JPH02256442A - 高圧及び低圧の液圧系を有する工作機械 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高圧及び低圧の液圧系（以下、油圧系という）
を有する工作機械に係り、さらに詳細には作業動作ある
は急激な動作で油圧駆動可能な少なくとも１つの駆動装
置を有し、前記駆動装置が供給パイプを介して高圧ポン
プによって高圧を供給される高圧系と接続されている工
作機械に関するものである。

〔従来の技術〕

特にマルチスピンドル自動装置、切り換え皿形カッター
、動力分配機など（これらは特に多数の電子油圧スライ
ダ駆動装置を有する）のように多数の油圧駆動装置を有
する工作機械の場合には、通常は中央の高圧油圧系が設
けられ、それによって駆動装置全体に油圧が供給される
。この考えによれば、高圧系に圧力を供給するのに１つ
のポンプしか必要としないという利点がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしこの考えには次のような欠点がある。すなわち必
要とする大きな摺動力を発生させるために作業動作にふ
いてだけ高圧が必要で、急激な動作においてはただ摩擦
力及び流れる力を克服するだけでよいので、きわめて小
さい圧力で十分であるにもかかわらず、油圧媒体の流量
が少ない作業動作においても、油圧媒体の流量が多い急
激な動作においても全ての駆動装置が高圧で駆動される
。

従って本発明の目的は、作業動作においては駆動装置を
高圧で駆動し、急激な動作においては、はぼ、低圧で駆
動することのできる冒頭で述べた種類の工作機械を提供
することである。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題を解決するために冒頭で述べた種類の工作機
械において、本発明によれば、急激な動作で駆動装置を
駆動するために、低圧ポンプから低圧を供給される低圧
系が設けられ、高圧系と供給パイプの間に流量制限装置
が配置され、この流量制限装置が急激な動作においては
高圧下にある油圧媒体の流れを制限することによって供
給パイプ内に圧力の降下をもたらし、作業動作において
は高圧をほぼ維持し、低圧系が逆流防止弁を介して供給
パイプと接続されており、逆流防止弁は急激な動作にお
いては圧力の降下によって開放し、作業動作においては
閉鎖されている構成が採用されている。

〔作用〕

本発明方法の利点は、急激な動作においてはほぼ低圧だ
けで加工することができるので、著しくエネルギが削減
され、さらにこの種の工作機械に必要とされる出力を著
しく小さぐすることができ、油圧系の熱上昇も著しく小
さくなるので、油圧系に冷却装置を必要としないかある
いは非常に小型の冷却装置で済むことである。さらに他
の利点としては、高圧系全体の断面を小さ（することが
でき、低圧系だけを多いオイル量に合わせればよいこと
が挙げられる。

さらに本発明方法の工作機械の加工精度に関する利点は
、高圧系では個々の駆動装置に小量のオイルしか流れな
いので、個々の駆動装置を作動し停止させる場合に圧力
の衝撃が小さい。それに対して従来の考えでは、いずれ
かの駆動装置が急激な動作で移動される場合に、作業に
使用されている駆動装置、例えば切断に使用されている
駆動装置は圧力の降下によって悪影響を受ける。

さらに、本発明方法によれば、静止状態からの駆動装置
の作動は常に高圧で行われるので、付着摩擦を容易に克
服することができる。

従来技術によれば、供給パイプに供給を行うために高圧
ポンプと低圧ポンプを並列に接続することが知られてお
り、その場合に低圧ポンプと供給パイプの間に逆流防止
弁が設けられ、さらに低圧ポンプが供給パイプ内の圧力
によって制御されるルート弁を介して自由な循環に接続
されている。

しかしこの方法には欠点があって、高圧ポンプは急激な
動作においても常に全出力で駆動され、高圧ポンプの移
送出力を制限することによって供給パイプ内で圧力が減
少された場合にだけ、低圧ポンプが使用される。従って
このシステムの場合には各駆動装置に高圧と低圧のポン
プが必要である。

