JPH02259356A - 光処理装置 - Google Patents
光処理装置Info
- Publication number
- JPH02259356A JPH02259356A JP1078043A JP7804389A JPH02259356A JP H02259356 A JPH02259356 A JP H02259356A JP 1078043 A JP1078043 A JP 1078043A JP 7804389 A JP7804389 A JP 7804389A JP H02259356 A JPH02259356 A JP H02259356A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lamp
- duct
- air flow
- damper
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Duct Arrangements (AREA)
- Air-Flow Control Members (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、主として工場内の集合ダクト等に連結され
る場合に好適な光処理装置に関するものである。
る場合に好適な光処理装置に関するものである。
［従来の技術］
光処理装置は、ランプ冷却等のため排気ダクトを有する
か、この排気タクトは他の装置の排気ダクトととも、集
合ダクトに連結されることが多い。
か、この排気タクトは他の装置の排気ダクトととも、集
合ダクトに連結されることが多い。
第４図は従来の排気機構を有する光処理装置の概略を説
明するための図で、ｌは光処理装置の光源であるランプ
、２はランプｌを収納する灯具、３は光処理装置によっ
て処理される被処理物（以下ワークという）、４は灯具
２内の熱風を排気するためのダクト、５はこのダクト４
内の排気を行う排気ブロア、６は光処理装置の電源、７
はランプ点灯制御回路、８は排気ブロア用のスイッチ、
９は排気ブロア５からの排気を集合ダクト１ｏに連結す
るダクト、１０は各装置からの排気を集めて屋外へ一括
して排気するための集合ダクトｌｌは屋外排気ファン、
１２は光処理装置か使用されている例えばクリーンルー
ム等の外壁である。
明するための図で、ｌは光処理装置の光源であるランプ
、２はランプｌを収納する灯具、３は光処理装置によっ
て処理される被処理物（以下ワークという）、４は灯具
２内の熱風を排気するためのダクト、５はこのダクト４
内の排気を行う排気ブロア、６は光処理装置の電源、７
はランプ点灯制御回路、８は排気ブロア用のスイッチ、
９は排気ブロア５からの排気を集合ダクト１ｏに連結す
るダクト、１０は各装置からの排気を集めて屋外へ一括
して排気するための集合ダクトｌｌは屋外排気ファン、
１２は光処理装置か使用されている例えばクリーンルー
ム等の外壁である。
第３図は光処理装置のランプの点灯動作及び排気ブロア
の動作についての時間−温度、風量の関係を示した図で
ある。
の動作についての時間−温度、風量の関係を示した図で
ある。
第４図において、ランプ１は水銀等の封入物が完全に蒸
発し発光材料として十分機能させる必要かある一方で、
あまり高温になると管壁材か失透するため、所定の温度
範囲になるよう排気ブロア５により所定の風量の冷却が
される。
発し発光材料として十分機能させる必要かある一方で、
あまり高温になると管壁材か失透するため、所定の温度
範囲になるよう排気ブロア５により所定の風量の冷却が
される。
［発明か解決しようとする課題］
上記のような従来の排気機構を有する光処理装置では、
その排気ダクトか別の光処理装置及びその他の装置の各
排気ダクトと共に集合ダクトに接続されているために、
集合ダクトにおける排気機構の影響を受は易い。即ち、
当該装置以外の他の装置等の運転もしくは休止如何によ
って、その装置の各排気ダクトに流れる風量は変化する
。その変化によって集合ダクトの圧力か違ってくるため
に、大排気量のブロアを有する装置が他にあるような場
合は、風が当該装置の灯体に逆流したり、排気系の抵抗
が大きくなるため、冷却風量の低下を生じる。
その排気ダクトか別の光処理装置及びその他の装置の各
排気ダクトと共に集合ダクトに接続されているために、
集合ダクトにおける排気機構の影響を受は易い。即ち、
当該装置以外の他の装置等の運転もしくは休止如何によ
って、その装置の各排気ダクトに流れる風量は変化する
。その変化によって集合ダクトの圧力か違ってくるため
に、大排気量のブロアを有する装置が他にあるような場
合は、風が当該装置の灯体に逆流したり、排気系の抵抗
が大きくなるため、冷却風量の低下を生じる。
一般に、光処理装置の排気風量はランプの管壁温度等が
最適温度の範囲になるよう、ランプ入力に従って設計さ
れているが、上述のような排気ダクト内の風量変化によ
り、例えばランプが過冷却されると水銀等の発光材料の
