JPH02284017A - 形状測定装置 - Google Patents
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- JPH02284017A JPH02284017A JP1105631A JP10563189A JPH02284017A JP H02284017 A JPH02284017 A JP H02284017A JP 1105631 A JP1105631 A JP 1105631A JP 10563189 A JP10563189 A JP 10563189A JP H02284017 A JPH02284017 A JP H02284017A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 17
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/58—Raceways; Race rings
- F16C33/583—Details of specific parts of races
- F16C33/585—Details of specific parts of races of raceways, e.g. ribs to guide the rollers
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
- F16C19/14—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load
- F16C19/16—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load with a single row of balls
- F16C19/163—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load with a single row of balls with angular contact
- F16C19/166—Four-point-contact ball bearings
-
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は、測定対象物に形成された凹状の半球面あるい
は凹状の円弧面のうねりを測定する測定装置に関する。
は凹状の円弧面のうねりを測定する測定装置に関する。
Ｂ、従来の技術
例えば、ベアリングのインナレース外周には凹状の半円
弧面が形成されている。その凹状の半円弧面のうねりや
形状の測定は、例えば３次元測定機の測定子を凹状の円
弧面における複数の謂定箇所に当て、その位置を測定す
ることにより行われている。
弧面が形成されている。その凹状の半円弧面のうねりや
形状の測定は、例えば３次元測定機の測定子を凹状の円
弧面における複数の謂定箇所に当て、その位置を測定す
ることにより行われている。
あるいは、測定対象物を切断し真円度測定器などで測定
する方式や凹状の円弧面あるいは凹状の半球面をそのま
ま拡大して形状副室を行う方式も知られている。
する方式や凹状の円弧面あるいは凹状の半球面をそのま
ま拡大して形状副室を行う方式も知られている。
Ｃ１発明が解決しようとする課題
３次元測定機を用いる方式では、測定子を凹状の円弧面
あるいは凹状の半球面の法線方向に沿って当てる必要が
あるが、従来の３次元測定機では、測定子を全ての測定
箇所において法線方向に当てることができない。そのた
め、法線方向からずれて接触する箇所では正確な測定値
が得られないという問題があり、さらに３次元測定機は
大型で高価である。
あるいは凹状の半球面の法線方向に沿って当てる必要が
あるが、従来の３次元測定機では、測定子を全ての測定
箇所において法線方向に当てることができない。そのた
め、法線方向からずれて接触する箇所では正確な測定値
が得られないという問題があり、さらに３次元測定機は
大型で高価である。
また、真円度測定方式では、測定対象物を切断する破壊
測定であり、全数を検査することができない。さらに形
状をそのまま拡大する方式では。
