JPH02280013A - コリオリ式質量流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、質量流量針に係わり、特に被測定流体の質量
流量をコリオリの力を利用して直接計測する構成とされ
たコリオリ式質量流量計に関する。

［従来の技術］ 被測定流体の質量流量を直接計測する質量流量計として
、特開昭５４−４１６８号公報に見られるように、振動
するセンサチューブ内に流体を流したときに発生するコ
リオリの力を利用して質量流量を計測する質量流量計が
知られている。このコリオリカを利用する質量流量計の
構造は、たとえば、流入口、流出口を有するｔＪ字状に
形成された一対のセンサチューブをお互いに近接、！！
Ｉｔ関する方向に振動させ、この一対のセンサチューブ
内を通過する被測流体の質量流量に比例した大きさで発
生するコリオリカによるセンサチューブの変位を検出し
て質量流量を得る構成のものがある。

ここで、コリオリの力は、上記センサチューブの流入口
側と流出口側とでは反対方向なので、このセンサチュー
ブのＵ形管を捩る方向に働き、【Ｊ形管の捩れ角は質量
流量に比例する。この捩れ角を測定するには、センサチ
ューブの流入口側と流出口側とにこれらのセンサチュー
ブの変位を検出する一対のセンサを設け、この一対のセ
ンサが仮想零点を通過する時間の差を測定する方法が採
用されている。

そして、この測定方法の一つとして、本出願人は特願昭
６２−２０６９８４号を提案している。

この方法は、第１２図に示す如く、第１及び第２の位置
センサが出力する検出信号ｅｌ＋８２が仮想零点を通過
する時間差を積分範囲として、第１及び第２の位置セン
サが出力する検出信号ｅｌ＋８！の電圧差を積分するこ
とによりセンサチューブ内を流れる流体の質量流量を測
定するというものである。

［発明が解決しようとする問題点］ このような質量流量の測定方法は、上述のように仮想零
点を通過する時間差を積分範囲としており、仮想零点付
近で雑音が発生した場合、この雑音による時間の誤差の
範囲を上記積分範囲に含んでしまう。従って、雑音によ
る影響範囲（Ｓ＋）は本来測定すべき積分範囲（Ｓ２）
と比較すると大きく、より精度の高い測定を行うために
は、この雑音の影響を無視できないという問題点があっ
た。

［問題点を解決するための手段］ 本発明であるコリオリ式質量流量計は、上記問題点を解
決するために、流入口と流出口とを有し、被測流体が流
れるセンサチューブと、 前記センサチューブを加振させる加振器と、前記センサ
チューブの前記流入口側の変位を検出する第一のセンサ
と、 前記センサチューブの前記流出口側の変位を検出する第
二のセンサと、 前記第一のセンサ及び前記第二のセンサが出力する二つ
の信号の振幅内に上限値及び下限値が設定され、前記第
一のセンサ及び前記第二のセンサが出力する二つの信号
が前記上限値より高い信号値にあるときは信号値を前記
上限値に規制するとともに前記下限値より低い信号値に
あるときには信号値を前記下限値に規制するスライサー
と、前記スライサーを介して出力される第一のセンサの
信号と第二のセンサの信号との差を求める演算回路と、 前記演算回路が出力する信号を積分して、前記センサチ
ューブ内を通過する質量流量に比例した信号を出力する
積分回路と、 を設けたものである。

［作用］ 上記構成を採用することにより本発明であるコリオリ式
質量流量計は、以下のように作用する。

加振器の加振によりコリオリカを受けるセンサチューブ
の変位を第−及び第二のセンサが検出し、これらセンサ
により得た二つの検出信号の差をそれぞれスライサーが
整形し、これらのスライサーにより得た二つの検出信号
の差を演算回路が求め、この演算回路により得た波形を
積分回路で積分する。そして、この積分回路で積分され
た質量流量に比例した信号値により、前記センサチュー
ブ内を通過する流体の質量流量を得る。

［第一実施例］ 本発明の一実施例であるコリオリ式質量流量計の計測部
について、まず、第２図を用いて説明する。第２図（Ａ
）　、　（Ｂ）　、　（Ｃ）は計測部の斜視図、平面図
、側面図を示す。同図中、ｌａは質量流量計１の流量計
本体であり、この流量計本体１ａは、上流端と下流端と
に被測定流体が通る穴（以下上流端側に形成された穴を
流入口３、下流端側に形成された穴を流出口４とする。

