JPH02284116A - 電気光学装置 - Google Patents
電気光学装置Info
- Publication number
- JPH02284116A JPH02284116A JP10679289A JP10679289A JPH02284116A JP H02284116 A JPH02284116 A JP H02284116A JP 10679289 A JP10679289 A JP 10679289A JP 10679289 A JP10679289 A JP 10679289A JP H02284116 A JPH02284116 A JP H02284116A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electro
- liquid crystal
- optical device
- water
- moisture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 32
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 abstract description 2
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 13
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は小型あるいは大型の画像表示、コンピュータ端
末、光学シャッターなどに利用される液晶を用いた電気
光学装置に関する。
末、光学シャッターなどに利用される液晶を用いた電気
光学装置に関する。
本発明は液晶を使った電気光学装置において、液晶中に
吸水性のポリマーを入れることにより水分による電気光
学装置の特性劣化を防止するようにしたものである。
吸水性のポリマーを入れることにより水分による電気光
学装置の特性劣化を防止するようにしたものである。
時計や電卓などの表示用として登場した液晶表示装置は
、低消費電力、薄型などの特徴を生かして様々な分野に
普及した。更に最近ではSTNなどの新方式や基板上の
各画素にスイッチング素子を作り込んだアクティブマト
リックス型などが開発されたことにより画面の大型化や
画質の向上が図られ、コンピュータ端末や光シヤツター
など表示以外の用途も含めた広い分野で電気光学装置と
して使われるようになってきた。
、低消費電力、薄型などの特徴を生かして様々な分野に
普及した。更に最近ではSTNなどの新方式や基板上の
各画素にスイッチング素子を作り込んだアクティブマト
リックス型などが開発されたことにより画面の大型化や
画質の向上が図られ、コンピュータ端末や光シヤツター
など表示以外の用途も含めた広い分野で電気光学装置と
して使われるようになってきた。
従来の液晶を使った電気光学装置の基本的な構造を第2
図を使って説明する。第2図は従来の典型的な電気光学
装置の断面図である。第2図において、1は上基板、2
は下基板、3は電極、4は液晶、5は接着剤層、6はス
ペーサーである。上基板1と下基板2は通常ガラスが、
電極3はIT0や5n02などの透明な導伝材料が用い
られる。
図を使って説明する。第2図は従来の典型的な電気光学
装置の断面図である。第2図において、1は上基板、2
は下基板、3は電極、4は液晶、5は接着剤層、6はス
ペーサーである。上基板1と下基板2は通常ガラスが、
電極3はIT0や5n02などの透明な導伝材料が用い
られる。
上基板1と下基板2の液晶4と接する面は液晶分子を一
方向に規則正しく並べるために表面処理(配向処理と呼
ぶ)が施されており液晶4はそれに従って配列している
。接着剤層5は有機の熱硬化型あるいはUV硬化型接着
剤で上基板1と下基板2を接着するとともに液晶4を外
気から遮断する働きを持っている。スペーサー6は液晶
層4の厚さを一定に保つ働きをしており、材質はガラス
、アルミナなどの無機材料から成るものと樹脂の両方が
ある。
方向に規則正しく並べるために表面処理(配向処理と呼
ぶ)が施されており液晶4はそれに従って配列している
。接着剤層5は有機の熱硬化型あるいはUV硬化型接着
剤で上基板1と下基板2を接着するとともに液晶4を外
気から遮断する働きを持っている。スペーサー6は液晶
層4の厚さを一定に保つ働きをしており、材質はガラス
、アルミナなどの無機材料から成るものと樹脂の両方が
ある。
次に動作について説明する。上基板1上の電極3と下基
板2上の電極3の間に電圧を印加するとその電極に挾ま
れた部分の液晶4は光学的性質が変化する。例えば表示
用の電気光学装置であれば偏光板を通してその部分の色
や明るさの変化を見ることにより画像情報が伝えられる