測定であり、全数を検査することができない。さらに形
状をそのまま拡大する方式では。
その拡大率に制限があり、ベアリングなどの精密加工品
を精度よく測定できない。
を精度よく測定できない。
本発明の技術的課題は、測定対象物を破壊せず。
かつ簡単な機構で廉価にして精度よく凹状の円弧面ある
いは凹状の半球面の仕上精度を測定することにある。
いは凹状の半球面の仕上精度を測定することにある。
０１課題を解決するための手段
一実施例を示す第１図および第２図により説明すると１
本発明に係る形状測定装置は、センサ本体およびセンサ
本体からばねで突出される測定子１２ａを有し、この測
定子１２ａの伸縮量を検出する第１のセンサ１２と、こ
の第１のセンサを第１の面（水平面）内で回動可能に保
持するとともに第１の面と直交する第２の面（垂直面）
内で回動可能に保持するアーム部１１と、第１のセンサ
１２の第２の面内での回転角変位を検出する第２のセン
サ１７と、少なくとも第１のセンサ１２の垂直および水
平方向の位置を調整する位置調整機構２０１と、測定子
１２ａを被測定面の曲率半径に相当するだけ突出させた
基準状態で被測定面に当接させたまま前記第１のセンサ
１２を第１の面内で回動させたときの出力変化を表示す
る表示器２０と、測定子１２ａを被測定面の曲率半径に
相当するだけ突出させた基準状態で被測定面に当接させ
たまま第１のセンサ１２を第２の面内で回動させたとき
の第１のセンサ１２の出力と第２のセンサ１７の出力と
に基づいて測定面のうねりを記録する記録計２１とを具
備し、これにより上記技術的課題を解決する。
本発明に係る形状測定装置は、センサ本体およびセンサ
本体からばねで突出される測定子１２ａを有し、この測
定子１２ａの伸縮量を検出する第１のセンサ１２と、こ
の第１のセンサを第１の面（水平面）内で回動可能に保
持するとともに第１の面と直交する第２の面（垂直面）
内で回動可能に保持するアーム部１１と、第１のセンサ
１２の第２の面内での回転角変位を検出する第２のセン
サ１７と、少なくとも第１のセンサ１２の垂直および水
平方向の位置を調整する位置調整機構２０１と、測定子
１２ａを被測定面の曲率半径に相当するだけ突出させた
基準状態で被測定面に当接させたまま前記第１のセンサ
１２を第１の面内で回動させたときの出力変化を表示す
る表示器２０と、測定子１２ａを被測定面の曲率半径に
相当するだけ突出させた基準状態で被測定面に当接させ
たまま第１のセンサ１２を第２の面内で回動させたとき
の第１のセンサ１２の出力と第２のセンサ１７の出力と
に基づいて測定面のうねりを記録する記録計２１とを具
備し、これにより上記技術的課題を解決する。
８６作用
第１のセンサ１２の回動中心から測定子１２ａ先端まで
寸法を被測定面の曲率寸法と一致せしめ、そのときの表
示器２０の出力を０リセツトする。
寸法を被測定面の曲率寸法と一致せしめ、そのときの表
示器２０の出力を０リセツトする。
表示＠２０が０を示すように測定子１２ａを被測定面に
当接させて第１のセンサ１２を第１の面内で回動させ、
そのときの表示器２０の表示に基づいて測定子１２ａを
測定面の法線方向に向けて固定する。その後、センサ１
２を第２の面内で回転させる。このときのセンサ１２の
出力とセンサ１２の回転角変位を示すセンサ１７の出力
とで記録計２１にグラフを記録すれば、測定面のうねり
が記録される。
当接させて第１のセンサ１２を第１の面内で回動させ、
そのときの表示器２０の表示に基づいて測定子１２ａを
測定面の法線方向に向けて固定する。その後、センサ１
２を第２の面内で回転させる。このときのセンサ１２の
出力とセンサ１２の回転角変位を示すセンサ１７の出力
とで記録計２１にグラフを記録すれば、測定面のうねり
が記録される。
なお、本発明の詳細な説明する上記り項およびＥ項では
１本発明を分かり易くするために実施例の図を用いたが
、これにより本発明が実施例に限定されるものではない
。
１本発明を分かり易くするために実施例の図を用いたが
、これにより本発明が実施例に限定されるものではない
。
Ｆ、実施例
第１図〜第５図に基づいて本発明の一実施例を説明する
。
。
第１図（ａ）〜（ｃ）は１本発明に係る形状測定装置を