）が設けられており、上流端にフランジ部１ｈを有し、
下流端にフランジ部１ｃを有している。また、このフラ
ンジ部１ｂは上流側配管（図示せず）へ、フランジ部１
ｃは上流側配管（図示せず）へ、それぞれ接続されてい
る。また、金属パイプをＵ字状に加工してなる一対のセ
ンサチューブ（管路）　２ａ、　２ｈの流入口側端が、
流量計本体１ａの流入口３へ、流出口側端が流出口４へ
、それぞれ接続されている。センサチューブ２ａ。

２ｈの【１字型の中央部には、加振器５となる永久磁石
５ａとコイル６とが、センサチューブ２ａとセンサチュ
ーブ２ｂとにお互いに対向して固定されている。

７及び８はセンサチューブ２ａ、　２ｈの変位を検出す
るセンサであり、このセンサ７と８とは同一構成である
ので一方のセンサ７についてのみ第３図を用いて説明し
、センサ８の説明は省略する。センサ７はセンサチュー
ブ２ａに固定された保持部材９に保持されたコイル部７
ａと、センサチューブ２ｂに固定された保持部材１０に
保持された永久磁石７ｂと７０とにより構成され、コイ
ル部７ａは永久磁石７ｂと７０との磁界内に配置されて
いる。従って、センサチューブ２ａ、　２ｈが加振器５
　（永久磁石５ａとコイル６）により加振されて振動す
るとセンサチューブ２ａに設けられたコイル部７ａは、
センサチューブ２ｂに設けられた永久磁石７ｂ、７ｃ間
でＺ方向に変位する。そのため、コイル部７ａには、セ
ンサチューブ２ａ及び２ｂの相対速度に応じた起電力が
発生し、センサ７はコイル部７ａが発生する起電力より
センサチューブ２ａ、　２ｂの変位を検出する。

ここで、加振の方法であるが、永久磁石５ａとコイル６
がセンサチューブ２／ｌとセンサチューブ２ｂにお互い
に対向して固定されているので、コイル６は通電される
と、永久磁石５ａとの間に働く電磁力によりセンサチュ
ーブ２ａとセンサチューブ２ｂとは第２図（Ｃ）に示し
たようにＺ方向へ近接、離間する。センサチューブ２ａ
、　２ｂの固有振動数でコイル６の電流を変化させれば
センサチューブ２ａ、　２ｂは音叉のように対向して振
動する。

センサチューブ２ａ、　２ｂ内を被測流体が流れると、
センサチューブ２ａ、　２ｂは振動しているのでコリオ
リカが発生する。このコリオリカの方向は、流体の運動
方向とセンサチューブ２ａ、　２ｂを励振する振動方向
（角速度）のベクトル積の方向であり、このコリオリカ
の大きさは、センサチューブ２ａ、　２ｂを流れる被濁
流体の質量とその速度に比例する。

流入口側のセンサチューブ２ａ、　２ｂに設けられたセ
ンサ７付近では流体に正の加速度が与えられるとともに
、センサ８付近では流体に負の加速度が与えられる。こ
のことにより、流入口側ではセンサチューブ２ａ、　２
ｂの振動を押さえるようにコリオリカが働き、流出口側
ではセンサチューブ２ａ、　２ｂの振動を加速するよう
にコリオリカが働く。そのため、流体がセンサチューブ
２ａ、　２ｂを流れると、センサチューブ２ａ、　２ｈ
の（５字部分を中心に、これをねじる方向にコリオリカ
が働く。この変形は、センサチューブ２ａ、　２ｂに流
れた被測流体の質量流量に比例するから、流入口側に取
付けられたセンサ７と流出口側に取付けたセンサ８の出
力信号はある時間差ｒを生じる。この時間差τが質量流
量に比例する。ここでセンサ７．８はそれぞれセンサチ
ューブ２ａ、　２ｂの変位を検出し、これを検出信号と
して第１図に示す回路の端子１１．１２へそれぞれ出力
する。

