JPH0226004Y2 - - Google Patents
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- JPH0226004Y2 JPH0226004Y2 JP1982189905U JP18990582U JPH0226004Y2 JP H0226004 Y2 JPH0226004 Y2 JP H0226004Y2 JP 1982189905 U JP1982189905 U JP 1982189905U JP 18990582 U JP18990582 U JP 18990582U JP H0226004 Y2 JPH0226004 Y2 JP H0226004Y2
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- core
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- signal
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Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
この考案は位相シフト型直線位置検出装置に関
する。[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field This invention relates to a phase shift type linear position detection device.
従来技術
直線型位置検出装置として従来より知られてい
るものに差動トランスがあるが、これは直線位置
を電圧レベルに変換するものであるため、外乱に
よる影響を受けて誤差を生じ易いという欠点があ
る。Prior Art A differential transformer is a conventionally known linear position detection device, but since it converts a linear position into a voltage level, it has the disadvantage of being easily affected by external disturbances and causing errors. There is.
この点に鑑みて、外乱等による出力レベル変動
に影響されることなく正確な検出が可能な直線位
置検出装置を位相シフト型検出装置によつて構成
することを、本出願人は先行出願(実願昭57−
32127号)において提案した。この先行出願に開
示された直線位置検出装置は、直線変位方向に所
定の配置でずれて配設された複数の1次コイル
と、この1次コイルに対応する2次コイルと、こ
れらの1次及び2次コイルに対して相対的に直線
変位可能に配されたコア部とを具備し、前記1次
コイルの各々を位相のずれた複数の基準交流信号
によつて夫々励磁し、これにより前記基準交流信
号を前記コア部の相対的直線位置に応じて位相シ
フトした出力信号を2次コイルに生ぜしめるよう
にしたものである。そこにおいて、前記コア部
は、所定長の円筒状の磁性体コアを非磁性体のス
ペーサを介して所定の間隔で複数設けたものであ
り、コアの配列の1ピツチを1周期とするリラク
タンス変化を相対的直線変位に応じてコイルに生
ぜしめるようになつている。この1周期分のリラ
クタンス変化につき1周期分(2π)の位相シフ
トがなされる。従つて、出力信号における位相ず
れ量は、1周期分(コア1ピツチ分)の直線変位
の範囲内でのアブソリユート値を示す。 In view of this, the present applicant has filed an earlier application (in practice) to construct a linear position detection device using a phase shift type detection device, which is capable of accurate detection without being affected by output level fluctuations caused by disturbances, etc. Gansho 57-
32127). The linear position detection device disclosed in this prior application includes a plurality of primary coils arranged in a predetermined arrangement and shifted in a linear displacement direction, a secondary coil corresponding to the primary coil, and a secondary coil of these primary coils. and a core portion disposed so as to be linearly displaceable relative to the secondary coil, and each of the primary coils is excited by a plurality of phase-shifted reference AC signals, whereby the An output signal obtained by shifting the phase of the reference AC signal according to the relative linear position of the core portion is generated in the secondary coil. In this case, the core section has a plurality of cylindrical magnetic cores of a predetermined length arranged at predetermined intervals via non-magnetic spacers, and the reluctance change is determined by one pitch of the core arrangement. is produced in the coil in response to relative linear displacement. A phase shift of one cycle (2π) is performed for each cycle of reluctance change. Therefore, the amount of phase shift in the output signal indicates an absolute value within the range of linear displacement of one period (one pitch of the core).
ところで、上述の先行技術では1つの円筒コア
の長さはコイルの長さより長くすることはでき
ず、円筒コアの長さとスペーサの長さとコイル長
とが等しいとき1周期分のアブソリユート検出範
囲を最大に設定できるにすぎなかつた。すなわ
ち、アブソリユート検出可能範囲の1周期がコイ
ル長の2倍までに制約されてしまい、その範囲を
拡大するためにはコイル長を延長しなければなら
なかつた。しかし、コイル長を徒らに延ばすこと
はコスト及び装置規模の面で得策とはいえない。 By the way, in the above-mentioned prior art, the length of one cylindrical core cannot be made longer than the length of the coil, and when the length of the cylindrical core, the length of the spacer, and the coil length are equal, the absolute detection range for one cycle can be maximized. It could only be set to . That is, one cycle of the absolute detectable range is limited to twice the length of the coil, and in order to expand that range, the length of the coil must be extended. However, unnecessarily increasing the coil length is not a good idea in terms of cost and equipment scale.
