JPH02264441A - 半導体ペレットの組立方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェハトレーの上面においてウェハより細か
く分割した半導体ペレットを、リードフレームや回路基
板における所定の箇所に、−個ずつ方向を変えて移送供
給する組立方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、ウェハトレーの上面においてウェハより細かく分
割した半導体ペレットを、リードフレームや回路基板に
おける所定の箇所に、−個ずつ移送供給するに際しては
、前記ウェトレーを、互いに直交するＸ軸方向とＹ軸方
向との二方向に移動するＸＹ子テーブル装着する一方、
前記ウェハトレーと、該ウェハトレーの側方に位置する
リードフレームとの間を水平方向に往復動するピックア
ップコレットにて、ウェハトレーの上面における半導体
ペレットをｍ個ビツクアップすると、ピックアップコレ
ットがリードフレーム上に移動して、半導体ペレットの
ピックアップを解除して、リードフレームにおける所定
の箇所に供給載置し、次いで、前記ピックアップコレッ
トが、ウェハトレー上に移動すると、当該ピックアップ
コレットの真下の部位に、次の半導体ペレットをＸＹ子
テーブル移動によって供給することを繰り返すようにし
ている。

この従来の方法においては、リードフレームに対して半
導体ペレットを一定の方向に向けた状態で供給するもの
であるが、製造する電子部品の種類等によっては、一つ
の電子部品に対して複数個の半導体ペレットを、方向を
変えて取付ける場合がある。

そこで、このような場合、前記従来の方法では、前記ピ
ックアップコレットを、半導体ペレットをピックアップ
した状態で回転することによって半導体ペレットの取付
は方向を変えるようにしたり、又は、前記ピックアップ
コレットにてリードフレーム上に載せた半導体ペレット
を、リードフレーム上において所定の方向に回転するよ
うにしたり、或いは、ウェハトレーからピックアップコ
レットにてピックアップした半導体ペレットを、−旦中
継スチージョンの上面に載せ、この中継ステーションの
上面において所定の方向に回転したのち、再びピックア
ップコレットにてピックアップして、リードフレームに
移送供給したりすることが行なわれている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、従来の第１の方法は、ピックアップコレットに
、当該ピックアップコレットを回転するための機構を設
けなければならず、ピックアップコレットが必然的に重
くなり、その移動速度を早くすることができないから、
高速化に適合しないのである。

また、従来の第２の方法は、半導体ペレットに対して、
当該半導体ペレットを回転するための部材が接当するの
で、半導体ペレットの損傷が多発するのである。

更にまた、従来の第３の方法も、半導体ペレットを中継
ステーションの上面において持ち替えるために、半導体
ペレットをハンドリングする回数が多いので、ハンドリ
ングミスが多発するばかりか、半導体ペレットの損傷が
多発するのである。

特に、第２及び第３の方法は、半導体ペレットを、リー
ドフレームの上面又は中継ステーションの上面において
所定の方向に回転するための機構が必要であるから、装
置の構造が著しく複雑になり、装置の大型化、及び価格
のアップを招来するのである。

本発明は、ウェハトレーにおける半導体ペレットを、リ
ードフレーム等に方向を変えて移送供給する場合に、前
記従来の問題を解消した組立方法を提供することを目的
とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

この目的を達成するため本発明は、ＸＹ子テーブル取付
けたウェハトレーの表面における多数個の半導体ペレッ
トのうち一つの半導体ペレツトを、ピックアップコレッ
トでピックアップして、リードフレーム又は基板等の上
面に移送供給するようにした半導体ペッレトの組立方法
において、前記ピックアップコレットがウェハトレーの
表面における一つの半導体ペレットをピックアップすれ
ば、前記ウェハトレーを、当該ウェハトレーの表面と直
角な軸線の回りに適宜角度だけ回転したのち、ウェハト
レーの表面における各半導体ペレットのうち次にピック
アップする半導体ペレットを、ＸＹ子テーブル移動によ
って前記ピックアップコレットによるピックアップ位置
に供給するようにした。

〔作　　　用〕

このように、ピックアップコレットにてウェハトレーの
表面における一つの半導体ペレットをピックアップする
と、前記ウェハトレーを、当該ウェハトレーの表面と直
角な軸線の回りに回転したのち、ウェハトレーの表面に
おける各半導体ペレットのうち次にピックアップする半
導体ペレットを、ＸＹ子テーブル移動によって前記ピッ
クアップコレットによるピックアップ位置に供給するよ
うにすると、次にピックアップする半導体ペレットを、
その方向を変えてブックアップすることができるから、
この状態のままリードフレームに移送したのちピックア
ップを解除することで、リ一ドフレームに対して半導体
ペレットを、方向を変えて供給することができるのであ
る。

〔発明の効果〕

従って本発明によると、前記従来のように、ピックアン
プコレットにこれを回転するための機構を必要とせず、
ピックアップコレットを軽量化できるから、半導体ペレ
ットを、その方向を変えて組立てる場合における組立速
度をアップすることができるのであり、しかも、従来の
ように、半導体ペレットに対してこれを回転するための
機構を接当する必要がないと共に、半導体ペレットを持
ち替える必要がないから、半導体ペレットを損傷するこ
と及びハンドリングミスの発生を確実に低減できるので
ある。