第１図は本発明のコリオリ式質量流量計の一実施例の回
路図を示しており、この回路図を第４図に示した波形図
とともに説明する。

端子１１．１２にはセンサ７．８から出力される検出信
号がそれぞれ入力され、これらの検出信号は増幅器１３
．１４でそれぞれ増幅される。増幅器１４で増幅された
第４図（Ａ）に示される検出信号ｅ２は、後述のサンプ
ルホールド制御回路２３及びスライサー１５へ出力され
、増幅器１３で増幅された第４図（Ｂ）に示される検出
信号ｅ１は、後述のスライサー１６へ出力される。検出
信号ｅ２＋　ｅｌが人力されたスライサー１５．１６の
最大制限電圧（上限値）をｖＩ、最小制限電圧（下限値
）をｖ２とすれば、スライサー１５．１６は、検出信号
ｅ２＋　ｅｌの電圧波形が最大制限電圧ｖＩ以上である
部分の電圧を最大制限電圧Ｖ、にするとともに、最小制
限電圧ｖ２以下である部分の電圧を最小制限電圧ｖ２に
する。但し、検出信号ｅ１の最大電圧をｅＩｍｓｘ最小
電圧をｅｌｍｉｎとし、検出信号ｅ２の最大電圧を８２
ｎ□最小電圧を８２＋ｓｉｎとすれば、次式が成り立つ
とする。

Ｖ、　＞Ｖ。

ｅｌａｍＸ　ＩｅＺｍｍＸ＞ｖｌ ｅＩｍ＝ｎ　　＋８２ａ＋４，１＜Ｖ２また、スライサ
ー１５．１６の一例として、本実施例においては、第６
図に示す如く、コンパレータ１７、１Ｂ　と抵抗１９と
アナログスイッチ２０．２１とにより構成されているも
のを使用している。。ここで、スライサー１５とスライ
サー１６とは同一の構成であり、スライサー１５では検
出信号ｅｔが人力されるのに対し、スライサー１６では
検出信号ｅ、が入力されるという違いだけであるので、
スライサー１５についてのみ説明し、スライサー１６の
説明は省略する。

コンパレータ１７は最大制限電圧（上限値）ｖ、がこの
マイナス入力に供給されているので、コンパレータ１７
のプラス入力に供給されている検出信号ｅ、の電圧が最
大制限電圧ｖ１よりも高い場合には、出力はＨ（ＨＩＧ
Ｈ）となる。コンパレータ１８は最小制限電圧（下限値
）ｖ２がこのプラス入力に供給されているので、コンパ
レータ１７のマイナス入力に供給されている検出信号ｅ
２の電圧が最小制限電圧ｖ２よりも低い場合には、出力
はＨ（ＨＩＧＨ）となる。アナログスイッチ２０．２１
は制御端子にＨの信号が与えられると短絡するように構
成されている。従って、検出信号自が最大制限電圧ν１
よりも高い場合に、アナログスイッチ２０は短絡するの
で、スライサー１５の出力する検出信号ｅ“２の電圧は
最大制限電圧ｖＩとなる。また、検出信号ｆｉ＝が最小
制限電圧Ｖ！よりも低い場合に、アナログスイッチ２１
が短絡するので、スライサー１５の出力する検出信号ｏ
１２の電圧は最小制限電圧ｖ２となる。

それ以外の範囲、すなわち、検出信号ｅ２の電圧が最大
制限電圧ｖＩよりも低く、最小制限電圧ｖ２よりも高い
場合には、検出信号ｅ２が抵抗１９を介して検出信号ｅ
′□としてそのまま出力される。従って、検出信号ｅ２
の電圧波形はスライサー１５により第４図（Ｃ）に示さ
れる検出信号ｅ＋２の電圧波形に整形されるとともに、
検出信号ｅ１の電圧波形はスライサー１６により第４図
（Ｄ）に示される検出信号ｅ＋。

の電圧波形にそれぞれ整形される。そして、スライサー
１５及びスライサー１６は、この整形された検出信号ｅ
＋２＋ｆｌ’ｌの電圧波形を出力する。

演算回路゛２２は、二つの入力端子のうち、プラス入力
にはスライサー１５からの検出信号ｅ＋２が、マイナス
入力にはスライサー１６からの検出信号ｅ″１がそれぞ
れ入力され、この検出信号ｅ１２　と検出信号ｅ′、と
の電圧差を表す電圧波形ｅ、（第４図（Ｅ）に示す。）
を後述の積分回路３０へ出力する。

