JPH0225596Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0225596Y2 JPH0225596Y2 JP1983067328U JP6732883U JPH0225596Y2 JP H0225596 Y2 JPH0225596 Y2 JP H0225596Y2 JP 1983067328 U JP1983067328 U JP 1983067328U JP 6732883 U JP6732883 U JP 6732883U JP H0225596 Y2 JPH0225596 Y2 JP H0225596Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- laser beam
- cutting
- small hole
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 27
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
本考案は板状の被加工物をレーザ光によつて切
断するレーザ切断装置に関する。
断するレーザ切断装置に関する。
たとえば、板状の被加工物にレーザ光によつて
所定の大きさの孔を切断加工するには、最初に上
記被加工物にレーザ光で小孔を加工したのち、こ
の小孔を始点としてレーザ光を切断線に沿つて走
査させるようにしている。つまり、最初に小孔を
加工せずにレーザ光を走査させると、被加工物の
厚さ方向全長が切断されずらく、溝掘りの加工状
態でレーザ光が走査することになつてしまう。
所定の大きさの孔を切断加工するには、最初に上
記被加工物にレーザ光で小孔を加工したのち、こ
の小孔を始点としてレーザ光を切断線に沿つて走
査させるようにしている。つまり、最初に小孔を
加工せずにレーザ光を走査させると、被加工物の
厚さ方向全長が切断されずらく、溝掘りの加工状
態でレーザ光が走査することになつてしまう。
ところで、被加工物にレーザ光によつて小孔を
穿設する場合、この小孔の径が切断幅よりも大き
すぎると、被加工物に形成される孔の内周面に段
部ができてしまうという切断不良を招くことにな
る。しかしながら、小孔を加工する場合、所定の
出力のレーザ光を被加工物に一定時間照射するだ
けでは、上記被加工物の板厚によつて小孔の径が
一定しない。したがつて、従来は上記小孔の加工
を作業者の熟練に頼つていたので、非能率的であ
るばかりか、切断不良を招くということもあつ
た。さらに、小孔の加工と切断線に沿う切断加工
とを連続して自動化するということができないと
いう欠点もあつた。
穿設する場合、この小孔の径が切断幅よりも大き
すぎると、被加工物に形成される孔の内周面に段
部ができてしまうという切断不良を招くことにな
る。しかしながら、小孔を加工する場合、所定の
出力のレーザ光を被加工物に一定時間照射するだ
けでは、上記被加工物の板厚によつて小孔の径が
一定しない。したがつて、従来は上記小孔の加工
を作業者の熟練に頼つていたので、非能率的であ
るばかりか、切断不良を招くということもあつ
た。さらに、小孔の加工と切断線に沿う切断加工
とを連続して自動化するということができないと
いう欠点もあつた。
本考案は被加工物の板厚が異なつても切断の始
点となる小孔を所定の径で加工することができる
とともに、この小孔の加工と切断加工とを連続し
て自動的に行なえるようにしたレーザ切断装置を
提供することにある。
点となる小孔を所定の径で加工することができる
とともに、この小孔の加工と切断加工とを連続し
て自動的に行なえるようにしたレーザ切断装置を
提供することにある。
被加工物を切断加工するレーザ光がレーザ発振
器から出力されたならば、その信号を遅延回路部
に入力させ、この遅延回路部によりレーザ光が出
力されたときから上記被加工物の板厚に応じた所
定時間遅延して上記被加工物をXY方向に駆動す
るXYテーブルを作動させるようにして、上記被
加工物に小孔の加工とこの小孔を始点とする切断
加工とを連続して行なえるようにしたものであ
る。
器から出力されたならば、その信号を遅延回路部
に入力させ、この遅延回路部によりレーザ光が出
力されたときから上記被加工物の板厚に応じた所
定時間遅延して上記被加工物をXY方向に駆動す
るXYテーブルを作動させるようにして、上記被
加工物に小孔の加工とこの小孔を始点とする切断
加工とを連続して行なえるようにしたものであ
る。
〔考案の実施例〕
以下、本考案の一実施例を第1図乃至第3図を
参照して説明する。図中1はX駆動源2によつて
X方向に駆動されるXテーブルである。このXテ
ーブル1上にはY駆動源3によつてY方向に駆動
されるYテーブル4が設けられている。このYテ
ーブル4上には治具5によつて板状の被加工物6
がYテーブル4の上面との間に空間を形成する状
態で支持固定されている。この被加工物6の上方
にはホルダ7に保持されたレンズ8が配設されて