というのは駆動装置が急激な動作で駆動される場合には
、高圧ポンプからは他の駆動装置を駆動できる高圧が発
生されないからである。

流量制限装置の最も簡単なものは、絞り弁である。しか
しその場合には、作業動作においても急激な動作におい
ても作動してしまうという欠点がある。従って流量制限
装置を、油圧媒体が作業動作で使用される最大可能な消
費量によって決定される所定の最大流量を越えた場合に
作用するようにすると効果的である。

前記最大流量を越えた場合に流量制限装置を作動させる
ことは、流量制限装置を圧力制御することによって非常
に簡単に行うことができる。

流量制限装置の制御に必要な、流量制限装置を通過する
油圧媒体の流れに関係する圧力の降下を発生させるため
に、流量制限装置は測定オリフィスに生じる圧力差によ
って制御される。

この測定オリフィスは原則的には高圧系と駆動装置の間
の任意の箇所に設けることができるが、測定オリフィス
を流量制限装置の下流側に配置すると特に効果的である
。

以上説明した実施例の枠内にあっては、低圧系が逆流防
止弁を介して供給パイプと接続されることだけが前提と
なっているが、測定オリフィスが設けられているという
事実を考慮して供給パイプとどのように接続させるかと
いうことについては説明を行っていない。好ましい第１
の実施例によれば、逆流防止弁は流量制限装置と測定オ
リフィスとの間に設けられた中間パイプと接続されてお
リ、それによって逆流防止弁が開放していても低圧下に
ある油圧媒体の一部は測定オリフィスを通って流れ、こ
の測定オリフィスに生じる圧力の低下を維持することが
できる。

この実施例においては好ましくは流量制限装置は圧力制
御の遮断弁であって、この遮断弁は切り換え値を越えた
ときに閉鎖するので、測定オリフィスに切り換え値を越
える圧力降下が発生した場合に、流量制限装置によって
高圧系から供給パイプへの油圧媒体の流れを阻止するこ
とができる。

急激な動作の場合に低圧下にある油圧媒体を大量に流し
て駆動に使用することができるようにするために、上述
の実施例においては逆流防止弁が測定オリフィスに並列
に接続されており、この逆流防止弁は遮断弁の切り換え
値より大きい開放圧力が生じた場合に開放する。それに
よって、測定オリフィスの圧力降下が遮断弁の遮断状態
を維持するのに必要な値より大きくなった場合に、測定
オリフィスに並列に接続された逆流防止弁が開放し、そ
れによって測定オリフィスへのバイパスが形成されるの
で、低圧下にあるすべての油圧媒体を測定オリフィスを
通過させる必要はなく、全体として装置の流れ抵抗が小
さくなり、急激な動作の場合に大量の油圧媒体を流すこ
とができる。

第２の実施例においては、逆流防止弁はオリフィスの下
流に位置する供給パイプと接続されているので、急激な
動作の場合には低圧下にある油圧媒体はオリフィスを通
過しない。

この実施例の場合には好ましくは流量制限装置は圧力制
御の絞り弁であって、この絞り弁は高圧下にある油圧媒
体の流量を所定の最大流量に制限するものであって、最
大流量は好ましくは駆動装置の作業動作に必要な流量よ
り多いように選択することができる。

以上説明した実施例においては低圧系がどうのように構
成されているかについては詳しく説明していないが、低
圧系に低圧貯蔵装置が設けられていると効果的である。

というのはそうすれば小さなポンプ出力で十分であって
、低圧貯蔵装置を介してピーク使用量を補償することが
できるからである。

好ましい実施例においては、低圧系と低圧ポンプとの間
に逆流防止弁が設けられているので、低圧系で低圧が達
成されると低圧ポンプを自由循環に切り換えることがで
きる。

それを達成するために、好ましくは逆流防止弁と低圧ポ
ンプとの接続箇所から低圧系の圧力によって制御される
低圧貯蔵装置チャージ弁を有するタンクパイプが分岐し
ており、この低圧貯蔵装置チャージ弁は低圧系の低圧が
所定の目標値より低い場合には常に閉鎖しているので、
低圧ポンプは逆流防止弁を介して低圧下にある油圧媒体
を低圧系へ供給し、低圧が達成されかつ好ましくは低圧
貯蔵装置が充填された時には低圧貯蔵装置チャージ弁は
開放して、低圧ポンプを自由循環に切り換え、その場合
には逆流防止弁によ、って低圧系からの逆流が阻止され
る。