考案の目的
この考案は上述の点に鑑みてなされたもので、
コイル長を徒らに長くせずにアブソリユート直線
位置検出可能範囲の1周期を拡大することができ
る位相シフト型直線位置検出装置を提供しようと
するものである。Purpose of the invention This invention was made in view of the above points.
It is an object of the present invention to provide a phase shift type linear position detection device that can expand one cycle of the absolute linear position detectable range without unnecessarily increasing the coil length.
考案の概要
上述の目的は、断面積が直線変位方向に連続的
もしくは段階的に増大もしくは減少する形状のコ
アを用いることによつて達成することができる。Summary of the invention The above object can be achieved by using a core whose cross-sectional area increases or decreases continuously or stepwise in the direction of linear displacement.
実施例
以下添付図面を参照してこの考案の一実施例を
詳細に説明しよう。Embodiment Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第1図において、検出ヘツド部1は、ケーシン
グ4内に所定の配置で収納された1次コイル及び
2次コイルと、これらのコイル内に相対的に直線
移動可能に挿入された長い棒状のコア部2とを含
んでいる。コア部2は、非磁性体のスリーブ6と
このスリーブ6内に収納された磁性体コア3とか
ら成る。コア3は、円錐形もしくは円錐台形の複
数のテーパ部3a,3b…を軸方向(相対的直線
変位方向)に沿つて交互に逆向きに一定ピツチで
形成して成るものである。一定長P/2(Pは任意
の定数)にわたつて断面積が漸減する第1のテー
パ部3aと、それに引き続いて一定長P/2にわた
つて断面積が漸増する第2のテーパ部3bとが一
組になつて、1周期分の三角関数形のリラクタン
ス変化をもたらすのに寄与する。一組のテーパ部
3a,3bの長さはPである。このような長さp
のテーパ組が、必要に応じて軸方向に複数組連続
的に形成されている。検出対象である直線変位が
コア部2またはコイルを含むケーシング4に与え
られ、この検出対象変位に応じてコア部2が相対
的に変位する。 In FIG. 1, the detection head section 1 includes a primary coil and a secondary coil housed in a casing 4 in a predetermined arrangement, and a long rod-shaped core inserted into these coils so as to be relatively linearly movable. Part 2 is included. The core portion 2 includes a non-magnetic sleeve 6 and a magnetic core 3 housed within the sleeve 6. The core 3 is formed by forming a plurality of conical or truncated conical tapered portions 3a, 3b, . . . alternately and in opposite directions at a constant pitch along the axial direction (relative linear displacement direction). A first tapered portion 3a whose cross-sectional area gradually decreases over a constant length P/2 (P is an arbitrary constant), and a second tapered portion 3b whose cross-sectional area gradually increases over a constant length P/2. Together, they contribute to one cycle of trigonometric reluctance change. The length of the pair of tapered portions 3a and 3b is P. Such a length p
A plurality of taper sets are continuously formed in the axial direction as necessary. A linear displacement to be detected is applied to the core portion 2 or a casing 4 including a coil, and the core portion 2 is relatively displaced in accordance with this displacement to be detected.
この実施例において、コイルは4つの相で動作
するように設けられている。これらの相を便宜上
A,B,C,Dなる符号を用いて区別する。各相
A〜D毎に個別に1次コイル7,8,9,10及
び2次コイル11,12,13,14が設けられ
ている。各相A〜Dの2次コイル11〜14は
各々に対応する1次コイル7〜10の外側に(ま
たは内側またはバイフアイラ巻きで)夫々巻かれ
ている。コア3の位置に応じて各相A〜Dに生じ
るリラクタンスが90度づつずれるようになつてお
り、例えばA相をコサイン相とすると、B相はサ
イン相、C相はマイナスコサイン相、D相はマイ
ナスサイン相、となるようになつている。そのた
め各コイルは、A,B,C,D相の順で所定の間
隔「P(n+1/4)(ただしnは任意の自然数であ
つて、好ましくは0)で設けられている。尚、こ
こで、各コイルの長さはテーパコア3の1ピツト
Pとは無関係であり、任意に選べる。 In this embodiment, the coils are arranged to operate in four phases. For convenience, these phases are distinguished using symbols A, B, C, and D. Primary coils 7, 8, 9, 10 and secondary coils 11, 12, 13, 14 are provided individually for each phase A to D. The secondary coils 11 to 14 of each phase A to D are respectively wound outside (or inside or by bifilar winding) of the corresponding primary coils 7 to 10, respectively. The reluctance generated in each phase A to D is shifted by 90 degrees depending on the position of the core 3. For example, if phase A is a cosine phase, phase B is a sine phase, phase C is a minus cosine phase, and phase D is a sine phase. is becoming a negative sign phase. Therefore, each coil is provided in the order of A, B, C, and D phases at a predetermined interval "P(n+1/4)" (where n is any natural number, preferably 0). The length of each coil is unrelated to one pit P of the tapered core 3 and can be arbitrarily selected.
