JPH02267896A - Ｘ線発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はＸ線発生装置に関する。

［従来の技術］ 従来、プラズマのピンチ効果は「理化学辞典」丸善刊、
によると、プラズマ中に流れる電流と、それによりつく
られる磁場との相互作用で、プラズマ自身が紐状にしぼ
られる現象であり、柱状または環状の高温プラズマをつ
くるのに利用される。柱状プラズマの軸方向（Ｚ方向）
に電流を流し方位角方向（θ方向）の磁場によってプラ
ズマをピンチさせるＺピンチと、外からの誘導によりθ
方向に電流を流し、Ｚ方向の磁場をつくるθピンチとに
大別される。Ｚピンチはくびれや曲がりに対して不安定
でかつ電極からの不純物が多く、核融合研究には適さな
い、θピンチは比較的安定でかつ不純物も少なく、比較
的高温高密度のプラズマが短時間ではあるが容易に得ら
れる。Ｚピンチの過熱は主としてジュール熱に頼ってい
る。θピンチでは、ピンチ効果によりプラズマが内向き
に大きく加速され、それが軸上に集中して熱化される衝
撃波加熱を用いており、イオン温度が電子温度よりも高
いのが特徴である。と記されている。又、本プラズマの
ピンチ効果を応用してトカマク型の核融合炉が開発され
ているのが現状である。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、上記従来技術によると、プラズマのピンチ効果
によりＸ線発生がある事はどこにも記されて居らず、ま
してやトカマク等の核融合炉の周辺は厚い磁石で囲まれ
て居り、該６１１石で実質的にプラズマのピンチ効果に
より発生するＸ線を防止し−（いる訳ではあるが、Ｘ線
取り出し用の窓などは設置された事もない。

本発明は、１つはプラズマのピンチ効果によりＸ線が発
生するという現象の発明ではあるが、具体的には該プラ
ズマのピンチ効果により発生するＸ線をＸ線露光用のＸ
線源とするところに目的がある。

［課題を解決するための手段１ 上記課題を解決するために本発明は、Ｘ線発生装置に関
し、プラズマのピンチ効果により発生するＸ線を取り出
し窓より取り出す窓を具備する手段を取る事を基本とす
る。

［実　施　例］ 以下、実施例により本発明を詳述する。

第１図は本発明の一実施例を示すＸ線発生装置の断面模
式図である。すなわち、鉄や石英等から成る容器１には
Ｘ線取り出し用の例えばＢｅ膜等から成る窓２を形成し
、該容器１を真空３で真空に引きながらアルゴン等のガ
ス４を導入し、容器内を数Ｔｏｒｒの真空度に保ちつつ
容器内のガスをＲＦ５から成るコイル又は電極に高周波
を印加してプラズマ７を形成し、該プラズマ７の熱拡散
流に対しコイル６に大電流を流すことによりプラズマの
ピンチ８部を形成し、該ピンチ８部からのＸ線９を前記
窓２部から放出させる。

本例は一例であり１例えばトカマク炉の周辺コイルの一
部をはふいて容器壁を露出させて窓部とする事や、プラ
ズマ中に電極を挿入してプラズマに電流を流すことによ
りＸ線の発生強度を増す事や、外部からの磁界を印加す
る為の１ｉｆ１石を併せて容器周辺に設置する事等がで
きる事は云うまでもない。

又、柱状プラズマのピンチ効果を応用することができる
ことも本実施例からも明らかである。

〔発明の効果］ 本発明によりプラズマのピンチ効果を用いた強力なＸ線
発生装置が得られる効果があり、Ｘ線露光用の光源とし
てスルーブツトの高い露光装置が得られる効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すＸ線発生装置の断面模
式図である。 ・容器 ・窓 ・真空 ・ガス ・ＲＦ ・コイル ・プラズマ ・ピンチ ・Ｘ線 以上 出願人　セイコーエプソン株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. プラズマのピンチ効果により発生するＸ線を取出し窓よ
   り取り出す窓を具備する事を特徴とするＸ線発生装置。