JPH02284871A - 研磨盤の製造方法 - Google Patents

研磨盤の製造方法

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JPH02284871A
JPH02284871A JP1106708A JP10670889A JPH02284871A JP H02284871 A JPH02284871 A JP H02284871A JP 1106708 A JP1106708 A JP 1106708A JP 10670889 A JP10670889 A JP 10670889A JP H02284871 A JPH02284871 A JP H02284871A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、石材研削等を行なう種々の研磨機器の研磨部
品として用いることのできるり[利用メタルボンドチッ
プ、並にそのり[利用メタルボンドチップを有し、主と
して右利を湿式研磨するのに用いる研磨盤、及びその研
磨盤の製造方法に関するものである。
(従来の技術) 主として石材を湿式研磨するのに用いる従来の研磨盤は
第10図に示すような横進をしている。
即ち石材に直接接触し石材を研磨するための複数個のチ
ップ1が、鋳物製の基板2の一面に規則正しく配列して
形成された複数個の突出部2aにろう付けにより接着さ
れた構造をしている。このような、研磨盤5は次のよう
にして形成される。第11図はチップ1を形成するため
の抵抗焼結機20を示す断面部分略図である。
まず銅、ニッケル、コバルト等の金属粉末に研削材であ
るダイヤモンド粉末を混入し、この混合粉末を第11図
に示すように焼結機20の四角い枠状のカーボン型21
の中に入れ、電極22で駆動されるパンチ23により混
合粉末に上下から圧力を加えながら熱を加えて混合粉末
を焼結する。
これによりチップ1が形成される。
次に第12図において、チップ1のろう付は面1a及び
突出部2aのろう付は面2bの成形面被膜や汚れ等を、
グラインダーやサンダー等を用いて削り取り、両面1a
、2bに接着助剤であるフラックスを塗布する。そして
両面1a、2b間に平板状の銀ろう3を挾み、高周波加
熱機やバーナー等を用いてチップ1を突出部2aにろう
付けする。
(従来技術の問題点) 上記のように形成された研磨盤うでは、例えば焼結時に
約550℃に加熱されたチップ1に、ろう付けする際に
約650〜660℃の高熱が加わることとなるため、チ
ップ1内の金属粉末が溶融等してチップ1に組織変化が
生じチップ1の硬度等の性能が変質したり、チップ1が
変形したりして、研磨盤5としての研磨機能に異常を来
たす恐れがあった。
またろう付けの作業時間、ろう付けのためのチップ1を
押さえる力、ろう付は面1 a s 2 bの汚れの状
態、フラックスの塗布量等に差異が生じやすいために、
銀ろう3のろう付は面1a、2bへの接着強度にむらが
生じやすく、チップ1の中には突出部2aから外れやす
いものもあり、これによっても研磨盤5としての研磨機
能に異常を来たす恐れがあった。
また基板2が鋳物製であるために、重量が重く、取扱い
が困難且つ危険であった。
また上記のような製造方法では、ろう付は面1a、 2
bの汚れ等を削り取る作業を要するので、面倒であった
。更に結果にばらつきの多いろう付は作業を要している
ので、生産効率が悪いという問題があった。
(発明の目的) 本願発明は、石材等を研磨するための研削チップ層を有
し、種々の研磨機器の研磨部品として有効に用いること
ができ、しかも安価に得ることのできる研削用メタルボ
ンドチップを提供し、更にはその研削用メタルボンドチ
ップを有し、研磨機能を正常に果たすことができ、しか
も取扱いが簡単且つ安全である研磨盤、及びその研磨盤
を簡単な作業で生産効率良く製造できる研磨盤の製造方
法を提供することを目的とする。
(発明の構成) 本願の第1の発明は、表面にメッキが施された金属台と
、メッキに用いられた金属と同系統の金属の粉末にダイ
ヤモンド粉末が混入された研削チップ層とからなり、研
削チップ層が焼結により上記メッキと拡散結合して上記