以上説明した実施例においては高圧系に関しても詳細な
説明を行っていない。高圧系の場合にも、高圧貯蔵装置
が設けられており、それによってポンプ出力を小さく選
択することができ、この高圧貯蔵装置によってピーク使
用量を補償するようにすると効果的である。

同様に高圧ポンプと高圧系との間に逆流防止弁が設けら
れ、それによって高圧系における高圧に必要な目標値に
達したら高圧ポンプを自由循環に切り換えられるように
すると効果的である。

さらに、冨圧ポンプと逆流防止弁との間に高圧系の圧力
で制御される高圧貯蔵装置チャージ弁を有する還流パイ
プを分岐させると効果的であって、前記高圧貯蔵装置チ
ャージ弁は高圧系の高圧に必要な目標値に達すると開放
し、高圧ポンプから移送される油圧媒体を還流パイプを
介して流出させることができる。

この還流パイプは最も簡単な実施例においては、前述の
タンクパイプと同様に直接油圧媒体のタンクに通じるよ
うに形成されている。しかし高圧ポンプの出力を最適に
利用するためには、還流パイプがタンクパイプの逆流防
止弁と低圧貯蔵装置チャージ弁との間に連通しており、
それによって高圧下にある油圧媒体を低圧系の供給にも
使用することができ、特に低圧系の圧力が急速に降下し
た場合に低圧ポンプの移送出力を支えることができるよ
うにすると効果的である。

〔実施例〕

以下、図面に示す実施例を用いて本発明の詳細な説明す
る。

第１図に全体を符号１０で示す工作機械の実施例は旋盤
であって、作業室１４を有する基台１２が設けられてお
り、作業室１４の第１図左側には作業スピンドル１６が
突出しており、この作業スピンドル１６に工作物１８を
嵌め込んで加工することができる。工作物１８の加工は
作業室１４内に配置された工具支持体２０によって行わ
れ、工具支持体２０はクロススライダ２２上で２つの軸
方向に移動することができる。

第２図に示すようにクロススライダ２２は、第１の電子
油圧スライダ駆動装置２４及び第２の電子油圧スライダ
駆動装置２６として例示される駆動装置によって第１の
軸線２８ないし第２の軸線３０の方向へ移動することが
できる。

各スライダ駆動装置２４．２６にはそれぞれの軸線２８
ないし３０方向へ移動することのできるピストン３２な
いし３４が設けられており、ピストンはそれぞれシリン
ダハウジング３６ないし３８を２つのシリンダ室４０と
４２ないし４４と４６に分けている。

スライダ駆動装置２４ないし２６の制御は第１ないし第
２の制御弁４８ないし５０を介して行われ、これらの制
御弁はそれぞれ機械制御による作動に応じて一方のシリ
ンダ室４０あるいは４２ないし４４あるいは４６を油圧
媒体の供給パイプ５２に接続し、それぞれ他方のシリン
ダ室４２あるいは４０ないし４６あるいは４４をタンク
還流パイプ５４へ接続する。タンク還流パイプ５４は油
圧媒体を専用のタンク５６へ還流させる。

全体を符号５８で示す系統切り換え装置を介して、供給
パイプ５２を低圧集合パイプロ０と接続し、あるいは高
圧集合パイプロ２と接続することができる。

高圧集合パイプロ２は高圧系統の一部であって、高圧系
統には高圧集合パイプから分岐した高圧供給パイプロ４
が設けられており、高圧供給パイプロ４には高圧貯蔵装
置６６が接続されている。