。従って電極3の形状により任意の情報を光学的に伝え
ることができる。例えば上基板1上の電極3をm本の細
かいストライブ状とし、下基板2上の電極3を同じよう
に0本のストライブ状にして上下の電極3同志が互いに
直交するように組み合わせればmxn画素のマトリック
ス型電気光学装置となる。
板2上の電極3の間に電圧を印加するとその電極に挾ま
れた部分の液晶4は光学的性質が変化する。例えば表示
用の電気光学装置であれば偏光板を通してその部分の色
や明るさの変化を見ることにより画像情報が伝えられる
。従って電極3の形状により任意の情報を光学的に伝え
ることができる。例えば上基板1上の電極3をm本の細
かいストライブ状とし、下基板2上の電極3を同じよう
に0本のストライブ状にして上下の電極3同志が互いに
直交するように組み合わせればmxn画素のマトリック
ス型電気光学装置となる。
マトリックス型電気光学装置の中でも各画素毎にスイッ
チング素子を作り込んだものをアクティブマトリックス
型電気光学装置と呼ぶ。一般の液晶を使った電気光学装
置と異なりアクティブマトリックス型の場合には電極の
画素部のみにITOを使い、スイッチング素子を通して
画素同志を接続する部分には電極の抵抗を下げるために
金属を使うことが多い。そのため構造や作製プロセスは
複雑になるが特性は格段に向上する。
チング素子を作り込んだものをアクティブマトリックス
型電気光学装置と呼ぶ。一般の液晶を使った電気光学装
置と異なりアクティブマトリックス型の場合には電極の
画素部のみにITOを使い、スイッチング素子を通して
画素同志を接続する部分には電極の抵抗を下げるために
金属を使うことが多い。そのため構造や作製プロセスは
複雑になるが特性は格段に向上する。
ところで液晶を使った電気光学装置は一般的に液晶中の
水分が原因となって不良になることがしばしばある。液
晶中に一定量以上の水分が存在すると部分的な液晶の抵
抗値低下などにより動作特性が劣化し消費電流も増大す
る。特にアクティブマトリックス型電気光学装置の場合
は電極の一部に金属を使っているため水分の影響を受は
易い。
水分が原因となって不良になることがしばしばある。液
晶中に一定量以上の水分が存在すると部分的な液晶の抵
抗値低下などにより動作特性が劣化し消費電流も増大す
る。特にアクティブマトリックス型電気光学装置の場合
は電極の一部に金属を使っているため水分の影響を受は
易い。
水分が存在する状態で電極に電圧を印加し続けていると
金属の部分が水と化学的に反応し最終的には電極の断線
などを引き起こしてしまう。
金属の部分が水と化学的に反応し最終的には電極の断線
などを引き起こしてしまう。
上記の現象を防止するために電気光学装置の製造工程で
は極力水分が液晶内に侵入しないように各種の工夫がな
されている。しかし液晶自体が本来持っている水分、及
び実際の使用時に接着剤とガラスの界面から徐々に侵入
してくる水分を完全になくすことは難しい。水分が原因
となる不良は特に実使用状態で経時的に発生するので、
これが液晶を使った電気光学装置の信頼性の優劣や寿命
を決める大きな要素となっている。
は極力水分が液晶内に侵入しないように各種の工夫がな
されている。しかし液晶自体が本来持っている水分、及
び実際の使用時に接着剤とガラスの界面から徐々に侵入
してくる水分を完全になくすことは難しい。水分が原因
となる不良は特に実使用状態で経時的に発生するので、
これが液晶を使った電気光学装置の信頼性の優劣や寿命
を決める大きな要素となっている。
本発明は上記の問題点を解決するために成されたもので
あり、液晶内に多少の水分が侵入しても特性が劣化せず
極めて信頼性の高い電気光学装置を提供することを目的
とする。
あり、液晶内に多少の水分が侵入しても特性が劣化せず
極めて信頼性の高い電気光学装置を提供することを目的
とする。
本発明は電気光学装置の液晶内に吸水性のポリマーを混
ぜることにより水分が原因となつて発生する様々な不良
を防止するようにした。
ぜることにより水分が原因となつて発生する様々な不良
を防止するようにした。
吸水性のポリマーを液晶中に混ぜておくことにより、液
晶内に当初から含まれてる水分および経時的に基板と接
着剤の界面から侵入してくる水分のほとんどはこのポリ
マーに吸収されてしまう。
晶内に当初から含まれてる水分および経時的に基板と接
着剤の界面から侵入してくる水分のほとんどはこのポリ
マーに吸収されてしまう。
従って水分による経時的な特性の劣化や金属電極の断線
などの発生を抑えることが可能となり電気光学装置の信
頼性を飛躍的に向上させることができる。
などの発生を抑えることが可能となり電気光学装置の信
頼性を飛躍的に向上させることができる。
以下、実施例に基づいて本発明を詳述する。