金属台と一体化していることを特徴とする研削用メタル
ボンドチップである。
本願の第2の発明は、表面にメッキが施された金属台と
、メッキに用いられた金属と同系統の金属の粉末にダイ
ヤモンド粉末が混入された研削チップ層とからなり、研
削チップ層が焼結により上記メッキと拡散結合して上記
金属台と一体化してなる研削用メタルボンドチップの複
数個が、樹脂製基板の一面に配列されるとともに各々上
記金属台が埋め込まれることにより固定されていること
を特徴とする研磨盤である。
本願の第3の発明は、金属台の表面にメッキを施し、メ
ッキに用いた金属と同系統の金属の粉末にダイヤモンド
粉末を混入した研削チップ層を、上記金属台に接触させ
た状態で焼結することにより上記メッキと拡散結合させ
上記金属台と一体化させて研削用メタルボンドチップを
形成し、複数個の研削用メタルボンドチップを樹脂製基
板形成用の型内に配列するとともに各々上記金属台のみ
が型内に突出するよう設け、型内に樹脂を流し込んで樹
脂製基板を成形するようにしたことを特徴とする研磨盤
の製造方法である。
(実施例) 以下、本願発明の実施例を図に基づいて説明する。第1
図は本願の第1の発明の研削用メタルボンドチップを示
す斜硯図である。この研削用メタルボンドチップ10は
、石材等を研肪するための研削チップ層11が金属台1
2の一面に接着されてなるものである。金属台12は鉄
製であり、その表面には銅メッキが施されている。研削
チップ層】1は、銅、コバルト、ニッケル等の金属粉末
とダイヤモンド粉末とを混合した後に焼結してなるもの
であり、第2図に示すように、第10図に示すのと同じ
焼結機20のカーボン型21内に金属台12を入れた後
に上記金属粉末とダイヤモンド粉末との混合粉末を入れ
て焼結することにより、金属台12表面の銅メッキと拡
散結合している。
従って研削チップ層11と金属台]2とは、ろう付けよ
りも強固に接着されている。[表]はその比較データを
示す。なお金属台12のメッキはニッケルメッキでもよ
<、[表]にはその例も示す。
[表] なお(A)は従来例の銀ろう、(B)、(C)は本発明
の銅メッキ、ニッケルメッキによる場合を示す。この抗
折力の単位はKg/IDl112である。二の抗折力試
験は第3図に示すように行なう。即ちそれぞれ10X1
0X40■の大きさの研削チップ層11及び金属台12
を上述したように焼結して一体とした試験片を用意し、
接着面13を中火に位置させて50+wa+離した支点
14.14で支持L2、接着面13の部分に上方から加
圧部材15で圧力を加えて行なう。
焼結機20による焼結は、カーボン型21に取付けた熱
雷対24によりカーボン型21内の温度を検知し、加え
る熱、圧力をコンピュータ制御することにより、容易に
拡散結合が常に略一定の強さとなるよう行なわれている
。即ちチップ10を複数個形成しても、各々の研削チッ
プ層11は金属台12の銅メッキに略同じ強さで拡散結
合している。
このチップ10では、金属台12表面のメッキ材料とし
て、([削チップ層11に用いる金属と同系統の金属即
ちここでは銅を用いているので、研削チップ層11は銅
メッキに良好に拡散結合している。しかも研削チップ層
11に用いる金属は、メッキ可能なものであればよいの
で、用い得る金属の種類は増加する。そして金属台12
としては研削チップ層11に用いる金属とは異なる安価
な金属を用いることができるので、ここでは鉄を用いる
ことにより、コストの低減が図られている。
このようなチップ10は種々の研磨機器の研磨部品とし
て有効に用いられる。次にその一例を示す。第4図は複
数個のチップ10を有する石材切削用ブレード30を示
す部分図である。31は鉄製の円板状のブレード本体で
あり、その外周には複数個の切欠き32が等間隔に形成
されている。
チップ10は、金属台12の研削チップ層ll側とは反
対側の面12aの銅メッキが削り取られ、その而12a
が、隣接する切欠き32間のブレード本体31の外層縁
部に銀ろう3によりろう付けされて接着されている。ブ
レード本体31と金属台12は同じ材質即ちここでは鉄
であるので、両者は強固にろう付けされることとなり、