全体を符号６７で示す高圧ポンプは、高圧ポンプ６７の
出口と逆流防止弁６８の間に分岐している還流パイプ７
０が同還流パイプ７０内に配置されている高圧貯蔵装置
チャージ弁７２によってブロックされている場合には、
前記のタンク５６から油圧媒体を逆流防止弁６８を介し
て高圧供給パイプロ４へ移送する。高圧貯蔵装置チャー
ジ弁７２は遮断弁として形成されており、制御スライダ
７４を有し、該制御スライダ７４には高圧供給パイプロ
４から分岐している制御パイプ７６を介してこの高圧供
給パイプロ４内を支配している圧力が供給され、かっば
ね７８によって閉鎖位置に付勢されている。高圧供給パ
イプロ４内の圧力がばね７８によって調節可能な目標値
を上回ると、制御パイプ７６を介してその圧力が供給さ
れる制御スライダ７４は開放位置へ移動されて、還流パ
イプ７０のブロックを解除するので、油圧媒体は逆流防
止弁６８を介して高圧供給パイプロ４へ流れる代わりに
、今度は還流パイプ７０を介して流れ去る。それに対し
て高圧供給パイプロ４内の圧力が再び目標値を下回ると
、制御スライダ７４が還流パイプ７０を閉鎖して、高圧
ポンプ６７はまた逆流防止弁６８を介して油圧媒体を高
圧供給パイプロ４へ送る。

低圧系統には、低圧集合パイプロ０から分岐した低圧供
給パイプ８０と低圧供給パイプ８０に接続された低圧貯
蔵装置８２が設けられている。低圧ポンプ８４も、低圧
貯蔵装置チャージ弁８８が低圧ポンプ８４の出口と逆流
防止弁８６の間に分岐しているタンクパイプ９０をブロ
ックしている場合には、タンク５６から油圧媒体を逆流
防止弁８６を介して低圧供給パイプ８０へ送る。低圧貯
蔵装置チャージ弁８８も制御パイプ９２を介して低圧供
給パイプ８０に接続されているので、低圧貯蔵装置チャ
ージ弁８８の制御スライダ９４は高圧貯蔵装置チャージ
弁７２の制御スライダ７４と同様に機能し、その機能に
ついては高圧貯蔵装置チャージ弁７２の説明を参照する
ことができる。

この場合にタンクパイプ９０は油圧媒体のタンク５６に
直接連通する。

さらにその間に高圧貯蔵装置チャージ弁７２が配置され
ている還流パイプ７０もタンクパイプ９０の逆流防止弁
８６と低圧貯蔵装置チャージ弁８８の間に連通している
。それによって、低圧ポンプ８４から送られる油圧媒体
の他に高圧ポンプ６７から送られるオーバーフローした
油圧媒体も低圧供給パイプ８０の供給に使用することが
できる。

本発明による系統切り換え装置５８には中間パイプ９６
が設けられており、この中間パイプ９６は差圧弁９８を
介して高圧集合パイプロ２と接続することができる。さ
らに中間パイプ９６と供給パイプ５２０間には測定オリ
フィス１００が設けられており、この測定オリフィス１
００と並列に、すなわち同様に中間パイプ９６と供給パ
イプ５２０間に所定の開放圧力を越えると開放する逆流
防止弁１０２が設けられている。この逆流防止弁１０２
は、中間パイプ９６と供給パイプ５２の圧力の差が開放
圧力を越えた場合に開放するので、そのときには測定オ
リフィス１００へのバイパスが形成される。

低圧集合パイプロ０は逆流防止弁１０４を介して中間パ
イプ９６と接続されており、前記逆流防止弁１０４は中
間パイプ９６内の圧力が低圧集合パイプロ０内の圧力よ
りも大きい場合には常に閉鎖されている。

差圧弁９８は第１の制御パイプ１０６を介して供給パイ
プ５２内の圧力を測定し、第２の制御パイプ１０８を介
して中間パイプ９６内の圧力を測定する。その際に第１
の制御パイプ１０６内の圧力は、ばね１１０による付勢
の他に差圧弁９８の制御スライダ１１２に開放する方向
、すなわち中間パイプ９６を高圧集合パイプロ２に接続
させる方向への作用を与え、第２の制御パイプ１０８内
の圧力は制御スライダ１１２を閉鎖位置へ移動させよう
とする。

次に本発明の系統切り換え装置５８の機能を説明する。

クロススライダ２２が作業動作を常に行い、その作業動
作が非常にゆっくりではあるが高圧下にある油圧媒体に
よって行われるものとすると、高圧下にある油圧媒体を
最大に使用することができ、この油圧媒体はクロススラ
イダ２２が２つの軸線に沿って移動するときに流出する
。高圧下にある油圧媒体の代表的な最大流量は、１分間
に約２リツトルである。

