JPH02260647A

JPH02260647A - 試料固定装置

Info

Publication number: JPH02260647A
Application number: JP1082121A
Authority: JP
Inventors: Yuji Yamazaki; 雄司山崎; Toshio Sasaoka; 笹岡　俊雄
Original assignee: Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1989-03-31
Filing date: 1989-03-31
Publication date: 1990-10-23

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉この発明は、電子ビーム描写装置、精密測定機器、エネ
ルギービーム加工装置等において、試料を試料台上に固
定するのに用いられる試料固定装置に関する。

〈従来の技術〉たとえばフレネルレンズ等の微細なパターンを切欠部を
有する円板状の試料に描写するのに、電子ビーム描画装
置が用いられる。このようなパターン描写において、試
料を試料台に固定する場合、従来は、第５図に示すよう
に、試料台１上に接着剤Ｎ２を形成し、その上面に試料
３を押圧して固定している。

〈発明が解決しようとする問題点〉しかしながらこのような試料固定方法では、接着層２に
凹凸があれば、試料３の平行度は悪くなる。また高い硬
性の試料３であれば、第６図に示すように、接着剤層２
の厚みが一定とならず、試料台１と試料３とが平行でな
くなることがある。このような場合、試料３の上面で電
子ビームの焦点ずれを起こし、正確なパターン描写が困
難となる。

また試料３を接着剤層２で試料台１に固定するため、試
料３を取り外す際、試料３の破損を招くなどのおそれが
ある。

さらにパターン描写は真空室内で行われるが、接着剤の
アウトガスで真空度が損なわれるという不具合もある。

この発明は、上記問題を解消するためになされたもので
、試料の平行度が高められ、かつ試料の着脱も容易な試
料固定装置を提供することを目的としている。

く問題点を解決するための手段〉この発明の試料固定装置は、円周上に切欠部を有する円
板状の試料を試料台上に固定するのに、試料台の上面に
、試料の外周部上面を支える鍔状の支持部を備えた少な
くとも３個のポストと、各ポストの支持部に対し試料の
外周部を押し付けるためのばねとを配備したものである
。

そして各ポストは、試料の外形に沿いかつ少なくとも１
個を切欠部に対応させてそれぞれ配置するとともに、各
ポストの間隔を試料の挿入は許容するが、試料台に対す
る試料の周方向の相対回動は切・大部の位置のポストが
規制するよう設定している。

く作用〉この発明の試料固定装置では、試料台上のボスト間に試
料を位置させ、切欠部と反対側のポストの方向へ試料を
移行させて支持部とばねとの間に試料の外周部を挿入し
た後、試料台に対して試料を相対的に周方向へ回動する
ことにより、試料の切欠部をその位置のポストに突き当
てて支持部とばねとの間で挟持させる。このように試料
の固定が簡易であり、試料は支持部により上面基準で試
料台上に固定されることになる。

〈実施例〉第１図は、この発明に係る試料固定装置を電子ビーム描
画装置に適用した例を示している。

同図において、試料３は円板状のシリコンウェハであっ
て、第３図および第４図に示すように、その円周上に直
線状の切欠部３ａが設けられている。

試料台１上には、３本のポスト４Ａ、４Ｂ。

４Ｃが縦設され、これらポスト４Ａ、４Ｂ。

４Ｃは試料３の外形に沿う円周上に配置されている。各
ポストの上端には、第１図および第２図に示す如く、試
料３の外周部上面を支えるための鍔状の支持部４ａがそ
れぞれ一体形成されている。また各ポストに対応して試
料台１上には、押上ばね５Ａ、５Ｂ、５Ｃが配設されて
いる。これらばねは、略コ字形の押圧部５ａと、試料台
１に埋設・固定された基端部５ｂとからなり、各押圧部
５ａは各ポストの支持部４ａに対し試料３の外周部を押
し付けて両者間で挟持するものである。上記各組のポス
トおよびばねのうち、１組のポスト４Ｃおよびばね５Ｃ
は、試料３の切欠部３ａと対向する位置に配置されてお
り、各ポストの間隔はその間への試料３の挿入は許容す
るが、試料台１に対する試料３の周方向の相対回動はポ
スト４Ｃとばね５Ｃとの組が規制するように設定しであ
る。