このためブレード本体31の外周に複数個のチップ10
をろう付けしても各ろう付けの接着強度には殆んどばら
つきは生じない。このように研削チップ層11は、ブレ
ード本体31に強固にろう付けされた金属台12に、拡
散結合により強固に接着されており、しかもろう付けや
拡散結合の強度は各チップ10において略同じであるの
で、チップ10の内のいずれかの研削チップ層11が外
れることによって石(イ切削用ブレード30の切削機能
に異常を来たすようなことはない。
またチップ10をブレード本体31にろう付けする際に
熱が加えられるが、研削チップ層11は金属台12があ
るために直接高熱にさらされない。
従って研削チップ層11は、金属粉末が溶融等して組織
変化が生じ硬度等の性能が変質したり、変形したりする
ことはなく、これによっても石材切削用ブレード30と
しての切削機能に異常を来たすことはない。
第5図は本願の第2の発明の研磨盤を示す斜視図、第6
図は本願の第3の発明の研磨盤の製造方法の一工程を示
す断面図である。この研磨盤40は、樹脂製の基板41
の一面に、上記第1の発明の複数個の研削用メタルボン
ドチップ10が規則正しく配列されるとともに各々の金
属台12が基板41に埋め込まれて固定されている。第
7図はチップ10が埋め込まれた部分を示す断面図であ
る。樹脂としては例えばフェノール樹脂、ポリエステル
樹脂等を用いる。基板41には、貫通孔41aと貫通孔
41bと穴41cとが基板41の成型時にそれぞれ形成
される。
チップ10の金属台12が埋め込まれる基板41の部分
には僅かに突出した凸面41dが形成されており、金属
台12は研削チップ層11との境界面11a(第7図)
が凸面41dの表面と同一平面となるよう基板41に埋
め込まれている。このため研削チップ層11が摩耗して
全て使い切られるまで、基板41の面と研磨面との間に
は確実に凸面41dの突出高さだけの隙間が確保され、
供給された水の回りが確保されるようになっている。
このような研磨盤40は、第6図に示すような状態で形
成される。51.52は樹脂をプレス加工して基板41
を形成するための下型、上型である。下型51は下型枠
53の上に設置されている。
下型51には第8図に示すように、チップ10の研削チ
ップ層11が嵌挿される貫通孔51aが複数個形成され
ている。貫通孔51aにはその斜視拡大図である第9図
に示すように、図中上開口の周縁に切欠き51bが形成
されている。切欠き51bは、樹脂が成形されて基板4
1が形成されるとチップ10の周辺の凸面41dとなる
部分である。下型51の厚さは、貫通孔51aに嵌挿さ
れた研削チップ層11が下型枠53に当接した状態で、
研削チップ層11と金属台12との境界面11aが切欠
き51bの下縁と同じ高さとなるようになっている。下
型枠53には下型51の貫通孔51aに対応する位置に
ノックアウトビン54が貫通して設けられている。
そして下型枠53の上に置いた下型51の貫通孔51a
にチップ10を各々研削チップ層11を嵌挿させて配置
した後、下型51内に樹脂を流し込み、その樹脂を上型
52で押さえながら加熱して成形する。その後、下型枠
53のノックアウトビン54を上向きに押し出すことに
より、チップ10を基板41とともに下型51から上方
に取外す。これによりチップ10が基板41に埋め込ま
れた状態の研磨盤40が形成される。
このように形成された研磨盤40では、研削チップ層1
1には、例えば焼結時に約550℃の熱が加わった後は
樹脂の成形時に高くとも約200℃の熱が加わるだけで
あり、従来のように焼結時より高い熱が加わってはいな
いので、研削チップ層11は金属粉末が溶融等して組織
変化し硬度等の性能が変質したり、変形したりしてはい
ない。
また研削チップ層11は金属台12表面の銅メッキに良
好に拡散結合しており、金属台12は基板41に埋め込
まれて固定されているので、研削チップ層11は基板4
1に対し、ろう付けされるよりも強固に固定されている
。しかも各チップ10の研削チップ層11は上記第1の
発明で説明したように、それぞれ金属台12表面の銅メ
ッキに略同じ強さで拡散結合されている。従って各研削
チップ層11は基板41に対して全て略同じ強さで強固