作業動作の全体にわったって供給パイプ５２に高圧下に
ある油圧媒体のみを確実に供給できるようにするために
、測定オリフィス１００はこの測定オリフィスに生じる
圧力低下が最大流量の場合でも、差圧弁９８の制御スラ
イダ１１２をばね１１０の弾性に抗して開放位置から閉
鎖位置へ切り換えるのに必要な切り換え値を上回らない
ように選択される。

この場合は中間パイプ９６は常に高圧集合パイプロ２と
接続されているので、逆流防止弁１０４は閉鎖されたま
まとなり、高圧下にある油圧媒体のみが中間パイプ９６
から測定オリフィス１００を介して供給パイプ５２に流
入する。測定オリフィス１００における圧力降下が切り
換え値を越えないので、ばね１１０の弾性力は供給パイ
プ５２内の圧力によって制御スライダ１１２にもたらさ
れる力と共に中間パイプ９６内の圧力によってもたらさ
れる力を上回り、制御スライダ１１２は常に開放状態に
維持される。

しかしスライダ駆動装置２４あるいは２６のいずれかが
、または両方のスライダ駆動装置２４．２６が急激な動
作を行うと、油圧媒体の最大流量が多（なり、例えば代
表的な流量値が１分間に２０リツトルに達する場合もあ
る。その場合には測定オリフィス１００に差圧弁９８の
切り換え値を越える圧力降下が生じるので、中間パイプ
９６内の圧力によって制御スライダ１１２に作用する力
は制御スライダを閉鎖位置、すなわち中間パイプ９６を
高圧集合パイプロ２から切り放す位置へ移動させる。そ
の結果、逆流防止弁１０４は開放し、油圧媒体は低圧集
合パイプロ０から逆流防止弁１０４を介して中間パイプ
へ流入する。この油圧媒体はまず測定オリフィス１００
を介して流れ、測定オリフィスに生じる差圧弁９８の切
り換え値を越える圧力低下を維持するので、差圧弁は閉
鎖位置に留まる。

しかし、急激な動作時に油圧媒体を非常に大量に使用す
ると、測定オリフィス１００は好ましくない流れ抵抗を
示す。そのため逆流防止弁１０２の開放圧力は、測定オ
リフィス１００の圧力降下が差圧弁９８を切り換える切
り換え値を越えた場合に開放するように選択されている
。

例えば逆流防止弁１０２の開放圧力は、差圧弁９８の切
り換え値の２倍の大きさに選択される。

測定オリフィス１００の圧力降下が逆流防止弁１０２の
開放圧力を越えると、逆流防止弁１０２が開放して測定
オリフィス１００へのバイパスが形成されるので、測定
オリフィス１００とそれに並列に接続された逆流防止弁
１０２を組み合わせたものの流れ抵抗が小さくなり、急
激な動作の速度を限定しない。

急激な動作が終了すると、測定オリフィス１００の圧力
降下が差圧弁９８の切り換え値を下回っている間は測定
オリフィスの圧力降下はなくなるので、差圧弁は再び閉
鎖して、中間パイプ９６内の圧力が上昇することによっ
て逆流防止弁１０４も閉鎖される。

従って系統切り換え装置５８の作用によって、スライダ
駆動装置２４．２６が急激な移動を行っている瞬間には
高圧集合パイプロ２からは油圧媒体は供給されず、低圧
集合パイプロ０からだけ油圧媒体が供給される。という
のは急激な動作を行うためには油圧媒体の圧力はもっと
低くて十分であり、大きな対抗力で作業動作を行うとす
る場合には駆動装置２４．２６は高圧集合パイプロ２か
ら供給される高圧下にある油圧媒体だけで駆動される。

高圧集合パイプ内の圧力の代表的な値は約１００バール
であって、低圧集合パイプ内の圧力の代表的な値は約３
０バールである。差圧弁９８の切り換え値は例えば０．
５バールであって、逆流防止弁１０２の開放圧力は約１
バールである。

