JPH0227769U - - Google Patents

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JPH0227769U
JPH0227769U JP10618388U JP10618388U JPH0227769U JP H0227769 U JPH0227769 U JP H0227769U JP 10618388 U JP10618388 U JP 10618388U JP 10618388 U JP10618388 U JP 10618388U JP H0227769 U JPH0227769 U JP H0227769U
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  • Laminated Bodies (AREA)
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の原理説明図、第２図は本考案
による一実施例の説明図で、ａは側面図、ｂは要
部説明図、第３図は従来の説明図で、ａは側面図
、ｂは要部説明図を示す。 図において、１は吸着プレート、２は積載テー
ブル、３はグリーンシート、４は昇降機構、５は
Ｘ―Ｙ移動機構、６は回転機構、７は設置面、８
はフレーム、９は顕微鏡カメラを示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 所定のグリーンシート３を吸着する吸着プレー
    ト１と、該グリーンシート３を積載する積載テー
    ブル２とを備え、該吸着プレート１に吸着保持さ
    れたグリーンシート３が積載テーブル２に位置決
    めされることで次々積載され、該積載テーブル２
    に複数枚のグリーンシート３の積層を行う積層装
    置であつて、 前記吸着プレート１が設置面７に固着されたフ
    レーム８と、該フレーム８によつて支持された垂
    直なＺ方向に上昇、降下が行われる昇降機構４と
    によつて吊り下げられると共に、前記積載テーブ
    ル２が該フレーム８のほぼ中央に配設され、かつ
    、横、縦方向に移動を行うＸ―Ｙ移動機構５と、
    該Ｚ方向を中心として回転する回転機構６とによ
    つて支持され、所定のマークを目視することで位
    置を検出する顕微鏡カメラ９が該積載テーブル２
    に固着されて成ることを特徴とする積層装置。
JP1988106183U 1988-08-11 1988-08-11 積層装置 Expired - Lifetime JPH0710519Y2 (ja)

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JPH0227769U true JPH0227769U (ja) 1990-02-22
JPH0710519Y2 JPH0710519Y2 (ja) 1995-03-08

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