JPH02280676A - Vibration wave motor - Google Patents

Vibration wave motor

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JPH02280676A
JPH02280676A JP1099845A JP9984589A JPH02280676A JP H02280676 A JPH02280676 A JP H02280676A JP 1099845 A JP1099845 A JP 1099845A JP 9984589 A JP9984589 A JP 9984589A JP H02280676 A JPH02280676 A JP H02280676A
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Hitoshi Mukojima
仁 向島
Ichiro Okumura
一郎 奥村
Takayuki Tsukimoto
貴之 月本
Akio Atsuta
暁生 熱田
Hajime Kanazawa
元 金沢
Koichi Ueda
浩市 上田
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Abstract

PURPOSE:To suppress noise by setting the differential inherent vibration of standing wave having vibration mode lower than the differential inherent vibration which may cause noise. CONSTITUTION:A vibration wave motor comprises an elastic body 28, a piezoelectric element, a rotor, and the like. The elastic body 28 is formed into a ring and a plurality of grooves are provided at the side of pressure contact face. Forty grooves 28b-28o are made slightly deeper than other groove 28a in order to prevent generation of progressive wave in unnecessary mode and the dynamic rigidity is varied. By such arrangement, generation of unnecessary progressive vibration wave can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】 【!集土の利用分野] 本発明は振動波モータに関するものである。[Detailed description of the invention] [! Fields of use of collected soil] The present invention relates to a vibration wave motor.

[従来の技術] 弾性体に進行性振動波を生じさせ、この振動によってロ
ータ等の穆動体を移動させる振動波モータは、小型であ
り、また低速時に高いトルクが得られることから、近年
−眼レフカメラの撮影レンズ駆動用として深川された。
[Prior Art] Vibration wave motors, which generate progressive vibration waves in an elastic body and use these vibrations to move a rotor or other moving body, are small and can provide high torque at low speeds, so they have recently become popular in the eye. It was developed by Fukagawa to drive the photographic lens of reflex cameras.

第2図は振動波モータを、撮影レンズ駆動用として組込
んだ一眼レフカメラの撮影レンズの縦断面図で、1は撮
影レンズの光軸りを回転中心とする、円環状の金属性の
弾性体で、後述するロータ3に接する側には第3図に示
される様に所定の幅tと深さhの溝IAが全周にわたっ
て設けられている。また該弾性体1の下部にはPZT等
の圧電素子2からなる駆動用の2群の駆動相等が接着剤
により固定されている。電気−機械エネルギ変換素子と
しての該圧電素子2からなる2群の駆動相に対しては公
知の方法で、位相の異なる超音波の駆動信号が夫々印加
され、この信号に応答して弾性体1が振動することによ
って振動体を形成する弾性体1の周方向に回転する進行
性振動波が発生する。3は弾性体1の上面に加圧接触し
た端部を有する円環状のロータで、移動体としての該ロ
ータ3の他端にはゴム等の円環状の吸振体5が設けられ
ている。4はフェルト等で形成された円環状の撮動絶縁
体で、該絶縁体4はフェルト台8を介して重ね合わされ
た2枚の皿バネ9から加圧力を受けている。
Figure 2 is a vertical cross-sectional view of a single-lens reflex camera lens incorporating a vibration wave motor for driving the lens. As shown in FIG. 3, a groove IA having a predetermined width t and depth h is provided over the entire circumference on the side that contacts the rotor 3, which will be described later. Furthermore, two groups of drive phases made of piezoelectric elements 2 made of PZT or the like are fixed to the lower part of the elastic body 1 with an adhesive. Ultrasonic drive signals having different phases are applied to the two groups of drive phases consisting of the piezoelectric elements 2 as electro-mechanical energy conversion elements by a known method, and in response to these signals, the elastic body 1 When the elastic body 1 vibrates, a progressive vibration wave that rotates in the circumferential direction of the elastic body 1 forming the vibrating body is generated. Reference numeral 3 denotes an annular rotor having an end that presses into contact with the upper surface of the elastic body 1, and an annular vibration absorber 5 made of rubber or the like is provided at the other end of the rotor 3 as a moving body. Reference numeral 4 denotes an annular photographing insulator made of felt or the like, and the insulator 4 receives pressing force from two disc springs 9 superimposed on each other via a felt base 8 .

