JPH0228702A - 移動台制御装置 - Google Patents

移動台制御装置

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Publication number
JPH0228702A
JPH0228702A JP63178420A JP17842088A JPH0228702A JP H0228702 A JPH0228702 A JP H0228702A JP 63178420 A JP63178420 A JP 63178420A JP 17842088 A JP17842088 A JP 17842088A JP H0228702 A JPH0228702 A JP H0228702A
Authority
JP
Japan
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movement
program
signal
commands
control data
Prior art date
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Pending
Application number
JP63178420A
Other languages
English (en)
Inventor
Hisao Hara
原 久夫
Shinji Hamano
濱野 信治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Anritsu Corp filed Critical Anritsu Corp
Priority to JP63178420A priority Critical patent/JPH0228702A/ja
Publication of JPH0228702A publication Critical patent/JPH0228702A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く本発明の産業上の利用分野〉 本発明は移動台に載置される物体を所定位置に移動させ
るための移動台制御装置に関する。
〈従来技術〉 例えばセンサによって物体表面のソリや凹凸等を測定す
る形状測定装置等では、物体を載置する台を移動させる
ことによって測定点を物体表面の任意の位置に設定でき
るようにしている。
この種の移動台は、移動台制御装置に予めプログラムさ
れた一連の移動プグラムに従って移動制御されており、
移動台上の所定位置に配列載置された多数の被測定物の
測定を、移動プログラムに従って自動的に行なうことが
できる。
く本発明が解決しようとする問題点〉 しかしながら、このような従来の移動制御装置では、一
連の移動プログラムの実行中にこのプログラム動作と異
なる移動動作を実行させることが困難であるため、異常
処理や一時的な移動が速やかにできず、非常に不便であ
った。
本発明はこの問題を解決した移動台制御装置を提供する
ことを目的としている。
く前記問題点を解決するための手段〉 前記問題点を解決するために本発明の移動台制御装置は
、 移動台に対する移動命令を入力するための入力手段と、 前記入力手段より入力される移動命令群を一連の移動プ
ログラムとして記憶するプログラム記゛1手段と、 外部からのスタート信号を受けて前記記憶手段に記憶さ
れた移動命令を順次読み出してこの移動命令に応じた移
動制御データを出力し、外部からの一時停止信号を受け
て前記移動命令の読み出しを一時停止し、移動命令の読
み出し実行状態であるか否かに対応する状態信号を出力
するプログラム制御手段と、 前記プロクラム制御手段が移動命令の読み出しを停止し
ている間に前記入力手段より入力される移動命令を受り
、該移動命令に応じた移動制御ブタを出力する直接vノ
作副制御段と、 前記プログラム動作手段および前記直接動作制御手段か
ら出力される移動制御データを受(づ、該移動制御デー
タに対応する移動信号を移動台に出力する駆動手段とを
備えている。
く作用〉 したかって、入力手段からプログラム記憶手段に記憶さ
れた移動命令は、外部からスター1−信号が入力される
とプロクラム動作制御手段により順次読み出され対応す
る移動制御データが駆動手段に出力され移動台がプログ
ラム制御される。
外部から一時停止信号が入力されると、移動命令の読み
出しが停止され、移動台の制御が停止する。この読み出
し停止中に入力手段から移動命令が直接動作制御手段に
入力されると、この移動命令に対応する移動制御データ
が駆動手段に出力され、移動台の直接動作制御がなされ
る。
なお、プログラム動作制御手段の状態は、状態信号によ
って移動命令の読み出し実行状態か否かが示される。
く本発明の実施例〉(第1〜2図) 以下図面に基づいて本発明の一実施例を説明づる。
第1図はXY力方向移動可能な移動台20を制御するた
めの移動制御装置を示すブロック図である。
図において11は、移動命令をキー操作によって入力す
るための入力装置、12は、入力装置11から入力され
た移動命令を所定アドレスに順次記憶するプログラム記
憶装置である。
13は、プログラム記憶装置12に記憶された移動命令
の読み出しを、スタート信号Sを受けて開始し、読み出
した移動命令に対応する移動制御データを出力するプロ
グラム動作制御装置である。
このプログラム動作制御装置13は、外部からの−時停
止信号Wを受けると移動命令の読み出しを停止する。
なお、−時停止信号Wを一旦解除し状態信号Bが読出し
実行中となった所で再び一時停止信号Wを入力すると移
動命令が1回だけ実行される。
また、プログラム動作制御装置13は、プログラム記憶
装@12からの1つの移動命令の読み出しおよびその移
動命令に対応する移動制御データの出力中は、プログラ
ム実行中を示すrr 1 ++の状態信号Bを出力する
14は、プログラム動作制御装置13が、プログラム記
憶装置12に記憶されたすべての移動命令の読み出しお
よび移動制御テ゛−夕の出力を完了した状態あるいは、
−時停止信号Wによって動作停止している状態のときに
、入力装置11から入力される移動命令を受けて、対応
する移動制御データを速やかに出力する直接動作制御l
装置である。
16は、プログラム動作制御装置13および直接動作制