コア部2の相対的直線変位に応じて各相A〜D
における磁気回路のリラクタンスがテーパ部3
a,3bの1ピツチ長Pを1周期として変化し、
しかも各相はP/4ずつ間隔で設けられているので
そのリラクタンス変化の位相は各相毎に90度づつ
ずれる(従つてA相とC相とでは180度ずれ、B
相とD相とでも180度ずれる)ようになつている。
従つて、そのようなリラクタンス変化をもたらす
ものでありさえすれば、各相A〜Dのコイル配置
は第1図に示すものに限定されない。 Each phase A to D according to the relative linear displacement of the core part 2.
The reluctance of the magnetic circuit in the tapered part 3
Change with one pitch length P of a, 3b as one period,
Moreover, since each phase is provided at an interval of P/4, the phase of the reluctance change is shifted by 90 degrees for each phase (therefore, the phase A and C are shifted by 180 degrees, and the phase B
Even the phase and D phase are shifted by 180 degrees).
Therefore, the coil arrangement of each phase A to D is not limited to that shown in FIG. 1 as long as it brings about such a reluctance change.
第1図における1次コイル7〜10及び2次コ
イル11〜14の結線形式は一例として第2図の
ようにする。この結線形式では、A相とC相の1
次コイル7,9を正弦信号sinωtによつて同相で
励磁し、2次コイル11,13を逆相接続する。
また、B相とD相の1次コイル8,10を余弦信
号cosωtによつて同相で励磁し、2次コイル1
2,14を逆相接続する。A,C相の対とB,D
相の対の2次コイル出力を加算したものが検出ヘ
ツド部1の出力信号Yとなる。この出力信号Y
は、コア部2の相対的直線位置xに応じた位相角
φだけ基準交流信号(sinωtまたはcosωt)を位
相シフトしたものとなる。その理由は、各相A〜
Dのリラクタンスが90度づつずれており、かつ一
方の対(A,C)と他方の対(B,D)の励磁信
号の電気的位相が90度ずれているためである。こ
の点を略式で示すと次の通りである。 The connection format of the primary coils 7 to 10 and the secondary coils 11 to 14 in FIG. 1 is as shown in FIG. 2, as an example. In this wiring type, one of the A phase and C phase
The secondary coils 7 and 9 are excited in the same phase by the sine signal sinωt, and the secondary coils 11 and 13 are connected in opposite phases.
In addition, the primary coils 8 and 10 of the B phase and D phase are excited in the same phase by the cosine signal cosωt, and the secondary coil 1
2 and 14 are connected in reverse phase. A, C phase pair and B, D
The sum of the phase pair secondary coil outputs becomes the output signal Y of the detection head section 1. This output signal Y
is obtained by shifting the reference AC signal (sinωt or cosωt) by a phase angle φ corresponding to the relative linear position x of the core portion 2. The reason is that each phase A~
This is because the reluctances of D are shifted by 90 degrees, and the electrical phases of the excitation signals of one pair (A, C) and the other pair (B, D) are shifted by 90 degrees. This point can be expressed briefly as follows.