前述のロータ3は前記した吸振体5を介して連結板22
に密接保持される。円環状の連結板22は締め付はビス
(不図示)により出力伝達体25と固定される。光軸り
を回転中心として回転する出力伝達体25はボール10
を用いてボールレース13.14で玉軸受けを構成して
いる。ボールレース13.14は撮影レンズの外筒12
に固定され、外筒12は固定筒11と結合され、カメラ
マウント19に固定される。
The aforementioned rotor 3 is connected to the connecting plate 22 via the aforementioned vibration absorber 5.
is closely held. The annular connecting plate 22 is fastened to the output transmission body 25 by screws (not shown). The output transmission body 25 that rotates around the optical axis is a ball 10.
A ball bearing is constructed using ball races 13 and 14. Ball races 13 and 14 are the outer cylinder 12 of the photographic lens.
The outer cylinder 12 is combined with the fixed cylinder 11 and fixed to the camera mount 19.

出力伝達体25の先端には連結コロ15が固定され、光
軸・方向に設けられたフォーカスレンズ27を保持した
移iIl!環17のキー溝(不図示)と係合する。固定
内筒18のネジ部18aと移動環17のネジ部17aが
ヘリコイド結合しており、出力伝達体25の回転運動に
よフて連結コロ15を介して移動環17は回転しながら
光軸方向へ移動可能となる。
A connecting roller 15 is fixed to the tip of the output transmitting body 25, and a moving roller 15 holding a focus lens 27 provided in the optical axis/direction is attached. It engages with a keyway (not shown) in ring 17. The threaded portion 18a of the fixed inner cylinder 18 and the threaded portion 17a of the movable ring 17 are helicoidally coupled, and the movable ring 17 is rotated in the optical axis direction via the connecting rollers 15 due to the rotational movement of the output transmission body 25. It is possible to move to.

かかる構成において、カメラ側からのAF信号または、
マニュアルリング16からの駆wJ信号によって弾性体
と圧電素子からなる振動体に公知の方法で進行性振動波
を発生させ、ロータ3を回転させて最終的にフォーカス
レンズ27を光軸方向へ移動させ、ピント調整を行うも
のである。
In such a configuration, an AF signal from the camera side or
A driving wJ signal from the manual ring 16 causes a vibrating body made of an elastic body and a piezoelectric element to generate progressive vibration waves by a known method, rotates the rotor 3, and finally moves the focus lens 27 in the optical axis direction. , to adjust the focus.

そしてかかる振動波モータにおいて、この振動体は駆動
用進行性振動波がS動体上のどの位置でも同じ振幅、同
じ波長となる様に均一な部材で形成され、かつ第3図示
のようにほぼ均な構造となっている。
In such a vibration wave motor, the vibrating body is formed of a uniform member so that the progressive vibration wave for driving has the same amplitude and the same wavelength at any position on the S moving body, and is approximately uniform as shown in the third figure. It has a structure.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記従来の振動波モータでは振動体、移
動体、或いはそれらの保持部材の加工後の平面度誤差が
、振動体と移動体の接触面に面圧ラムを引き起こし、か
かる原因により駆動用進行性振動波とは異なった波長の
進行性振動波が成長し、振動体と9動体との接触面より
騒音が発生することがありた。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional vibration wave motor described above, flatness errors after machining of the vibrating body, the movable body, or their holding members cause a surface pressure ram on the contact surface between the vibrating body and the movable body. Due to this cause, a progressive vibration wave having a wavelength different from that of the driving progressive vibration wave grows, and noise may be generated from the contact surface between the vibrating body and the moving body.

