JPH02273537A - 真空容器 - Google Patents
真空容器Info
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- JPH02273537A JPH02273537A JP9244889A JP9244889A JPH02273537A JP H02273537 A JPH02273537 A JP H02273537A JP 9244889 A JP9244889 A JP 9244889A JP 9244889 A JP9244889 A JP 9244889A JP H02273537 A JPH02273537 A JP H02273537A
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- JP
- Japan
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- vacuum container
- film
- vacuum
- coating
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Landscapes
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は真空容器内面の被覆膜に関する。
（従来の技術）
従来、真空容器はパイレックス、ガラス、ステンレス
あるいはアルミニュウム合金等で形成されて成り、内面
にはとりたてて被覆膜が形成される事は無かった。
あるいはアルミニュウム合金等で形成されて成り、内面
にはとりたてて被覆膜が形成される事は無かった。
（発明が解決しようとする課題）
しかし、上記従来技術によると、真空容器からの水素ガ
ス放出により、真空度が向上しないと云う課題があった
。
ス放出により、真空度が向上しないと云う課題があった
。
本発明は、かかる従来技術の課題を解決し、高い真空度
を得ることができる真空容器の内面被覆膜を提供する事
を目的とする。
を得ることができる真空容器の内面被覆膜を提供する事
を目的とする。
（課題を解決するための手段）
上記課題を解決するために、本発明は、真空容器に関し
、真空容器内面に窒化ホウ累膜叉はアルミナ膜又はダイ
ヤモンド膜を被覆する手段をとる。
、真空容器内面に窒化ホウ累膜叉はアルミナ膜又はダイ
ヤモンド膜を被覆する手段をとる。
（実施例）
以下、実施例により本発明を詳述する。
いま、真空容器ペルジャー内面に窒化ホウ素膜又はアル
ミナ膜又はダイヤモンド膜をスパッタ法文はＣＶＤ法で
１ミクロン乃至１００ミクロン形成し、該ペルジャーを
用いた真空装置に於ては、ペルジャーからの水素放出が
保護膜により防止され、極めて高い真空度を得ることが
できる。
ミナ膜又はダイヤモンド膜をスパッタ法文はＣＶＤ法で
１ミクロン乃至１００ミクロン形成し、該ペルジャーを
用いた真空装置に於ては、ペルジャーからの水素放出が
保護膜により防止され、極めて高い真空度を得ることが
できる。
尚、ペルジャー内面のみならず、真空容器内の他の器具
表面や台座表面あるいは配管内面にも窒化ホウ素膜やア
ルミナ膜又はダイヤモンド膜を形成することにより、−
層の高真空を得ること力５できることは云うまでもない
。
表面や台座表面あるいは配管内面にも窒化ホウ素膜やア
ルミナ膜又はダイヤモンド膜を形成することにより、−
層の高真空を得ること力５できることは云うまでもない
。
更に、ガス配管やバルブあるいはガスボンベ内面に孕化
ホウ累膜あるいはアルミナ膜あるいはダイヤモンド膜を
被覆することにより、アルゴンガス、窒素ガス、塩素ガ
ス等のガスで水素ガス以外での水素ガス混入を防止する
ことができる。
ホウ累膜あるいはアルミナ膜あるいはダイヤモンド膜を
被覆することにより、アルゴンガス、窒素ガス、塩素ガ
ス等のガスで水素ガス以外での水素ガス混入を防止する
ことができる。
（発明の効果）
本発明により、極めて高真空の真空装置が得られると共
に、ガス中への水素ガス混入も防止する効果がある。
に、ガス中への水素ガス混入も防止する効果がある。
以 ト
出願人 セ・イコーエプソン株式会社
Claims (1)
- 真空容器内面には窒化ホウ酸膜またはアルミナ膜または
ダイヤモンド膜が被覆されて成る事を特徴とする真空容
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9244889A JPH02273537A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 真空容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9244889A JPH02273537A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 真空容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02273537A true JPH02273537A (ja) | 1990-11-08 |
Family
ID=14054688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9244889A Pending JPH02273537A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 真空容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02273537A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014038314A1 (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-13 | 三菱重工業株式会社 | 常温接合装置および常温接合方法 |
-
1989
- 1989-04-12 JP JP9244889A patent/JPH02273537A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014038314A1 (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-13 | 三菱重工業株式会社 | 常温接合装置および常温接合方法 |
| JP2014050860A (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 常温接合装置および常温接合方法 |
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