JPH02280880A - 有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明に係る有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法
は、フロン等の有機溶剤を用いて各種物品の表面に付着
した油等の汚れを落とす洗浄装置を運転する場合に利用
するもので、洗浄槽内に空気が残留するのを防止する事
により、洗浄槽の内部空間の有効利用を図り、洗浄装置
の小型化を図れる様にするものである。

（従来の技術） 金型、空気軸受用の多孔質焼結金属、或はＩＣ基板等、
各種物品の表面に付着した油等の汚れを、フロン、トリ
クロルエチレン等の有機溶剤を洗浄液として使用する事
により洗浄する事が、般的に行なわれている。

この様な有機溶剤を洗浄液として使用する事により、洗
浄作業を行なう洗浄装置の１例に就いて、実願昭６３−
５４５９５号に示された装置を例にして説明する。

この洗浄装置は、図面に示す様に、上方が開口した有底
円筒状で、上端開口を気密に塞ぐ事の出来る蓋１を有す
る洗浄槽２と、有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ３
を内蔵し、管５を通じて洗浄槽２の内部に有機溶剤の蒸
気を送り込む蒸気供給手段４と、洗浄４！２の内部に送
り込む為の洗浄用有機溶剤を貯溜した貯溜槽６と、この
貯溜槽６と洗浄槽２とを結ぶ２本の管７．８及び一方の
管８の途中に設けた送液ポンプ９から成り、両槽６．２
の間で液状の有機溶剤の給排を行なう給排手段２０と、
液状の有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ１０と有機
溶剤の蒸気を凝縮させる為の冷却器１１とを組み合わせ
、凝縮した有機溶剤を上記貯溜槽６に送る蒸留器１２と
、洗浄槽２内に空気を送り込む吸気管１６と、途中に真
空ポンプ１３を設けた排出管１９の端部にそれぞれ接続
され、洗浄槽２から排出した有機溶剤蒸気を、上記蒸留
器１２に送り込む排蒸管１４と、洗浄槽２から空気を排
出する排気管１５とから構成されている。

上述の様に構成される先発明の洗浄装置により、被洗浄
物１７の洗浄を行なう場合、蓋１を開いて、この被洗浄
物１７を洗浄槽２の内部に収納した後、上記蓋１を閉じ
てから真空ポンプ１３を運転し、排気管１５を通じて、
この洗浄槽２内の空気を排出する。

洗浄槽２内の空気を排出した後、給排手段２０を構成す
る管７を通じて、貯溜槽６内の有機溶剤を洗浄槽２内に
送り込み、被洗浄物１７の洗浄を行なう、この際、洗浄
槽２の底面に固定した超音波振動子１８．１８に通電す
る事により、洗浄槽２内の有機溶剤に超音波振動を加え
、被洗浄物１７の洗浄が効率良く行なわれる様にする。

液状の有機溶剤による洗浄作業が完了したならば、給排
手段２０を構成する送液ポンプ９を運転する事により、
管８を通じて洗浄槽２中の液状有機溶剤を、徐々に貯溜
槽６に戻しつつ、蒸気供給手段４から洗浄槽２中に有機
溶剤の蒸気を供給する。

この結果、洗浄槽２中の被洗浄物１フは、その一部が液
状有機溶剤の液面上に露出し、この露出部分で有機溶剤
の蒸気が凝縮し、この凝縮分で被洗浄物１７の表面が洗
浄される、所謂蒸気洗浄が行なわれる。

蒸気洗浄を行ないつつ、洗浄槽２中の液状有機溶剤を総
て貯溜槽６に戻したならば、排出管１９の途中に設けた
真空ポンプ１３を運転し、洗浄槽２内に残留している有
機溶剤蒸気を、排蒸管１４を通じて、蒸留器１２内に排
出する。この様に、排出管１９と排蒸管１４とを通じて
蒸留器１２に排出された有機溶剤の蒸気は、この蒸留器
１２に設けた冷却器１１により凝縮液化されて回収され
る。冷却器１１により回収し切れなかった有機溶剤の蒸
気は、二次冷却器２１により回収され、更にこの二次冷
却器２１も通過した微量の有機溶剤蒸気は、活性炭フィ
ルタ２２により捕集される。

真空ポンプ１３の運転に伴なって、洗浄槽２内が所定の
真空度に達したならば、上記真空ポンプ１３を停止し、
吸気管１６を通じて洗浄槽２内に空気を送り込む。

この結果、洗浄槽２内の圧力が大気圧程度に迄上昇した
ならば、この洗浄槽２のＮ１を開き、洗浄作業が完了し
た被洗浄物１７の取り出しを行なう。

（発明が解決しようとする課題） ところが、上述の様に構成され作用する、従来からの、
或は先発明に係る洗浄装置を運転する場合に於いては、
次に述べる様な不都合を生じる。