に固定されていることとなり、研磨中にいずれかのチッ
プ10の研削チップ層11が外れて研磨盤40としての
研磨機能に異常が生じるようなことはない。
また基板41が樹脂製であるの一〇、研磨盤40の重量
は軽く、取扱いが簡il1口つ安全である。例えば8イ
ンチの従来例の鋳物製MIN2の重二は約3.0Kgで
あるが、フェノール樹脂製の場合は約1.5Kg、ポリ
エステル樹脂製(ガラス鐵維補強)の場合は約2.0K
gである。
また上記のような製造方法では、ろう付は作業がないの
で、従来例のようなろう付けする部分の付着物を削り取
る作業は不要となり、しかもチップ10は樹脂の成形と
同時に金属台12を基板41に埋め込んで固定されるの
で、作業全体が簡素化される。しかも結果にばらつきの
多いろう付は作業が不要であるので、生産効率が向上す
る。
(発明の効果) 以上のように本願の第1の発明の研削用メタルボンドチ
ップ10は、金属台12に研削チップ層11が接着され
て構成されているので、種々の研磨機器の本体に金属台
12を介して取付けることにより、当該機器の研磨部品
として用いることができる。そしてチップ10では、研
削チップ層11を焼結により金属台12表面の銅メッキ
に拡散結合させているので、研削チップ層11と金属台
12とをろう付けするよりも強固に接告させることがで
きるとともに、チップ10を複数個形成する際に焼結条
件を容易に制御して各チップ10における拡散結合の強
度を略同じものにすることができる。従ってこのチップ
10によれば、チップ10をtlF磨機器の本体に金属
台12をろう付は等して研磨部品として取付けて研磨機
器を構成した場合、当該研磨機器においていずれかのチ
ップ10から研削チップ層11が外れるようなことはな
く、当該研磨機器による研磨を正常に行なわせることが
できる。しかも金属台12をろう付は等して取付ける際
に熱が加わっても、研削チップ層11は金属台12があ
るために直接には高熱にさらされないので、研削チップ
層11が、熱により変質したり変形したりするのを防止
することができ、これによっても当該研磨機器による研
磨を正常に行なわせることができる。また研削チップ層
11に用いる金属としては、低温で焼結するものを用い
ることができる。
またこのチップ10では、研削チップ層11を金属台1
2に接着させるために、金属台12表面にメッキを施し
ているので、金属台12としては研削チップ層11に用
いる金属とは異なる安価な材質のものを用いることがで
きる。従ってチップ〕0は安価に得ることができる。
また研削チップ層11に用いる金属はメッキが可能なも
のであればよいので、用い得る金属の種類が増加する。
従ってチップ10を製造するのに材質面で融通が利き、
コストの低減を図ることができる。
また本願の第2の発明の研磨盤40によれば、上記第1
の発明の複数個の研削用チップ10が、金属台12を基
板41の一面に埋め込んで固定されており、研削チップ
層11には焼結後、樹脂成形時に焼結時よりも低温の熱
が加わるだけであるので、上述したのと同様に、研磨盤
40においていずれかのチップ10から研削チップ層1
1が外れるようなことはなく、研磨盤40による研磨を
正常に行なわせることができ、しかも研削チップ層11
が、熱により変質したり変形したりするのを防止するこ
とができ、これによっても研磨盤40による研磨を正常
に行なわせることができる。
更に研磨盤40では基板41が樹脂で形成されているの
で、重ユが軽く、このため取扱いが簡単且つ安全である
また本願の第3の発明によれば、上記第2の発明の研磨
盤40を得ることができるとともに、ろう付は作業を不
要とでき、しかもチップ10を樹脂の成形と同時に金属
台12を基板41に埋め込んで固定できるので、作業全
体を簡素化でき、研磨盤40の生産効率を向上させるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本願の第1の発明の研削用メタルボンドチップ
を示す斜視図、第2図は上記チップの研削チップ層を形
成するための抵抗焼結機及びその形成状態を示す断面部
分略図、第3図は研削チップ層と金属台との接着力を検