いる。このレンズ8にはレーザ発振器9から出力
されて反射鏡10で方向変換されたレーザ光Lが
入射するようになつている。したがつて、レーザ
光Lはレンズ8で集束されて上記被加工物6を照
射するようになつている。
参照して説明する。図中1はX駆動源2によつて
X方向に駆動されるXテーブルである。このXテ
ーブル1上にはY駆動源3によつてY方向に駆動
されるYテーブル4が設けられている。このYテ
ーブル4上には治具5によつて板状の被加工物6
がYテーブル4の上面との間に空間を形成する状
態で支持固定されている。この被加工物6の上方
にはホルダ7に保持されたレンズ8が配設されて
いる。このレンズ8にはレーザ発振器9から出力
されて反射鏡10で方向変換されたレーザ光Lが
入射するようになつている。したがつて、レーザ
光Lはレンズ8で集束されて上記被加工物6を照
射するようになつている。
上記ホルダ7の周壁には電気式の開閉弁11を
備えた供給管12が接続されている。この供給管
12は被加工物6の切断に有効なガス、たとえば
酸素が貯蔵されたガス供給源13に接続されてい
る。したがつて、上記開閉弁11が開くと、ガス
供給源13からのガスがホルダ7から被加工物6
に向けて噴出されるようになつている。
備えた供給管12が接続されている。この供給管
12は被加工物6の切断に有効なガス、たとえば
酸素が貯蔵されたガス供給源13に接続されてい
る。したがつて、上記開閉弁11が開くと、ガス
供給源13からのガスがホルダ7から被加工物6
に向けて噴出されるようになつている。
上記レーザ発振器9にはこのレーザ発振器9を
発停制御する第1の制御部14が接続されてい
る。また、この第1の制御部14には上記開閉弁
11と、遅延時間の設定部15を有する遅延回路
部16とが接続されている。上記設定部15とし
ては、たとえばモノマルチバイブレータ回路の時
定数を定める複数の抵抗をスイツチで切り換えて
所定の遅延時間を得る回路などを用いればよい。
そして、上記第1の制御部14によりレーザ発振
器9を作動させてレーザ光Lを出力させると、そ
の信号が上記開閉弁11と遅延回路16とに入力
されるようになつている。開閉弁11にレーザ光
Lが出力された信号が入力されると、この開閉弁
11は開く。また、遅延回路16にレーザ光Lが
出力された信号が入力されると、その設定部15
に設定された時間だけ遅延して第2の制御部17
に信号が出力される。この第2の制御部17には
上記X駆動源2とY駆動源3とが接続されてい
て、遅延回路16から第2の制御部17に信号が
入力されると、上記X,Y駆動源2,3が駆動制
御される。つまり、第2の制御部17には予め切
断パターンがプログラムされていて、このプログ
ラムにもとづき上記X,Y駆動源2,3を駆動さ
る。したがつて、レーザ光Lは第3図に示す上記
被加工物6の切断線Sを相対的に走査することに
なる。
発停制御する第1の制御部14が接続されてい
る。また、この第1の制御部14には上記開閉弁
11と、遅延時間の設定部15を有する遅延回路
部16とが接続されている。上記設定部15とし
ては、たとえばモノマルチバイブレータ回路の時
定数を定める複数の抵抗をスイツチで切り換えて
所定の遅延時間を得る回路などを用いればよい。
そして、上記第1の制御部14によりレーザ発振
器9を作動させてレーザ光Lを出力させると、そ
の信号が上記開閉弁11と遅延回路16とに入力
されるようになつている。開閉弁11にレーザ光
Lが出力された信号が入力されると、この開閉弁
11は開く。また、遅延回路16にレーザ光Lが
出力された信号が入力されると、その設定部15
に設定された時間だけ遅延して第2の制御部17
に信号が出力される。この第2の制御部17には
上記X駆動源2とY駆動源3とが接続されてい
て、遅延回路16から第2の制御部17に信号が
入力されると、上記X,Y駆動源2,3が駆動制
御される。つまり、第2の制御部17には予め切
断パターンがプログラムされていて、このプログ
ラムにもとづき上記X,Y駆動源2,3を駆動さ
る。したがつて、レーザ光Lは第3図に示す上記
被加工物6の切断線Sを相対的に走査することに
なる。
つぎに、上記レーザ切断装置によつて被加工物
6に矩形の孔を加工する場合について説明する。
まず、Yテーブル4の治具5に板状の被加工物6
を保持固定したならば、この被加工物6の板厚に
応じて遅延回路16の遅延時間をその設定部15
によつて設定する。つぎに、第1の制御部14を
操作してレーザ発振器9を作動させ、レーザ光L
を出力させる。すると、このレーザ光Lは反射鏡
10で反射したのち、レンズ8で集束されて被加
工物6の第3図に示すA点を照射する。またこの
とき開閉弁11が開き、ガス供給源13からのガ
スが被加工物6に噴出される。そして、被加工物
6のA点のレーザ光Lによる照射は、X,Yテー
ブル1,4が駆動されるまで、つまり上記設定部
15に設定された時間だけ継続される。したがつ
て、被加工物6のA点には第2図に示すようにそ
