JPH02261071A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH02261071A JPH02261071A JP1080164A JP8016489A JPH02261071A JP H02261071 A JPH02261071 A JP H02261071A JP 1080164 A JP1080164 A JP 1080164A JP 8016489 A JP8016489 A JP 8016489A JP H02261071 A JPH02261071 A JP H02261071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- force
- piezoelectric
- electrodes
- teeth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、圧電性板材（若しくは電歪性板材）を挟む
ように配設された電極間の電圧を変えて該圧電性板材の
伸張力を外部に作用させる圧電アクチュエータに関する
ものである。
ように配設された電極間の電圧を変えて該圧電性板材の
伸張力を外部に作用させる圧電アクチュエータに関する
ものである。
近年、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）が固体表面の実
空間の形態を原子のスケールの分解能で観察できる装置
として注目されている。この走査型トンネル顕微鏡は、
金属の針を固体表面に１０ｍ以下になるまで近付け、針
と固体表面の間に数Ｖ以下の電圧をかけると、その間の
真空障壁を通してトンネル電流が数ｎＡ流れる。このト
ンネル電流は電圧極性に応じて、試料の価電子帯に比例
したり、試料の伝導帯の空準位の状態密度に比例したり
する。従って、トンネル電圧を■ 、トンネル電流を工
とし、ｄＩ ／ｄＶ をＶ の関ｒ
ｒ ｒｒ数として測
定すると試料のバンド構造の状態密度の情報が得られる
。
空間の形態を原子のスケールの分解能で観察できる装置
として注目されている。この走査型トンネル顕微鏡は、
金属の針を固体表面に１０ｍ以下になるまで近付け、針
と固体表面の間に数Ｖ以下の電圧をかけると、その間の
真空障壁を通してトンネル電流が数ｎＡ流れる。このト
ンネル電流は電圧極性に応じて、試料の価電子帯に比例
したり、試料の伝導帯の空準位の状態密度に比例したり
する。従って、トンネル電圧を■ 、トンネル電流を工
とし、ｄＩ ／ｄＶ をＶ の関ｒ
ｒ ｒｒ数として測
定すると試料のバンド構造の状態密度の情報が得られる
。
この装置の基本は針に対して試料を広い範囲に移動でき
る粗動機構と、針を三次元に走査できる微動機構とを備
えている。このうち、粗動機構としてはＰＺＴ（チタン
酸ジルコン酸鉛）やＰＬＺＴ（チタン酸ジルコン酸ラン
タン酸鉛）など圧電性の板材をＸＹＺ方向に伸縮させて
二次元歩行させる機構が、微動機構としては圧電性板材
をＸＹＺ方向に直交させた「トライボッド」と呼ばれる
機構が用いられる。
る粗動機構と、針を三次元に走査できる微動機構とを備
えている。このうち、粗動機構としてはＰＺＴ（チタン
酸ジルコン酸鉛）やＰＬＺＴ（チタン酸ジルコン酸ラン
タン酸鉛）など圧電性の板材をＸＹＺ方向に伸縮させて
二次元歩行させる機構が、微動機構としては圧電性板材
をＸＹＺ方向に直交させた「トライボッド」と呼ばれる
機構が用いられる。
ここで、圧電性板材は力を加えると電圧を誘起し、逆に
電圧を加えると力を生じる性質を持っている。従って、
第１２図に示すように、円板状の圧電性板材１を挟むよ
うに板状または膜状の電極２を配設すると共に、これら
の電極間に電池３およびスイッチ４を直列に接続し、こ
のスイッチ４を開、閉すれば圧電性板４（１は第１３図
に示すように変化する。すなわち、スイッチ４を開放し
て圧電性板材１に電界が作用しないようにすれば、圧電
性板材１は同図（ａ）に示すように成型時の円板形状を
保持するが、スイッチ４を閉成すると電極間の電界によ
って圧電性板材１が同図（ｂ）に示すように電界の方向
に膨らむ。
電圧を加えると力を生じる性質を持っている。従って、
第１２図に示すように、円板状の圧電性板材１を挟むよ
うに板状または膜状の電極２を配設すると共に、これら
の電極間に電池３およびスイッチ４を直列に接続し、こ
のスイッチ４を開、閉すれば圧電性板４（１は第１３図
に示すように変化する。すなわち、スイッチ４を開放し
て圧電性板材１に電界が作用しないようにすれば、圧電