御装置14からの移動制御データを受けて、移動台20
のXテーブル21、Yテーブル22をステップ移動させ
る駆動装置である。
この駆動装置16は、移動制御データを受けて、移動位
置データおよび移動速度データを出力するデータ変換部
17と、これらのデータに対応するXY駆動パルスをX
ステージ21およびYステージ22のステップモータ2
1a、22aにそれぞれ出力するモータドライバ18と
から構成されている。
次に、この実施例の処理手順を第2図のフロチャートに
示す。
ステップ1では、入力装置11からの一連の移動命令が
記憶される。
ステップ2では、直接動作制御装置14に対する移動命
令の入力があるか否かが判別され、入力があるときは、
ステップ3でこの移動命令に従って移動台20が制御さ
れる。
移動命令がないときは、−時停止信号の有無をステップ
4で調べられ、有ればステップ2へ戻り、無ければステ
ップ5においてスター1へ信号Sの有無が判別され、ス
タート信号Sが無い場合はステップ2に戻り、有る場合
は、ステップ6で状態信号Bが” i ”となり、プロ
グラム記憶装置12に記憶された移動命令がステップ7
で1つ読み出され、対応する移動制御データが駆動装置
16に入力され、移動台20が移動制卸される。
この命令が実行されて完了するとステップ8で状態信号
Bが“′0″となり、ステップって全命令が完了したか
否かが判別される。
全命令の実行が完了した場合はステップ2に戻り、完了
していない場合はステップ10に進む。
ステップ10では、−時停止信号Wが入力されているか
否かが判別され、入力されているときはステップ2に戻
り、入力されていないときは、ステップ6に戻って次の
命令を読み出して実行することになる。
く前記実施例の動作〉 次に前記実施例の動作例について説明する。
例えば、第3図に示すように移動台20の上に載置され
た4つの同一の被測定物31〜34の測定点を矢印で示
した同一の測定ルートで移動してその形状を測定しよう
とする場合、予め入力手段11によって例えば次のよう
な4つの移動命令をプログラム記憶装置12に記憶させ
る。
(a)  GOI  Ylo (b)  GOl  Xl0 (c)  GOI  YO (d)  GOl  XO この命令は、第4図に示すように(a)〜(d)の命令
で測定点を時計回りに10ずつ移動させる移動プログラ
ムとなる(第2図のステップ1)。
この測定ルートで第3図のように移動台20に載置され
た4つの被測定物31〜34を測定する場合は、被測定
物31の測定開始点の座標<Xl、Yl)に測定点を移
動させる移動命令を、入力手段11を介して直接動作制
御装置14に入力する(第2図のステップ2)と、移動
台20が移動して測定点が(Xl、Yl)の位置に移動
する(第2図のステップ3)。
ここで−時停止信号Wがない状態でスタート信号Sを入
力すれば(第2図ステップ4.5)、上記の移動プログ
ラムの測定ルートで移動台20がプログラム制御される
(第2図ステップ6.7.8)。
これで全部の移動命令((a)〜(d))が実行される
ため、前記同様に被測定物32の測定開始点(X2、Y
2>に移動台20の測定点を直接動作制御装置14に入
力すれば同様の測定ができる。他の被測定物33.34
の測定についても全く同様である。
また、第5図に示す被測定物35のように、他の被測定
物の測定ルートと異なる測定ルートに移動させる場合に
は、−時停止信号Wを入力することにより、1ステツプ
ずつ移動命令を実行させ、(b)の移動命令を実行した
後、入力装置11より(e)〜(h)に対応する移動命
令を直接動作制御装置14に入力して実行させ、−時停
止信号Wを解除すれば、(C)、(d)の移動命令が続
けて実行されることになる。
また、プログラム動作中または完了した時点で、例外的
な事情(装置の異常発生)で、移動プログラムにない位
置へ移動台を退避させる場合は、時停止信号Wを入力し
てプログラム動作が停止してから、あるいはすぐに直接
動作制御を行なうことにより容易に移動が行なえる。
また、前記の測定ルートのように、共通的な移動動作が
存在し、要求される実際の動作が、この共通動作に移動
開始の都度固有の付随移動を加えたものとなる場合、共
通的な移動動作をプログラム動作制御で実行し、付随的
な移動を直接動作制御によって実行することにより、類
似した移動動作を繰返し実行するプログラムを容易に作
ることができる。
また、実験装置等試行的要素を含む制御を行なう場合、
プログラム実行途中で動作を一部変更することが可能と
なり非常に便利である。
く本発明の他の実施例〉 なお、前記実施例では、移動台としてXY力方向移動可
能なものについて説明したが、本発明はこの実施例に限
定されるものでなく一方向あるいはXYZの3次元方向
に移動する移動台についても同様に適用できる。
また、前記実施例の駆動装置16は、移動台のステップ
モータを駆動するためにパルス信号を出力するようにし
ていたが、移動台の駆動機構に対応させて、直流信号や
伯の移動信号を供給するものであってもよい。
く本発明の効果〉 本発明の移動台制御装置は、前記説明のように移動プロ
グラム実行中に他の移動動作を極めて容易に実行さぜる
ことがてきるため、異常処理や一時的な移動を速やかに
行なうことができ、移動制御に極めて高い融通性を持た
せることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
一実施例の処理手順を示すフロチャート、第3図、第4
図および第5図は、一実施例の動作を説明するための概
略図である。 11・・・・・・入力装置、12・・・・・・プログラ
ム記憶装置、13・・・・・・プログラム動作制御装置
、14・・・・・・直接動作制御装置、16・・・・・
・駆動装置、20・・・・・・移動台。 第2 図 第4図 第5 図 手続ネ甫正書(自発) 昭和63年10月21日 特許庁長官 古 1)文 毅 殿 1、事件の表示 昭和63年 特許願 第178420号2、発明の名称 移動台制御装置 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住所 東京都港区南麻布5丁目10番27号名称 (0
57)アンリツ株式会社 代表者 藤田雄五 4、代理人〒105  電話433−4702住所 東
京都港区新橋4−24−3 6゜ 補正の内容