凝固による発光不良、また冷却不足の場合は石英等の管
壁材の失透等の現象か生じて発光状態か安定しないとい
う問題かある。換言すると、集合ダクトによる集合排気
の影響で、■ランプか電力投入されて所定温度に達し、
点灯状態か安定する状態（安定状態）までに時間がかか
る。ひどい場合は、過冷却により安定しないこともある
。■ランプが安定点灯した後でも、集合ダクトの風量が
変化するとダクト内の圧力が変わるので適正な排気がで
きず、発光状態が不安定となる。
最適温度の範囲になるよう、ランプ入力に従って設計さ
れているが、上述のような排気ダクト内の風量変化によ
り、例えばランプが過冷却されると水銀等の発光材料の
凝固による発光不良、また冷却不足の場合は石英等の管
壁材の失透等の現象か生じて発光状態か安定しないとい
う問題かある。換言すると、集合ダクトによる集合排気
の影響で、■ランプか電力投入されて所定温度に達し、
点灯状態か安定する状態（安定状態）までに時間がかか
る。ひどい場合は、過冷却により安定しないこともある
。■ランプが安定点灯した後でも、集合ダクトの風量が
変化するとダクト内の圧力が変わるので適正な排気がで
きず、発光状態が不安定となる。
この発明はかかる課題を解決するためになされたもので
、集合ダクトの排気状態に影響されることなく適正に安
定状態に至り、かつ点灯動作中は適量の風量か排気され
て適正な冷却を行うことかでき、従って点灯状態が安定
する光処理装置を提供することを目的とする。
、集合ダクトの排気状態に影響されることなく適正に安
定状態に至り、かつ点灯動作中は適量の風量か排気され
て適正な冷却を行うことかでき、従って点灯状態が安定
する光処理装置を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成するために、この発明の灯具排気系に
は排気風量を制御するダンパと風圧センサが設けられ、
該ダンパによる風量を風圧センサからの信号に基づいて
制御するコントローラが設けられたものである。
は排気風量を制御するダンパと風圧センサが設けられ、
該ダンパによる風量を風圧センサからの信号に基づいて
制御するコントローラが設けられたものである。
［作用］
上記の構成を有することにより、ランプは電力投入され
て適正に安定状態に達し、点灯後も適正なランプ冷却が
行われ、点灯状態が安定する。
て適正に安定状態に達し、点灯後も適正なランプ冷却が
行われ、点灯状態が安定する。
［実施例］
第１図はこの発明の排気機構を有する光処理装置の一実
施例を示す概略説明図で、１３はダクト４内の圧力と室
内の圧力とをそれぞれ抽出してそれらの圧力差を検出し
て電流値に変換する風圧センサ、１４はダクト４，９内
の風量を調整するタンパ、１５はダンパ１４を駆動する
ためのＤＣモータ、１６は排気ブロア５のモータを制御
するインバータ、１７はランプｌの入力に対して適正な
風量になるようにＤＣモータ１５に信号を送って制御す
るコントローラである。また第４図と同一符号は、同一
または相当部分を示すので説明は省略する。
施例を示す概略説明図で、１３はダクト４内の圧力と室
内の圧力とをそれぞれ抽出してそれらの圧力差を検出し
て電流値に変換する風圧センサ、１４はダクト４，９内
の風量を調整するタンパ、１５はダンパ１４を駆動する
ためのＤＣモータ、１６は排気ブロア５のモータを制御
するインバータ、１７はランプｌの入力に対して適正な
風量になるようにＤＣモータ１５に信号を送って制御す
るコントローラである。また第４図と同一符号は、同一
または相当部分を示すので説明は省略する。
また、第２図はランプ入力信号によってインバータ１６
を駆動した際に、排気ブロア５によって制御される風圧
を示したランプ電力−風圧の関係を示す図である。
を駆動した際に、排気ブロア５によって制御される風圧
を示したランプ電力−風圧の関係を示す図である。
第１図の装置において、電源６が投入されて後、ランプ
点灯制御回路７によってランプ１が例えば６０’へ、（
ｗ八、とは、発光長１ｃ、、当たりの入力電力）の定格
電力で点灯するように制御されたとすると、このランプ
入力に応じてインバータ１６が排気ブロア５のモータを
制御する。それによってダクト４及び９内の大まかな排
気風量が決まるか、集合ダクト１０の風量によってダク
１−４及び９内の風量は一定しないので、この風量の変
動は風圧センサ１３によって検知されている。また−方
、ダンパ１４はコントローラ１７からの信号によってＤ
Ｃモータ１５を適宜駆動し、ダンパ１４の角度を制御し
てダクト９内の排気風量を調整している。従って、風圧
センサ１３はダンパ１４によって最終的に制御されるダ
クト４内の風量に基づく風圧を検知して、この検知信号
をコントローラ１７にフィードバックすることにより、
ＤＣモータ１５を介してダンパ１４の角度を適宜制御し
、ランプ入力に対応してダクト４内の風量が適正な値に
なるようにしている。
点灯制御回路７によってランプ１が例えば６０’へ、（
ｗ八、とは、発光長１ｃ、、当たりの入力電力）の定格