の厚さ方向に貫通する小孔20が穿設される。
6に矩形の孔を加工する場合について説明する。
まず、Yテーブル4の治具5に板状の被加工物6
を保持固定したならば、この被加工物6の板厚に
応じて遅延回路16の遅延時間をその設定部15
によつて設定する。つぎに、第1の制御部14を
操作してレーザ発振器9を作動させ、レーザ光L
を出力させる。すると、このレーザ光Lは反射鏡
10で反射したのち、レンズ8で集束されて被加
工物6の第3図に示すA点を照射する。またこの
とき開閉弁11が開き、ガス供給源13からのガ
スが被加工物6に噴出される。そして、被加工物
6のA点のレーザ光Lによる照射は、X,Yテー
ブル1,4が駆動されるまで、つまり上記設定部
15に設定された時間だけ継続される。したがつ
て、被加工物6のA点には第2図に示すようにそ
の厚さ方向に貫通する小孔20が穿設される。
被加工物6に小孔20を穿設するに必要とする
最小限の時間は、実験により次のように求められ
た。すなわち、被加工物6が鋼板で、レーザ発振
器9が出力150W、パルス幅20ms、パルス繰り返
し率80PPSのYAGレーザの場合、被加工物6の
板厚が2mmであると照射時間は1sec、3mmである
と2sec、4mmであると3secで小孔20が穿設され
ることが確認された。
最小限の時間は、実験により次のように求められ
た。すなわち、被加工物6が鋼板で、レーザ発振
器9が出力150W、パルス幅20ms、パルス繰り返
し率80PPSのYAGレーザの場合、被加工物6の
板厚が2mmであると照射時間は1sec、3mmである
と2sec、4mmであると3secで小孔20が穿設され
ることが確認された。
したがつて、被加工物6の板厚に応じ上記実験
により求められた時間を遅延回路16の設定部1
5に設定すれば、この被加工物6に最小径の小孔
20を加工できる。つまり、小孔20の径を必要
以上に大きくせず、しかも確実に貫通した状態に
加工できる。
により求められた時間を遅延回路16の設定部1
5に設定すれば、この被加工物6に最小径の小孔
20を加工できる。つまり、小孔20の径を必要
以上に大きくせず、しかも確実に貫通した状態に
加工できる。
このように、被加工物6に小孔20が穿設され
て設定部15に設定された時間が過ぎると、遅延
回路16から第2の制御部17に信号が出力さ
れ、X,Y駆動源2,3によつてX,Yテーブル
1,4が駆動される。したがつて、上記被加工物
6には小孔20を始点とする切断加工が行なわれ
る。つまり、レーザ光Lは被加工物6の切断線S
をA点からB点、C点、D点を経てA点に至る順
で照射するから、この被加工物6に上記切断線S
に沿う矩形状の孔21が穿設される。そして、被
加工物6に穿設された切断の始点となる小孔20
は十分小さな径であり、上記切断線Sに沿う切断
幅とほとんど変わらないので、被加工物6に形成
された孔21の内周面に上記小孔20による段部
が生じることがない。
て設定部15に設定された時間が過ぎると、遅延
回路16から第2の制御部17に信号が出力さ
れ、X,Y駆動源2,3によつてX,Yテーブル
1,4が駆動される。したがつて、上記被加工物
6には小孔20を始点とする切断加工が行なわれ
る。つまり、レーザ光Lは被加工物6の切断線S
をA点からB点、C点、D点を経てA点に至る順
で照射するから、この被加工物6に上記切断線S
に沿う矩形状の孔21が穿設される。そして、被
加工物6に穿設された切断の始点となる小孔20
は十分小さな径であり、上記切断線Sに沿う切断
幅とほとんど変わらないので、被加工物6に形成
された孔21の内周面に上記小孔20による段部
が生じることがない。
なお、この実施例において切断線Sの各直線部
分、すなわちAB,BC,CD,DAを切断する場
合、その切断長さが切断幅の数倍になつたなら、
レーザ光Lの走査速度を高めるようにしてもよ
い。
分、すなわちAB,BC,CD,DAを切断する場
合、その切断長さが切断幅の数倍になつたなら、
レーザ光Lの走査速度を高めるようにしてもよ
い。
第4図は本考案の他の実施例を示す。この実施
例は被加工物の一端をYテーブル4に設けられた
チヤツク25によつて保持し、被加工物6をYテ
ーブル4の上面から外れた位置に水平に保持す
る。また、被加工物6は回転自在なローラ26に
よつてたわむことがないよう水平に支持されてい
る。この被加工物6の下面側にはレンズ28を保
持したホルダ29が設けられている。上記レンズ
28は被加工物6の下面側から放出されるレーザ
光Lや切断飛散物などからの放射光を集束して光
電変換器30に導く。この光電変換器30は増幅
回路31を介して上記遅延回路16に接続されて
いる。そして、光電変化器30が放射光を検出し
てその検出信号が遅延回路16に入力されると、
この回路の遅延動作がその時点で解除され、予め
設定された遅延時間が経過するより以前に遅延回
路16は直ちに第2の制御部17に信号を出力す
るように構成され、その信号でテーブル1,4が
