JPH02264846A - 微粒子のサイズ無接触計測方法、および微粒子サイズ無接触計測装置 - Google Patents
微粒子のサイズ無接触計測方法、および微粒子サイズ無接触計測装置Info
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- JPH02264846A JPH02264846A JP1087639A JP8763989A JPH02264846A JP H02264846 A JPH02264846 A JP H02264846A JP 1087639 A JP1087639 A JP 1087639A JP 8763989 A JP8763989 A JP 8763989A JP H02264846 A JPH02264846 A JP H02264846A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ｃ産業上の利用分野〕
本発明は、微粒子のサイズを無接触で計測することがで
きる方法と装置に関し、さらに詳しくは、単色成分の光
線を物体に照射したとき当該物体のサイズに応じた縞間
隔の干渉縞が生成するという新知見を巧みに利用して微
粒子のサイズを簡易迅速に計測することができる新方法
とその方法に使用する装置に関するものであり、セラミ
ック粉体や磁気記録材料の粉体、粉末冶金材料の品質管
理に利用できるうえ、固形粉体だけでな（液状微粒子の
サイズをも計測できるところから産業上の利用分野は頗
る広い。
きる方法と装置に関し、さらに詳しくは、単色成分の光
線を物体に照射したとき当該物体のサイズに応じた縞間
隔の干渉縞が生成するという新知見を巧みに利用して微
粒子のサイズを簡易迅速に計測することができる新方法
とその方法に使用する装置に関するものであり、セラミ
ック粉体や磁気記録材料の粉体、粉末冶金材料の品質管
理に利用できるうえ、固形粉体だけでな（液状微粒子の
サイズをも計測できるところから産業上の利用分野は頗
る広い。
Ｃ従来の技術、および解決すべき技術的課題〕周知のと
おり、トーツス・ヤング（Ｔｈｏｍａｓ Ｙｏｕｎｇ）
は、２００年はど前、物体に光を照射したときには当該
物体の境界を波源とする２次球面波が生じて等間隔・同
心円状の干渉縞が観測できるとの学説を唱えた。ところ
が、当時、ヤングの提唱する方法で実験をしても干渉縞
が等間隔にならなかったことから、ヤング学説は誤りで
あるとされた。このヤング学説は、その後、多くの研究
者の研究により漸くその正当性が理論的に承認される至
った。
おり、トーツス・ヤング（Ｔｈｏｍａｓ Ｙｏｕｎｇ）
は、２００年はど前、物体に光を照射したときには当該
物体の境界を波源とする２次球面波が生じて等間隔・同
心円状の干渉縞が観測できるとの学説を唱えた。ところ
が、当時、ヤングの提唱する方法で実験をしても干渉縞
が等間隔にならなかったことから、ヤング学説は誤りで
あるとされた。このヤング学説は、その後、多くの研究
者の研究により漸くその正当性が理論的に承認される至
った。
ところが、上記ヤング学説を実験的に証明しようとする
研究は、意外な事に現在でも皆無であり、本発明者も寡
聞にして知らない。
研究は、意外な事に現在でも皆無であり、本発明者も寡
聞にして知らない。
このような事情から、本発明者は、上記ヤング学説を実
証すべく種々の試行錯誤的実験を繰り返した結果、１０
０〜ＩＯ００ｐｍの粒子に対して単色光線を成分とする
レーザビームを照射すると前記粒子の影の部分に等間隔
・同心円状に広がる干渉縞が生ずる事実を見出した。
証すべく種々の試行錯誤的実験を繰り返した結果、１０
０〜ＩＯ００ｐｍの粒子に対して単色光線を成分とする
レーザビームを照射すると前記粒子の影の部分に等間隔
・同心円状に広がる干渉縞が生ずる事実を見出した。
そこで、この干渉縞について更に分析研究を進めてみる
と、この干渉縞の縞間隔（Δχ）が、単色光線の波長（
λ）と、粒子の径（Ｄ）と、粒子と干渉縞の観測位置の
距！１ｌ（Ｚ）との間に、次のような関係が成立するこ
とが判明した。
と、この干渉縞の縞間隔（Δχ）が、単色光線の波長（
λ）と、粒子の径（Ｄ）と、粒子と干渉縞の観測位置の