性板材１は同図（ａ）に示すように成型時の円板形状を
保持するが、スイッチ４を閉成すると電極間の電界によ
って圧電性板材１が同図（ｂ）に示すように電界の方向
に膨らむ。
この場合、電界方向の伸びは僅かであるため、必要とす
る変泣量を確保するには、第１２図に示す圧電素子を積
層する必要がある。上述した「トライボッド」も積層構
造を基本とするが、本明細書では層数とは関係なく、圧
電性板材を挟むように配設された電極間の電圧を変えて
その伸張力を外部に作用させるものを圧電アクチュエー
タと呼ぶことにする。
る変泣量を確保するには、第１２図に示す圧電素子を積
層する必要がある。上述した「トライボッド」も積層構
造を基本とするが、本明細書では層数とは関係なく、圧
電性板材を挟むように配設された電極間の電圧を変えて
その伸張力を外部に作用させるものを圧電アクチュエー
タと呼ぶことにする。
一般に、電極装着面が互いに平行に形成された円板状の
圧電性板材に電圧を印加すると、電極装着面は第１３図
（ｂ）に示すように中心部の歪み量がその周囲の歪み量
より大きく、板面がほぼ球面状に変形する。一方、この
圧電性板材１の伸張力を外部に作用させるには、圧電性
板材と被作用物体とを突き当てて両者を結合させる必要
がある。
圧電性板材に電圧を印加すると、電極装着面は第１３図
（ｂ）に示すように中心部の歪み量がその周囲の歪み量
より大きく、板面がほぼ球面状に変形する。一方、この
圧電性板材１の伸張力を外部に作用させるには、圧電性
板材と被作用物体とを突き当てて両者を結合させる必要
がある。
この場合、第１４図（ａ）に示すように、被作用物体５
の突き当て面が圧電性板材１の軸と直交するように結合
されておれば、圧電性板材］は被作用物体５に対して軸
方向にのみ力Ｆが作用する。しかし、被作用物体５の作
用面が、第１３図（ｂ）に示すように、圧電性板材１の
軸に対して傾けて結合されている場合には、軸方向の力
Ｆ とこれと直交する力Ｆ とに分解可能な力Ｆが作用
する。
の突き当て面が圧電性板材１の軸と直交するように結合
されておれば、圧電性板材］は被作用物体５に対して軸
方向にのみ力Ｆが作用する。しかし、被作用物体５の作
用面が、第１３図（ｂ）に示すように、圧電性板材１の
軸に対して傾けて結合されている場合には、軸方向の力
Ｆ とこれと直交する力Ｆ とに分解可能な力Ｆが作用
する。
このように、被作用物体５の被作用面が軸に対して僅か
でも傾いていると、力の伝達に支障をきたし、特に、上
記「トライボッド」においては予期したとは別の方向に
針を移動させる原因にもなりかねなかった。
でも傾いていると、力の伝達に支障をきたし、特に、上
記「トライボッド」においては予期したとは別の方向に
針を移動させる原因にもなりかねなかった。
この発明は上記の問題点を解決するためになされたもの
で、被作用物体に対する不必要な分力の発生を抑えるこ
とのできる圧電アクチュエータを得ることを目的とする
。
で、被作用物体に対する不必要な分力の発生を抑えるこ
とのできる圧電アクチュエータを得ることを目的とする
。
この発明は、圧電性板材を挟むように配設される電極と
して、中間部の少なくとも１箇所が部分的に切欠かれた
断面形状を有する板状体または膜状体を用いたことを特
徴とするものである。
して、中間部の少なくとも１箇所が部分的に切欠かれた
断面形状を有する板状体または膜状体を用いたことを特
徴とするものである。
かかる電極の具体例として、櫛歯状または網状のものを
用いることができる。
用いることができる。
この発明においては、中間部の少なくとも１箇所が部分
的に切欠かれた電極を用いているため、圧電性板材はこ
の中間部を除いた範囲でより多く変形し、被作用物体に
対して複数箇所で力を作用させることとなり、力が中心
部の１点に集中する従来の圧電アクチュエータよりも不
必要な分力の発生を抑えることができる。
的に切欠かれた電極を用いているため、圧電性板材はこ
の中間部を除いた範囲でより多く変形し、被作用物体に
対して複数箇所で力を作用させることとなり、力が中心
部の１点に集中する従来の圧電アクチュエータよりも不
必要な分力の発生を抑えることができる。
この場合、櫛歯状電極の歯の部分が平行に重なるように
配置すれば線接触を基本とする力を、櫛歯状電極の歯の
部分が交差するように配置すれば点接触を基本とする力
をそれぞれ作用させ得、さらに、網状の電極を用いるこ
とにより線接触部分が交差する、いわゆる、マトリクス
状の接触を基本とする力を作用させることができる。
配置すれば線接触を基本とする力を、櫛歯状電極の歯の
部分が交差するように配置すれば点接触を基本とする力
