領域１２４が８個とも等しい面積となりている。圧
電材料（図示せず）及び電極２７．２８の接合方法は、
被駆動物体の暇付は方法によりて２通りに大別される。
まず第１２図（ｂ）のように。
部分領域１２４の８つ全てを同じ接合パターンとする方
法は、中央電極１２１の外周部を固定して内周部に被駆
動物体を取付ける１曾（若しくはこの逆の場合）に適し
、被駆動物体が図面垂直方向に大きな変位を発生する。
法は、中央電極１２１の外周部を固定して内周部に被駆
動物体を取付ける１曾（若しくはこの逆の場合）に適し
、被駆動物体が図面垂直方向に大きな変位を発生する。
また第１２図で）のように、隣接する部分領域毎に正反
対の成極配置とする方法は、ひとつおき毎の部分領域ｌ
こ被駆動物体がまたがるように暇付けられるＦａ曾に適
し１図面垂直方向に大きな駆動力を持りた変位を発生す
る。
対の成極配置とする方法は、ひとつおき毎の部分領域ｌ
こ被駆動物体がまたがるように暇付けられるＦａ曾に適
し１図面垂直方向に大きな駆動力を持りた変位を発生す
る。
第１３図及び第１４図に示す中央電極１２１はスリット
１２３の形状が異なるものの、８ｇ１２図＋ｂ）若しく
はｆｃｌのｔ他接合方法により、同様の効果を奏する圧
１に変立木子となる。これらの場合においてもスリット
の本数は８本である必然性はなく、何本であってもよい
。
１２３の形状が異なるものの、８ｇ１２図＋ｂ）若しく
はｆｃｌのｔ他接合方法により、同様の効果を奏する圧
１に変立木子となる。これらの場合においてもスリット
の本数は８本である必然性はなく、何本であってもよい
。
以上挙げた実施例では圧電材料や電極の接合方法を規定
しているが１本発明の圧電変位素子はこれらに限定され
るものではなく、同様の屈曲動作を実現するものであれ
ばよい。例えば圧電材料を単位領域毎に別々に接合する
ことによりて圧電変位素子内に発生する電界がそれぞれ
の単位領域によりてまちまちｌこなりても電極の正・負
の接合方法によりて結果的に同様の屈曲動作が実現する
ものであればよい。もちろん圧電材料及び１極が中央電
極の片側のみに接合されていてもよい。
しているが１本発明の圧電変位素子はこれらに限定され
るものではなく、同様の屈曲動作を実現するものであれ
ばよい。例えば圧電材料を単位領域毎に別々に接合する
ことによりて圧電変位素子内に発生する電界がそれぞれ
の単位領域によりてまちまちｌこなりても電極の正・負
の接合方法によりて結果的に同様の屈曲動作が実現する
ものであればよい。もちろん圧電材料及び１極が中央電
極の片側のみに接合されていてもよい。
また、各部分領域の電極接合に係る単位領域の数は５例
えば３つの所を５つζこしたり、或いは２つの所を４つ
にするなど、各部分領域毎に任意に選択してもよい。
えば３つの所を５つζこしたり、或いは２つの所を４つ
にするなど、各部分領域毎に任意に選択してもよい。
以上のように本発明によれば、大きな変位置が得られて
しかもその変位方向に対する寸法が極めて小さな圧電変
位素子が実現する。
しかもその変位方向に対する寸法が極めて小さな圧電変
位素子が実現する。
第１図乃至第４図は本発明のｆｉｃｌの実施例を示す圧
電変位素子の上面図及び断面図、第５図は本発明の屈曲
動作を示す断面図、第６図は本発明の第１の応用例を示
す斜視図及び第２の応用例を示す断面図、第７図乃至第
１０図は本発明の池の実施列を示す圧電変改素子の上面
図、第１１図は本発明の別なる屈曲切作を示す断面図、
第１２図乃至第１４図は本発明の更に別なる実施例を示
す圧ｔｆ立素子の上面図である。 ］ 、 １２１・・・中央１陳、２，３，８２，８３゜
８４ ａ 〜８４ ｆ 、 １０２，１０３．１０４ａ
〜１０４ｈ、１２３・・・スリブ ト％ ８，９，１０
，８５ｇ〜８５ｃ、１０５ａ−１０５ｃ 、 ｌ ２４
・・・部分領域、２６・・・圧電材料、２７．２８・・
・電＠、４０．７０．８０．９０．１００，１２０・・
・圧１変立累子。 代理人 弁理士 則 近 憲 右 同 松 山 光 ２第 図 （α） 第 図 ＜ａ＞ Ｂ （ｂλ 第 図 （ごとン 第 図 （ｄ） ＜ｂ） 第 図 第 図 ＱＯ ＜ｂ＞ 第 図 第 図 第 図
電変位素子の上面図及び断面図、第５図は本発明の屈曲
動作を示す断面図、第６図は本発明の第１の応用例を示
す斜視図及び第２の応用例を示す断面図、第７図乃至第
１０図は本発明の池の実施列を示す圧電変改素子の上面
図、第１１図は本発明の別なる屈曲切作を示す断面図、
第１２図乃至第１４図は本発明の更に別なる実施例を示
す圧ｔｆ立素子の上面図である。 ］ 、 １２１・・・中央１陳、２，３，８２，８３゜
８４ ａ 〜８４ ｆ 、 １０２，１０３．１０４ａ
〜１０４ｈ、１２３・・・スリブ ト％ ８，９，１０
，８５ｇ〜８５ｃ、１０５ａ−１０５ｃ 、 ｌ ２４
・・・部分領域、２６・・・圧電材料、２７．２８・・
・電＠、４０．７０．８０．９０．１００，１２０・・
・圧１変立累子。 代理人 弁理士 則 近 憲 右 同 松 山 光 ２第 図 （α） 第 図 ＜ａ＞ Ｂ （ｂλ 第 図 （ごとン 第 図 （ｄ） ＜ｂ） 第 図 第 図 ＱＯ ＜ｂ＞ 第 図 第 図 第 図
Claims (5)
- （１）中央電極と、 前記中央電極の端とつながらないように設けられたスリ
ットと、 前記中央電極の少なくとも一方の面に接合される圧電材
料と、 前記圧電材料を介して前記中央電極に接合される電極と
からなることを特徴とする圧電変位素子。 - （２）前記圧電変位素子において、前記スリットを挟ん
で隣接する同志が異なる屈曲動作を行うことを特徴とす
る請求項１記載の圧電変位素子。 - （３）孔を有する中央電極と、 前記中央電極の端とつながらないように前記孔の周囲に