距！１ｌ（Ｚ）との間に、次のような関係が成立するこ
とが判明した。
λ２
Δχコ□ −−−−−−ｍ−・−−−一−−（＋１し
かして、この知見を基に推論を進めると、粒子のサイズ
（Ｄ）は、上記（１）式を置換して、次のように求める
ことができることになる。
かして、この知見を基に推論を進めると、粒子のサイズ
（Ｄ）は、上記（１）式を置換して、次のように求める
ことができることになる。
Ｄ＝ λ２ −・−・−・−・・・・−−−−・（
２）Δχ 本発明は、前述の実証的研究を通じて知得した上記の新
知見を微粒子のサイズ計測に利用するものであり、計測
対象とする微粒子に全く接触することなく正確かつ迅速
にサイズを計測することができる新らしい無接触計測方
法および装置を提供するご七を技術的課題とするもので
ある。
２）Δχ 本発明は、前述の実証的研究を通じて知得した上記の新
知見を微粒子のサイズ計測に利用するものであり、計測
対象とする微粒子に全く接触することなく正確かつ迅速
にサイズを計測することができる新らしい無接触計測方
法および装置を提供するご七を技術的課題とするもので
ある。
また、本発明の他の技術的課題は、数μｍ単位の非常に
微細な微粒子のサイズを的確に計測することができる方
法と装置を提供するにある。
微細な微粒子のサイズを的確に計測することができる方
法と装置を提供するにある。
また、本発明の他の技術的課題は、固形の微粒子だけで
なく液状の微粒子のサイズでも的確にサイズを計測でき
る方法と装置を提供するにある。
なく液状の微粒子のサイズでも的確にサイズを計測でき
る方法と装置を提供するにある。
さらに、本発明の他の技術的課題は、セラミックスなど
様々の粉体材料の品質管理に利用できる微粒子のサイズ
無接触計測方法と装置を提供するにある。
様々の粉体材料の品質管理に利用できる微粒子のサイズ
無接触計測方法と装置を提供するにある。
本発明の更に他の目的と利点は、以下の説明から更に明
瞭になるであろう。
瞭になるであろう。
本発明者が上記技術的！！！題を解決するために採用し
た手段は次のとおりである。
た手段は次のとおりである。
即ち、本発明は、単色光線を被測定微粒子に照射して、
当該微粒子の後方平面上に生ずる干渉縞の縞間隔（Δχ
）を測定し、その値（Δχ）を次式（Ｄは微粒子の径、
Ｚは微粒子と測定平面までの距離、メは照射した単色光
の波長） に代入して微粒子のサイズＤを求積するという手段を採
用した点に要旨が存する。
当該微粒子の後方平面上に生ずる干渉縞の縞間隔（Δχ
）を測定し、その値（Δχ）を次式（Ｄは微粒子の径、
Ｚは微粒子と測定平面までの距離、メは照射した単色光
の波長） に代入して微粒子のサイズＤを求積するという手段を採
用した点に要旨が存する。
ｒ実施例〕
以下、本発明を添附図面に示す実施例に基いて更に詳し
く説明する。なお、第１図は本発明の第１実施例装置を
示すブロック図、第２図は本発明の第２実施例装置を示
すブロック図、第３図は本発明の第３実施例装置を概略
的に示すブロック図である。
く説明する。なお、第１図は本発明の第１実施例装置を
示すブロック図、第２図は本発明の第２実施例装置を示
すブロック図、第３図は本発明の第３実施例装置を概略
的に示すブロック図である。
第１図において、符号ｌで指示するものは、ビーム照射
手段であるＨｅ−Ｍｅレーザ発生器であり、波長６３２
．８ｎｍ単色光線を発生する。このレーザー発生器１０
発するレーザ光線は、対物レンズｌｌａおよびピンホー
ルｌｌｂから成るスペイシアルフィルタ（ｓｐａｔｉａ
ｌ ｆｉｌｔｅｒ月１を介して微粒子Ｇに当たり、その
陰影は描写手段２であるレンズレス・カメラ内のフィル
ム２１上に写されることになる。
手段であるＨｅ−Ｍｅレーザ発生器であり、波長６３２
．８ｎｍ単色光線を発生する。このレーザー発生器１０
発するレーザ光線は、対物レンズｌｌａおよびピンホー
ルｌｌｂから成るスペイシアルフィルタ（ｓｐａｔｉａ
ｌ ｆｉｌｔｅｒ月１を介して微粒子Ｇに当たり、その
陰影は描写手段２であるレンズレス・カメラ内のフィル
ム２１上に写されることになる。
なお、本実施例装置においては、微粒子Ｇは空中落下方
式により自然落下させて前記レーザ光線を照射する方式
を採っているが、必ずしも空中落下方式による必要はな