示す。第１図（ａ）、（ｂ）において、１は横ベットで
あり、その上面中央には長手方向に溝１ａが形成され、
その溝１ａに縦ベット２の基部３が摺動可能に嵌合され
ている。横ベット１の後面には、基部３と螺合して縦ベ
ット２を溝１ａに沿って前後方向に調整する調整ねじ４
が取付けられ、横ベット１の上面後方には縦ベット２の
前後移動距離を測定するセンサ５が設けられている。さ
らに横ベット１の前面には段付きの基準面１ｂが形成さ
れ、図示しない測定対象物と本測定装置とを連結するた
めの取付穴１ｃが穿設されている。
示す。第１図（ａ）、（ｂ）において、１は横ベットで
あり、その上面中央には長手方向に溝１ａが形成され、
その溝１ａに縦ベット２の基部３が摺動可能に嵌合され
ている。横ベット１の後面には、基部３と螺合して縦ベ
ット２を溝１ａに沿って前後方向に調整する調整ねじ４
が取付けられ、横ベット１の上面後方には縦ベット２の
前後移動距離を測定するセンサ５が設けられている。さ
らに横ベット１の前面には段付きの基準面１ｂが形成さ
れ、図示しない測定対象物と本測定装置とを連結するた
めの取付穴１ｃが穿設されている。
縦ベット２には上下方向に溝２ａが形成され、その溝２
ａにスライダー６の基部７が摺動可能に嵌合されている
。縦ベット２の上面には、基部７と螺合してスライダー
６の位置を垂直方向に調整する調整ねじ８が取付けられ
、縦ベット２の上部にはスライダー６の上下移動距離を
測定するセンサ９が設けられている。
ａにスライダー６の基部７が摺動可能に嵌合されている
。縦ベット２の上面には、基部７と螺合してスライダー
６の位置を垂直方向に調整する調整ねじ８が取付けられ
、縦ベット２の上部にはスライダー６の上下移動距離を
測定するセンサ９が設けられている。
スライダー６はコ字状に形成され、そこに軸１０により
アーム部１１が水平面（第１の面）内で回動可能に取付
けられ、アーム部１１の先端には、凹状の球面などを測
定するセンサ１２が垂直面（第２の面）内で回動可能に
軸１３で取付けられている。アーム部１１の回動角は固
定ねじ１４で固定される。このように、センサ１２は、
調整ねじ４，８などから成る位置調整機構２０１により
水平、垂直方向の位置調整が可能とされている。
アーム部１１が水平面（第１の面）内で回動可能に取付
けられ、アーム部１１の先端には、凹状の球面などを測
定するセンサ１２が垂直面（第２の面）内で回動可能に
軸１３で取付けられている。アーム部１１の回動角は固
定ねじ１４で固定される。このように、センサ１２は、
調整ねじ４，８などから成る位置調整機構２０１により
水平、垂直方向の位置調整が可能とされている。
第１図（ｃ）に示すように、軸１３の一端はアーム部１
１の側方から突出し、その先端にプーリー１５が固着さ
れて、センサ１２の動作とともに回転する。一方、アー
ム部１］−の側面にはＬ型のブラケット１６を介して回
転型ポテンショメーター１７が設けられ、ポテンショメ
ーター１７に取付けられたプーリー１８と軸１３のプー
リー１５との間にベルト１９が掛は渡されている。
１の側方から突出し、その先端にプーリー１５が固着さ
れて、センサ１２の動作とともに回転する。一方、アー
ム部１］−の側面にはＬ型のブラケット１６を介して回
転型ポテンショメーター１７が設けられ、ポテンショメ
ーター１７に取付けられたプーリー１８と軸１３のプー
リー１５との間にベルト１９が掛は渡されている。
上述したセンサ５，９．１２は、各測定子がセンサ５，
９．１２内のスプリングにより伸縮自在になっており、
センサ１２は測定面の寸法変位を電気信号として出力し
、センサ５，９は樅ベット２の水平位置およびアーム部
１１の垂直高さ位置を所定の基準位置との偏差として出
力する。また、センサ１７はセンサ１２の回転角変位を
電気信号として出力する。
９．１２内のスプリングにより伸縮自在になっており、
センサ１２は測定面の寸法変位を電気信号として出力し
、センサ５，９は樅ベット２の水平位置およびアーム部
１１の垂直高さ位置を所定の基準位置との偏差として出
力する。また、センサ１７はセンサ１２の回転角変位を
電気信号として出力する。
センサ１２の出力電気信号は、第２図に示すアナログ表