そしてこの騒音を発生する波長をもった進行性振動波を
分析したところ、この不要進行性振動波は、1つの波長
の場合であったり、あるいは複数の波長の場合であった
When the progressive vibration waves having the wavelengths that generate this noise were analyzed, it was found that the unnecessary progressive vibration waves had one wavelength or multiple wavelengths.

本発明の目的は、駆動モードの波長に影響を与えること
なく不要の波数の進行性振動波の発生を防止して鳴きの
ない振動波モータを提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a noise-free vibration wave motor that prevents the generation of progressive vibration waves of unnecessary wave numbers without affecting the wavelength of the drive mode.

[課題を解決するための手段] 本発明の目的を達成するための代表的な例は、駆動用電
気−機械エネルギ変換手段に交流電圧を印加することに
より、弾性体に位置的位相が互いにづれがある複数の定
在波を励起して該弾性体に進行性振動波を形成し、該弾
性体と該弾性体に加圧接触した加圧部材とを相対移動さ
せる振動波子−夕において、進行性振動波形成に影響を
及ぼす上記の弾性体及び加圧部材を含むモータ構成部材
の少なくとも1つの部材に、該弾性体に励起される駆動
モードの複数の定在波の固有振動数差が、駆動用の進行
性振動波以外の少なくとも1つの振動モードにおける複
数の定在波の振動数差よりも小さくなるように動剛性不
均一部を設けたことを特徴とする振動波モータにある。
[Means for Solving the Problems] A typical example for achieving the object of the present invention is to apply an alternating current voltage to the drive electric-mechanical energy conversion means to shift the positional phases of the elastic bodies from each other. In a vibration wave element that excites a plurality of standing waves to form a progressive vibration wave in the elastic body, and relatively moves the elastic body and a pressure member that is in pressure contact with the elastic body, In at least one of the motor components including the elastic body and the pressure member that affect the formation of the elastic vibration waves, the natural frequency difference between the plurality of standing waves in the drive mode excited in the elastic body, A vibration wave motor characterized in that a dynamic stiffness non-uniform portion is provided so that the difference in frequency between a plurality of standing waves in at least one vibration mode other than a progressive vibration wave for driving is smaller than a frequency difference between a plurality of standing waves.

[作用] 上記した構成の振動波モータは、不要な振動モードが発
生しても、そのモードにおける定在波の固有振動数差が
駆動モードの定在波の固有振動数差よりも大きいので、
駆動モードにおける進行波形成に影響を与えることなく
不要モードの進行波の形成が阻止され、0!&き等の騒
音発生が未然に防止できる。
[Function] In the vibration wave motor having the above configuration, even if an unnecessary vibration mode occurs, the natural frequency difference between the standing waves in that mode is larger than the natural frequency difference between the standing waves in the drive mode.
The formation of traveling waves in unnecessary modes is prevented without affecting the formation of traveling waves in the drive mode, and 0! It is possible to prevent the occurrence of noise such as noise.

[実施例] 第1図は本発明による振動波モータの実施例1を示す弾
性体の平面図である。
[Embodiment] FIG. 1 is a plan view of an elastic body showing a first embodiment of a vibration wave motor according to the present invention.

本実施例による弾性体28は、第3図に示すように円環
状に形成されると共に、振幅の拡大を図るために移動体
(不図示)圧接面側に複数の溝を形成している。
The elastic body 28 according to this embodiment is formed in an annular shape as shown in FIG. 3, and has a plurality of grooves formed on the side of the pressing surface of the movable body (not shown) in order to increase the amplitude.

本実施例において、上記した溝は、4°ピツチで90個
形成し、上記した振幅の拡大を図る目的の他に、不要モ
ードの進行波発生を防止す28oの14個の溝(以下深
溝と称す)の深さhを他の溝28a(計76個)よりも
若干、例えば0.2mm深くし動剛性を変えている。な
お、本実施例の振動体はリング面外曲げ振動の7次モー
ド(7波モード)を駆動モードとするようにしている。
In this embodiment, 90 grooves are formed at a pitch of 4°, and in addition to the purpose of expanding the amplitude described above, 14 grooves of 28o (hereinafter referred to as deep grooves) are used to prevent the generation of traveling waves in unnecessary modes. The depth h of the grooves 28a is made slightly deeper, for example, by 0.2 mm, than the other grooves 28a (76 grooves in total) to change the dynamic rigidity. It should be noted that the vibrating body of this embodiment is configured to use the seventh mode (seven wave mode) of the ring out-of-plane bending vibration as the drive mode.

したがって、モータ駆動時に発生する鳴きは、駆動モー
ドより低次モードであることから、3,4,5.6次(
波)モードのいずれか、あるいはその複合の共振として
発生することになる。なお従来例で示したモータでは、
2次モードは、弾性体と移動体の接触状態を考えると不
安定であるためか殆んど発生しなかった。
Therefore, the noise that occurs when the motor is driven is in a lower order mode than the drive mode, so the 3rd, 4th, 5.6th order (
It will occur as a resonance of one of the wave) modes or a combination of them. In addition, in the motor shown in the conventional example,
The secondary mode hardly occurred, probably because it was unstable considering the contact state between the elastic body and the moving body.

このような動剛性が不均一な構造の弾性体28を有する
振動波モータにおいて、5次モードの不要モードが発生
した場合を例にして、鳴き発生の防止を以下に説明する
In the vibration wave motor having the elastic body 28 having such a structure with non-uniform dynamic stiffness, prevention of squealing will be described below, taking as an example a case where an unnecessary fifth-order mode occurs.

進行性振動波の形成原理は、波長(λ)と振動数が共に
等しく、互いに位置的位相がλ/4ずれた2つの定在波
を合成することにより形成されるものである。したがっ
て、不要モードの進行波の発生を防ぐには、弾性体28
上に形成される不要モードにおける2つの定在波の固有
振動数が等しくならないようにすればよく、そのために
本実施例では、深溝28b・・・28h・・・280を
形成して、弾性体28の動剛性の不均一化を図っている
The principle of formation of a progressive vibration wave is that it is formed by combining two standing waves that have the same wavelength (λ) and frequency and are shifted in position by λ/4 from each other in phase. Therefore, in order to prevent the generation of traveling waves in unnecessary modes, the elastic body 28
It is only necessary to make sure that the natural frequencies of the two standing waves in the unnecessary modes formed above are not equal, and for this purpose, in this embodiment, the deep grooves 28b...28h...280 are formed to The aim is to make the dynamic stiffness of 28 non-uniform.

進行波の形成において、2つの定在波が位置的位相がλ
/4ずれるということは、弾性体28における周方向の
任意の1点に一方の定在波の腹があるとすると、その点
に他方の定在波の節がなければならない。
In the formation of a traveling wave, two standing waves have a positional phase of λ
The shift of /4 means that if the antinode of one standing wave is at any point in the circumferential direction of the elastic body 28, there must be a node of the other standing wave at that point.

5次モードの振動波において、弾性体28上に形成され
る1波長は72°ピツチ1ある。ここで、深溝28bを
節とする5波の定在波が発生したとすると、その定在波
は深溝28e、28h、281゜28j、2BI11が
腹の位置となり、との定在波に対応する弾性体28の固
有振動数をfrcとする。また、深溝28bを腹とする
5波の定在波が発生したとすると、その定在波は深溝2
8e、28h、28128j、28mが節の位置となり
、との定在波に対応する弾性体28の固有振動数をf、
とする。
In the vibration wave of the fifth mode, one wavelength formed on the elastic body 28 has a pitch of 72 degrees. Here, if a five-wave standing wave with the deep groove 28b as a node is generated, the standing wave has an antinode position at the deep grooves 28e, 28h, 281°28j, and 2BI11, and corresponds to the standing wave. Let frc be the natural frequency of the elastic body 28. Furthermore, if five standing waves with an antinode at the deep groove 28b are generated, the standing waves are generated at the deep groove 28b.
8e, 28h, 28128j, and 28m are the node positions, and the natural frequency of the elastic body 28 corresponding to the standing wave is f,
shall be.

5次モードの進行波が発生するには、双方の定在波の固
有振動数f rlとf reとが等しいか又はその固有
振動数差、八f、、−1fr、−freが小さいことが
必要で、逆にこの固有振動数差Δfrsが大きければ5
次モードの進行波が発生しなくなる。
In order for the traveling wave of the fifth mode to occur, the natural frequencies f rl and f re of both standing waves must be equal, or the difference in their natural frequencies, 8f, -1fr, -fre, must be small. necessary, and conversely, if this natural frequency difference Δfrs is large, 5
The traveling wave of the next mode is no longer generated.

一般に、質量をm、剛性をkとした時の固有振動数f、
は 深溝部分は弾性体の板厚が薄い為、曲げ剛性には小さい
、従って深溝の位置を腹とする場合の曲げ剛性をkeと
し、深溝の位置を節とする場合の曲げ剛性をに、とする
と、深溝の位置を節とする場合の腹位置の板厚が厚い為
、k、>ke つまり、 f 、、> f reとなる。
In general, the natural frequency f when mass is m and stiffness is k,
Since the thickness of the elastic body is thin in the deep groove part, the bending rigidity is small.Therefore, the bending rigidity when the deep groove position is the antinode is ke, and the bending rigidity when the deep groove position is the node. Then, when the position of the deep groove is used as a node, since the thickness of the plate at the antral position is thick, k,>ke, that is, f, , > fre.

したがって、5次モードにおける固有振動数f rgと
f reとは振動数が異なり、その差が大きいので、鳴
きの発生する可能性がある5次モードの振動数は進行波
となり得す、5次モードの振動数が何らかの原因によっ
て発生しても、それによって鳴きが発生することはない
Therefore, the natural frequencies f rg and f re in the 5th mode are different in frequency, and the difference is large, so the frequency of the 5th mode, where squealing may occur, can be a traveling wave. Even if the frequency of the mode occurs for some reason, it will not cause squealing.

また、この鳴き発生の防止効果は、固有振動数差Δfr
sが大きい程顕著であることは明らかである。
Furthermore, the effect of preventing the generation of squeal is due to the natural frequency difference Δfr
It is clear that the larger s is, the more noticeable the difference is.

以上の説明は不要モードが5次モードの場合であるが、
本実施例の弾性体28にあっては、5次モード以外に、
6次モード、4次モード、3次モードの不要モードにつ
いても5次モードの場合と同様に進行波の形成を阻止す
るようになっている。
The above explanation is for the case where the unnecessary mode is the 5th mode, but
In the elastic body 28 of this embodiment, in addition to the fifth-order mode,
Formation of traveling waves is also prevented in unnecessary modes such as the 6th mode, 4th mode, and 3rd mode, as in the case of the 5th mode.

すなわち、4次モードの場合、深溝28b、28f。That is, in the case of the fourth mode, the deep grooves 28b and 28f.

28g、28+、28に、281が動剛性を不均一にし
、固有振動数差Δfr4をその振動波の位置で異ならせ
て4次モードの進行波の形成を防止する。
In 28g, 28+, and 28, 281 makes the dynamic stiffness non-uniform and makes the natural frequency difference Δfr4 different depending on the position of the vibration wave, thereby preventing the formation of a fourth-order mode traveling wave.