サンプルホールド制御回路２３１よ、その−例として、
第７図に示されるようにコンパレータ２４．２５゜２７
．２８及びＡＮＤ回路２６．２９により構成されている
。コンパレータ２４のプラス入力には増幅器１３から出
力される検出信号ｅ！が入力され、マイナス入力には最
大制限電圧（上限値）Ｖｔ　［第４図（Ａ）参照］が入
力されている。そして、コンパレータ２４は、検出信号
ｅｔの電圧が最大制限電圧ｖＩよりも高いときに、ＡＮ
Ｄ回路２６へＨ（ＨＩＧＩ（）を出力する。

コンパレータ２５のプラス入力には増幅器１４から出力
される検出信号ｅｔが入力され、マイナス入力には最大
制限電圧（上限値）ｖＩが入力されている。

そして、コンパレータ２５は、検出信号ｅ２の電圧が最
大制限電圧Ｖ、よりも高いときに、ＡＮＤ回路２６へＨ
（ＩＩＴＧｌｌ）を出力する。ＡＮＤ回路２６は、二つ
の入力端子を有し、これらの入力端子の一方には、コン
パレータ２４が出力する信号が入力され、他方にはコン
パレータ２５が出力する信号が入力される。

そして、ＡＮＤ回路２６は、二つの入力端子の両方にＨ
（ＩＩＩＧＨ）が入力された時にのみ、第４図（Ｇ）に
示す如＜　Ｈ（Ｉ（ＩＧＨ）をクリア信号ｅ５として出
力する。

コンパレータ２７のマイナス人力には、増幅器１３から
出力される検出信号ｅ２が入力され、プラス入力には、
最小制限電圧Ｖ２　（第４図（Ａ）参照）が入力されて
いる。そして、コンパレータ２７は、検出信号ｅ２の電
圧が最小制限電圧ν２よりも低いときにＨ（ＲＩＧ）ｌ
）をＡＮＤ回路２９へ出力する。また、コンパレータ２
８のマイナス入力には、増幅器１３から出力される検出
信号ｅ、が入力され、プラス入力には、最小制限電圧■
２が入力されている。そして、コンパレータ２８は、検
出信号ｅ２の電圧が最小制限電圧Ｖ！よりも低いときに
、第４図（Ｈ）に示す如＜Ｈ（１１１Ｃ１１）をＡＮＤ
回路２９へ出力する。ＡＮＤ回路２９は二つの入力端子
を有し、これらの入力端子の一方には、コンパレータ２
７が出力する信号が入力され、他方にはコンパレータ２
８が出力する信号が入力される。そして、ＡＮＤ回路２
９は、二つの入力端子の岡方にＨ（）ＩＩＧ）りが入力
された時にのみ、第４図（１１）に示す如＜Ｈ（旧ＧＨ
）をサンプルホールド信号ｅ６として出力する。

積分回路３０は演算増幅器３１、抵抗３２、アナログス
イッチ３３、コンデンサ３４より構成されている。

アナログスイッチ３３はサンプルホールド制御回路２３
から出力されるクリア信号ｅ、が入力されているときに
は短絡し、入力されていないときには開放する。このた
め、アナログスイッチ３３に並列に接続されたコンデン
サ３４は、クリア信号ｅ、がアナログスイッチ３３に入
力されているときに放電を行う。

従って積分回路３０は演算回路２２が出力する電圧波形
を積分する。このとき、演算回路２２が出力する電圧波
形ｅ、は第４図（Ｅ）に示す如く半周期毎に極性が反転
するために、積分回路２６が出力する積分信号ｅ４の波
形は第４図（Ｆ）に示すように台形波となる。この積分
信号ｅ４はサンプルホールド回ｖｓ３５に出力される。

サンプルホールド回路３５は前述のサンプルホールド回
路回路２３から出力されるサンプルホールド信号ｅ、が
入力されたときに積分回路３ｏから入力されている積分
信号ｅ４の電圧値をホールドするとともに、その電圧値
を出力する。端子３６はサンプルホールド回路３５から
出力される電圧値が入力され、このセンサチューブ（管
路）　２ａ、　２ｂ内を通る流体の質量流量に比例した
電圧値を出力する。