すなわち、コア部2の相対的直線位置に対応す
る位相をφとすると、直線位置に応じたリラクタ
ンス変化の関数は、A相がcosφ、B相がsinφ、
C相が−cosφ、D相が−sinφなる略式で示すこ
とができる。A相とC相を正弦信号sinωtによつ
て互いに逆相で動作させ、かつB相とD相を余弦
信号cosωtによつて互いに逆相で動作させ、その
結果生じた2次コイル出力を加算的に合成するの
で、出力信号Yは次のような略式で実質的に表現
することができる。 That is, if the phase corresponding to the relative linear position of the core portion 2 is φ, the function of reluctance change according to the linear position is cosφ for the A phase, sinφ for the B phase,
The C phase can be expressed as -cosφ and the D phase as -sinφ. The A and C phases are operated in opposite phases to each other by a sine signal sinωt, and the B and D phases are operated in opposite phases to each other by a cosine signal cosωt, and the resulting secondary coil output is additively Therefore, the output signal Y can be substantially expressed in the following informal formula.
Y=sinωtcosφ−(−sinωtcosφ)
+cosωtsinφ−(−cosωtsinφ)
=2sinωtcosφ+2cosωtsinφ
=2sin(ωt+φ)
上記式で便宜的に「2」と示された係数を諸種
の条件に応じて定まる定数Kで置換えると、
Y=Ksin(ωt+φ)
と表現できる。ここで、リラクタンス変化の位相
φはコア部2の相対的直線位置xに所定の比例係
数(または関数)に従つて比例しているので、出
力信号Yにおける基準信号sinωt(またはcosωt)
からの位相ずれφを測定することにより直線位置
xを検出することができる。ただし、位相ずれφ
が全角2πのとき、直線変位量は前述の距離P(1
組のテーパ部3a,3bの長さ)に相当する。す
なわち、信号Yにおける電気的位相ずれ量φによ
れば、距離Pの範囲内でのアブソリユートな直線
位置が検出できるのである。テーパ部3a,3b
が複数連続して形成されている場合は、各テーパ
組毎にその長さPの範囲内でアブソリユート直線
位置検出ができる。その際、1周期以上の絶対的
な直線位置をも求めたい場合は、適宜任意の手段
(この検出精度は距離Pを1単位とする粗いもの
でよい)を併設して各テーパ組の絶対番地を求
め、この各テーパ組の絶対番地と上述の位相ずれ
φにもとづく1周期内のアブソリユート直線位置
との組合せによつて特定すればよい。電気的位相
ずれφの測定によれば、距離Pの範囲のアブソリ
ユート直線位置をかなりの高分解度で精度よく割
出すことができる。また、外乱等による信号レベ
ルの変動が位相ずれ量φに全く影響を与えないこ
とも明らかである。 Y=sinωtcosφ−(−sinωtcosφ) +cosωtsinφ−(−cosωtsinφ) =2sinωtcosφ+2cosωtsinφ =2sin(ωt+φ) If we replace the coefficient indicated as “2” in the above formula with a constant K determined according to various conditions, we get It can be expressed as Y=Ksin(ωt+φ). Here, since the phase φ of the reluctance change is proportional to the relative linear position x of the core part 2 according to a predetermined proportionality coefficient (or function), the reference signal sinωt (or cosωt) in the output signal Y
The linear position x can be detected by measuring the phase shift φ from . However, the phase shift φ
When the full width is 2π, the amount of linear displacement is the aforementioned distance P(1
This corresponds to the length of the set of tapered portions 3a and 3b). That is, according to the electrical phase shift amount φ in the signal Y, an absolute linear position within the range of the distance P can be detected. Tapered parts 3a, 3b
If a plurality of taper sets are formed in succession, absolute linear position detection can be performed within the range of the length P for each taper set. At that time, if you want to find the absolute linear position for one period or more, use any appropriate means (the detection accuracy may be coarse with distance P as one unit) and use the absolute address of each taper set. It is sufficient to determine this by a combination of the absolute address of each taper set and the absolute linear position within one period based on the above-mentioned phase shift φ. By measuring the electrical phase shift φ, it is possible to accurately determine the absolute linear position within the range of distance P with fairly high resolution. It is also clear that fluctuations in the signal level due to disturbances etc. do not affect the phase shift amount φ at all.
