JPH0226063Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0226063Y2 JPH0226063Y2 JP1300182U JP1300182U JPH0226063Y2 JP H0226063 Y2 JPH0226063 Y2 JP H0226063Y2 JP 1300182 U JP1300182 U JP 1300182U JP 1300182 U JP1300182 U JP 1300182U JP H0226063 Y2 JPH0226063 Y2 JP H0226063Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- sample stage
- microscope
- ultrasonic
- scanning
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 8
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、薄膜試料を観察する超音波顕微鏡に
関する。
関する。
近年、IGHzに及ぶ高周波の発生、検出が可能
となつたために、水中での音波波長として約１ミ
クロンが得られ、したがつて音波エネルギーを利
用した顕微鏡が検討されるようになつた。このよ
うな超音波顕微鏡の構成を第１図に示す。パルス
発振器１から発生された高圧パルス２は球面レン
ズ３の上面に蒸着等で形成された圧電物質４に印
加される。この圧電物質４は高圧パルス２によつ
て励振され超音波を発生する。この超音波は球面
レンズ３の中を伝播し、他端面に設けられた凹面
部により細く集束される。この超音波ビームを媒
質５を介して、２次元に機械走査されている試料
６（試料台１０上に設置される）の面上に照射す
る。試料６より反射されてくる音波を同じ球面レ
ンズ３を介して圧電物質４で受波され、受信器７
で電気信号に変換される。
となつたために、水中での音波波長として約１ミ
クロンが得られ、したがつて音波エネルギーを利
用した顕微鏡が検討されるようになつた。このよ
うな超音波顕微鏡の構成を第１図に示す。パルス
発振器１から発生された高圧パルス２は球面レン
ズ３の上面に蒸着等で形成された圧電物質４に印
加される。この圧電物質４は高圧パルス２によつ
て励振され超音波を発生する。この超音波は球面
レンズ３の中を伝播し、他端面に設けられた凹面
部により細く集束される。この超音波ビームを媒
質５を介して、２次元に機械走査されている試料
６（試料台１０上に設置される）の面上に照射す
る。試料６より反射されてくる音波を同じ球面レ
ンズ３を介して圧電物質４で受波され、受信器７
で電気信号に変換される。
すなわち球面レンズ３及び圧電物質４は超音波
集束ビームを送受波する音波トランスデユーサを
形成する。このトランスデユーサからの電気信号
を受信器７で受信し、CRT８の画面上に試料台
１０の走査装置９の走査と同期させて表示するこ
とができる。このような超音波顕微鏡の例は特開
昭56−155847号公報に記載されている。
集束ビームを送受波する音波トランスデユーサを
形成する。このトランスデユーサからの電気信号
を受信器７で受信し、CRT８の画面上に試料台
１０の走査装置９の走査と同期させて表示するこ
とができる。このような超音波顕微鏡の例は特開
昭56−155847号公報に記載されている。
このような動作の超音波顕微鏡を使用すると、
光学的に不透明な物体でも音波は伝播するので、
その内容構造を知ることができる。その上物体の
弾性、密度、粘度などの物理的性質を反映した微
細構造を描画できるので、他の顕微鏡で不可能な
情報を得ることができるなど、新しい観察装置と
して注目をあつめている。
光学的に不透明な物体でも音波は伝播するので、
その内容構造を知ることができる。その上物体の
弾性、密度、粘度などの物理的性質を反映した微
細構造を描画できるので、他の顕微鏡で不可能な
情報を得ることができるなど、新しい観察装置と
して注目をあつめている。
このような超音波顕微鏡を使用して、有機物
や、高分子材料などで作られたシート状の薄膜試
料を観察しようとする場合、試料は試料台上に出
来得るかぎり、平坦に固定することが望ましい
が、薄膜試料であるために固定後の試料表面を観
測してみると、その表面には皺やうねりが生じて
しまい平坦に固定することはむづかしい。
や、高分子材料などで作られたシート状の薄膜試
料を観察しようとする場合、試料は試料台上に出
来得るかぎり、平坦に固定することが望ましい
が、薄膜試料であるために固定後の試料表面を観
測してみると、その表面には皺やうねりが生じて
しまい平坦に固定することはむづかしい。
特に、第１図で示したように球面レンズ内での
反射波Ａ波と、試料からの反射波Ｂ波とを電気的
に重ね合せて干渉させ、特定の位相のみを検出し
て、深さ方向の分解能を向上させようとする干渉
モードでの観察法であると、試料表面に凹凸やう
ねりが存在していると干渉縞が生じるので、この
干渉縞にわざわいされて試料内部の微細構造を明
細に観察することが不可能である。
反射波Ａ波と、試料からの反射波Ｂ波とを電気的
に重ね合せて干渉させ、特定の位相のみを検出し
て、深さ方向の分解能を向上させようとする干渉
モードでの観察法であると、試料表面に凹凸やう
ねりが存在していると干渉縞が生じるので、この
干渉縞にわざわいされて試料内部の微細構造を明
細に観察することが不可能である。
