JPH0225719A - 光スペクトラムアナライザ - Google Patents
光スペクトラムアナライザInfo
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- JPH0225719A JPH0225719A JP63176809A JP17680988A JPH0225719A JP H0225719 A JPH0225719 A JP H0225719A JP 63176809 A JP63176809 A JP 63176809A JP 17680988 A JP17680988 A JP 17680988A JP H0225719 A JPH0225719 A JP H0225719A
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- JP
- Japan
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- light
- optical
- measured
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- signal
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 84
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 5
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N helium neon Chemical compound [He].[Ne] CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は被測定光の波長分布等を測定する場合に用い
られる光干渉信号抽出装置に関する。
られる光干渉信号抽出装置に関する。
「従来の技術」
第4図に従来用いられている光干渉信号抽出装置を示す
。図中10は被測定光を射出する光源、20は光路差を
掃引することができろ光干渉計を示す。この例ではマイ
ケルソン干渉計を示すがその他にファブリペロ干渉計を
用いることもできる。
。図中10は被測定光を射出する光源、20は光路差を
掃引することができろ光干渉計を示す。この例ではマイ
ケルソン干渉計を示すがその他にファブリペロ干渉計を
用いることもできる。
マイケルソン干渉計20は分波及び合波動作を行うハー
フミラ−21と、固定光路24を形成するための固定ミ
ラー22と、可変光路25を形成するための可動ミラー
23とによって構成される。
フミラ−21と、固定光路24を形成するための固定ミ
ラー22と、可変光路25を形成するための可動ミラー
23とによって構成される。
光源10から出射された被測定光11はハーフミラ−2
1によって固定光路24と可変光路25とに分波され、
固定光路24と可動光路25を通った光は再びハーフミ
ラ−21によって合波され、その合波された光は受光器
30で電気信号に変換される。
1によって固定光路24と可変光路25とに分波され、
固定光路24と可動光路25を通った光は再びハーフミ
ラ−21によって合波され、その合波された光は受光器
30で電気信号に変換される。
ハーフミラ−21において合波される際に固定光路24
を通った光と可変光路25を通った光は光路差の違いに
よって位相差が与えられ、その位相差の違いによって干
渉を起こす。光の干渉は可動ミラ〜23の動きに同期し
て発生する。よって、光干渉計20から出力される光は
干渉光になっており、この干渉光を受光器30で電気信
号に変換することによって第5図に示すような干渉信号
を得ることができる。この干渉信号を周波数分析するこ
とにより被測定光11のスペクトラムを描かせることが
できる。
を通った光と可変光路25を通った光は光路差の違いに
よって位相差が与えられ、その位相差の違いによって干
渉を起こす。光の干渉は可動ミラ〜23の動きに同期し
て発生する。よって、光干渉計20から出力される光は
干渉光になっており、この干渉光を受光器30で電気信
号に変換することによって第5図に示すような干渉信号
を得ることができる。この干渉信号を周波数分析するこ
とにより被測定光11のスペクトラムを描かせることが
できる。
「発明が解決しようとする課題」
第5図に示した干渉信号は被測定光11の光パワーが安
定している場合の波形を示す。このように被測定光11
の光パワーが安定している場合はSN比のよい干渉信号
を得ることができる。
定している場合の波形を示す。このように被測定光11
の光パワーが安定している場合はSN比のよい干渉信号
を得ることができる。
これに対し、被測定光11の光パワーが第6図に示すよ
うに変動している場合は、干渉信号のSN比が悪くなり
、従って、周波数分析してスペクトラムを描かせた場合
に、そのスペクトラムに被測定光11が持つ光パワーの
変動成分もスペクトラムとして表示され、被測定光11
の波長分布を正確に測定することができない欠点がある
。
うに変動している場合は、干渉信号のSN比が悪くなり
、従って、周波数分析してスペクトラムを描かせた場合
に、そのスペクトラムに被測定光11が持つ光パワーの
変動成分もスペクトラムとして表示され、被測定光11
の波長分布を正確に測定することができない欠点がある
。
この発明の目的は、被測定光が持つ光パワー変動に基づ
く雑音を除去することができる光干渉抽出装置を提供す
るにある。
く雑音を除去することができる光干渉抽出装置を提供す
るにある。
「課題を解決するための手段」
この発明では、干渉光を受光する受光器とは別に、被測
定光の光パワーを検出する第2受光器を設け、この第2
受光器で得られる受光信号で光干渉信号を除算する構成
としたものである。
定光の光パワーを検出する第2受光器を設け、この第2
受光器で得られる受光信号で光干渉信号を除算する構成
としたものである。
この発明の構成によれば、第2受光器で受光した受光信
号は被測定光の光パワーの変動信号として扱うことがで
きる。従って、この受光信号によって光干渉信号を除算
することによって光干渉信号から被測定光の光パワーの
変動を除去することができる。
号は被測定光の光パワーの変動信号として扱うことがで
きる。従って、この受光信号によって光干渉信号を除算
することによって光干渉信号から被測定光の光パワーの