ここでセンサ７から増幅器１３を介して出力される検出
信号をｅ、とし、センサ８から増幅器１４を介して出力
される検出信号を８２とすれば、ｅｌ及びｅ。

は以下の式で表される。

ｅ＋＝Ａ１　　ｓ　ｉ　ｎ（ωｔ） ｅｚ＋＝Ａｔ　　ｓ　ｉ　ｎ　［ω（ｔ＋ｒ）　］上記
検出信号ｅ１及びｅ２の電圧値を最大制限電圧（上限値
）■、以下及び最小制限電圧（下限値）■２以上に規制
するスライサー１５．１６へそれぞれ入力されると、ス
ライサー１５．１６が出力する電圧波形は第４図（Ｃ）
　、　（Ｄ）に示されるようにｅ＋２とｅとになる。

そして、演算回路２２から出力される検出信号ｅ　２＋
　　ｅ＋、の差電圧（ｅ′２−ｅ′Ｉ）を、積分時定数
をＣＲとした積分回路３０で積分すると、スライサー１
５とスライサー１６とが動作している時の積分回路３０
が出力する積分信号ｅ４の電圧は、第５図に示す如く、
最大制限電圧ｖｌと最小制限電圧Ｖｔと検出信号ｅ１及
びｅ２とに囲まれた部分の面積（第５図の斜線部分）の
値と同一になる。

従って、検出信号ｅ、の電圧がＯとなったときの時間を
基準（０秒）とし、検出信号ｅ２の電圧が、最大制限電
圧■１と一致した時間をＬい最小制限電圧ｖ２と一致し
た時間をｔ２とし、検出信号ｅｌの電圧が、最小制限電
圧Ｖｌと一致した時間をｔゎ最小制限電圧ｖ２と一致し
た時間をｔ、とし、積分回路３０の時定数をＣＲ（但し
、コンデンサ３１の静電容量Ｃと抵抗２８の抵抗ｍｌ？
とする。）とすれば、次式が成り立つ。

ＣＲｅｔ＝（シ、−シｔ）（ｔ＜　　ｔ＋）　　　Ｓ　
ｉｊ　（Ｌ　　ｅ’＋）ｄｔＳ　：？（ｅ’、−ν、）
　ｄｔ ＝　（Ｖ＋　　Ｖｔ）（Ｌ　　Ｌ）　−νｒ（ｔｓ　　
ｔ３）　”ＶｚＣｔｔ　　Ｊ）　　十冒１ｅ′ＩｄＬ　
　Ｓ　：？ｅ’ｚ　ｄｔ−Ｌ（ｈ　　　ｔ＋）　　　Ｖ
ｚ（ｔｎ　　　ｔｚ）−５ｉｌｅ’ｚ　ｄｔ＋５　ｊ？
ｅ’、　ｄｔとなる。ここで、最大制限電圧Ｖ、と最小
制限電圧Ｖ、との関係を、 Ｖ＋　＋Ｖｔ＝　０ とすれば、 ＣＲｅ１＝Ｖ＋（ｈ　　ｔ＋　＋　ｔ４ｔｚ　）である
。

そして、ｔｚ−Ｆ＋　ｔ４＝ｉ、＋τ、　１．＝１．＋
τとなるから、 ＣＲｅ１＝Ｖ＋ｒ である。最大！ｌＪ限電圧電圧とコンデンサ３１の静電
容量Ｃと抵抗２８の抵抗値Ｒの値を一定とすれば、時間
差信号τは、 τ＝ＣＲｅ３　／２ν。

であられされる。

以上の如く、本発明のコリオリ式質量流量計は、第１１
図に示したように、第１及び第２のセンサが出力する検
出信号を、最大制限電圧（上限値）及び最小制限電圧（
下限値）を制限するスライサーに人力させることにより
、最大制限電圧及び最小制限電圧の範囲外の検出信号を
削除し、これにより得られる検出信号の電圧差を積分す
ることにより、測定すべき質量流量を求めるものである
。

従って、雑音が発生したときには、特願昭６２２０６９
８４による方法を遠用したときの雑音による誤差の影響
（第１２図の斜線部分Ｓ２）よりも少ない影響（第１１
図の斜線部分Ｓ３）になるので、従来のコリオリ式質量
流量計よりも、精度の高い計測が可能になる。