く、真空中で落下させたり、もし微粒子が帯電性のもの
であれば、静電気的方法または化学的方法により帯電さ
せてチェンバー内の電極間で落下運動させることも、さ
らに微粒子の重力、粘性力、あるいは電界による力を均
衡させることによって空中に静止させるといった方式も
採択可能であることは云うまでもない。
式により自然落下させて前記レーザ光線を照射する方式
を採っているが、必ずしも空中落下方式による必要はな
く、真空中で落下させたり、もし微粒子が帯電性のもの
であれば、静電気的方法または化学的方法により帯電さ
せてチェンバー内の電極間で落下運動させることも、さ
らに微粒子の重力、粘性力、あるいは電界による力を均
衡させることによって空中に静止させるといった方式も
採択可能であることは云うまでもない。
符号３にて指示するものは、測長手段としてのマイクロ
フォトメータ（ｍｉｃｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）であ
り、゛上記フィルム２１上に逼影された微粒子Ｇの陰影
部分に生ずる干渉縞の縞間隔の光度変化に反応して、電
流値が強弱変化する縞間隔信号（Ａχンを出力する。か
くして、この縞間隔信号（Δχ）は、演算手段４である
マイクロコンピュータに入力され、其処で前記（Δχ）
の値が次式： （Ｄは微粒子の径、Ｚは微粒子と測定平面までの距離、
λは照射した単色光の波長） に代入されて演算処理され、その数値信号が７セグメン
ト表示器５に数値としてディジタル表示されることにな
る。
フォトメータ（ｍｉｃｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）であ
り、゛上記フィルム２１上に逼影された微粒子Ｇの陰影
部分に生ずる干渉縞の縞間隔の光度変化に反応して、電
流値が強弱変化する縞間隔信号（Ａχンを出力する。か
くして、この縞間隔信号（Δχ）は、演算手段４である
マイクロコンピュータに入力され、其処で前記（Δχ）
の値が次式： （Ｄは微粒子の径、Ｚは微粒子と測定平面までの距離、
λは照射した単色光の波長） に代入されて演算処理され、その数値信号が７セグメン
ト表示器５に数値としてディジタル表示されることにな
る。
として構成した第２実施例を示すものであり、測長手段
３が光電子倍増管を含む撮影装置である。
３が光電子倍増管を含む撮影装置である。
この第２実施例において測長手段３は、レーザ発生器１
のレーザ光綿が微粒子Ｇに当って形成する映写スペース
２１に沿って配設されており、パルスモータステージに
よって駆動制御されるオプチカルファイバー人力部３２
と；このファイバー人力部３２に入射する光量の変化を
電気信号に変換して出力する光電子倍増管３３と；この
光電子倍増管３３の出力を増幅する増幅器３４と；増幅
器３４の出力する信号をディジタル信号変換して出力す
るＡ−Ｄ変換器３５と；前記オプチカルファイバー人力
部３２の移動走査量を測定するＩ−０プロセツサー３６
とから構成されている。
のレーザ光綿が微粒子Ｇに当って形成する映写スペース
２１に沿って配設されており、パルスモータステージに
よって駆動制御されるオプチカルファイバー人力部３２
と；このファイバー人力部３２に入射する光量の変化を
電気信号に変換して出力する光電子倍増管３３と；この
光電子倍増管３３の出力を増幅する増幅器３４と；増幅
器３４の出力する信号をディジタル信号変換して出力す
るＡ−Ｄ変換器３５と；前記オプチカルファイバー人力
部３２の移動走査量を測定するＩ−０プロセツサー３６
とから構成されている。
したがって、レーザ発生器１のレーザ光線が微粒子Ｇに
当って形成する干渉縞の陰影変化はオプチカルファイバ
ー人力部３２に入力して光電子倍増管３３に送致され、
其処で光電効果により映像信号に変換されて増幅器３４
に送られ、其処で所定電位の信号値にまで増幅されてＡ
−Ｄ変換器３５に次に、第２図は本発明を光電受光タイ
プの装置入力され、そこで更にディジタル信号に変換さ
れてマイクロコンピュータ４に入力されることになるの
であり、このマイクロコンピュータでは上記１−０プロ
セツサー３６の移動走査量と前記Ａ−Ｄ変換器＄５から
送致される信号を演算処理して微粒子Ｇのサイズを求積