示器２０を介してＸ−Ｙレコーダ２１のＹ軸に入力され
、ポテンショメーター１７の出力電気信号はＸ−Ｙレコ
ーダー２１のＸ軸に人力される。センサ５，９の出力電
気信号は、デジタル表示計２２に入力され、切換操作に
より択一的にセンサ出力が表示される。
示器２０を介してＸ−Ｙレコーダ２１のＹ軸に入力され
、ポテンショメーター１７の出力電気信号はＸ−Ｙレコ
ーダー２１のＸ軸に人力される。センサ５，９の出力電
気信号は、デジタル表示計２２に入力され、切換操作に
より択一的にセンサ出力が表示される。
次にこのような測定装置を用いて、第３図（、）に示す
ような旋回輪の７ウタレース１００に形成された転勤面
１０１の形状やうねりを測定する手１＠を説明する。
ような旋回輪の７ウタレース１００に形成された転勤面
１０１の形状やうねりを測定する手１＠を説明する。
第３図（ｂ）は転勤面１０１の断面形状を示し、被測定
面は、Ｃ工を中心とした下半分の円弧面ＳＬと、Ｃ２を
中心とした上半分の円弧面ＳＵとから成り、各球面ＳＬ
、ＳＵの半径をｒｌｌ ｒ２−中心点Ｃ１，Ｃ，間の距
離を２とする。
面は、Ｃ工を中心とした下半分の円弧面ＳＬと、Ｃ２を
中心とした上半分の円弧面ＳＵとから成り、各球面ＳＬ
、ＳＵの半径をｒｌｌ ｒ２−中心点Ｃ１，Ｃ，間の距
離を２とする。
本測定装置を使用するに先立ち、ブロックゲージなどを
使用し、センサ１２の回転軸１３の中心から預り定子１
２ａの先端までの寸法が設計上の被測定面の半径寸法と
等しくなるように測定子１２ａを収縮させ、その時のア
ナログ表示器２０の表示値をＯリセットする。本測定装
置は、測定対象物と所定の位置関係を保持すべく必要が
あるので、第４図に示すように横ベット１の基準面１ｂ
にブラケット３１をボルト（不図示）で螺着し、そのブ
ラケット３１を測定対象物にボルト３２で螺着する。次
いで球面の計測操作を行う。
使用し、センサ１２の回転軸１３の中心から預り定子１
２ａの先端までの寸法が設計上の被測定面の半径寸法と
等しくなるように測定子１２ａを収縮させ、その時のア
ナログ表示器２０の表示値をＯリセットする。本測定装
置は、測定対象物と所定の位置関係を保持すべく必要が
あるので、第４図に示すように横ベット１の基準面１ｂ
にブラケット３１をボルト（不図示）で螺着し、そのブ
ラケット３１を測定対象物にボルト３２で螺着する。次
いで球面の計測操作を行う。
横ベット１の調整ねじ４でセンサ１２の測定子１２ａを
測定面方向に移動させて、測定子１２ａを第３図（ｂ）
に丞す凹状の円弧面のイ付近に当てアナログ表示器２ｏ
がＯを指示するようにする。
測定面方向に移動させて、測定子１２ａを第３図（ｂ）
に丞す凹状の円弧面のイ付近に当てアナログ表示器２ｏ
がＯを指示するようにする。
次いで、軸１０の固定ねじ１４をゆるめアーム部１１を
水平面内で回動させ、測定子１２ａと測定面とが最短距
離になるところ、すなわちアナログ表示器２ｏが最も小
さい値を示す角度位置にアーム部１１を固定ねじ１４で
固定する。このような操作により、測定子１２ａの軸心
を測定対象であるアウタレース１０００回転中心に向か
わせる。
水平面内で回動させ、測定子１２ａと測定面とが最短距
離になるところ、すなわちアナログ表示器２ｏが最も小
さい値を示す角度位置にアーム部１１を固定ねじ１４で
固定する。このような操作により、測定子１２ａの軸心
を測定対象であるアウタレース１０００回転中心に向か
わせる。
換言すると測定子１２ａの軸心が測定面の法線方向に一
致せしめる。
致せしめる。
次いで、センサ１２を垂直面内で回動させ、アナログ表
示器２０をモニタしながら、センサ１２の出力値が第３
図（ｂ）に示すイ２２ロ、ハ３点において同一の値とな
るようにセンサ１２の水平位置およびセンサ１２の垂直
（高さ）位置を調整ねじ４，８で調整して位置決めをす
る。このとき。
示器２０をモニタしながら、センサ１２の出力値が第３
図（ｂ）に示すイ２２ロ、ハ３点において同一の値とな
るようにセンサ１２の水平位置およびセンサ１２の垂直
（高さ）位置を調整ねじ４，８で調整して位置決めをす
る。このとき。
センサ５とセンサ９の示す値を下半分の円弧面ＳＬの中
心点Ｃ□の基準値とするため、各センサの測定値をデジ