プログラムされた加工パターンに応じてX,Y駆
動源2,3によつて駆動開始される。
例は被加工物の一端をYテーブル4に設けられた
チヤツク25によつて保持し、被加工物6をYテ
ーブル4の上面から外れた位置に水平に保持す
る。また、被加工物6は回転自在なローラ26に
よつてたわむことがないよう水平に支持されてい
る。この被加工物6の下面側にはレンズ28を保
持したホルダ29が設けられている。上記レンズ
28は被加工物6の下面側から放出されるレーザ
光Lや切断飛散物などからの放射光を集束して光
電変換器30に導く。この光電変換器30は増幅
回路31を介して上記遅延回路16に接続されて
いる。そして、光電変化器30が放射光を検出し
てその検出信号が遅延回路16に入力されると、
この回路の遅延動作がその時点で解除され、予め
設定された遅延時間が経過するより以前に遅延回
路16は直ちに第2の制御部17に信号を出力す
るように構成され、その信号でテーブル1,4が
プログラムされた加工パターンに応じてX,Y駆
動源2,3によつて駆動開始される。
また、上記ホルダ29には開閉弁32が設けら
れた供給管33が接続され、この供給管32はガ
ス供給源34に接続されている。また、上記開閉
弁32は第1の制御部14に接続され、第1の制
御部14によつてレーザ発振器9を作動させたと
き、その信号によつて開放されるようになつてい
る。したがつて、ホルダ29にガス供給源34か
らガスが供給されることにより、レンズ28が切
断飛散物などから保護される。
れた供給管33が接続され、この供給管32はガ
ス供給源34に接続されている。また、上記開閉
弁32は第1の制御部14に接続され、第1の制
御部14によつてレーザ発振器9を作動させたと
き、その信号によつて開放されるようになつてい
る。したがつて、ホルダ29にガス供給源34か
らガスが供給されることにより、レンズ28が切
断飛散物などから保護される。
このような構成によれば、光電変換器30が被
加工物6の下面側から放出される放射光を検知す
るまでX,Yテーブル1,4が駆動されずに静止
している。つまり、被加工物6にレーザ光Lが照
射され、この被加工物6に小孔20が貫通する
と、その下面側で放射光を検知することができ
る。したがつて、被加工物6に小孔20が穿設さ
れると同時にX,Yテーブル1,4が駆動される
から、上記小孔20を必要以上に大きく穿設する
のを妨げる。すなわち、被加工物6の板厚に応じ
て所定時間遅延させてX,Yテーブル1,4を駆
動することができる。
加工物6の下面側から放出される放射光を検知す
るまでX,Yテーブル1,4が駆動されずに静止
している。つまり、被加工物6にレーザ光Lが照
射され、この被加工物6に小孔20が貫通する
と、その下面側で放射光を検知することができ
る。したがつて、被加工物6に小孔20が穿設さ
れると同時にX,Yテーブル1,4が駆動される
から、上記小孔20を必要以上に大きく穿設する
のを妨げる。すなわち、被加工物6の板厚に応じ
て所定時間遅延させてX,Yテーブル1,4を駆
動することができる。
本考案は以上説明したように、レーザ発振器か
らレーザ光が出力されたなら、そのときから被加
工物の板厚に応じて所定時間遅延させて上記被加
工物をXY方向に駆動するXYテーブルを作動さ
せるようにした。したがつて、被加工物に切断の
始点となる小孔を被加工物の板厚が異なつても十
分小さく穿設できるから、上記下孔によつて切断
面に凹みができるという切断不良を招くことがな
い。また、板厚に応じた下孔の加工と、この下孔
を始点とする切断加工とを連続的に自動で行なえ
るから、加工能率の向上が計れる。
らレーザ光が出力されたなら、そのときから被加
工物の板厚に応じて所定時間遅延させて上記被加
工物をXY方向に駆動するXYテーブルを作動さ
せるようにした。したがつて、被加工物に切断の
始点となる小孔を被加工物の板厚が異なつても十
分小さく穿設できるから、上記下孔によつて切断
面に凹みができるという切断不良を招くことがな
い。また、板厚に応じた下孔の加工と、この下孔
を始点とする切断加工とを連続的に自動で行なえ
るから、加工能率の向上が計れる。
第1図は本考案の一実施例を示す全体の構成
図、第2図は同じく被加工物に小孔が穿設された
状態の断面図、第3図は同じく被加工物にレーザ
光を走査させる説明図、第4図は本考案の他の実
施例を示す構成図である。
図、第2図は同じく被加工物に小孔が穿設された
状態の断面図、第3図は同じく被加工物にレーザ
光を走査させる説明図、第4図は本考案の他の実
施例を示す構成図である。
Claims (1)
- レーザ発振器と、このレーザ発振器から出力さ
れたレーザ光の板状の被加工物への照射を制御す
る第1の制御部と、上記レーザ光によつて切断加
工される上記被加工物が取付けられるXYテーブ
ルと、このXYテーブルをXY方向に駆動制御す
る第2の制御部と、上記第1の制御部がレーザ発
振器を作動させた信号が入力され、この信号が入