第３図に示す本発明方法の第２の実施例には、同一の部
材を使用する場合には同一の符号が設けられている。し
たがって説明については第１図と第２図に示す第１の実
施例に関する記載を参照することができる。

系統切り換え装置１２０は第１の実施例の場合とは異な
って形成されている。系統切り換え装置１２０には、高
圧集合パイプロ２と供給パイプ５２の間にあって全体を
符号１２２で示される流量制限弁が設けられており、こ
の流量制限弁１２２には測定オリフィス１２４とその前
段に接続され絞り弁として作用する差圧弁１２６が設け
られており、差圧弁１２６の制御ピストン１２８は第１
の制御パイプ１３０を介して測定オリフィス１２４の前
の圧力を受ける油圧媒体と、第２の制御パイプ１３２を
介してオリフィス１２４の後ろの圧力を受ける油圧媒体
によって閉鎖ないし開放位置に移動されるので、測定オ
リフィスの圧力降下が大きい場合、すなわち流量が多い
場合には差圧弁１２６は絞られ、測定オリフィス１２４
の圧力降下が小さい場合、すなわち流量が少ない場合に
は開放する。従ってこの流量制限弁１２２によって油圧
媒体の最大流量が形成され、この最大流量は２つの駆動
装置２４．２６が作業動作をする場合の少なくとも最大
消費量に相当するように選択される。

系統切り換え装置１２０には流量制限弁１２２の他に逆
流防止弁１３４も設けられており、この逆流防止弁１３
４は低圧集合パイプロ０と供給パイプ５２の間に設けら
れている。この逆流防止弁１３４の機能は系統切り換え
装置５８の逆流防止弁１０４に相当する。

この第２の実施例は次のように作用する。すなわち、ス
ライダ駆動装置２４．２６が急激な動作を行う場合に、
流量制限弁１２２によって調節される高圧集合パイプロ
２から供給パイプ５２に至る油圧媒体の最大流量を上回
ることによって供給パイプ５２内に圧力降下が生じる。

供給パイプ５２内の圧力が低圧集合パイプロ０内の圧力
より低くなると、逆流防止弁１３４が開放するので、低
圧をうけるようになった油圧媒体が供給パイプ５２に流
入することができる。しかし第１の実施例とは異なり、
高圧下にある油圧媒体の供給は中断されず、流量制限弁
１２２で調節可能な最大流量に限定される。

駆動装置２４．２６の急激な動作が終了すると、供給パ
イプ５２内の圧力は再び低圧集合パイプロ０内の圧力を
越えるので、逆流防止弁１３４が閉鎖され、供給パイプ
５２には駆動装置２４．２６が駆動動作を行う際に高圧
下にある油圧媒体が流量制限弁１２２を介して供給され
る。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、作業
動作においては駆動装置を高圧で駆動し、

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の工作機械の全体を示す斜視図、第２図
は本発明に係る第１の実施例の概略を示す説明図、 第３図は本発明に係る第２の実施例の概略を示す説明図
である。 １０・・・旋盤、 １６・・・作業スピンドル、 ２２・・・クロススライダ、 ２４・・・第１の電子油圧スライダ駆動装置、２６・・
・第２の電子油圧スライダ駆動装置、５２・・・供給パ
イプ、 ５８・・・系統切り換え装置、 ６０・・・低圧集合パイプ、 ６２・・・高圧集合パイプ、 ６４・・・高圧供給パイプ、 ６６・・・高圧貯蔵装置、 ６７・・・高圧ポンプ、 ７２・・・高圧貯蔵装置チャージ弁、 ８０・・・低圧供給パイプ、 ８２・・・低圧貯蔵装置、 ８４・・・低圧ポンプ、 ８８・・・低圧貯蔵装置チャージ弁、 １２０・・・系統切り換え装置、 １２２・・・流量制限弁。 ＦＩＧ、　７