電力で点灯するように制御されたとすると、このランプ
入力に応じてインバータ１６が排気ブロア５のモータを
制御する。それによってダクト４及び９内の大まかな排
気風量が決まるか、集合ダクト１０の風量によってダク
１−４及び９内の風量は一定しないので、この風量の変
動は風圧センサ１３によって検知されている。また−方
、ダンパ１４はコントローラ１７からの信号によってＤ
Ｃモータ１５を適宜駆動し、ダンパ１４の角度を制御し
てダクト９内の排気風量を調整している。従って、風圧
センサ１３はダンパ１４によって最終的に制御されるダ
クト４内の風量に基づく風圧を検知して、この検知信号
をコントローラ１７にフィードバックすることにより、
ＤＣモータ１５を介してダンパ１４の角度を適宜制御し
、ランプ入力に対応してダクト４内の風量が適正な値に
なるようにしている。
以上のように、この実施例の光処理装置においては、排
気風量の大まかな制御はランプｌの入力信号によって駆
動されるインバータ１６によって排気ブロア５のモータ
が制御されることにより行われ、また、集合ダクトｌＯ
を介して屋外排気ファン１１や別の装置の排気等によっ
て生ずる排気風量の変化に対する制御は風圧センサ１３
の信号をコントローラ１７にフィードバックして行うこ
とにより、より精度の高い風量制御が回部である。
気風量の大まかな制御はランプｌの入力信号によって駆
動されるインバータ１６によって排気ブロア５のモータ
が制御されることにより行われ、また、集合ダクトｌＯ
を介して屋外排気ファン１１や別の装置の排気等によっ
て生ずる排気風量の変化に対する制御は風圧センサ１３
の信号をコントローラ１７にフィードバックして行うこ
とにより、より精度の高い風量制御が回部である。
尚、ランプｌに対して電源を投入してからランプｌが点
灯して昇温し安定状態に達するまでの間、ダクト４内の
風量は０になるようにダンパ１４の制御を行うことは勿
論である。
灯して昇温し安定状態に達するまでの間、ダクト４内の
風量は０になるようにダンパ１４の制御を行うことは勿
論である。
［発明の効果］
以上説明したとおり、この発明の光処理装置における灯
具排気系には排気風量を制御するダンパと風圧センサか
設けられ、該ダンパによる風量を風圧センサからの信号
に基づいて制御するコントローラか設けらているので、
集合ダクトに連なる別の排気ブロアがあってもランプが
電力投入されて安定するまでの時間はかからず、また、
前記他の装置の排風状態による影響は受けず、ランプの
発光状態は安定し効率の良い光処理を実現することがで
きる。
具排気系には排気風量を制御するダンパと風圧センサか
設けられ、該ダンパによる風量を風圧センサからの信号
に基づいて制御するコントローラか設けらているので、
集合ダクトに連なる別の排気ブロアがあってもランプが
電力投入されて安定するまでの時間はかからず、また、
前記他の装置の排風状態による影響は受けず、ランプの
発光状態は安定し効率の良い光処理を実現することがで
きる。
第１図はこの発明の排気機構を有する光処理装置の一実
施例を示す概略説明図、第２図はランプ入力信号によっ
てインバータを駆動した際に排気ブロアによって制御さ
れる風圧を示したランプ電力−風圧の関係を示す図、第
３図は光処理装置のランプの点灯動作及び排気ブロアの
動作についての時間−温度、風量の関係を示した図、第
４図は従来の排気機構を有する光処理装置の概略を説明
するための図である。 図中。 ｌ：ランプ ２：灯体 ９ニダクト ５：排気ブロア ランプ点灯制御回路 集合ダクト １３：風圧センサ ダンパ １５＋ＤＣモータ インバータ １７：コントローラ 代理人 弁理士 １）北 嵩 晴 第１図 第 図 第 図 １フ ランプ１１カ 第 図
施例を示す概略説明図、第２図はランプ入力信号によっ
てインバータを駆動した際に排気ブロアによって制御さ
れる風圧を示したランプ電力−風圧の関係を示す図、第
３図は光処理装置のランプの点灯動作及び排気ブロアの
動作についての時間−温度、風量の関係を示した図、第
４図は従来の排気機構を有する光処理装置の概略を説明
するための図である。 図中。 ｌ：ランプ ２：灯体 ９ニダクト ５：排気ブロア ランプ点灯制御回路 集合ダクト １３：風圧センサ ダンパ １５＋ＤＣモータ インバータ １７：コントローラ 代理人 弁理士 １）北 嵩 晴 第１図 第 図 第 図 １フ ランプ１１カ 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 内部にランプを納めた灯具と、この灯具排気系を構成す
る排気ダクト及び排気ブロアとを有する光処理装置にお
いて、前記灯具排気系には排気風量を制御するダンパと
風圧センサが設けら れ、該ダンパによる風量を風圧センサからの信号に基づ
いて制御するコントローラが設けられたことを特徴とす