(実施例1)
第1図は本発明を実施した電気光学装置の断面図である
。第1図において、1は上基板、2は下基板、3は電極
、4は液晶、5は接着剤層、6はスペーサー、7は吸水
性ポリマーである。吸水性ポリマー7が液晶4の中に分
散されている以外は前述の従来の電気光学装置(第2図
)と同じ構造である。
。第1図において、1は上基板、2は下基板、3は電極
、4は液晶、5は接着剤層、6はスペーサー、7は吸水
性ポリマーである。吸水性ポリマー7が液晶4の中に分
散されている以外は前述の従来の電気光学装置(第2図
)と同じ構造である。
吸水性ポリマーとしてはアクリロニトリルグラフトボリ
マーやアクリル酸系ポリマーなどが考えられるが、具体
的な例としては製鉄化学工業■の吸水性樹脂アクアキー
プがある。このポリマーはアクリル系の重合体であり吸
水性や保水性に優れている上に形状が白色粉末であり液
晶の中でも比較的安定であることから本発明に用いるの
に好適な吸水性ポリマーである。
マーやアクリル酸系ポリマーなどが考えられるが、具体
的な例としては製鉄化学工業■の吸水性樹脂アクアキー
プがある。このポリマーはアクリル系の重合体であり吸
水性や保水性に優れている上に形状が白色粉末であり液
晶の中でも比較的安定であることから本発明に用いるの
に好適な吸水性ポリマーである。
次に第1図の電気光学装置の製造方法の概略を説明する
。
。
(1)上基板1と下基板2に蒸着あるいはスパッタリン
グ法でITOを製膜し、所望の形状にパタニングして電
極3を作る。
グ法でITOを製膜し、所望の形状にパタニングして電
極3を作る。
(2)電極3が形成された面を配向処理する。
(3)どちらか一方の基板上にスペーサー6と吸水性ポ
リマー7を散布する。この際吸水性ポリマー7の粒径は
スペーサー6の径とほぼ同じか小さいものを使う。
リマー7を散布する。この際吸水性ポリマー7の粒径は
スペーサー6の径とほぼ同じか小さいものを使う。
(4)接着剤により上基板1と下基板2を接着する。
(5)接着した基板間に液晶4を封入する。
(6)駆動用回路を接続する。
上記の工程の説明からもわかるように、従来のスペーサ
ーを散布していた工程においてスペーサー6と吸水性ポ
リマー7を混合したものを散布するか、あるいはスペー
サー6と吸水性ポリマー7を順次散布するだけで本発明
の電気光学装置を作製することができる。すなわち製造
工程の大幅な変更は全く必要がない。
ーを散布していた工程においてスペーサー6と吸水性ポ
リマー7を混合したものを散布するか、あるいはスペー
サー6と吸水性ポリマー7を順次散布するだけで本発明
の電気光学装置を作製することができる。すなわち製造
工程の大幅な変更は全く必要がない。
本発明の電気光学装置と第2図の従来の電気光学装置を
各々高温高湿度状態において連続駆動テストさせたとこ
ろ、本発明の電気光学装置は水分によるものと考えられ
る動作特性の劣化や消費電流の増大などはほとんど発生
せず従来の電気光学装置に比べて極めて高い信頼性を示
した。
各々高温高湿度状態において連続駆動テストさせたとこ
ろ、本発明の電気光学装置は水分によるものと考えられ
る動作特性の劣化や消費電流の増大などはほとんど発生
せず従来の電気光学装置に比べて極めて高い信頼性を示
した。
(実施例2)
次に本発明をアクティブマトリックス型電気光学装置に
応用した場合の実施例について説明する。
応用した場合の実施例について説明する。
第3図(a)は本発明によるアクティブマトリックス型
電気光学装置の断面図、第3図(b)は(a)の下基板
面の平面図である。第3図(a)(b)において、1は
上基板、2は下基板、3はストライブ状にバターニング
された電極、4は液晶、5は接着剤層、6はスペーサー
、7は吸水性ポリマー、8は金属製電極、9は画素電極
である。
電気光学装置の断面図、第3図(b)は(a)の下基板
面の平面図である。第3図(a)(b)において、1は
上基板、2は下基板、3はストライブ状にバターニング
された電極、4は液晶、5は接着剤層、6はスペーサー
、7は吸水性ポリマー、8は金属製電極、9は画素電極
である。
金属製電極8と画素電極9の交差している部分にはSi
NxやSiOxなどの電気抵抗が非線形な膜が挟まれて
おり全体としてスイッチング素子を形成している。第3
図の電気光学装置は一般に二端子型のアクティブマトリ
ックスと呼ばれる。
NxやSiOxなどの電気抵抗が非線形な膜が挟まれて
おり全体としてスイッチング素子を形成している。第3
図の電気光学装置は一般に二端子型のアクティブマトリ
ックスと呼ばれる。
アクティブマトリックス型電気光学装置においては水分
の影響は極めて重大である。例えば金属製電極8の材料
としてC「を使った場合を考えてみる。Crと水分(H