その上、ＸＹ子テーブル、ウェハトレーを回転するため
の機構を設けるだけで良いから、装置の構造が簡単で、
装置の大型化及び価格のアップを招来することがない効
果を有する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面について説明すると、図に
おいて符号１は、一つの電子部品に対して各々二つの半
導体ペレット取付は部２ａ、２ｂを備えた長尺帯状のリ
ードフレーム２を水平状態のもとて矢印Ａ方向に搬送す
るようにしたリードフレーム搬送ラインを、符号３は、
該リードフレーム搬送ラインの側方に配設したＸＹ子テ
ーブル各々示す。

前記ＸＹ子テーブルには、上面に多数個の半導体ペレッ
ト４を一定の方向に向けて載せたウェハトレー５が取付
けられ、且つ、このＸＹ子テーブルには、前記ウェハト
レー５を、当該ウェハトレー５の上面に含む平面と直角
方向の軸線６の回りに回転するための回転機構７と、前
記ウェハトレー５を前記リードフレーム２の搬送方向Ａ
と直角のＸ方向に往復移動するようにしたＸ方向移動機
構８と、前記ウェハトレー５を前記リードフレーム２の
搬送方向Ａと平行のＹ方向に往復移動するようにしたＹ
方向移動機構９とを備えている。

符号１０は、前記ウェハトレー４と、前記リードフレー
ム２との間を、アーム１１によって水平方向に往復動す
るようにしたピックアップコレットを示し、該ピックア
ップコレット１０は、その往復動の両端部において上下
動するための機構１２を備えている。

そして、前記リードフレーム２における二個−対の半導
体ペレ７）取付は部２ａ、　　２ｂに、前記ウェハトレ
ー５の上面における半導体ペレット４ａを、その各々に
おける方向を変えて移送供給するに際しては、先づ、第
３図に示すように、フォトセンサー（図示せず）によっ
て前記ピックアップコレット１０の真下におけるピック
アップ位置Ｂに第１の半導体ペレット４ａが存在するこ
とを認識すると、ピックアップコレット１０を下降して
、前記第１の半導体ペレット４をピックアップし、次い
でピックアップコレット１０は、上昇したのち、リード
フレーム２における一方の半導体ペレット取付は部２ａ
上に移動し下降してピックアンプを解除することにより
、前記第２の半導体ペレッ）４ａを、一方の半導体ペレ
ット取付は部２ａ上に移送供給する。

その間、ＸＹ子テーブルは、次の第２の半導体ペレッ１
−４ｂを、第４図に示すように、前記ピックアップ位置
Ｂに供給するように、Ｘ方向移動機構８とＹ方向移動機
構９とを作動する。このとき、前記リードフレーム２の
回転中心Ｃに対する前記ピックアップ位置Ｂの座標位置
を（−Ｘｌ、ＩＹＩ）とする。

次いで、ＸＹ子テーブルにおける回転機構７を作動する
ことにより、ウェハトレー５を、鉛直軸線６の回りに時
計方向に９０度回転する。すると、前記第２の半導体ペ
レッ）４ｂは、第５図に示すように、その方向が９０度
変えられた状態で、前記リードフレーム２の回転中心Ｃ
に対して座標位置が、前記（−Ｘｉ、ＩＹＩ）から （＋Ｘ２．＋Ｙ２）に変位する。このとき、Ｘｉ　１＝
ｌＹ２１、ＩＹＩ　１＝ｌＸ２１であるから、ウェハト
レー５を、Ｘ方向移動機構８にて−Ｘの方向にＩＸＩ　
ｌ＋ｌＸ２１だけ移動すると同時に、Ｙ方向移動機構９
にて−Ｙの方向にＹ２１−ＩＹＩ　ｌだけ移動すること
により、前記第２の半導体ペレット４ｂを、第６図に示
すように、前記ピックアップ位置Ｂに、方向を９０度変
えた状態で供給することができる。

従って、以後は、前記ピックアップコレット１０を前記
と同様に作動することにより、この第２の半導体ペレッ
ト４ｂを、リードフレーム２における他方の半導体ペレ
ット取付は部２ｂに移送供給できるのである。

なお、前記実施例は、各半導体ペレット４の方向を９０
度変えてリードフレームに移送供給する場合を示したが
、本発明は、これに限らず、各半導体ペレット４の方向
を１８０度変えてリードフレーム等に移送供給する場合
にも通用できることは云うまでもない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図は側面図、第２図
は平面図、第３図、第４図、第５図及び第６図は作用状
態を示す平面図である。 １・・・・リードフレーム搬送ライン、２・・・・リー
ドフレーム、３・・・・ＸＹ子テーブル４・・・・半導
体ペレット、５・・・・ウェハトレー、６・・・・軸１
ｊｌ、７・・・・回転機構、８・・・・Ｘ方向移動機構
、９・・・・Ｙ方向移動機構、１０・・・・ピックアッ
プコレット。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＸＹテーブルに取付けたウェハトレーの表面にお
   ける多数個の半導体ペレットのうち一つの半導体ペレッ
   トを、ピックアップコレットでピックアップして、リー
   ドフレーム又は基板等の上面に移送供給するようにした
   半導体ペレットの組立方法において、前記ピックアップ
   コレットがウェハトレーの表面における一つの半導体ペ
   レットをピックアップすれば、前記ウェハトレーを、当
   該ウェハトレーの表面と直角な軸線の回りに適宜角度だ
   け回転したのち、ウェハトレーの表面における各半導体
   ペレットのうち次にピックアップする半導体ペレットを
   、ＸＹテーブルの移動によって前記ピックアップコレッ
   トによるピックアップ位置に供給することを特徴とする
   半導体ペレットの組立方法。