ただし、この場合、弾性体28に形成された全周等ピッ
チ90個の溝に対して、4では割り切れないので、深溝
28f、28g、 (28に、281も同様)の中間を
中心位置として4次モードの1波長受ある90” ピッ
チとしている。
However, in this case, the 90 grooves formed on the elastic body 28 at equal pitches all around the circumference are not divisible by 4, so the center position is set between the deep grooves 28f, 28g, (28 and 281). The pitch is 90", which receives one wavelength of the next mode.

また、3次モード及び6次モードの場合、深溝28c、
28d、28f、28g、28に、281.28n、2
8oが動剛性を不均一にし、固有振動数差Δf15.Δ
fr6をその振動波の位置で異ならせて3次、6次モー
ドの進行波形成を防止、する。
In addition, in the case of the third mode and the sixth mode, the deep groove 28c,
28d, 28f, 28g, 28, 281.28n, 2
8o makes the dynamic stiffness non-uniform, and the natural frequency difference Δf15. Δ
The formation of traveling waves in the 3rd and 6th modes is prevented by varying fr6 depending on the position of the vibration wave.

ただし、この場合も深溝28c、28dと、深溝28f
、28gと、深溝28に、281と、深溝28n、28
oの夫々の中間を中心位置として、3次モードの場合1
72波長、6次モードの場合1波長である60°ピツチ
としている。
However, in this case as well, the deep grooves 28c and 28d and the deep groove 28f
, 28g, deep groove 28, 281, deep groove 28n, 28
1 in the case of third-order mode, with the center position between each of o.
In the case of 72 wavelengths and the 6th mode, the pitch is 60°, which is one wavelength.

第6図は、これらの1次モードの固有振動数差Δf r
nを各モード毎に求めたものである。、Cが第1図で示
す実施例1の場合である(以下第1図の深溝パターンを
Cパターンと略す)。第6図かられかるように、駆動用
の7次モードも動剛性の不均一によって固有振動数差Δ
fr7が生じているがその量は少ない。しかもその他の
騒音時発生する。3次、4次、5次、6次モードの固有
振動a差Δfr3+Δft4* Δfrs+Δfr8の
方が7次モードの場合のΔfr?より大きいので鳴き防
止効果が大ぎいのがわかる。つまり、モータ駆動に悪影
響を与えず、しかも鳴きが発生しにくい。
Figure 6 shows the natural frequency difference Δf r of these first-order modes.
n is determined for each mode. , C is the case of Example 1 shown in FIG. 1 (hereinafter, the deep groove pattern in FIG. 1 will be abbreviated as C pattern). As can be seen from Figure 6, the seventh mode for driving also has a natural frequency difference Δ due to the non-uniformity of dynamic stiffness.
fr7 is produced, but its amount is small. Moreover, it occurs when other noises occur. Natural vibration a difference Δfr3+Δft4* of the 3rd, 4th, 5th, and 6th modes Δfr when Δfrs+Δfr8 is the 7th mode? Since it is larger, you can see that the noise prevention effect is great. In other words, it does not adversely affect motor drive and is less likely to generate noise.

第4図は本発明の実施例2を示す弾性体の平面図である
FIG. 4 is a plan view of an elastic body showing Example 2 of the present invention.

本実施例による弾性体29の深溝パターンは、黒塗りの
部分がその他の溝29aより若干深い、例えば0.2m
m深い溝である。この深溝パターンは、第1図に示す深
溝パターンCと比べて深溝28c、28d、28n、2
8oがない以外は同じである。つまり、4次及び5次モ
ードの振動波を進行波になりに<<シ、それらモードに
よる1lSt!発生を防ぐ効果があるパターンである。
In the deep groove pattern of the elastic body 29 according to this embodiment, the black portion is slightly deeper than the other grooves 29a, for example, 0.2 m.
It is a m deep groove. This deep groove pattern is different from the deep groove pattern C shown in FIG.
It is the same except for the absence of 8o. In other words, the vibration waves of the 4th and 5th modes become traveling waves. This pattern is effective in preventing occurrence.