る光処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7804389A JP2588864B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 光処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7804389A JP2588864B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 光処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02259356A true JPH02259356A (ja) | 1990-10-22 |
| JP2588864B2 JP2588864B2 (ja) | 1997-03-12 |
Family
ID=13650814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7804389A Expired - Fee Related JP2588864B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 光処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2588864B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001266637A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Nikon Corp | 光源装置 |
| JP2007514270A (ja) * | 2003-05-14 | 2007-05-31 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ハイパワーランプの冷却プロセスを正確に制御する方法 |
| US8410410B2 (en) * | 2006-07-12 | 2013-04-02 | Nordson Corporation | Ultraviolet lamp system with cooling air control |
| JP2013089671A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-13 | Japan Steel Works Ltd:The | レーザ処理装置 |
| JP2015138655A (ja) * | 2014-01-22 | 2015-07-30 | スタンレー電気株式会社 | 車両用灯具 |
| JP2015138727A (ja) * | 2014-01-24 | 2015-07-30 | スタンレー電気株式会社 | 車両用灯具 |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP7804389A patent/JP2588864B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001266637A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Nikon Corp | 光源装置 |
| JP2007514270A (ja) * | 2003-05-14 | 2007-05-31 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ハイパワーランプの冷却プロセスを正確に制御する方法 |
| US8410410B2 (en) * | 2006-07-12 | 2013-04-02 | Nordson Corporation | Ultraviolet lamp system with cooling air control |
| JP2013089671A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-13 | Japan Steel Works Ltd:The | レーザ処理装置 |
| JP2015138655A (ja) * | 2014-01-22 | 2015-07-30 | スタンレー電気株式会社 | 車両用灯具 |
| JP2015138727A (ja) * | 2014-01-24 | 2015-07-30 | スタンレー電気株式会社 | 車両用灯具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2588864B2 (ja) | 1997-03-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071205 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081205 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |