JPH02272302A - 真直度測定器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、被測定物の真直度及び平面度を測定する真直
度測定器に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、真直度及び平面度を測定する手段は色々あるが、
角度測定を行った後計算処理を行う例えばオートコリメ
ータ式などは非常に厄介であるため、一般には被測定物
の測定面にセットして真直度及び平面度の変位量を変位
計などで直接読み取ることのできる真直度測定法が使用
されている。

従来、その構造としては２つの脚体により支持された基
準となるガイドレールにスライド自在に設けた測定ブロ
ック体を設け、この測定ブロック体に基準となるガイド
レールの基準面と被測定物の測定面との距離の変位を測
定する変位計などの測定部を設け、これを被測定物の測
定面に載置して測定ブロック体を基準となるガイドレー
ルに対してスライドさせ、直接変位計などで変位量を読
み取るようにした真直度測定器が知られている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来のこのようなタイプの真直度測定器
は直接変位計などで変位量を読み取ることかできる反面
、その測定精度はガイドレールを基準とするためガイド
レールの精度により決まってしまうという欠点があった
。

即ち、基準となるガイドレールが長尺となるほど自重に
よるたわみや変位計などの測定部を設けた測定ブロック
体自体の重みによるたわみが生じて肝心の基準となるガ
イドレールの基準面が真直な面でなくなってしまい高精
度な測定ができないという欠点があった。

本発明は、このような欠点を解決した真直度測定器を提
供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

添付図面を参照して詳述すると次の通りである。

ガイドレール１と、このガイドレール１を支持する少な
くとも左右２つの脚体２と、ガイドレール１にスライド
自在に設けた測定ブロック体３と。

この測定ブロック体３に設けた基準となる面と被測定物
４の測定面４°との距離の変位を測定する測定部５とを
備えた真直度測定器において、脚体２に発光器６を設け
、この発光器６からの発する光を受光する受光器７を測
定ブロック体３に設け、受光器７の受光位置の変化に応
じて測定部５の位置を常に基準となる面の位置に補正制
御する位置制御機構８を測定ブロック体３に設けたこと
を特徴とする真直度測定器に係るものである。

〔作　用〕

被測定物４の測定面４゛に本案品を乗せて、測定ブロッ
ク体３をガイドレール１に対してスライドさせて、測定
ブロック体３に設けた測定部５により発光器６から光線
により定められる基準となる面と被測定物４の測定部４
゛との距離の変位量を測定する。

この際、測定ブロック体３をガイドレール１にスライド
するにつれて例えばガイドレール１自体の歪みやガイド
レール１のわずかなたわみにより測定ブロック体３が下
方にずれたため測定ブロック体３に設けた発光器６から
の光を受光する受光器７の受光位置が上方に移動したら
、位置制御機構８が作動し、測定ブロック体３を上方に
補正し、受光器７の受光位置をもとの正しい位置に補正
する。

従って、たとえガイドレール１自体が歪んでいてもガイ
ドレール１がたわんでいても常に測定部５は発光器６か
らの光線により定められる基準となる面の正しい位置に
補正制御されて被測定物４の真直度及び平面度を測定す
ることとなる。

〔実施例〕

図面は２つの脚体２をガイドレールｌにスライド自在に
設けた場合を図示しており、被測定物４の長さに応じて
２つの脚体２をスライドさせて調節し所望する位置で固
定ねじ９で固定する。

一方の脚体２には第３図に示すような発光器取付部１０
を設け、この発光器取付部１０に測定ブロック体３の受
光器７に向け、且つ被測定物４の測定面４″と平行にな
るように発光器６を発光方向微調整ねじｎで調節してセ
ットする。

測定ブロック体３の測定部５、受光器７、位置制御機構
８について第１図及び第２図を参照して詳述する。

測定プローブ１１を被測定物４の測定面４゛に常に接す
るようにしてこの測定プローブ１１の動きにより測定面
４°の真直度及び平面度を測定する変位計を測定部５と
して採用している。

尚、図示したようなダイヤルゲージを直接測定部５とし
て測定ブロック体３に設けな（とも、変位表示装置は外
部に設け、これに測定プローブ１１からの測定電気信号
を入力して表示するようにしても良い。

また、測定部５上に付設した受光器７としては光位置セ
ンサーを採用し、常にその受光面１４の中心基点１５で
発光器６からの光を受光する。

測定ブロック体３をガイドレール１に沿ってスライドさ
せた場合、例えばガイトレール１が自重などによりわず
かにたわんでいると測定ブロック体３が一方の脚体２か
ら遠ざかり中央部に進むにつれて、少しづつ下方に下が
り光位置センサーの受光面１４での受光位置が中心基点
１５より上方にわずかにずれる。

この光位置センサーにあらかじめセツティングされたプ
ログラムにより制御されて、接続ケーブル２１によりこ
れと連動するアクチエータ　（シリンダ）１６が作動し
てシリンダ受台丘の開口部稔′から貫通突出したその先
端の突出部１７を少し押し出す。

この突出部１７が少し押し出されることによりシリンダ
受台以下力に位置する支持板迅の一端を押し込み支点１
９を支点として支持板迅の他端により支承ピン２０を作
用点に測定部取付台ｎを介して測定部５を光位置センサ
ーと共にスプリング１３を押し縮めて持ち上げ、受光位
置を正しい中心基点δとなるように補正する。

この位置制御機構８の反応は、ガイドレール１に沿って
測定ブロック体３をスライドさせて測定する測定速度に
十分適応できるもの採用することが望ましい。

尚、図中符号ｎはスケール、器は測定部取付台、２４は
その上下スライド部、５は測定部取付ねじ、３は支持ボ
ール、ｎは支持ローラーである。

〔発明の効果〕

本発明は上述のように構成したからガイドレールにどん
な精度の悪いものを使用しても、またガイドレールがた
わんだりして精度が悪くなっても位置制御機構により常
に測定部の位置は発光器から光線により定められる基準
となる位置に自動補正されるので、常に精度の高い測定
ができる。

この補正ら、発光器からの光の直進性を利用して行うか
ら極めて高い精度で補正できる。

また、ガイドレールの歪みやたわみだけでな（、本装置
の例えば位置制御機構の駆動系のがたつきやバックラッ
シュなどすべて含めて補正制御することになるので極め
て高い精度の測定ができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図はその斜
視図、第２図は測定ブロックの断面図、第３図は脚体の
側面図である。 １・・・ガイドレール、２・・脚体、３・・・測定ブロ
ック体、４・・・被測定物、４′・・・測定面、５・・
・測定部、６・・・発光器、７・・・受光器、８・・・
位置制御機構。 平成１年４月１４日 出願人　　新潟精機　　株式会社 発明者　　佐　　藤　　公　　奉 代理人　　吉　　井　　昭　　栄 さ２瀕 １ヌ９濡

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ガイドレールと、このガイドレールを支持する少なくと
   も左右２つの脚体と、ガイドレールにスライド自在に設
   けた測定ブロック体と、この測定ブロック体に設けた基
   準となる面と被測定物の測定面との距離の変位を測定す
   る測定部とを備えた真直度測定器において、脚体に発光
   器を設け、この発光器からの発する光を受光する受光器
   を測定ブロック体に設け、受光器の受光位置の変化に応
   じて測定部の位置を常に基準となる面の位置に補正制御
   する位置制御機構を測定ブロック体に設けたことを特徴
   とする真直度測定器。