2O)と印加される電圧のために次のような反応が徐々
に進行する。
の影響は極めて重大である。例えば金属製電極8の材料
としてC「を使った場合を考えてみる。Crと水分(H
2O)と印加される電圧のために次のような反応が徐々
に進行する。
2Cr+7H20=H2Cr2 o7+6H22Cr+
30.+H2O−6H,Cr207これらの反応が進む
につれて金属製電極8は次第に溶解し最終的には断線を
引き起こす。従ってアクティブマトリックス型電気光学
装置の液晶4に吸水性ポリマー7を混ぜ、液晶中に初め
から含まれていたり外部から侵入してくる水分をポリマ
ー中に閉じ込めてしまうことは信頼性の向上に絶大な効
果がある。
30.+H2O−6H,Cr207これらの反応が進む
につれて金属製電極8は次第に溶解し最終的には断線を
引き起こす。従ってアクティブマトリックス型電気光学
装置の液晶4に吸水性ポリマー7を混ぜ、液晶中に初め
から含まれていたり外部から侵入してくる水分をポリマ
ー中に閉じ込めてしまうことは信頼性の向上に絶大な効
果がある。
第3図の電気光学装置の連続駆動テストを行ったところ
実使用時間内では水分が原因と思われる不良は全く発生
しなかった。
実使用時間内では水分が原因と思われる不良は全く発生
しなかった。
尚、本実施例では非線形素子を使った二端子型のアクテ
ィブマトリックスについて説明したが、TPT (薄膜
トランジスター)などの三端子型のアクティブマトリッ
クス型電気光学装置でも本発明がほとんどそのまま適用
できることは言うまでもない。
ィブマトリックスについて説明したが、TPT (薄膜
トランジスター)などの三端子型のアクティブマトリッ
クス型電気光学装置でも本発明がほとんどそのまま適用
できることは言うまでもない。
以上詳述したように、本発明によれば水分が原因となる
電気光学装置の初期的および経時的不良を簡単に防止で
き信頼性を飛躍的に向上させることができる。特にアク
ティブマトリックス型電気光学装置において本発明は有
効である。
電気光学装置の初期的および経時的不良を簡単に防止で
き信頼性を飛躍的に向上させることができる。特にアク
ティブマトリックス型電気光学装置において本発明は有
効である。
第1図は本発明の電気光学装置の断面図、第2図は従来
の電気光学装置の断面図、第3図(a)は本発明を適用
したアクティブマトリックス型電気光学装置の断面図、
第3図(b)は(a)の下基板面の平面図である。 ・・上基板 ・・下基板 ・・電極 ・・液晶 φ・接着剤層 拳拳スペーサー ・・吸水性ポリマー ・・金属製電極 ・・画素電極 以 上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助f−化明の電気
り幣東業の釘面図 第1図 従来の!1気り幣昶償の町面図 第2図
の電気光学装置の断面図、第3図(a)は本発明を適用
したアクティブマトリックス型電気光学装置の断面図、
第3図(b)は(a)の下基板面の平面図である。 ・・上基板 ・・下基板 ・・電極 ・・液晶 φ・接着剤層 拳拳スペーサー ・・吸水性ポリマー ・・金属製電極 ・・画素電極 以 上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助f−化明の電気
り幣東業の釘面図 第1図 従来の!1気り幣昶償の町面図 第2図
Claims (2)
- (1)複数の基板間に液晶が封入され、各々の基板の内
面には液晶に電圧を印加するための電極が形成されてい
る電気光学装置において、前記液晶中に吸水性ポリマー
を混ぜたことを特徴とする電気光学装置。 - (2)どちらか一方の基板の内面には複数のスイッチン
グ素子が形成されている特許請求の範囲第一項記載の電
気光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10679289A JPH02284116A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 電気光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10679289A JPH02284116A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 電気光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02284116A true JPH02284116A (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=14442745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10679289A