変動を除去することができる。
よって、この発明の光干渉信号抽出装置によればSN比
のよい光干渉信号を得ることができ、光の波長分布を正
確に測定することができる光スペクトラムアナライザを
提供できる。
のよい光干渉信号を得ることができ、光の波長分布を正
確に測定することができる光スペクトラムアナライザを
提供できる。
「実施例」
第1図にこの発明の一実施例を示す。
第1図において第4図と対応する部分には同一符号を付
し、その重複する部分の説明は省略するが、この発明に
おいては被測定光11の光パワーを検出する第2受光器
40を設ける。つまり、被測定光11を射出する光源1
0と光干渉計20との間にハーフミラ−12を設け、こ
のハーフミラ−12によって光干渉計20に与える光の
一部を分岐させ、この分岐した光を第2受光器40に受
光させるように構成した場合を示す。
し、その重複する部分の説明は省略するが、この発明に
おいては被測定光11の光パワーを検出する第2受光器
40を設ける。つまり、被測定光11を射出する光源1
0と光干渉計20との間にハーフミラ−12を設け、こ
のハーフミラ−12によって光干渉計20に与える光の
一部を分岐させ、この分岐した光を第2受光器40に受
光させるように構成した場合を示す。
第2受光器40から出力される信号SBは被測定光11
の光パワー変動を表わす信号である。つまり、光源10
が商用電源で励起されている場合には50乃至60Hz
或いは100乃至120Hzの雑音が混入する。また、
直流点灯の場合には、直流電源の電源電圧変動等によっ
て発生する低い周波数の光パワー変動が伴う。この光パ
ワー変動を第2受光器40から出力される信号SBとし
て取出す。
の光パワー変動を表わす信号である。つまり、光源10
が商用電源で励起されている場合には50乃至60Hz
或いは100乃至120Hzの雑音が混入する。また、
直流点灯の場合には、直流電源の電源電圧変動等によっ
て発生する低い周波数の光パワー変動が伴う。この光パ
ワー変動を第2受光器40から出力される信号SBとし
て取出す。
第1受光器30から出力される光干渉信号SAと、第2
受光器40から出力される検出信号SBを除算器50に
与え、除算器50においてSA/SBを演算する。
受光器40から出力される検出信号SBを除算器50に
与え、除算器50においてSA/SBを演算する。
第2図Aに示す光干渉信号SAには第2図Bに示す被測
定光11の変動成分SBが含まれているから、除算器5
0の出力には変動成分SBが除去された第2図Cに示す
干渉信号SCが出力される。
定光11の変動成分SBが含まれているから、除算器5
0の出力には変動成分SBが除去された第2図Cに示す
干渉信号SCが出力される。
この干渉信号SCはSN比がよく、被測定光11の波長
分布を正確に求めることができる。
分布を正確に求めることができる。
第3図はこの発明の他の実施例を示す。この実施例では
被測定光11の他に基準源60から基準光61を与える
。この基準光源60は1例えばヘリウム−ネオンレーザ
のように狭スペクトル特性を持つ光を用いる。基準光6
1も光干渉計20の内部では固定光路24と可変光路2
5を通ってノ・−フミラー21で合波され干渉光として
取出され、受光器62に受光される。
被測定光11の他に基準源60から基準光61を与える
。この基準光源60は1例えばヘリウム−ネオンレーザ
のように狭スペクトル特性を持つ光を用いる。基準光6
1も光干渉計20の内部では固定光路24と可変光路2
5を通ってノ・−フミラー21で合波され干渉光として
取出され、受光器62に受光される。
基準光源60として狭スペクトル特性の光を射出する光
源を用いることによって受光器61から出力される光干
渉信号SDは振幅値が可動ミラー23の動きに対して大
きく変動しない信号を得ることができる。この基準光干
渉信号をN゛逓倍器62に与え、N避′倍した信号をサ
ンプリングクロックとして取出し、このサンプリングク
ロックをAD変換器31及び41に与え、被測定光11
の干渉光と、被測定光11の光パワー変動の検出信号を
AD変換器41に与え、これらAD変換器31と41で
AD変換したディジタルデータSAとSBを除算器50
に入力し、SA/SBを演算する。
源を用いることによって受光器61から出力される光干
渉信号SDは振幅値が可動ミラー23の動きに対して大
きく変動しない信号を得ることができる。この基準光干
渉信号をN゛逓倍器62に与え、N避′倍した信号をサ
ンプリングクロックとして取出し、このサンプリングク
ロックをAD変換器31及び41に与え、被測定光11
の干渉光と、被測定光11の光パワー変動の検出信号を
AD変換器41に与え、これらAD変換器31と41で
AD変換したディジタルデータSAとSBを除算器50
に入力し、SA/SBを演算する。
なお、この例では光干渉信号SAに係数boを乗算した
場合を示す。この係数boは例えば光干渉計20内にお
いて固定光路24と可変光路25の光路差がゼロの近傍
における被測定光11の光パワーの値または光路差がゼ
ロの点を中心にその前後の区間の光パワーの平均値とす
ることができる。
場合を示す。この係数boは例えば光干渉計20内にお
いて固定光路24と可変光路25の光路差がゼロの近傍
における被測定光11の光パワーの値または光路差がゼ
ロの点を中心にその前後の区間の光パワーの平均値とす
ることができる。
結果として、この例では時間の経過と共に刻々変化する
雑音成分SBと光路差ゼロ点付近の光パワー1)++の
比を光干渉信号SAに乗算したことと等価となる。
雑音成分SBと光路差ゼロ点付近の光パワー1)++の
比を光干渉信号SAに乗算したことと等価となる。
このようにAD変換した後に除算動作を行っても変動成
分を除去することができる。
分を除去することができる。
なお、この実施例では除算回路50から出力される信号
sCを周波数分析器51と、包絡線検波器52に与え、
周波数分析器51の出力によって被測定光11の光スペ
クトラムを表示器53に表示させ、また包絡線検波器5
2の出力によって表示器54に可干渉性の有無を表示さ
せる構成を付加した場合を示す。
sCを周波数分析器51と、包絡線検波器52に与え、
周波数分析器51の出力によって被測定光11の光スペ
クトラムを表示器53に表示させ、また包絡線検波器5
2の出力によって表示器54に可干渉性の有無を表示さ
せる構成を付加した場合を示す。