することができるのであり、微粒子Ｇのサイズ計測を迅
速に行なえる特徴がある。
当って形成する干渉縞の陰影変化はオプチカルファイバ
ー人力部３２に入力して光電子倍増管３３に送致され、
其処で光電効果により映像信号に変換されて増幅器３４
に送られ、其処で所定電位の信号値にまで増幅されてＡ
−Ｄ変換器３５に次に、第２図は本発明を光電受光タイ
プの装置入力され、そこで更にディジタル信号に変換さ
れてマイクロコンピュータ４に入力されることになるの
であり、このマイクロコンピュータでは上記１−０プロ
セツサー３６の移動走査量と前記Ａ−Ｄ変換器＄５から
送致される信号を演算処理して微粒子Ｇのサイズを求積
することができるのであり、微粒子Ｇのサイズ計測を迅
速に行なえる特徴がある。
また、第３図に示すものは、本発明の第３実施例装置で
ある。この第３実施例装置においては、測長手段３はＣ
ＣＤ ｔｌ像素子３２とＡ−Ｄ変換器３５と画像プロセ
ッサー３７とで構成されている。この第３実施例装置に
おけるビーム照射手段ｌおよびパターン描写手段２の構
成は、上記第１実施例装置のものと変わりがなく、レー
ザ発生器１のレーザ光線が微粒子Ｇに当って描写手段２
のスクリーン２１上に形成する干渉縞の陰影変化は、Ｃ
ＣＤ撮像素子３２、Ａ−Ｄ変換器３５を経由して画像プ
ロセッサー３７に蓄え、其処で画像の濃淡処理などを施
してマイクロコンピュータ−４において微粒子Ｇのサイ
ズＤを求積する構成になっているが、この第３実施例装
置にあっては画像プロセッサー３７を採用しであるので
、干渉縞から得られる信号が非常に明瞭となって正確な
サイズ計測が可能となると共に、モニターテレビ６を付
設して微粒子Ｇを明視観察しながらリアルタイムにサイ
ズ計測ができるという利点も得られる。
ある。この第３実施例装置においては、測長手段３はＣ
ＣＤ ｔｌ像素子３２とＡ−Ｄ変換器３５と画像プロセ
ッサー３７とで構成されている。この第３実施例装置に
おけるビーム照射手段ｌおよびパターン描写手段２の構
成は、上記第１実施例装置のものと変わりがなく、レー
ザ発生器１のレーザ光線が微粒子Ｇに当って描写手段２
のスクリーン２１上に形成する干渉縞の陰影変化は、Ｃ
ＣＤ撮像素子３２、Ａ−Ｄ変換器３５を経由して画像プ
ロセッサー３７に蓄え、其処で画像の濃淡処理などを施
してマイクロコンピュータ−４において微粒子Ｇのサイ
ズＤを求積する構成になっているが、この第３実施例装
置にあっては画像プロセッサー３７を採用しであるので
、干渉縞から得られる信号が非常に明瞭となって正確な
サイズ計測が可能となると共に、モニターテレビ６を付
設して微粒子Ｇを明視観察しながらリアルタイムにサイ
ズ計測ができるという利点も得られる。
なお、この第３実施例装置においては表示手段としてド
ツトプリンターを採用しており、微粒子Ｇのサイズをプ
リントアウトすることも可能である。
ツトプリンターを採用しており、微粒子Ｇのサイズをプ
リントアウトすることも可能である。
径がＩＩＩＩＩ１１以下のガラス球、クロム球、細いグ
ファイト円柱（ａ） （ｂ）を用いて、第１図の実施例
装置により実験を試みたところ、Ｈｅ−Ｍｅレーザ発生
器ｌから照射される七ころの波長６３２．８ ｎｍの単
色光線によってカメラ２のフィルム２１上に、ガラス球
とクロム球については等間隔同心円上の干渉縞が当該物
体Ｇの陰影部分の周囲に鮮明に写し出され、 また、グラファイト円柱体については当該物体Ｇの陰影
における各辺に沿って生ずる等間隔の直線群として現象
するストライプ状干渉縞と、角を基準として当該物体Ｇ
の周囲に等間隔に広がる波絞状の干渉縞とが鮮明に写し
出された。この縞模様こそ、トーマス・ヤングが２００
年前に予言した干渉縞であり、材質を違えて液体、木材
などについて上記レーザを照射して試験して見たが、材
質に関係なく径にのみ依存することが判明した。
ファイト円柱（ａ） （ｂ）を用いて、第１図の実施例
装置により実験を試みたところ、Ｈｅ−Ｍｅレーザ発生
器ｌから照射される七ころの波長６３２．８ ｎｍの単
色光線によってカメラ２のフィルム２１上に、ガラス球
とクロム球については等間隔同心円上の干渉縞が当該物
体Ｇの陰影部分の周囲に鮮明に写し出され、 また、グラファイト円柱体については当該物体Ｇの陰影