をそれぞれ作用させ得、さらに、網状の電極を用いるこ
とにより線接触部分が交差する、いわゆる、マトリクス
状の接触を基本とする力を作用させることができる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す斜視図である
。同図において圧電性板材１１は角形に成型したものを
用いている。この圧電性板材１１の両面に配置される電
極としては、導電性ペーストを塗布したり、あるいは、
金属膜を蒸着したりする構成てもよいが、ここではその
形状を明瞭にするために、金属板を櫛歯状に打ち抜いた
形の電極１２．１３を用いている。この場合、電極１２
は共通接続部１２Ａと南部１２Ｂとでなり、電極１３も
また共通接続部１３Ａと南部１３Ｂとでなっている。こ
れらの電極１２．１３は第２図に示すように圧電性板材
１１の両面に装着されるか、共通接続部１．２Ａと１３
Ａとは互いに反対の端部に位置し、歯部１２Ｂ、１３Ｂ
が互いに重なるように装着される。従って、第２図中の
Ｘ−Ｘ線で切断すれば断面図は第３図のように中間部が
４箇所に亘って切り欠かれた形状の電極となる。ここで
、電極１２の共通接続部１２Ａと、電極１３の共通接続
部１３Ｂとの間に、前述した電池３およびスイッチ４を
直列接続してスイッチ４を閉成すれば、第４図に示すよ
うに、圧電性板材１１は歯部１２Ｂと山部１３Ｂとで挟
まれた部分がそれぞれ直線状に膨らむように変形する。
。同図において圧電性板材１１は角形に成型したものを
用いている。この圧電性板材１１の両面に配置される電
極としては、導電性ペーストを塗布したり、あるいは、
金属膜を蒸着したりする構成てもよいが、ここではその
形状を明瞭にするために、金属板を櫛歯状に打ち抜いた
形の電極１２．１３を用いている。この場合、電極１２
は共通接続部１２Ａと南部１２Ｂとでなり、電極１３も
また共通接続部１３Ａと南部１３Ｂとでなっている。こ
れらの電極１２．１３は第２図に示すように圧電性板材
１１の両面に装着されるか、共通接続部１．２Ａと１３
Ａとは互いに反対の端部に位置し、歯部１２Ｂ、１３Ｂ
が互いに重なるように装着される。従って、第２図中の
Ｘ−Ｘ線で切断すれば断面図は第３図のように中間部が
４箇所に亘って切り欠かれた形状の電極となる。ここで
、電極１２の共通接続部１２Ａと、電極１３の共通接続
部１３Ｂとの間に、前述した電池３およびスイッチ４を
直列接続してスイッチ４を閉成すれば、第４図に示すよ
うに、圧電性板材１１は歯部１２Ｂと山部１３Ｂとで挟
まれた部分がそれぞれ直線状に膨らむように変形する。
従って、この実施例によれば、直線状に膨らんた複数箇
所で被作用物体に力を作用させることができる。
所で被作用物体に力を作用させることができる。
第５図はこの発明の他の実施例の構成を示す斜視図であ
る。これは、上記実施例とほぼ同様な形状の圧電性板材
１１、電極１２．１３を用いるものの、その装着状態が
異なっている。すなわち、電極１２の共通接続部１２Ａ
と、電極１３の共通接続部１３Ａとは互いに９０度異な
る方向の端部に位置すると共に、電極１２の歯部１２Ｂ
と電極１３の歯部１３Ｂとが互いに直交するように装着
される。第６図はこの装着状態を示している。ここで、
電極１２の共通接続部１．２Ａと、電極１３の共通接続
部１３Ａとの間に、前述した電池３およびスイッチ４を
直列接続してスイッチ４を閉成すれば、第７図に示すよ
うに、歯部１２Ｂと歯部１３Ｂとが重なる部分１１Ｈが
それぞれ局部的に多く膨らむように変形する。従って、
この実施例によれば、局部的に膨らんだ複数箇所で被作
用物体に伸張力を作用させることができる。
る。これは、上記実施例とほぼ同様な形状の圧電性板材
１１、電極１２．１３を用いるものの、その装着状態が
異なっている。すなわち、電極１２の共通接続部１２Ａ
と、電極１３の共通接続部１３Ａとは互いに９０度異な
る方向の端部に位置すると共に、電極１２の歯部１２Ｂ
と電極１３の歯部１３Ｂとが互いに直交するように装着
される。第６図はこの装着状態を示している。ここで、
電極１２の共通接続部１．２Ａと、電極１３の共通接続
部１３Ａとの間に、前述した電池３およびスイッチ４を
直列接続してスイッチ４を閉成すれば、第７図に示すよ
うに、歯部１２Ｂと歯部１３Ｂとが重なる部分１１Ｈが
それぞれ局部的に多く膨らむように変形する。従って、
この実施例によれば、局部的に膨らんだ複数箇所で被作
用物体に伸張力を作用させることができる。
次に、第８図は本発明のもう一つ他の実施例の構成を示
す斜視図である。これは縦方向および横方向に複数の窓