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 移動台に対する移動命令を入力するための入力手段と、 前記入力手段より入力される移動命令群を一連の移動プ
    ログラムとして記憶するプログラム記憶手段と、 外部からのスタート信号を受けて前記記憶手段に記憶さ
    れた移動命令を順次読み出してこの移動命令に応じた移
    動制御データを出力し、外部からの一時停止信号を受け
    て前記移動命令の読み出しを一時停止し、前記移動命令
    の読み出し実行状態か否かに応じた状態信号を出力する
    プログラム制御手段と、 前記プログラム制御手段が移動命令の読み出しを停止し
    ている間に前記入力手段より入力される移動命令を受け
    、該移動命令に応じた移動制御データを出力する直接動
    作制御手段と、 前記プログラム動作手段および前記直接動作制御手段か
    ら出力される移動制御データを受け、該移動制御データ
    に対応する移動信号を移動台に出力する駆動手段とを備
    えた移動台制御装置。
JP63178420A 1988-07-18 1988-07-18 移動台制御装置 Pending JPH0228702A (ja)

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JP63178420A JPH0228702A (ja) 1988-07-18 1988-07-18 移動台制御装置

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JP63178420A JPH0228702A (ja) 1988-07-18 1988-07-18 移動台制御装置

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JPH0228702A true JPH0228702A (ja) 1990-01-30

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ID=16048191

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JP63178420A Pending JPH0228702A (ja) 1988-07-18 1988-07-18 移動台制御装置

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