における各辺に沿って生ずる等間隔の直線群として現象
するストライプ状干渉縞と、角を基準として当該物体Ｇ
の周囲に等間隔に広がる波絞状の干渉縞とが鮮明に写し
出された。この縞模様こそ、トーマス・ヤングが２００
年前に予言した干渉縞であり、材質を違えて液体、木材
などについて上記レーザを照射して試験して見たが、材
質に関係なく径にのみ依存することが判明した。
次に、上記ガラス球、クロム球、およびグラファイト球
より生じた干渉縞の縞間隔を、マイクロフォトメータに
て読み取り、縞間隔信号（Δχ）を出力させて、マイク
ロコンピュータ４に入力して演算せしめたところ、７セ
グメント表示器５により、次のような結果がディジタル
表示された。
より生じた干渉縞の縞間隔を、マイクロフォトメータに
て読み取り、縞間隔信号（Δχ）を出力させて、マイク
ロコンピュータ４に入力して演算せしめたところ、７セ
グメント表示器５により、次のような結果がディジタル
表示された。
なお、Ｄは微粒子の径、Ｚは微粒子とフィルム間の距離
である。
である。
（１）ガラス球の径Ｃサイズ）について、上記の微粒子
（ガラス球）の径の測定値りの誤差へ〇については、次
の関係式が成立する。
（ガラス球）の径の測定値りの誤差へ〇については、次
の関係式が成立する。
また、顕微鏡を用いて上記微粒子の径（Ｄ）を測定した
結果は、声のとおりであった。
結果は、声のとおりであった。
（１，２９±０．０３ ）Ｘ７０−’ｍクロム球の径（
サイズ） について、 なお、顕微鏡を用いて上記微粒子の径（Ｄ）を測定した
結果は、次のとおりであった。
サイズ） について、 なお、顕微鏡を用いて上記微粒子の径（Ｄ）を測定した
結果は、次のとおりであった。
＜０．９２±０．０１ ）ＸＩＯ−ｍ
なお、顕微鏡を用いて上記微粒子の径（Ｄ）を測定した
結果は、次のとおりであった。
結果は、次のとおりであった。
（１，０１±０．０４ ）×ＩＯ−”ｍ（３）グラファ
イト円柱の径（サイズ）について、なお、顕微鏡を用い
て上記微粒子の径（Ｄ）を測定した結果は、次のとおり
であった。
イト円柱の径（サイズ）について、なお、顕微鏡を用い
て上記微粒子の径（Ｄ）を測定した結果は、次のとおり
であった。
０．５６×ＩＯ−”ｍ
〔本発明の効果〕
以上、実施例および実験例をもって説明したとおり、本
発明にあっては、計測対象である微粒子に全く触れるこ
となく単色の光線を当該微粒子に照射すると共に、その
後方に生ずる陰影の部分を捉でサイズを計測するので、
微粒子が応力により変形する惧れがなくて、凝集液体の
サイズであろうと、固体粒子のサイズであろうと、材質
を問わず有りのま−の形状のサイズを数μｍ単位のスケ
ールで正しく測定することが可能であり、コロイド溶液
の均質管理、セラミックス粉体の粉体の品質管理などに
極めて有用である。
発明にあっては、計測対象である微粒子に全く触れるこ
となく単色の光線を当該微粒子に照射すると共に、その
後方に生ずる陰影の部分を捉でサイズを計測するので、
微粒子が応力により変形する惧れがなくて、凝集液体の
サイズであろうと、固体粒子のサイズであろうと、材質
を問わず有りのま−の形状のサイズを数μｍ単位のスケ
ールで正しく測定することが可能であり、コロイド溶液
の均質管理、セラミックス粉体の粉体の品質管理などに
極めて有用である。
第１図は本発明の第１実施例装置を概略的に示すブロッ
ク図、第２図は本発明の第２実施例装置を概略的に示す
ブロック図、第３図は本発明の第３実施例装置を概略的
に示すブロック図である。 １・−ビーム照射手段、 １１・−スペイシアルフィルタ、 ２−−−パターン描写手段、 ２１−−−フィルムないしスクリーンなど映写スペース
、３−−一測長手段、 ３１−一一バルスモータステージ、 ３２−−−オブチカルブアイバーない しＣＯＤ入力部
、３３・−光電子倍増管、３４−−一増幅器、３５−−
− Ａ −Ｄ変換器、 ３６−−−１−０プロセンサー ３７−−−画像プロセッサー ４−・−演算手段。 Ｇ・−微粒子。
ク図、第２図は本発明の第２実施例装置を概略的に示す
ブロック図、第３図は本発明の第３実施例装置を概略的
に示すブロック図である。 １・−ビーム照射手段、 １１・−スペイシアルフィルタ、 ２−−−パターン描写手段、 ２１−−−フィルムないしスクリーンなど映写スペース