１４Ａ、１５Ａをそれぞれ列状に形成し、適当な一隅に
外部接続部１４Ｂ、１５Ｂを有する電極１４．１５を用
いたものである。これらの電極１４．１５は第９図に示
すように圧電性板材１１の両面に装着されるが、窓１４
Ａと窓１５Ａとが相互に重なるように、すなわち、窓以
外のマトリクス状の部分が重なり合うように装着される
。従って、第９図中のＸ−Ｘ線で切断すれば断面図は第
１０図のようになる。ここで、電極１４の外部接続部１
４Ｂと、電極１５の外部接続部１５Ｂとの間に、前述し
た電池３およびスイッチ４を直列接続してスイッチ４を
閉成すれば、第１１図に示すように、窓１４Ａと窓１５
Ａとが重なる部分１１Ｌがそのままで、この部分１１Ｌ
を除いた部分、すなわち、複数の直線が直交するマトリ
クス状部分が被作用物体に伸張力を作用させることがで
きる。
す斜視図である。これは縦方向および横方向に複数の窓
１４Ａ、１５Ａをそれぞれ列状に形成し、適当な一隅に
外部接続部１４Ｂ、１５Ｂを有する電極１４．１５を用
いたものである。これらの電極１４．１５は第９図に示
すように圧電性板材１１の両面に装着されるが、窓１４
Ａと窓１５Ａとが相互に重なるように、すなわち、窓以
外のマトリクス状の部分が重なり合うように装着される
。従って、第９図中のＸ−Ｘ線で切断すれば断面図は第
１０図のようになる。ここで、電極１４の外部接続部１
４Ｂと、電極１５の外部接続部１５Ｂとの間に、前述し
た電池３およびスイッチ４を直列接続してスイッチ４を
閉成すれば、第１１図に示すように、窓１４Ａと窓１５
Ａとが重なる部分１１Ｌがそのままで、この部分１１Ｌ
を除いた部分、すなわち、複数の直線が直交するマトリ
クス状部分が被作用物体に伸張力を作用させることがで
きる。
以上、好適な実施例について説明したが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、板状電極の代わりに導電性
ペーストを塗布したり、あるいは、導電膜を蒸着したり
する構成でもよく、要は、中間部の少なくとも１箇所が
部分的に切欠かれた断面形状を有する板状体または膜状
体を用いることにより上述したと同様、被作用物体に対
して複数箇所にて伸張力を作用させることができる。
に限定されるものではなく、板状電極の代わりに導電性
ペーストを塗布したり、あるいは、導電膜を蒸着したり
する構成でもよく、要は、中間部の少なくとも１箇所が
部分的に切欠かれた断面形状を有する板状体または膜状
体を用いることにより上述したと同様、被作用物体に対
して複数箇所にて伸張力を作用させることができる。
なお、上記実施例では、角形の圧電性板材を用いている
が、この代わりに円形の圧電性板材や、楕円あるいは多
角形の板材を用いるものにも本発明を適用できることは
明らかである。
が、この代わりに円形の圧電性板材や、楕円あるいは多
角形の板材を用いるものにも本発明を適用できることは
明らかである。
なおまた、上記実施例では走査型トンネル顕微鏡（ＳＴ
Ｍ）に適用する圧電アクチュエータについて説明したが
、本発明はこれ以外の装置、例えば、ＩＣ製造時のレー
ザービームの移動装置にも適用できることは言うまでも
ない。
Ｍ）に適用する圧電アクチュエータについて説明したが
、本発明はこれ以外の装置、例えば、ＩＣ製造時のレー
ザービームの移動装置にも適用できることは言うまでも
ない。
以上の説明によって明らかなようにこの発明によれば、
中間部の少なくとも１箇所が部分的に切欠かれた電極を
用い、圧電性板材を複数箇所で伸張せしめているため、
被作用物体に対して複数箇所で力を作用させることとな
り、これによって不必要な分力の発生を抑えることがで
きる。
中間部の少なくとも１箇所が部分的に切欠かれた電極を
用い、圧電性板材を複数箇所で伸張せしめているため、
被作用物体に対して複数箇所で力を作用させることとな
り、これによって不必要な分力の発生を抑えることがで
きる。
第１図はこの発明の一実施例の概略構成を示す分解斜視
図、第２図は同実施例を構成する要素の装着状態を示す
斜視図、第３図は同実施例の要部断面図、第４図は同実
施例の動作を説明するために要部を断面で示した斜視図
、第５図はこの発明の他の実施例の概略構成を示す分解
斜視図、第６図は同実施例を構成する要素の装着状態を
示す斜視図、第７図は同実施例の動作を説明するための
主要素の斜視図、第８図はこの発明のもう一つ他の実施
例の概略構成を示す分解斜視図、第９図は同実施例を構
成する要素の装着状態を示す斜視図、第１０図は同実施
例の要部断面図、第１１図は同実施例の動作を説明する
ための主要素の斜視図、第１２図は従来の圧電アクチュ