上記構成において、試料３を第３図（１）および第４図
に示すように、その切欠部３ａがポスト４Ｃおよびばね
５Ｃに対向するようポスト４Ａ。

４Ｂ、４Ｃ間に挿入位置させた後、試料３を矢印ａの方
向へ移動させれば、試料３の外周部が第３図（１）中鎖
線で示すようにポスト４Ａ、４Ｂの各支持部４ａとばね
５Ａ、５Ｂの各押圧部５ａとの間に挿入されて挟持され
る。この状態で試料３または試料台１のいずれかを周方
向へ回動操作すると（この例では試料台１を第３図（２
）の矢印すの方向へ回動操作する）、試料３の切欠部３
ａの端部がポスト４Ｃに突き当たり、支持部４ａとばね
５Ｃの押圧部５ａとの間に挿入されて挟持される二これ
により、試料３は３組のポストおよびばねで試料台１上
に水平状態で支持されることになる。

なお試料台１を反対方向へ回動操作して試料３の切欠部
３ａをポスト４Ｃおよびばね５Ｃと対向する位置に移動
させれば、試料３を取り外すことができる。

このように試料３の外周部をポストの支持部４ａとばね
との間で挟持しているため、試料３の平行度は接着剤を
用いるもののように劣化することがない。しかも支持部
４ａで試料３がその上面基準で固定されることにより、
試料３の厚みに関係なく試料３の上面レベルが一定に保
持され、電子ビームの焦点合せが不要となる。

また、支持部４ａの高さを調整すれば、試料３と試料台
１との平行度も容易に調整可能となる。

さらに、試料３を挿入操作と回動操作とで試料台１に対
して容易に着脱できるため、この着脱の自動化を実現で
き、その場合、真空室の真空を破るおそれもなく、作業
効率が高められる。

また、接着剤を用いでいないので、真空中のアウトガス
で真空度が損なわれるおそれも解消される。

なお、上記の例では、３組のポストおよびばねを使用し
た例で説明したが、その数をさらに増してもよく、また
ポストやばねの形状も適宜変更可能である。

〈発明の効果〉この発明によれば、円周上に切欠部を有する円板状の試
料を、試料台上に設けた少なくとも３組のポストとばね
とで支持するようにしたから、試料は上面基準で高い平
行度をもって固定され、さらに簡単な操作で試料台に対
する試料の着脱が可能であるため、着脱時の試料の損傷
が防止される。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る試料固定装置を電子ビーム描画
に適用した例を示す正面図、第２図は試料固定装置の要
部の構成を示す一部を破断した正面図、第３図は試料の
装着手順を示す平面図、第４図はその正面図、第５図お
よび第６図は従来例による試料の固定状態を示す正面図
である。１・・・・試料台　　　　　３・・・・試料３ａ・・・
・切欠部４八、　４Ｂ、　４Ｃ・・・・ポスト

Claims

【特許請求の範囲】円周上に切欠部を有する円板状の試料を試料台上に固定
するための試料固定装置において、前記試料台の上面に
、試料の外周部上面を支える鍔状の支持部を備えた少な
くとも３個のポストと、各ポストの支持部に対し試料の
外周部を押し付けるためのばねとが配備され、各ポストは、試料の外形に沿いかつ少なくとも１個を切
欠部に対応させてそれぞれ配置するとともに、各ポスト
の間隔を試料の挿入は許容するが、試料台に対する試料
の周方向の相対回動は切欠部の位置のポストが規制する
よう設定されて成る試料固定装置。