本考案は、上述の点を鑑みてなされたもので、
薄膜試料を突条上に特定の引張り力を印加して張
架することにより、試料表面を平坦に保持するこ
とを特徴とする。
薄膜試料を突条上に特定の引張り力を印加して張
架することにより、試料表面を平坦に保持するこ
とを特徴とする。
第２図は本考案の一実施例を示したものであ
る。図において、Ｘ−Ｙ平面を２次元に機械走査
されている試料台１０の上面に突条１２を平行に
２個設ける。また試料台の一端には試料の固定用
クリツプ１３を取りつける。この固定用クリツプ
１３で試料１６の一端を固定する。また試料１６
の他端を固定用クリツプ１４で固定する。この固
定用クリツプ１４は引張バネ１５を介して試料台
１１に接続されている。このために固定用クリツ
プ１３，１４により固定された試料１６はたえず
引張応力が印加される状態で支柱１２上に張架さ
れるために試料台１１上に平坦に固定することが
できる。
る。図において、Ｘ−Ｙ平面を２次元に機械走査
されている試料台１０の上面に突条１２を平行に
２個設ける。また試料台の一端には試料の固定用
クリツプ１３を取りつける。この固定用クリツプ
１３で試料１６の一端を固定する。また試料１６
の他端を固定用クリツプ１４で固定する。この固
定用クリツプ１４は引張バネ１５を介して試料台
１１に接続されている。このために固定用クリツ
プ１３，１４により固定された試料１６はたえず
引張応力が印加される状態で支柱１２上に張架さ
れるために試料台１１上に平坦に固定することが
できる。
シートを、平坦に張るためにシート両端をクリ
ツプを挟み、その一方のクリツプを固定し、他方
のクリツプをばねで引張つて張力を加える方法
は、一般に慣用されているが、上述した超音波顕
微鏡では試料の機械走査のために試料台を往復振
動させているので、単純にクリツプにより左右に
引つ張るだけではクリツプ重量が慣性力となつ
て、ばねの伸縮を生じ、結果的に薄膜試料に振動
が発生する。このために超音波ビームの反射位置
が変化し、精度の高い測定が出来ない。特に上述
した干渉モードによる観察に当つては、干渉状態
が変化して観察ができなくなる。
ツプを挟み、その一方のクリツプを固定し、他方
のクリツプをばねで引張つて張力を加える方法
は、一般に慣用されているが、上述した超音波顕
微鏡では試料の機械走査のために試料台を往復振
動させているので、単純にクリツプにより左右に
引つ張るだけではクリツプ重量が慣性力となつ
て、ばねの伸縮を生じ、結果的に薄膜試料に振動
が発生する。このために超音波ビームの反射位置
が変化し、精度の高い測定が出来ない。特に上述
した干渉モードによる観察に当つては、干渉状態
が変化して観察ができなくなる。
これに対し、上述した本考案では試料台の上面
に２個の突条を設け、薄膜試料を突条の両外側か
ら引張るようにしたので、突条上面における摩擦
力によつて薄膜試料が固定され、クリツプの振動
が観察対象部分に伝わらない。従つて試料内部を
鮮明に観察することができる。
に２個の突条を設け、薄膜試料を突条の両外側か
ら引張るようにしたので、突条上面における摩擦
力によつて薄膜試料が固定され、クリツプの振動
が観察対象部分に伝わらない。従つて試料内部を
鮮明に観察することができる。
第１図は超音波顕微鏡の概略構成図、第２図は
本考案の要部をなす試料台の一実施例を示す斜視
図である。
本考案の要部をなす試料台の一実施例を示す斜視
図である。
Claims (1)
- 超音波集束ビームを送受信する音波トランスデ
ユーサと、試料を載置する試料台と、この試料台
を上記音波トランスデユーサに対して２次元的に
相対的に走査する走査装置と、上記走査装置の走
査に対応して上記音波トランスデユーサの受信信
号を画面上にて走査して表示する表示手段を有す
る超音波顕微鏡において、前記試料台の上面に２
個の突条を設け、薄膜試料を挟持するクリツプを
上記突条の両外方側で試料台に取付け、且つ少く
ともその一方のクリツプはばねを介して試料台に
取付けたことを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1300182U JPS58116657U (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1300182U JPS58116657U (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58116657U JPS58116657U (ja) | 1983-08-09 |
| JPH0226063Y2 true JPH0226063Y2 (ja) | 1990-07-17 |
Family
ID=30025537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1300182U Granted JPS58116657U (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58116657U (ja) |
-
1982
- 1982-02-03 JP JP1300182U patent/JPS58116657U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58116657U (ja) | 1983-08-09 |
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