タル表示器２２で順次に表示し、それぞれＯリセットす
る。以上で測定前の校正作業が終了し、次に測定作業に
移る。
心点Ｃ□の基準値とするため、各センサの測定値をデジ
タル表示器２２で順次に表示し、それぞれＯリセットす
る。以上で測定前の校正作業が終了し、次に測定作業に
移る。
センサ１２を測定面に沿ってイ１１ロ、ハ含む垂直面内
で回動させると、センサ１２の測定子１２ａが測定面の
形状に応じて伸縮し電気信号としてアナログ表示器２０
に入力されるとともにＸ・Ｙレコーダ２１のＸ軸入力端
子に入力される。−方センサ１２を垂直面内で回動する
ときに、プーリー１５．ベルト１９．プーリー１８を介
してポテンショメーター１７が回転し、センサ１２の回
転角に応じた電気信号が出力される。このポテンショメ
ーター１７の出力はＸ−Ｙレコーダ２１のＸ軸入力端子
に入力され、Ｘ−Ｙレコーダ２１Ｌｔこれらの入力電気
信号に基づいて、 ？１１’ｌ定面形状に即した第５図
のようなグラフを描く。ここで、Ｘ軸は測定面上を移動
する測定子１２ａの移動距離を表し、Ｙ軸は測定面上で
の測定子１２ａの法線方向の変位、すなわちうねりを表
す。
で回動させると、センサ１２の測定子１２ａが測定面の
形状に応じて伸縮し電気信号としてアナログ表示器２０
に入力されるとともにＸ・Ｙレコーダ２１のＸ軸入力端
子に入力される。−方センサ１２を垂直面内で回動する
ときに、プーリー１５．ベルト１９．プーリー１８を介
してポテンショメーター１７が回転し、センサ１２の回
転角に応じた電気信号が出力される。このポテンショメ
ーター１７の出力はＸ−Ｙレコーダ２１のＸ軸入力端子
に入力され、Ｘ−Ｙレコーダ２１Ｌｔこれらの入力電気
信号に基づいて、 ？１１’ｌ定面形状に即した第５図
のようなグラフを描く。ここで、Ｘ軸は測定面上を移動
する測定子１２ａの移動距離を表し、Ｙ軸は測定面上で
の測定子１２ａの法線方向の変位、すなわちうねりを表
す。
このようにして、測定面の下半分のうねりを測定した後
に上半分のうねりを測定する。
に上半分のうねりを測定する。
センサ１２を垂直面内で反時計方向（第１図）に回動し
てセンサ１２の測定子１２ａを上半分の円弧面ＳＵ側に
向ける。次いでｉｔねじ８でセンサ１２の位置を第３図
（ｂ）に示すΩの長さだけ降下させる。このときのセン
サ５とセンサ９の示す値が設計上での上半分の円弧面Ｓ
Ｕの中心点を示す。
てセンサ１２の測定子１２ａを上半分の円弧面ＳＵ側に
向ける。次いでｉｔねじ８でセンサ１２の位置を第３図
（ｂ）に示すΩの長さだけ降下させる。このときのセン
サ５とセンサ９の示す値が設計上での上半分の円弧面Ｓ
Ｕの中心点を示す。
センサ１２を垂直面内で回動させ、アナログ表示器２０
をモニタしながら、センサ１２の出力値が第３図（ｂ）
に示す二、ホ、への３点において同一の値になるように
センサ１２の水平位置およびセンサ１２の高さ位置を調
整ねじ４，８で調整し固定する。このときセンサ５とセ
ンサ９の示す値が上半分の円弧面ＳＬの中心点Ｃ２の設
計基準寸法に対する誤差量を示す。その後、測定箇所イ
１ロ、ハ側での測定操作と同様にして円弧面のうねりを
測定する。
をモニタしながら、センサ１２の出力値が第３図（ｂ）
に示す二、ホ、への３点において同一の値になるように
センサ１２の水平位置およびセンサ１２の高さ位置を調
整ねじ４，８で調整し固定する。このときセンサ５とセ
ンサ９の示す値が上半分の円弧面ＳＬの中心点Ｃ２の設
計基準寸法に対する誤差量を示す。その後、測定箇所イ
１ロ、ハ側での測定操作と同様にして円弧面のうねりを
測定する。
以上の操作により、転勤面ＳＵ、ＳＬのうねりが測定で
きる。また、センサ５，９の最終出力値から、転勤面Ｓ
Ｕ、ＳＬの曲率中心のずれが測定できる。
きる。また、センサ５，９の最終出力値から、転勤面Ｓ
Ｕ、ＳＬの曲率中心のずれが測定できる。
本実施例では、旋回輪のアウタレースに形成された転勤
面を測定する場合について説明したが。
面を測定する場合について説明したが。
測定対象物および測定面はこれに限定されない。
Ｇ１発明の詳細
な説明したように本発明によれば、測定子を凹状の球面
などの法線方向に当てながら測定できるので測定値が正
確である。また、測定対象物を破壊することなく測定面