設けられたスリットと、 前記中央電極の少なくとも一方の面に接合される圧電材
料と、 前記圧電材料を介して中央電極に接合される電極とから
なることを特徴とする圧電変位素子。 - （４）前記スリットを挟んで隣接する同志が異なる屈曲
動作を行うことを特徴とする請求項３記載の圧電変位素
子。 - （５）前記スリットを挟んで隣接する同志が同一の屈曲
動作を行うことを特徴とする請求項３記載の圧電変位素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63173919A JPH0225081A (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | 圧電変位素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63173919A JPH0225081A (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | 圧電変位素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225081A true JPH0225081A (ja) | 1990-01-26 |
Family
ID=15969508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63173919A Pending JPH0225081A (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | 圧電変位素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0225081A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006346830A (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Toshiba Corp | マイクロメカニカルデバイス、マイクロスイッチ、容量可変キャパシタ、高周波回路及び光学スイッチ |
| JP2009225560A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータおよび圧電アクチュエータユニット |
| WO2015045605A1 (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-02 | カシオ計算機株式会社 | 駆動素子及び駆動素子の駆動方法 |
| JP2015070660A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | カシオ計算機株式会社 | 駆動素子及び駆動方法 |
| JP2015154674A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | カシオ計算機株式会社 | 駆動素子及び駆動方法 |
| JP2015231045A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電フィルム、振動デバイス、および、歪検出デバイス |
-
1988
- 1988-07-14 JP JP63173919A patent/JPH0225081A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006346830A (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Toshiba Corp | マイクロメカニカルデバイス、マイクロスイッチ、容量可変キャパシタ、高周波回路及び光学スイッチ |
| US7567018B2 (en) | 2005-06-17 | 2009-07-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Micro-mechanical device, micro-switch, variable capacitor high frequency circuit and optical switch |
| JP2009225560A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電アクチュエータおよび圧電アクチュエータユニット |
| WO2015045605A1 (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-02 | カシオ計算機株式会社 | 駆動素子及び駆動素子の駆動方法 |
| JP2015070660A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | カシオ計算機株式会社 | 駆動素子及び駆動方法 |
| JP2015154674A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | カシオ計算機株式会社 | 駆動素子及び駆動方法 |
| JP2015231045A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電フィルム、振動デバイス、および、歪検出デバイス |
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