検出ヘツド部1の出力信号Yと基準交流信号
sinωt(またはcosωt)との位相ずれφを求るため
の手段は適宜に構成できる。第3図は位相ずれφ
をデイジタル量で求めるようにした回路例を示す
ものである。特に図示しないが、積分回路を用い
て基準交流信号sinωtと出力信号Y=Ksin(ωt+
φ)との0位相の時間差分を求めることにより、
位相ずれφをアナログ量で求めることもできる。 Output signal Y of detection head section 1 and reference AC signal
The means for determining the phase shift φ from sinωt (or cosωt) can be constructed as appropriate. Figure 3 shows the phase shift φ
This figure shows an example of a circuit in which the equation is calculated using a digital quantity. Although not particularly shown, an integration circuit is used to generate a reference AC signal sinωt and an output signal Y=Ksin(ωt+
By finding the time difference of 0 phase with φ),
It is also possible to obtain the phase shift φ using an analog quantity.
第3図において、発振部32は基準の正弦信号
sinωtと余弦信号cosωtを発生する回路、位相差
検出回路37は上記位相ずれφを測定するための
回路である。クロツク発振器33から発振された
クロツクパルスCPがカウンタ30でカウントさ
れる。カウンタ30は例えばモジユロMであり、
そのカウント値がレジスタ31に与えられる。カ
ウンタ30の4/P分周出力からは、クロツクパル
スCPを4/M分周したパルスPcが取り出され、1/2
分周用のフリツプフロツプ34のC入力に与えら
れる。このフリツプフロツプ34のQ出力から出
たパルスPbがフリツプフロツプ35に加わり、
Q出力から出たパルスPaがフリツプフロツプ3
6に加わり、これら35及び36の出力がローパ
スフイルタ21,22及び増幅器23,24を経
由して、余弦信号cosωtと正弦信号sinωtが得ら
れる。カウンタ30におけるMカウントがこれら
基準信号cosωt,sinωtの2πラジアン分の位相角
に相当する。すなわち、カウンタ30の1カウン
ト値は2π/Mラジアンの位相角を示している。 In FIG. 3, the oscillation unit 32 is a reference sine signal.
A circuit for generating sinωt and a cosine signal cosωt, and a phase difference detection circuit 37, is a circuit for measuring the phase shift φ. Clock pulses CP generated by a clock oscillator 33 are counted by a counter 30. The counter 30 is, for example, Modillo M,
The count value is given to register 31. From the 4/P frequency-divided output of the counter 30, a pulse Pc obtained by dividing the clock pulse CP by 4/M is taken out and applied to the C input of a flip-flop 34 for 1/2 frequency division. The pulse Pb output from the Q output of this flip-flop 34 is applied to the flip-flop 35,
The pulse Pa from the Q output is the flip-flop 3
6, and the outputs of these 35 and 36 pass through low-pass filters 21, 22 and amplifiers 23, 24 to obtain a cosine signal cosωt and a sine signal sinωt. The M count in the counter 30 corresponds to the phase angle of 2π radians of these reference signals cosωt and sinωt. That is, one count value of the counter 30 indicates a phase angle of 2π/M radians.
検出ヘツド部1の出力信号Yは増幅器25を介
してコンパレータ26に加わり、該信号Yの正・
負極性に応じた方形波信号が該コンパレータ26
から出力される。このコンパレータ26の出力信
号の立上りに応答して立上り検出回路28からパ
ルスTsが出力され、このパルスTsに応じてカウ
ンタ30のカウント値をレジスタ31にロードす
る。その結果、位相ずれφに応じたデイジタル値
Dφがレジスタ31に取り込まれる。 The output signal Y of the detection head section 1 is applied to a comparator 26 via an amplifier 25, and the positive and negative signals of the signal Y are
A square wave signal corresponding to the negative polarity is applied to the comparator 26.
is output from. In response to the rise of the output signal of the comparator 26, the rise detection circuit 28 outputs a pulse Ts, and the count value of the counter 30 is loaded into the register 31 in response to this pulse Ts. As a result, the digital value according to the phase shift φ
Dφ is taken into register 31.
尚、コア3の形状は、断面積が連続的に漸減及
び漸増するテーパに限らず、断面積が段階的に漸
減及び漸増する形状であつてもよい。また、コイ
ルをコア部2に同心に配置せずに、1次コイルと
2次コイルのコイル端の間にコア部2が位置する
ようにしてもよい。 Note that the shape of the core 3 is not limited to a tapered shape in which the cross-sectional area gradually decreases and increases gradually, but may be a shape in which the cross-sectional area gradually decreases and increases gradually. Moreover, the core part 2 may be located between the coil ends of the primary coil and the secondary coil, without arranging the coils concentrically with the core part 2.