エータの概略構成図、第１３図（ａ） 、 （ｂ）はこ
の圧電アクチュエータの変形状態を示す断面図、第１４
図（ａ） 、 （ｂ）はこの圧電アクチュエータの伸張
力の作用状態を説明するための断面図である。 １．１１・・・圧電性板祠、２．１２〜１５・・・電極
、３・・・電池、４・・・スイッチ、１．２Ａ、１３Ａ
・・・共通接続部、１２Ｂ、１３Ｂ・・・歯部、１４Ａ
、１５Ａ・・・窓。
図、第２図は同実施例を構成する要素の装着状態を示す
斜視図、第３図は同実施例の要部断面図、第４図は同実
施例の動作を説明するために要部を断面で示した斜視図
、第５図はこの発明の他の実施例の概略構成を示す分解
斜視図、第６図は同実施例を構成する要素の装着状態を
示す斜視図、第７図は同実施例の動作を説明するための
主要素の斜視図、第８図はこの発明のもう一つ他の実施
例の概略構成を示す分解斜視図、第９図は同実施例を構
成する要素の装着状態を示す斜視図、第１０図は同実施
例の要部断面図、第１１図は同実施例の動作を説明する
ための主要素の斜視図、第１２図は従来の圧電アクチュ
エータの概略構成図、第１３図（ａ） 、 （ｂ）はこ
の圧電アクチュエータの変形状態を示す断面図、第１４
図（ａ） 、 （ｂ）はこの圧電アクチュエータの伸張
力の作用状態を説明するための断面図である。 １．１１・・・圧電性板祠、２．１２〜１５・・・電極
、３・・・電池、４・・・スイッチ、１．２Ａ、１３Ａ
・・・共通接続部、１２Ｂ、１３Ｂ・・・歯部、１４Ａ
、１５Ａ・・・窓。
Claims (3)
- １．圧電性板材を挟むように配設された電極間の電圧を
変えて該圧電性板材の伸張力を外部に作用させる圧電ア
クチュエータにおいて、前記電極として中間部の少なく
とも１箇所が部分的に切欠かれた断面形状を有する板状
体または膜状体を用いたことを特徴とする圧電アクチュ
エータ。 - ２．前記電極を櫛歯状に形成したことを特徴とする請求
項１記載の圧電アクチュエータ。 - ３．前記電極を網状に形成したことを特徴とする請求項
１記載の圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1080164A JPH02261071A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1080164A JPH02261071A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 圧電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02261071A true JPH02261071A (ja) | 1990-10-23 |
Family
ID=13710679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1080164A Pending JPH02261071A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02261071A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160106349A (ko) * | 2015-03-02 | 2016-09-12 | 한국세라믹기술원 | 압전 액츄에이터 및 이의 구동 방법 |
| KR20160108953A (ko) * | 2015-03-09 | 2016-09-21 | 한국세라믹기술원 | 압전 액츄에이터 및 이의 구동 방법 |
| WO2018181641A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 住友理工株式会社 | トランスデューサ及びそれを用いた振動提示装置 |
-
1989
- 1989-03-30 JP JP1080164A patent/JPH02261071A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160106349A (ko) * | 2015-03-02 | 2016-09-12 | 한국세라믹기술원 | 압전 액츄에이터 및 이의 구동 방법 |
| KR20160108953A (ko) * | 2015-03-09 | 2016-09-21 | 한국세라믹기술원 | 압전 액츄에이터 및 이의 구동 방법 |
| WO2018181641A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 住友理工株式会社 | トランスデューサ及びそれを用いた振動提示装置 |