力されると上記被加工物の板厚に応じ所定時間遅
延して上記第2の制御部を作動させる遅延回路部
とを具備したことを特徴とするレーザ切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983067328U JPS59171890U (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | レ−ザ切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983067328U JPS59171890U (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | レ−ザ切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59171890U JPS59171890U (ja) | 1984-11-16 |
| JPH0225596Y2 true JPH0225596Y2 (ja) | 1990-07-13 |
Family
ID=30197520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983067328U Granted JPS59171890U (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | レ−ザ切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59171890U (ja) |
-
1983
- 1983-05-04 JP JP1983067328U patent/JPS59171890U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59171890U (ja) | 1984-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109862990B (zh) | 用于切割加工工件的方法和机器 | |
| US7257879B1 (en) | Combination apparatus for machining material with a milling cutter and a laser | |
| US3588440A (en) | Laser combination energy system | |
| KR20160065766A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
| JP5036181B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
| EP1600241B1 (en) | Focus adjuster for laser beam machine | |
| JP4684687B2 (ja) | ウエーハのレーザー加工方法および加工装置 | |
| CN115213568A (zh) | 一种复合激光加工系统及加工方法 | |
| JP3257157B2 (ja) | Co2レーザ穴加工装置及び方法 | |
| JP2002113587A (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
| JPH0225596Y2 (ja) | ||
| JPH0639571A (ja) | レーザ切断方法および装置 | |
| JP2013102039A (ja) | 半導体ウエーハの加工方法 | |
| JP2005142303A (ja) | シリコンウエーハの分割方法および分割装置 | |
| JP6441731B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
| JP2005342760A (ja) | レーザー加工装置 | |
| JPS60154893A (ja) | レ−ザ切断加工装置 | |
| JP2743754B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2837712B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2006294674A (ja) | ウエーハのレーザー加工方法およびレーザー加工装置 | |
| JP2007149820A (ja) | ウエーハのレーザー加工方法 | |
| JPH11245059A (ja) | レーザ微細加工装置 | |
| JP2718224B2 (ja) | レーザ切断方法 | |
| JP3073317B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH0445593A (ja) | プリント配線板の孔明けにおける確認方法 |