なお、本実施例においては、センサチューブ２ａ。

２ｂの変位を検出するセンサとして第３図に示したセン
サを使用しているが、センサチューブ２ａ。

２ｂの変位を連続的に検出することができるものであれ
ばどのようなセンサを使用してもよいということは言う
までもない。

［第二実施例］ 本発明であるコリオリ式質量流量計の第二実施例の回路
を第８図に示す。上記第一実施例が第１０図にみられる
ように二つの検出信号ｅｌ＋８２の立ち下がり部分につ
いてのみ積分するのに対し、本第二実施例では第９図に
みられるように、二つの検出信号ｅｌ＋ｅ！の立ち上が
り部分及び立ち下がり部分の両方を積分し、その平均値
により質量流量をより精度よく演算できるようにしたも
のである。

なお、第一実施例のコリオリ式質量流量計の構成と同一
の構成である部分には同一番号を付し、説明を省略する
。

第８図において、２２″は演算回路であり、演算回路２
２゛は、二つの入力端子のうち、プラス人力にはスライ
サー１６からの検出信号ｅ”１が、マイナス入力にはス
ライサー１５からの検出信号ｅ′２がそれぞれ入力され
、この検出信号ｅ１１と検出信号ｅ゛２との電圧差を表
す電圧波形（第４図（Ｆ、）に示す電圧波形ｅ、を０軸
を軸として対象移動した波形。

）を後述の積分回路３０”へ出力する。

積分回路３０’は、第一実施例に使用されている積分回
路３０と同一の回路構成であり、違いは、積分回路３０
では、アナログスイッチ３３にクリア信号ｅｓ（第４図
（Ｇ）に示す。）が入力されているのに対し、積分回路
３０″では、アナログスイッチ３３゛（図示せず。）に
サンプルホールド信号ｅｂｃ第４図（１））に示す。）
がクリア信号として入力されていることである。アナロ
グスイッチ３３′はサンプルホールド信号ｅｂ（クリア
信号）が入力されているときには短絡し、入力されてい
ないときには開放する。このため、アナログスイッチ３
３゛に並列に接続されたコンデンサ３４′（図示せず。

）は、サンプルホールド信号ｅａ（クリア信号）がアナ
ログスイッチ３３゛に入力されているときに放電を行う
。従って積分回路３０゛は演算回路２２”が出力する電
圧波形を積分し、その電圧値をサンプルホールド回路３
５°へ出力する。

サンプルホールド回路３５″は第一実施例のサンプルホ
ールド回路３５と同一の構成であり、違いは、サンプル
ホールド回路３５にはサンプルホールド信号ｅ６が入力
されているのに対し、積分回路３０゛にはクリア信号ｅ
、がサンプルホールド信号として入力されていることで
ある。従ってサンプルホールド回路３５′は、前述のサ
ンプルホールド制御回路２３から出力されるクリア信号
ｅｓ（サンプルホールド信号）が入力されたときに、積
分回路３０″から入力されている積分信号の電圧値をホ
ールドするとともに、その電圧値を出力する。また、こ
の出力される信号の電圧値は、第９図に斜線部分Ｓ。

として示した面積の値と同一であり、センサチューブ（
管路）　２ａ、　２ｂ内を通る流体の質量流量に比例す
るということは言うまでもない。

５０は演算回路で、二つの入力端子と一つの出力端子を
有している。演算回路５０の二つの入力端子のうち、一
方にはサンプルホールド回路３５から出力されるセンサ
チューブ２ａ、２ｂ内を流れる流体の質量流量に比例し
た電圧値が入力され、他方にはサンプルホールド回路３
５゛から出力されるセンサチューブ２ａ、２ｈ内を流れ
る流体の質量流量に比例した電圧値が入力されている。

そして、演算回路５０は、二つの入力端子にそれぞれ人
力されている電圧値を合算し、これにより得た値を２で
割り算した平均電圧値をセンサチューブ２ａ、２ｈ内を
流れる流体の質量流量に比例した電圧値として端子３６
へ出力する。