、３−−一測長手段、 ３１−一一バルスモータステージ、 ３２−−−オブチカルブアイバーない しＣＯＤ入力部
、３３・−光電子倍増管、３４−−一増幅器、３５−−
− Ａ −Ｄ変換器、 ３６−−−１−０プロセンサー ３７−−−画像プロセッサー ４−・−演算手段。 Ｇ・−微粒子。
Claims (10)
- （１）単色光線を被測定微粒子に照射して、当該微粒子
の後方平面上に生ずる干渉縞の 縞間隔（Δχ）を測定し、その値（Δχ）を、次式： Ｄ＝λＺ／Δχ （Ｄは微粒子の径、Ｚは微粒子と測定平面までの距離、
λは照射した単色光の波長） に代入して微粒子のサイズＤを求積する ことを特徴とした微粒子のサイズ無接触 計測方法。 - （２）単色光線を被測定微粒子に照射して、当該微粒子
の後方平面上に生ずる干渉縞を フィルムに記録し、記録された干渉縞の 縞間隔をマイクロフォトメータにて測定し て微粒子のサイズを求積する請求項（１）記載の微粒子
のサイズ無接触計測方法。 - （３）単色光線として、レーザビームを用いる請求項（
１）または（２）記載の微粒子のサイズ無接触計測方法
。 - （４）単色光線を所定方向へ照射するビーム照射手段１
と；このビーム照射手段１が 指向する光路上に設置され、単色光線 が被測定微粒子Ｇによって遮蔽される際に 当該微粒子Ｇの陰影部分に生起される干渉 縞を記録するパターン描写手段２と；この 描写手段２に記録された干渉縞の縞間隔を 測定し、間隔サイズに応じた縞間隔信号を 出力する測長手段３と；この測長手段が 出力した縞間隔信号の信号値（Δχ）に 基いて被測定微粒子Ｇのサイズを演算する 演算手段４とを含むことを特徴とした 微粒子サイズ無接触計測装置。 - （５）ビーム照射手段１が、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発生器で
ある請求項（４）記載の微粒子サイズ無接触計測装置。 - （６）パターン描写手段２が感光フィルム上に画像を記
録する光学カメラである請求項４ または（５）記載の微粒子サイズ無接触計測装置。 - （７）測長手段３が光電素子を含むマイクロフォトメー
タであり、このマイクロフォト メータがパターン描写手段２の感光フィル ム上に撮影された干渉縞の縞間隔に基いて 電流の強弱変化として縞間隔信号を出力す る請求項（４）から（６）の何れかに記載の微粒子サイ
ズ無接触計測装置。 - （８）パターン描写手段３がＣＣＤ撮像素子を含む撮影
装置である請求項（４）または（５）記載の微粒子サイ
ズ無接触計測装置。 - （９）測長手段３がＡ−Ｄ変換器であり、パターン描写
手段２によって撮影された干渉縞 信号をＡ−Ｄ変換して干渉縞の縞間隔の 大きさに比例したパルス数を縞間隔信号の 信号値（Δχ）として一定時間中に出力してカウントす
る請求項（８）記載の微粒子サイズ無接触計測装置。 - （１０）演算装置（４）が、マイクロコンピュータであ
る請求項（４）〜（９）の何れかに記載の微粒子サイズ
無接触計測装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1087639A JPH02264846A (ja) | 1989-04-05 | 1989-04-05 | 微粒子のサイズ無接触計測方法、および微粒子サイズ無接触計測装置 |
| EP19900303598 EP0391682A3 (en) | 1989-04-05 | 1990-04-04 | Method for measuring particulate size without contacting the particulate and related apparatus |
| US08/079,456 US5327217A (en) | 1989-04-05 | 1993-06-21 | Apparatus for measuring particulate size without contacting the particulate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1087639A JPH02264846A (ja) | 1989-04-05 | 1989-04-05 | 微粒子のサイズ無接触計測方法、および微粒子サイズ無接触計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02264846A true JPH02264846A (ja) | 1990-10-29 |