Pending JPH02284116A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 電気光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02284116A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001079920A1 (en) * | 1999-10-29 | 2001-10-25 | Honeywell Inc. | Method of utilizing absorbing means in coupling substrates |
| JP2020055284A (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP10679289A patent/JPH02284116A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6642991B2 (en) | 1999-09-30 | 2003-11-04 | Honeywell International Inc. | Method of utilizing absorbing means in coupling substrate |
| WO2001079920A1 (en) * | 1999-10-29 | 2001-10-25 | Honeywell Inc. | Method of utilizing absorbing means in coupling substrates |
| JP2020055284A (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2712046B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| JPH08171086A (ja) | 液晶表示素子およびその製造方法 | |
| US7580092B2 (en) | Liquid crystal display device and method for fabricating the same | |
| JPH05241165A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
| US7830490B2 (en) | Liquid crystal display | |
| JPWO2007007394A1 (ja) | 液晶表示素子 | |
| KR100652049B1 (ko) | 액정표시장치 | |
| US5847793A (en) | Liquid crystal display apparatus and fabrication process thereof | |
| US20030202130A1 (en) | Floating electrode switching liquid crystal display | |
| JP3307917B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| JP2001166322A (ja) | 液晶装置及び電子機器 | |
| JPH02284116A (ja) | 電気光学装置 | |
| JPH06273776A (ja) | 液晶表示装置 | |
| JP2005241858A (ja) | 電気光学装置、電子機器、および電気光学装置の製造方法 | |
| KR100841629B1 (ko) | 횡전계모드 액정표시소자 | |
| JPH01302227A (ja) | カラー液晶表示素子及びカラー液晶表示装置 | |
| JP2911480B2 (ja) | 電気光学セル、その製造方法、および液晶セル | |
| JPH10228023A (ja) | 液晶表示素子およびその製造方法 | |
| KR0146900B1 (ko) | 액정표시소자의 제조방법 | |
| JP3136437B2 (ja) | 液晶素子 | |
| JPH06289405A (ja) | 液晶表示装置 | |
| JP2003280001A (ja) | 反射型液晶表示パネル、及びその製造方法 | |
| KR100966425B1 (ko) | 액정표시소자 | |
| JP3359956B2 (ja) | アクティブマトリクス型表示装置およびその製造方法、液晶表示装置の製造方法 | |
| KR101074386B1 (ko) | 액정표시소자 제조용 기판 반전장치 |