また、A、 D変換器4JのAD変換出力を表示器55
に表示させることによって被測定光11の振幅変動を観
測することができる。
に表示させることによって被測定光11の振幅変動を観
測することができる。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によれば被測定光11の
光パワーが変動していても、その変動成分を除去して光
スペクトラムを測定することができる。
光パワーが変動していても、その変動成分を除去して光
スペクトラムを測定することができる。
よって、被測定光が持つ光パワー変動が混入しない光ス
ペクトラムを表示することができるため正しい光スペク
トラムの測定を行うことができる。
ペクトラムを表示することができるため正しい光スペク
トラムの測定を行うことができる。
第1図はこの発明の一実施例を説明するためのブロック
図、第2図はこの発明の詳細な説明するための波形図、
第3図はこの発明の変形実施例を説明するためのブロッ
ク図、第4図は従来の技術を説明するためのブロック図
、第5図及び第6図は光干渉信号の波形を説明するため
の波形図である。 IO=被測定光源、11;被測定光、20:光干渉計、
21:ハーフミラ−22:固定ミラ23;可動ミラー
24:固定光路、25:可変光路、30:第1受光器、
40:第2受光器、50:除算器。 坩 1 固
図、第2図はこの発明の詳細な説明するための波形図、
第3図はこの発明の変形実施例を説明するためのブロッ
ク図、第4図は従来の技術を説明するためのブロック図
、第5図及び第6図は光干渉信号の波形を説明するため
の波形図である。 IO=被測定光源、11;被測定光、20:光干渉計、
21:ハーフミラ−22:固定ミラ23;可動ミラー
24:固定光路、25:可変光路、30:第1受光器、
40:第2受光器、50:除算器。 坩 1 固
Claims (1)
- (1)A、光路差を掃引可能な光干渉計と、 B、この光干渉計の出力光を電気信号に変換する第1受
光器と、 C、上記光干渉計に入力される被測定光の光量を電気信
号に変換する第2受光器と、 D、上記第1受光器の出力信号を上記第2受光器の出力
信号で除算する除算器と、 を具備して成る光干渉抽出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176809A JP2714644B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 光スペクトラムアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176809A JP2714644B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 光スペクトラムアナライザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225719A true JPH0225719A (ja) | 1990-01-29 |
| JP2714644B2 JP2714644B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=16020219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63176809A Expired - Lifetime JP2714644B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 光スペクトラムアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2714644B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0415026U (ja) * | 1990-05-23 | 1992-02-06 | ||
| CN105043241A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-11-11 | 北方民族大学 | 一种对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法 |
| CN105043244A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-11-11 | 北方民族大学 | 一种对比式抗干扰微动角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0222502A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-25 | Kowa Co | 光干渉測定装置 |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP63176809A patent/JP2714644B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0222502A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-25 | Kowa Co | 光干渉測定装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0415026U (ja) * | 1990-05-23 | 1992-02-06 | ||
| CN105043241A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-11-11 | 北方民族大学 | 一种对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法 |
| CN105043244A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-11-11 | 北方民族大学 | 一种对比式抗干扰微动角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2714644B2 (ja) | 1998-02-16 |
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