この場合の各モードの固有振動数差Δf rnは第6図
中Aで示している。以下この深溝パターンをAパターン
と称す。
The natural frequency difference Δf rn of each mode in this case is indicated by A in FIG. Hereinafter, this deep groove pattern will be referred to as A pattern.

本実施例によるAパターンでは、6次モードにおける固
有振動数差Δfr15も大きくできる。なお、駆動用の
7次モードの固有振動数差Δi?も前記したCパターン
の場合よりも大きくなることから、Cパターンの振動波
モータに比べてモータ出力や効率の低下が大きいが、6
次モードの進行波の形成は防げる。
In the A pattern according to this embodiment, the natural frequency difference Δfr15 in the sixth mode can also be increased. In addition, the natural frequency difference Δi? of the seventh mode for driving? is larger than in the case of the above-mentioned C pattern, so the decrease in motor output and efficiency is greater than that of the C-pattern vibration wave motor.
The formation of the next mode traveling wave is prevented.

345図は本発明の実施例3の弾性体30の平面図を示
し′ている。
FIG. 345 shows a plan view of the elastic body 30 according to the third embodiment of the present invention.

本実施例による弾性体30の深溝パターンは、黒塗りの
部分が他の溝30aより若干深い、例えば0.2mm深
い溝である。この深溝パターンは、第4図に示す実施例
2の深溝パターンAと比べ、6次モードの鳴き防止対策
として全周等間隙の1波長である60°ピツチの深溝(
30b)。
In the deep groove pattern of the elastic body 30 according to this embodiment, the black portion is slightly deeper than the other grooves 30a, for example, 0.2 mm deeper. This deep groove pattern is different from the deep groove pattern A of Example 2 shown in FIG.
30b).

30d、30h、 (301) 、30J、30nを追
加したパターンである。つまり、最も単純に考えられる
3次−4次−5次−6次モードの鳴き防止パターンであ
る。この場合の各モードの固有振動数差Δf rnは′
s6図中Bで示している。以下この深溝パターンをBパ
ターンと称す、第6図に示す如く、6次モードの固有振
動数差Δfr6はAパターンに比べて2倍程度大きくな
り、6次モードの鳴きは発生しにくいものとなった。な
お、駆動用の7次モードの固有振動数差Δfr7がAパ
ターンより大きいので、モータ出力や効率の低下が大き
い。
This is a pattern in which 30d, 30h, (301), 30J, and 30n are added. In other words, this is the simplest possible squeal prevention pattern of the 3rd-4th-5th-6th mode. In this case, the natural frequency difference Δf rn of each mode is ′
It is indicated by B in the s6 diagram. Hereinafter, this deep groove pattern will be referred to as pattern B. As shown in Figure 6, the natural frequency difference Δfr6 of the 6th mode is about twice as large as that of pattern A, making it difficult for the 6th mode to generate squeal. Ta. Note that since the natural frequency difference Δfr7 of the seventh mode for driving is larger than that of pattern A, the motor output and efficiency are significantly reduced.

以上説明した各実施例は、深溝を他の溝よりも0.2m
m深くしているが、この深さをさらに増加すれば効果が
より一層顕著なものとなる。
In each of the embodiments described above, the groove is 0.2 m deeper than the other grooves.
m depth, but if this depth is further increased, the effect will become even more pronounced.

また、各実施例は深溝により弾性体の動剛性を変えてい
るが、付加質量や付加抵抗等を増減させて弾性体の動剛
性を変えたり、それらの複合により動剛性を変えるよう
にしてもよい。
Further, in each embodiment, the dynamic stiffness of the elastic body is changed by using deep grooves, but the dynamic stiffness of the elastic body can also be changed by increasing or decreasing the added mass or added resistance, or by a combination of these. good.