このように構成された本第二実施例のコリオリ式質量流
量針と第一実施例とを比べてみると次のような効果があ
る。

前述したように、第一実施例では第１０図に示した斜線
部分を測定範囲にしているのに対して、第二実施例では
第９図に示した斜線部分を測定範囲にしている。従って
、本第二実施例では、時間差τの平均値を求めるために
第一実施例の測定範囲の二倍の測定範囲を使用している
ために、雑音による測定誤差の影響が、より一層緩和さ
れる。

なお、本実施例においてセンサチューブ２ａ、２ｂはｔ
Ｊ字状のものを使用しているが、この形状に限るもので
はなく、例えば、特願昭６２−２０６９８５に示される
。１字状のもの等、コリオリカを検出できる形状であれ
ば、どのような形状のものであっても良いということは
、言うまでもない。

また、本実施例においては二つの検出信号ｅｌ＋８２の
立ち上がりの部分と立ち下がりの部分との両方とも積分
範囲として、質量流量を計測しているが、立ち下がりの
部分のみを積分範囲として、質量流量を計測しても良い
。

［発明の効果］ 上述の如く、本発明のコリオリ式質量流量計は、第１及
び第２のセンサが出力する検出信号を、最大制限電圧（
上限値）及び最小制限電圧（下限値）に制限するスライ
サーに入力させることにより、最大制限電圧及び最小制
限電圧のＩｉ！囲外の信号を削除し、これにより得られ
る検出信号の電圧差を積分することにより、測定すべき
質量流量を求めるものである。従って、雑音が発生した
ときには、特願昭６２−２０６９８４号による方法を適
用したときの雑音による誤差の影響よりも少ない影響に
なるので、従来のコリオリ式質量流量計よりもより精度
の高い計測が可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第８図は本発明のコリオリ式質量流量計の第
−及び第二実施例の回路図、第２図（Ａ）。 （Ｂ）　、　（Ｃ）はコリオリ式質量流量針の本体を示
す図、第３図はコリオリ式質量流量計のセンサの構成図
、第４図は第１図に示す回路各部の信号波形図、第５図
は第一実施例のコリオリ式質量流量針の検出信号の積分
範囲を示す図、第６図はスライサーの回路構成図、第７
図はサンプルホールド制御回路の回路構成図、第９図、
第１０図、第１１図は本発明を通用してなるコリオリ式
質量流量計の計測精度つ雑音に対してΦ影響度を示す図
、第１２図は従来のコリオリ式質量流量計のの計測精度
の雑音に対しての影響度を示す図である。 センサチューブ・”２ａ、　２ｂ 加振器・・・・・・・・・・・・５　　　センサ・・・
・・・・・・・−７，８スライサー・・・・・・１５．
１６　　演算回路・・・・・・・−２２，２２’サンプ
ルホ一ルド制御回路−−−−−−２３積分回路−−−−
−−−−−３０．３０’サンプルホ一ルド回路・・・・
・・−−−−−−３５，３５′演算回路・・・・・・・
・・５０ 代理人　弁理士　　二戸部　節男 第５ 図 ′ｉｉ８ 図 第６ 図 笛１２図 ６゜ 補正の対象 図面 ７゜ 補正の内容 第１１図及び第１２図を、別紙の如く補正する。 以上 手 続 補 正 書 （方式） 事件の表示 平成 １年 特許願 第１０１３５４号 ２゜ 発明の名称 コリオリ式質量流量計 ３゜ 補正をする者 事件との関係

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 流入口と流出口とを有し、被測流体が流れるセンサチュ
   ーブと、 前記センサチューブを加振させる加振器と、前記センサ
   チューブの前記流入口側の変位を検出する第一のセンサ
   と、 前記センサチューブの前記流出口側の変位を検出する第
   二のセンサと、 前記第一のセンサ及び前記第二のセンサが出力する二つ
   の信号の振幅内に上限値及び下限値が設定され、前記第
   一のセンサ及び前記第二のセンサが出力する二つの信号
   が前記上限値より高い信号値にあるときは信号値を前記
   上限値に規制するとともに前記下限値より低い信号値に
   あるときには信号値を前記下限値に規制するスライサー
   と、前記スライサーを介して出力される第一のセンサの
   信号と第二のセンサの信号との差を求める演算回路と、 前記演算回路が出力する信号を積分して、前記センサチ
   ューブ内を通過する質量流量に比例した信号を出力する
   積分回路と、 を設けたことを特徴とするコリオリ式質量流量計。