即ち、洗浄作業を開始するに当たり、被洗浄物１７を洗
浄槽２の内部に収納した後、上記蓋１を閉じてから真空
ポンプ１３を運転して、この洗浄槽２内の空気を排出し
、被洗浄物１７の隅々に迄有機溶剤が行き亙る様にする
が、真空ポンプ１３の能力上の問題から、洗浄槽２内に
若干の空気が残留する事が避けられない。

この様に、洗浄槽２内に若干の空気が残留したままの状
態で、管７を通じて洗浄槽２内に洗浄液を送り込んだ場
合、洗浄槽２の上部空間２５内に空気が存在する様にな
ってしまい、残留空気の分圧と有機溶剤蒸気の分圧との
和によって定まる、この上部空間２５内の圧力が、残留
空気の分だけ高くなってしまう。

一方、フロン等の有機溶剤を入れた洗浄槽２内が陽圧に
なった場合、この有機溶剤蒸気の漏洩を防止する為には
、洗浄槽２の上端開口部に設けるＭｌを、この洗浄槽２
の上縁部に設けたバッキングに向けて押し付ける為の締
め付は機構を設ける必要があり、洗浄装置の構造が複雑
化する事が避けられない。

又、締め付は不良やバッキングに傷が生じる事等により
、蓋部分の気密が不良になった場合、洗浄槽２内に存在
する有機溶剤の蒸気が大気中に漏洩し、オゾン層破壊等
、環境破壊の原因となってしまう。

この為、本発明者は先に、洗浄作業の間中洗浄槽２内を
負圧に保つ事で、有機溶剤蒸気の漏洩を防止する洗浄方
法を発明した（特願平１−１７５１６号）が、前述の様
に、上部空間２５内の圧力が、残留空気の分だけ高くな
ると、洗浄作業の進行に伴なって洗浄槽２内の圧力が大
気圧よりも高くなる（洗浄槽２内が陽圧になる）可能性
が大きくなり、有機溶剤の漏洩防止が不確実になってし
まう。

残留空気の存在に拘らず、洗浄槽２の上部空間２５内の
圧力が低く保たれる様にする為には、洗浄槽２の全内容
積に対する上部空間２５の容積の割合を多くすれば良い
が、その分だけ洗浄用の有機溶剤を溜められる部分の容
積（洗浄槽２の全内容積から、上部空間２５の容積を引
いた容積）が少なくなり、大きな被洗浄物１７を洗浄し
難くなる。又、大きな被洗浄物１７を洗浄出来る様にす
ると、洗浄槽２が大型化してしまう。

本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法は、上
述の様な不都合を解消するものである。

（課題を解決する為の手段） 本発明の方法により運転される、有機溶剤を使用する洗
浄装置は、従来、或は先発明に係る洗浄装置と同様、図
面に示す様に、被洗浄物を収納した状態で密閉自在な洗
浄槽２と、貯留槽６及び管７等から構成され、上記洗浄
槽２内にフロン等、洗浄用の有機溶剤を送り込み自在な
供給手段と、上記洗浄槽２の上部空間２５に存在する気
体を排出する真空ポンプ１３と、冷却器１１等を内蔵す
る事で構成され、この真空ポンプ１３から吐出される気
体を送り込み自在で、この気体中に存在する有機溶剤の
蒸気を回収する溶剤回収手段とから構成されている。

そしてこの洗浄装置は、洗浄作業の間中、上記真空ポン
プ１３の運転を継続する事により、洗浄槽２内を負圧に
維持したままの状態で洗浄作業を行なう。

この様な有機溶剤を使用する洗浄装置を運転する為の、
本発明の方法の内、請求項１の方法に於いては、蓋１を
開けた状態で洗浄槽２内に被洗浄物１７を収納し、上記
Ｍ１によりこの洗浄槽２を密閉した後、貯留槽６及び管
７等から成る上記供給手段を通じて、洗浄槽２内にフロ
ン等の有機溶剤を送り込んだ状態で、上記真空ポンプ１
３を運転する事により、上記洗浄槽２の上部空間に残留
している空気の排出を行なう。

又、請求項２の方法の場合、供給手段により洗浄槽２内
に有機溶剤を送り込む以前に真空ポンプ１３を運転する
。そして、この運転により排出される空気は、溶剤回収
手段である蒸留器１２を通さずに、そのまま大気中に排
出する。真空ポンプ１３の運転により洗浄槽２内の空気
が成る程度排出されたならば、洗浄４′Ｉ２内に有機溶
剤を送り込み、この溶剤が蒸発する事で生じた蒸気と空
気とを、溶剤回収手段である蒸留器１２に送り込む。