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、作業動作あるいは急激な動作で油圧駆動可能な少な
   くとも１つの駆動装置を有し、前記駆動装置が供給パイ
   プを介して高圧ポンプによって高圧を供給される高圧系
   と接続されている工作機械において、 急激な動作で駆動装置（２４、２６）を駆動するために
   、低圧ポンプ（８４）から低圧を供給される低圧系（６
   ０、８０、８２）が設けられ、高圧系（６２、６４、６
   ６）と供給パイプ（５２）の間に流量制限装置（９８；
   １２６）が配置され、この流量制限装置が急激な動作に
   おいては高圧下にある液圧媒体の流れを制限することに
   よって供給パイプ（５２）内に圧力の降下をもたらし、
   作業動作においては高圧をほぼ維持し、低圧系（６０、
   ８０、８２）が逆流防止弁（１０４；１３４）を介して
   供給パイプ（５２）と接続されており、逆流防止弁（１
   ０４；１３４）は急激な動作においては圧力の降下によ
   って開放し、作業動作においては閉鎖されていることを
   特徴とする工作機械。 ２、流量制限装置（９８；１２６）は液圧媒体の流量が
   所定の最大流量を越えた場合に作動することを特徴とす
   る請求項第１項に記載の工作機械。 ３、流量制限装置（９８；１２６）が圧力制御されるこ
   とを特徴とする請求項第１項あるいは第２項に記載の工
   作機械。 ４、流量制限装置（９８；１２６）が測定オリフィス（
   １００）に生じる圧力差によって制御されることを特徴
   とする請求項第３項に記載の工作機械。 ５、測定オリフィス（１００）が流量制限装置（９８；
   １２６）の下流側に配置されていることを特徴とする請
   求項第４項に記載の工作機械。 ６、逆流防止弁（１０４）が流量制限装置（９８）と測
   定オリフィス（１００）の間に配置された中間パイプ（
   ９６）と接続されていることを特徴とする請求項第５項
   に記載の工作機械。 ７、流量制限装置が圧力制御される遮断弁（９８）であ
   って、この遮断弁は圧力差が所定の切り換え値を越えた
   ときに閉鎖することを特徴とする請求項第３項から第６
   項のいずれか１項に記載の工作機械。 ８、測定オリフィス（１００）に対して逆流防止弁（１
   ０２）が並列に配置されており、前記逆流防止弁は遮断
   弁（９８）の切り換え値より大きい開放圧力で開放する
   ことを特徴とする請求項第７項に記載の工作機械。 ９、逆流防止弁（１３４）が供給パイプ（５２）と接続
   されていることを特徴とする請求項第４項あるいは第５
   項に記載の工作機械。 １０、流量制限装置が圧力制御される絞り弁（１２６）
   であることを特徴とする請求項第９項に記載の工作機械
   。 １１、低圧系（６０、８０）に低圧貯蔵装置（８２）が
   設けられていることを特徴とする請求項第１項から第１
   ０項のいずれか１項に記載の工作機械。 １２、低圧系（６０、８０、８２）と低圧ポンプ（８４
   ）の間に逆流防止弁（８６）が設けられていることを特
   徴とする請求項第１項から第１１項のいずれか１項に記
   載の工作機械。 １３、逆流防止弁（８６）と低圧ポンプ（８４）の接続
   点から、低圧系（６０、８０、８２）内の圧力によって
   制御される低圧貯蔵装置チャージ弁（８８）を有するタ
   ンクパイプ（９０）が分岐していることを特徴とする請
   求項第１２項に記載の工作機械。 １４、高圧系（６２、６４）に高圧貯蔵装置（６６）が
   設けられていることを特徴とする請求項第１項から第１
   ３項のいずれか１項に記載の工作機械。 １５、高圧ポンプ（６７）と高圧系（６２、６４、６６
   ）の間に逆流防止弁（６８）が設けられていることを特
   徴とする請求項第１項から第１４項のいずれか１項に記
   載の工作機械。 １６、高圧ポンプ（６７）と逆流防止弁（６８）の間で
   、高圧系（６２、６４、６６）内の圧力によって制御さ
   れる高圧貯蔵装置チャージ弁（７２）を有する還流パイ
   プ（７０）が分岐していることを特徴とする請求項第１
   ５項に記載の工作機械。 １７、還流パイプ（７０）が、タンクパイプ（９０）の
   逆流防止弁（８６）と低圧貯蔵装置チャージ弁（８８）
   の間に連通していることを特徴とする請求項第１６項に
   記載の工作機械。