を測定できるとともに、専用機として設計できるから３
次元測定機よりも格段に簡素にかつ小型化できて廉価な
装置となる。
などの法線方向に当てながら測定できるので測定値が正
確である。また、測定対象物を破壊することなく測定面
を測定できるとともに、専用機として設計できるから３
次元測定機よりも格段に簡素にかつ小型化できて廉価な
装置となる。
第１図（、）は本発明に係る測定装置の正面図。
（ｂ）は同じくその側面図、（Ｃ）は上面図５第２図は
センサ、表示器、記録計の接続を示すブロック図、第３
図（ａ）は測定対象物の部分斜視図。 （ｂ）は測定面の拡大断面図、第４図は測定装置の取付
状態を示す図、第Ｓ図は側室結果を示すグラフである。 １：横ベット ２：縦ベット ３：基部 ５：センサ ６：スライダー ９：センサ ２ａ ：アーム部 １２：センサ ：測定子 １３：軸 ：ポテンショメータ ：アナログ表示器 ：ｘ−ｙレコーダ ：デジタル表示器 二位置調整機構
センサ、表示器、記録計の接続を示すブロック図、第３
図（ａ）は測定対象物の部分斜視図。 （ｂ）は測定面の拡大断面図、第４図は測定装置の取付
状態を示す図、第Ｓ図は側室結果を示すグラフである。 １：横ベット ２：縦ベット ３：基部 ５：センサ ６：スライダー ９：センサ ２ａ ：アーム部 １２：センサ ：測定子 １３：軸 ：ポテンショメータ ：アナログ表示器 ：ｘ−ｙレコーダ ：デジタル表示器 二位置調整機構
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 センサ本体およびセンサ本体からばねで突出される測定
子を有し、この測定子の伸縮量を検出する第１のセンサ
と、 この第１のセンサを第１の面内で回動可能に保持すると
ともに第１の面と直交する第２の面内で回動可能に保持
するアーム部と、 前記第１のセンサの第２の面内での回転角変位を検出す
る第２のセンサと、 少なくとも前記第１のセンサにおける垂直および水平方
向の位置を調整する位置調整機構と、測定子を被測定面
の曲率半径に相当するだけ突出させた基準状態で被測定
面に当接させたまま、前記第１のセンサを前記第１の面
内で回動させたときの出力変化を表示する表示器と、 測定子を被測定面の曲率半径に相当するだけ突出させた
基準状態で被測定面に当接させたまま、前記第１のセン
サを前記第２の面内で回動させたときの前記第１のセン
サの出力と前記第２のセンサの出力とに基づいて被測定
面のうねりを記録する記録計とを具備することを特徴と
する形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1105631A JP2504561B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1105631A JP2504561B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02284017A true JPH02284017A (ja) | 1990-11-21 |
| JP2504561B2 JP2504561B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=14412820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1105631A Expired - Fee Related JP2504561B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2504561B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1989
- 1989-04-25 JP JP1105631A patent/JP2504561B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2504561B2 (ja) | 1996-06-05 |
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