考案の効果
以上説明したようにこの考案によれば、断面積
の漸減及び漸増を1乃至複数回繰返す形状のコア
を用いたので、コイル長を徒らに長くすることな
く、位相シフト型直線位置検出装置におけるアブ
ソリユート検出範囲の1周期を拡大することがで
きるという優れた効果を奏する。Effects of the invention As explained above, according to this invention, a core with a shape in which the cross-sectional area gradually decreases and gradually increases is repeated one or more times, so that the phase shift type linear position can be adjusted without increasing the coil length unnecessarily. This provides an excellent effect in that one cycle of the absolute detection range of the detection device can be expanded.
第1図はこの考案に係る直線位置検出装置で用
いる検出ヘツド部の一実施例を示す軸方向断面
図、第2図は同実施例におけるコイル結線形式の
一例を示す回路図、第3図は第1図の検出ヘツド
部に基準交流信号を与える回路及び出力信号の位
相ずれを測定するための回路の一例を示すブロツ
ク図、である。
1……検出ヘツド部、2……コア部、3……コ
ア、3a,3b……テーパ部、4……ケーシン
グ、6……スリーブ、7〜10……1次コイル、
11〜14……2次コイル、32……発振部、3
7……位相差検出回路。
FIG. 1 is an axial sectional view showing an embodiment of the detection head used in the linear position detection device according to this invention, FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of the coil connection type in the same embodiment, and FIG. 2 is a block diagram showing an example of a circuit for supplying a reference AC signal to the detection head section of FIG. 1 and a circuit for measuring a phase shift of an output signal; FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Detection head part, 2...Core part, 3...Core, 3a, 3b...Tapered part, 4...Casing, 6...Sleeve, 7-10...Primary coil,
11-14... Secondary coil, 32... Oscillation section, 3
7...Phase difference detection circuit.
Claims (1)
積が前記直線方向に沿つて同じ距離(P/2)だ
け漸減及び漸増するような形状のコアを前記直線
方向に所定ピツチPで有する磁性体コアと、 180゜又は360゜以外の所定の位相差(360゜/D)
を有する基準交流信号によつて個別に励磁され、
前記直線方向に関して所定の距離P×{n±(1/
D)}(但し、nは任意の整数)だけ互いに離隔さ
れて前記磁性体コアの周囲に設けられた少なくと
も2個の1次コイルと、 前記1次コイルに対応して設けられ、前記磁性
体コアの前記直線方向の相対的変位に応じて生じ
るリラクタンスの変化によつて位相シフトした出
力信号を検出する2次コイルとを具備したことを
特徴とする位相シフト型直線位置検出装置。[Claims for Utility Model Registration] A core arranged so as to be relatively displaceable in a linear direction and whose cross-sectional area gradually decreases and gradually increases by the same distance (P/2) along the linear direction. A magnetic core having a predetermined pitch P and a predetermined phase difference other than 180° or 360° (360°/D)
individually excited by a reference AC signal having
A predetermined distance P×{n±(1/
D) At least two primary coils provided around the magnetic core and separated from each other by a distance n (where n is an arbitrary integer); A phase shift type linear position detection device comprising: a secondary coil that detects an output signal whose phase is shifted by a change in reluctance that occurs in response to the relative displacement of the core in the linear direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18990582U JPS5995204U (en) | 1982-12-17 | 1982-12-17 | Phase shift type linear position detection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18990582U JPS5995204U (en) | 1982-12-17 | 1982-12-17 | Phase shift type linear position detection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5995204U JPS5995204U (en) | 1984-06-28 |
| JPH0226004Y2 true JPH0226004Y2 (en) | 1990-07-17 |
Family
ID=30409320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18990582U Granted JPS5995204U (en) | 1982-12-17 | 1982-12-17 | Phase shift type linear position detection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5995204U (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4897561A (en) * | 1972-03-27 | 1973-12-12 | ||
| JPS5344999B2 (en) * | 1973-06-11 | 1978-12-02 |
-
1982
- 1982-12-17 JP JP18990582U patent/JPS5995204U/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5995204U (en) | 1984-06-28 |
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