| JPWO2018181641A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-02-06 | 住友理工株式会社 | トランスデューサ及びそれを用いた振動提示装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69823442T2 (de) | Piezoelektrischer Antrieb, Infrarotsensor und Lichtablenker | |
| EP3632135B1 (de) | Mikromechanischer schallwandler | |
| KR100218826B1 (ko) | 박막 작동식 미러 장치 | |
| US8680749B2 (en) | Piezoelectric multilayer-stacked hybrid actuation/transduction system | |
| US6359370B1 (en) | Piezoelectric multiple degree of freedom actuator | |
| CN107797274B (zh) | 用于光的二维偏转的微机械装置和方法 | |
| US8482832B2 (en) | Vibrating mirror element | |
| DE102008012825A1 (de) | Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden | |
| JPH02273081A (ja) | 変位発生装置 | |
| EP3100467A1 (de) | Mems mit mikromechanischen piezoelektrischen aktuatoren zur realisierung hoher kräfte und auslenkungen | |
| WO1998021759A1 (de) | Piezoaktuatorisches antriebs- oder verstellelement | |
| JPH05219760A (ja) | 静電式アクチュエータ | |
| JP6818130B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、可変形状ミラー及び可変形状ミラーの製造方法 | |
| JP3174740B2 (ja) | マイクロ位置決め装置に使用する非傾斜プレート・アクチュエータ | |
| US4491761A (en) | Planar piezoelectric deflector with arrays of alternate piezoelectric effect | |
| US6933662B2 (en) | Electrostrictive compound actuator | |
| JPH02261071A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| US20050128558A1 (en) | Transverse electrodisplacive actuator array | |
| US20230329118A1 (en) | Piezoelectric driving element | |
| JPH0455355B2 (ja) | ||
| US20190237653A1 (en) | Multi-layer piezoelectric ceramic component and piezoelectric device | |
| DE19817802B4 (de) | Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement | |
| JPH0724951Y2 (ja) | 駆動装置 | |
| Smith et al. | 1200 mirror array integrated with CMOS for photonic switching: Application of mechanical leveraging and torsional electrostatic actuation to reduce drive voltage requirements and increase angular tilt | |
| JPH0438152B2 (ja) |