Family
ID=13920553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1087639A Pending JPH02264846A (ja) | 1989-04-05 | 1989-04-05 | 微粒子のサイズ無接触計測方法、および微粒子サイズ無接触計測装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0391682A3 (ja) |
| JP (1) | JPH02264846A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992021955A1 (de) * | 1991-06-07 | 1992-12-10 | Reiner Weichert | Vorrichtung und verfahren zur bestimmung von partikelgrössenverteilungen mittels streulichtmessungen |
| EP0627073A1 (en) * | 1992-02-21 | 1994-12-07 | The Secretary Of State For Defence In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern | Analysis of particle characteristics |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3858851A (en) * | 1973-07-05 | 1975-01-07 | Prototron Ass | Apparatus for providing a statistical count of particulate material in a fluid |
| US4095898A (en) * | 1976-06-10 | 1978-06-20 | Coulter Electronics, Inc. | Particle analysis system with photochromic filter |
| CH665480A5 (de) * | 1981-03-31 | 1988-05-13 | Wool Dev Int | Verfahren zur messung des durchmessers langgestreckter gegenstaende und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens. |
| JPS63215942A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Natl Aerospace Lab | 粒子径分布計測用光電変換センサ− |
| GB2203542A (en) * | 1987-04-14 | 1988-10-19 | Secr Defence | Measuring particle size distribution |
-
1989
- 1989-04-05 JP JP1087639A patent/JPH02264846A/ja active Pending
-
1990
- 1990-04-04 EP EP19900303598 patent/EP0391682A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0391682A3 (en) | 1992-07-08 |
| EP0391682A2 (en) | 1990-10-10 |
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