査するための抗折力試験の方法を示す図、第4図は上記
チップを杓゛する石材切削用ブレードを示す部分図、第
5図は本願の第2の発明の研磨盤を示す斜視図、第6図
は研磨盤を製造する方法の−」二院を示す断面図、第7
図は基板に固定された研削用メタルボンドチップを示す
部分断面斜視図、第8図は樹脂をプレス加工するための
下型を示す斜視図、第9図は第8図の一部拡大図、第1
0図は従来のり[磨盤を示す斜視図、第11図は従来の
研磨盤のチップを形成するための抵抗焼結機及びその形
成状態を示すItli面部分略図、第12図は第10図
の一部分解斜視図である。3・・・銀ろう、10・・・
研削用メタルボンドチップ、11・・・研削チップ層、
]2・・・金属台、30・・・石材切削用ブレード、4
0・・・研磨盤、4]・・・基板、51・・・下型、5
2・・・上型、53・・・下型枠第3図 特許出願人  三和研磨T業株式会社 第4図 石材tyt利I!l17”VF 第3 図 第10図 第11図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)表面にメッキが施された金属台と、メッキに用い
    られた金属と同系統の金属の粉末にダイヤモンド粉末が
    混入された研削チップ層とからなり、研削チップ層が焼
    結により上記メッキと拡散結合して上記金属台と一体化
    していることを特徴とする研削用メタルボンドチップ。
  2. (2)表面にメッキが施された金属台と、メッキに用い
    られた金属と同系統の金属の粉末にダイヤモンド粉末が
    混入された研削チップ層とからなり、研削チップ層が焼
    結により上記メッキと拡散結合して上記金属台と一体化
    してなる研削用メタルボンドチップの複数個が、樹脂製
    基板の一面に配列されるとともに各々上記金属台が埋め
    込まれることにより固定されていることを特徴とする研
    磨盤。
  3. (3)金属台の表面にメッキを施し、メッキに用いた金
    属と同系統の金属の粉末にダイヤモンド粉末を混入した
    研削チップ層を、上記金属台に接触させた状態で焼結す
    ることにより上記メッキと拡散結合させ上記金属台と一
    体化させて研削用メタルボンドチップを形成し、複数個
    の研削用メタルボンドチップを樹脂製基板形成用の型内
    に配列するとともに各々上記金属台のみが型内に突出す
    るよう設け、型内に樹脂を流し込んで樹脂製基板を成形
    するようにしたことを特徴とする研磨盤の製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011218512A (ja) * 2010-04-13 2011-11-04 Toyoda Van Moppes Ltd 平面研削盤用ブロックドレッサ
CN104308758A (zh) * 2014-07-31 2015-01-28 江苏美杰磨具科技有限公司 一种新型金刚石磨盘

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61270077A (ja) * 1985-05-27 1986-11-29 Osaka Daiyamondo Kogyo Kk セグメントカツタ−

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61270077A (ja) * 1985-05-27 1986-11-29 Osaka Daiyamondo Kogyo Kk セグメントカツタ−

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011218512A (ja) * 2010-04-13 2011-11-04 Toyoda Van Moppes Ltd 平面研削盤用ブロックドレッサ
CN104308758A (zh) * 2014-07-31 2015-01-28 江苏美杰磨具科技有限公司 一种新型金刚石磨盘

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