さらに、弾性体の動剛性だけでなく、例えば第2図に示
すし動体(ロータ3)や、撮動絶縁体4や吸振体5等の
周辺部材の動剛性を不均一にしても同様の効果が得られ
る。
Furthermore, the same effect can be obtained by making not only the dynamic stiffness of the elastic body uniform, but also the dynamic stiffness of the moving body (rotor 3) shown in FIG. is obtained.

[発明の効果] 以上の様に、本発明によれば、駆動源となる振動波の振
動モードの定在波の固有振動数差を、鳴き等の騒音を発
生させる可能性のある振動波の振動モードの固有振動数
差よりも小さくしたので、駆動に悪影響を与えることな
く実用上大きな問題となっていた鳴き等の騒音発生を抑
えることができるといった効果がある。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the difference in the natural frequency of the standing wave of the vibration mode of the vibration wave serving as the driving source can be adjusted to Since it is made smaller than the natural frequency difference of the vibration modes, it has the effect of suppressing the generation of noise such as squealing, which has been a major problem in practice, without adversely affecting the drive.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明による振動波モータの実施例1を示す弾
性体の平面図、第2図はレンズ鏡筒の断面図、第3図は
振動波モータの弾性体の斜視図、第4図は実施例2の弾
性体の平面図、第5図は実施例3の弾性体の平面図、第
6図は弾性体の0次モードの固有振動数差を各モード毎
に示した図である。 1.28.29.30・・・弾性体 2・・・圧電素子 3・・・ロータ 28b・・・281・・・280・・・深溝29b・・
・29f・・・29k・・・深溝30b・・・30h・
・・30o・・・深溝第 1 図 第 図 第 図 第 図 第 図 (llz) モード次数n
FIG. 1 is a plan view of an elastic body showing Example 1 of the vibration wave motor according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view of a lens barrel, FIG. 3 is a perspective view of the elastic body of the vibration wave motor, and FIG. 4 is a plan view of the elastic body of Example 2, FIG. 5 is a plan view of the elastic body of Example 3, and FIG. 6 is a diagram showing the natural frequency difference of the zero-order mode of the elastic body for each mode. . 1.28.29.30...Elastic body 2...Piezoelectric element 3...Rotor 28b...281...280...Deep groove 29b...
・29f...29k...deep groove 30b...30h
・・30o・・・Deep groove No. 1 Figure Figure Figure Figure Figure Figure (llz) Mode order n

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 駆動用電気−機械エネルギ変換手段に交流電圧を印
加することにより、弾性体に位置的位相が互いにづれが
ある複数の定在波を励起して該弾性体に進行性振動波を
形成し、該弾性体と該弾性体に加圧接触した加圧部材と
を相対移動させる振動波モータにおいて、 進行性振動波形成に影響を及ぼす上記の弾 性体及び加圧部材を含むモータ構成部材の少なくとも1
つの部材に、該弾性体に励起される駆動モードの複数の
定在波の固有振動数差が、駆動用の進行性振動波以外の
少なくとも1つの振動モードにおける複数の定在波の振
動数差よりも小さくなるように動剛性不均一部を設けた
ことを特徴とする振動波モータ。
[Claims] 1. By applying an alternating current voltage to the driving electric-mechanical energy conversion means, a plurality of standing waves whose positional phases are shifted from each other are excited in the elastic body, so that the elastic body has a progressive motion. A vibration wave motor that generates vibration waves and relatively moves the elastic body and a pressure member that is in pressure contact with the elastic body, the vibration wave motor including the above elastic body and pressure member that affect the formation of progressive vibration waves. At least one of the motor components
The natural frequency difference between the plurality of standing waves in the driving mode excited in the elastic body is the frequency difference between the plurality of standing waves in at least one vibration mode other than the progressive vibration wave for driving. A vibration wave motor characterized in that a dynamic rigidity non-uniform portion is provided so that the dynamic rigidity is smaller than that of the vibration wave motor.
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