（作　用） 上述の様に構成される本発明の運転方法の内、請求項１
に記載の方法による場合、真空ポンプ１３の運転に伴な
って、洗浄槽２の上部空間２５内に存在する気体が、空
気と有機溶剤の蒸気との混合気体となる。

この混合気体を真空ポンプ１３により更に連続して排出
した場合、混合気体中に占める空気の割合が次第に少な
くなる。

即ち、有機溶剤蒸気は、洗浄槽２内に供給された液状の
有機溶剤が蒸発する事により、次々に補給されるが、空
気は全く補給される事がない為、上記混合気体中に占め
る空気の割合は、次第に少なくなり、遂には、洗浄槽２
の上部空間２５内が、有機溶剤蒸気のみで溝なされる。

上部空間２５内の有機溶剤蒸気の圧力は、洗浄、１１２
内の温度を成る程度以下に保つ限り、１気圧を越える事
がない為、上部空間２５内の圧力を１気圧未満（陽圧）
に保つ事は容易である。

真空ポンプ１３により排出され、排出管１９、排蒸管１
４を通じて、溶剤回収手段である蒸留器１２内に送り込
まれた混合気体中の溶剤蒸気は、この蒸留器１２の上部
に設けた冷却器１１によって凝縮液化され、前記貯留槽
６に回収される。

又、冷却器１１で回収し切れなかった溶剤蒸気は、二次
冷却器２１により凝縮されて回収され、更にこの二次冷
却器２１によっても回収出来なかった微量の溶剤蒸気は
、活性炭フィルタ２２により捕集される。但し、冷却器
１１の能力が十分であれば、二次冷却器２１と活性炭フ
ィルタ２２とは省略する事も出来る。

従って、洗浄槽２内に有機溶剤を送り込みつつ、真空ポ
ンプ１３を運転しても、有機溶剤の蒸気が空気よりも重
い事もあり、有機溶剤の蒸気が外部に漏れ出す事はない
。

又、請求項２に記載された方法の場合、溶剤回収手段で
ある蒸留器１２内に送り込まれる空気の量を少なく抑え
る事が出来る為、空気に連られて蒸留器１２外に逃げる
有機溶剤蒸気の量を、より少なく出来る。

（発明の効果） 本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法は、以
上に述べた通り構成され作用する為、洗浄槽の上部空間
を大きくしなくても、この洗浄槽内部の圧力を陽圧に保
つ事が容易に行なえる様になり、洗浄槽を特に大型化し
なくても、有機溶剤蒸気の漏洩を確実に防止しつつ、十
分に大きな被洗浄物の洗浄を行なう事が出来る。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の対象となる洗浄装置の１例を示す略縦断
面図である。 １：蓋、２：洗浄槽、３：ヒータ、４：蒸気供給手段、
５：管、６：貯溜槽、７．８：管、９：送液ポンプ、１
０：ヒータ、１１：冷却器、１２：蒸留器、１３：真空
ポンプ、１４：排蒸管、１５：排気管、１６：吸気管、
１７：被洗浄物、１８：超音波振動子、１９：排出管、
２０：給排手段、２１：二次冷却器、２２：活性炭フィ
ルタ、２３．２４：弁、２５：上部空間。 特許出願人　株式会社千代田製作所 代　　理　　人　小　山　欽造（ほか１名）（−ｉτカ
１瞥） ２鵞 ｒ５（（ＩＦ’ｆｔ’ｉζ〕

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被洗浄物を収納した状態で密閉自在な洗浄槽と、
   この洗浄槽内に洗浄用の有機溶剤を送り込み自在な供給
   手段と、上記洗浄槽の上部空間に存在する気体を排出す
   る真空ポンプと、この真空ポンプから吐出される気体を
   送り込み自在で、この気体中に存在する有機溶剤の蒸気
   を回収する溶剤回収手段とから成り、上記洗浄槽内を負
   圧に維持したままの状態で洗浄作業を行なう、有機溶剤
   を使用する洗浄装置の運転方法であって、洗浄槽内に被
   洗浄物を収納し、この洗浄槽を密閉した後、上記供給手
   段により洗浄槽内に有機溶剤を送り込んだ状態で、上記
   真空ポンプを運転する事により、上記洗浄槽の上部空間
   に残留している空気の排出を行なう、有機溶剤を使用す
   る洗浄装置の運転方法。
2. （２）供給手段により洗浄槽内に有機溶剤を送り込む以
   前に、真空ポンプにより洗浄槽内の空気を大気中に排出
   しておく、請求項１に記載の有機溶剤を使用する洗浄装
   置の運転方法。